CN213613021U - Ito平面靶材清洗固定装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种ITO平面靶材清洗固定装置，包括侧板、固定架、底杆；所述侧板采用两片且分列于两侧，所述侧板上部设有手提孔；本清洗固定装置使用时,将板状的ITO平面靶材的一端从上固定架的两根相邻的纵杆之间插入，再插入下固定架的两根相邻的纵杆之间，装载完毕后，通过手提孔，将装载有ITO平面靶材的本清洗固定装置放进超声清洗池中，浸没在清洗介质中进行清洗工序，清洗完后，ITO平面靶材表面无油渍无粉尘，无崩角，无开裂。

Description

ITO平面靶材清洗固定装置

技术领域

本实用新型涉及ITO平面靶材清洗技术领域，特别涉及一种ITO平面靶材清洗固定装置。

背景技术

ITO平面靶材的清洗是ITO平面靶材包装前的一道工序，其目的在于清除靶材在后加工中线切割和磨床磨削残留下来的油渍和粉末；ITO平面靶材属于陶瓷类产品，性质硬而脆，在清洗工序中，批量的ITO平面靶材在超声池中清洗受到频繁振动，ITO平面靶材相互之间碰撞或碰撞到硬物，则容易发生崩角或开裂而成为残次品，造成严重损失；因此，需要一种专门用于ITO平面靶材清洗固定装置。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种ITO平面靶材清洗固定装置，能够防止ITO平面靶材在清洗过程中受到有害碰撞。

根据本实用新型的实施例一种ITO平面靶材清洗固定装置，包括侧板、固定架、底杆；所述侧板采用两片且分列于两侧，所述侧板上部设有手提孔；所述固定架采用两个且上下分层设置，所述固定架包括横杆、纵杆，所述横杆采用两根且相互平行，所述横杆的两端分别与所述侧板固定连接，所述纵杆采用多根，所述纵杆排列装于两根所述横杆之间；所述底杆采用两根且两端固定在侧板上，两根所述底杆位于下层的所述固定架下方。

根据本实用新型的实施例一种ITO平面靶材清洗固定装置，至少具有如下有益效果：

本清洗固定装置使用时,将板状的ITO平面靶材的一端从上固定架的两根相邻的纵杆之间插入，再插入下固定架的两根相邻的纵杆之间，装载完毕后，通过手提孔，将装载有ITO平面靶材的本清洗固定装置放进超声清洗池中，浸没在清洗介质中进行清洗工序，清洗完后，ITO平面靶材表面无油渍无粉尘，无崩角，无开裂。

根据本实用新型的一些实施例，所述纵杆上套有硅胶套。

根据本实用新型的一些实施例，所述侧板采用钢材。

根据本实用新型的一些实施例，所述横杆、所述纵杆、所述底杆为圆柱形且采用钢材，所述横杆、所述纵杆、所述底杆的表面均包裹一层PVC塑料皮。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为本实用新型实施例的立体示意图；

图2为本实用新型实施例的使用状态示意图；

图3为本实用新型实施例的俯视示意图。

侧板100、手提孔110；固定架200、横杆210、纵杆220；底杆300。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

参照图1至3所示，一种ITO平面靶材清洗固定装置，包括侧板100、固定架200、底杆300；侧板100采用两片且分列于两侧，侧板100上部设有手提孔110；固定架200采用两个且上下分层设置，固定架200包括横杆210、纵杆220，横杆210采用两根且相互平行，横杆210的两端分别与侧板100固定连接，纵杆220采用多根，纵杆220排列装于两根横杆210之间；底杆300采用两根且两端固定在侧板100上，两根底杆300位于下层的固定架200下方。

本清洗固定装置使用时,将板状的ITO平面靶材的一端从上固定架200的两根相邻的纵杆220之间插入，再插入下固定架200的两根相邻的纵杆220之间，装载完毕后，通过手提孔110，将装载有ITO平面靶材的本清洗固定装置放进超声清洗池中，浸没在清洗介质中进行清洗工序，清洗完后，ITO平面靶材表面无油渍无粉尘，无崩角，无开裂。

为进一步保护ITO平面靶材，在纵杆220上套有硅胶套。

侧板100采用钢材，横杆210、纵杆220、底杆300为圆柱形且采用钢材，保证清洗固定装置的稳固。

在横杆210、纵杆220、底杆300的表面均包裹一层PVC塑料皮，避免磕碰ITO平面靶材。

上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所述技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。

Claims (4)

1.一种ITO平面靶材清洗固定装置，其特征在于，包括：

侧板(100)，所述侧板(100)采用两片且分列于两侧，所述侧板(100)上部设有手提孔(110)；

固定架(200)，所述固定架(200)采用两个且上下分层设置，所述固定架(200)包括横杆(210)、纵杆(220)，所述横杆(210)采用两根且相互平行，所述横杆(210)的两端分别与所述侧板(100)固定连接，所述纵杆(220)采用多根，所述纵杆(220)排列装于两根所述横杆(210)之间；

底杆(300)，所述底杆(300)采用两根且两端固定在侧板(100)上，两根所述底杆(300)位于下层的所述固定架(200)下方。

2.根据权利要求1所述的一种ITO平面靶材清洗固定装置，其特征在于，所述纵杆(220)上套有硅胶套。

3.根据权利要求1所述的一种ITO平面靶材清洗固定装置，其特征在于，所述侧板(100)采用钢材。

4.根据权利要求1所述的一种ITO平面靶材清洗固定装置，其特征在于，所述横杆(210)、所述纵杆(220)、所述底杆(300)为圆柱形且采用钢材，所述横杆(210)、所述纵杆(220)、所述底杆(300)的表面均包裹一层PVC塑料皮。

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