CN210754110U - 一种用于ito平面靶材清洗防碰撞装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于ITO平面靶材清洗防碰撞装置，将第一隔板嵌入长方体容器的两条相对应的凹槽内，使其平行长方体容器侧面。然后将第二隔板嵌入相邻两个第一隔板上的凹槽内，使其平行于长方体容器的前后面；由此将长方体容器内部空间分割成若干个小的长方体槽，最后将批量ITO平面靶材放入小长方体槽中，再把本装置浸没在清洗池内，进行超声清洗。完成超声清洗后，靶材没有发生碰撞而崩角或开裂现象，靶材表面洁净。
Description
技术领域
本实用新型涉及涉及ITO平面靶材清洗，尤其涉及一种用于ITO平面靶材清洗防碰撞装置。
背景技术
在ITO平面靶材生产过程中,经过磨床和电火花线切割加工成产品规格的ITO平面靶材表面沾附上ITO的粉屑与磨床、线切割设备上的机油，必须彻底清洗上述ITO粉屑和机油并烘干；ITO平面靶材属于陶瓷类产品，具有脆性，在超声清洗过程中，批量的ITO平面靶材同时浸没在清洗介质中，靶材之间由于超声波的振动，相互碰撞则极其容易靶发生崩角或开裂而成为残次品，需要一种专门用于ITO平面靶材清洗防碰撞装置。
实用新型内容
为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种用于ITO平面靶材清洗防碰撞装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种ITO平面靶材清洗防碰撞装置，包括长方体容器，所述长方体容器内装有侧面平行的第一隔板，所述第一隔板至少有两块，所述第一隔板间装有第二隔板；所述长方体容器前后内侧面设有用于安装第一隔板的第一凹槽，所述第一隔板左右侧面上设有用于安装第二隔板的第二凹槽。
作为一个优选项，相邻的所述第一凹槽间的间距为150mm，相邻的所述第二凹槽间的间距为20mm。
作为一个优选项，所述长方体容器底面均匀排布有镂空孔。
作为一个优选项，所述长方体容器、第一隔板、第二隔板均采用PVC材料。
作为一个优选项，所述长方体容器内部长*宽*高为900mm*900mm*300mm。
本实用新型的有益效果是：
本清洗防撞装置使用时，将第一隔板嵌入长方体容器的两条相对应的凹槽内，使其平行长方体容器侧面。然后将第二隔板嵌入相邻两个第一隔板上的凹槽内，使其平行于长方体容器的前后面；由此将长方体容器内部空间分割成若干个小的长方体槽，最后将批量ITO平面靶材放入小长方体槽中，再把本装置浸没在清洗池内，进行超声清洗。完成超声清洗后，靶材没有发生碰撞而崩角或开裂现象，靶材表面洁净。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的长方体容器示意图；
图2是本实用新型的第一隔板示意图；
图3是本实用新型的第二隔板示意图；
图4是本实用新型的实施例一示意图；
图5是本实用新型的实施例二示意图。
具体实施方式
参照图1-图3，一种ITO平面靶材清洗防碰撞装置，包括长方体容器1，长方体容器1内装有第一隔板2，第一隔板2与长方体容器1的侧面平行，即与长方体容器1的高*宽面平行，第一隔板2至少有两块，第一隔板2间装有第二隔板3；长方体容器1前后内侧面设有用于安装第一隔板2的第一凹槽4，第一隔板2的长度与两个位置对应的第一凹槽4间的距离相等，第一隔板2的高度与长方体容器1的高度相等，第一隔板2的厚度稍小于每个凹槽1的宽度，相邻的第一凹槽4间的间距为150mm；第一隔板2左右侧面上设有用于安装第二隔板3的第二凹槽5，相邻的第二凹槽5之间等距离，距离为所清洗靶材厚度的2-3倍，相邻的第二凹槽5间的间距可为20mm，不同第一隔板2上的第二凹槽5间位置相互对应；使用时，将第一隔板2嵌入长方体容器1的两条相对应的凹槽内，使其平行长方体容器1侧面。然后将第二隔板3嵌入相邻两个第一隔板2上的凹槽内，使其平行于长方体容器1的前后面；由此将长方体容器1内部空间分割成若干个小的长方体槽，最后将批量ITO平面靶材放入小长方体槽中，再把本装置浸没在清洗池内，进行超声清洗。完成超声清洗后，靶材没有发生碰撞而崩角或开裂现象，靶材表面洁净。
为使清洗池中的清洗水进入长方体容器1内,并过滤掉清洗出的ITO粉屑，在长方体容器1的底面均匀排布有镂空孔6，长方体容器1、第一隔板2、第二隔板3均采用PVC材料，使本清洗防撞装置轻便耐用，方便从清洗池中取放，长方体容器1内部长*宽*高为900mm*900mm*300mm。
实施例1
参照图4，清洗尺寸为140*280*20mm的靶材，在长方体容器1中，用5块第一隔板2嵌入长方体容器1中，再将44块第二隔板3嵌入第一隔板2之间，第一隔板2与第二隔板3相互垂直，由此将长方体容器1等分成270个小长方体槽。将270块ITO平面靶材分别放入小长方体槽内，再把本装置浸没在清洗池内，进行超声清洗。完成超声清洗后，靶材没有发生碰撞而崩角或开裂现象，靶材表面洁净。
实施例2
参照图5，清洗尺寸为280*280*20mm的靶材，在长方体容器1中，用2块第一隔板2嵌入长方体容器1中，使其等分成3各长方体槽，再将44块第二隔板3嵌入第一隔板2之间，第一隔板2与第二隔板3相互垂直，由此将长方体容器1等分成135个小长方体槽，将135块ITO平面靶材分别放入小长方体槽内，再把本装置浸没在清洗池内，进行超声清洗。完成超声清洗后，靶材没有发生碰撞而崩角或开裂现象，靶材表面洁净。
根据上述原理，本实用新型还可以对上述实施方式进行适当的变更和修改。因此，本实用新型并不局限于上面揭示和描述的具体实施方式，对本实用新型的一些修改和变更也应当落入本实用新型的权利要求的保护范围内。
Claims (5)
1.一种用于ITO平面靶材清洗防碰撞装置，其特征在于，包括长方体容器(1)，所述长方体容器(1)内装有侧面平行的第一隔板(2)，所述第一隔板(2)至少有两块，所述第一隔板(2)间装有第二隔板(3)；所述长方体容器(1)前后内侧面设有用于安装第一隔板(2)的第一凹槽(4)，所述第一隔板(2)左右侧面上设有用于安装第二隔板(3)的第二凹槽(5)。
2.根据权利要求1所述的一种用于ITO平面靶材清洗防碰撞装置，其特征在于，相邻的所述第一凹槽(4)间的间距为150mm，相邻的所述第二凹槽(5)间的间距为20mm。
3.根据权利要求1所述的一种用于ITO平面靶材清洗防碰撞装置，其特征在于，所述长方体容器(1)底面均匀排布有镂空孔(6)。
4.根据权利要求1所述的一种用于ITO平面靶材清洗防碰撞装置，其特征在于，所述长方体容器(1)、第一隔板(2)、第二隔板(3)均采用PVC材料。
5.根据权利要求1所述的一种用于ITO平面靶材清洗防碰撞装置，其特征在于，所述长方体容器(1)内部长*宽*高为900mm*900mm*300mm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201920951198.XU CN210754110U (zh) | 2019-06-21 | 2019-06-21 | 一种用于ito平面靶材清洗防碰撞装置 |
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| CN201920951198.XU CN210754110U (zh) | 2019-06-21 | 2019-06-21 | 一种用于ito平面靶材清洗防碰撞装置 |
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| CN201920951198.XU Active CN210754110U (zh) | 2019-06-21 | 2019-06-21 | 一种用于ito平面靶材清洗防碰撞装置 |
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| CN (1) | CN210754110U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112191610A (zh) * | 2020-09-08 | 2021-01-08 | 韶关市欧莱高新材料有限公司 | 一种ito平面靶材超声波清洗架及其制造方法 |
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2019
- 2019-06-21 CN CN201920951198.XU patent/CN210754110U/zh active Active
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