CN213579269U - 一种先进的测量装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种先进的测量装置,包括:底座、产品摆放台、支撑杆;所述底座为矩形板状结构,且产品摆放台设置在底座的上方;所述支撑杆安装在产品摆放台的一侧,且支撑杆与底座通过插接方式连接;所述横梁的一端套入安装在支撑杆上,且横梁与支撑杆通过第一锁紧旋钮锁紧固定;所述第一锁紧旋钮安装在横梁一端的前侧,且第一锁紧旋钮与横梁拧接连接;所述拉杆插接安装在横梁的另一端,且拉杆与横梁通过第二锁紧旋钮锁紧固定;本实用新型通过对先进的测量装置的改进,具有结构设计合理,实现了一次性测量四周及中间五个位置的厚度,测量时无需移动产品,方便操作、便于测量的优点,从而有效的解决了本实用新型提出的问题和不足。
Description
技术领域
本实用新型涉及芯片制造技术领域,更具体的说,尤其涉及一种先进的测量装置。
背景技术
在芯片制造过程中,COW厚片(研磨切割之前)在研磨过程中的厚度,需要每片监控,并且需要监控五个位置(上中下左右),但现有测量装置只能对单独一位置的厚度进行测量,测量五个位置需要来回移动产品并记录数据,操作流程较为繁琐,在使用时存在诸多不便。
有鉴于此,针对现有的问题予以研究改良,提供一种先进的测量装置,旨在通过该技术,达到解决问题与提高实用价值性的目的。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种先进的测量装置,以解决上述背景技术中提出的问题和不足。
为实现上述目的,本实用新型提供了一种先进的测量装置,由以下具体技术手段所达成:
一种先进的测量装置,包括:底座、产品摆放台、支撑杆、横梁、第一锁紧旋钮、第二锁紧旋钮、拉杆、手柄、支架、第三锁紧旋钮、厚度测试仪;所述底座为矩形板状结构,且产品摆放台设置在底座的上方;所述支撑杆安装在产品摆放台的一侧,且支撑杆与底座通过插接方式连接;所述横梁的一端套入安装在支撑杆上,且横梁与支撑杆通过第一锁紧旋钮锁紧固定;所述第一锁紧旋钮安装在横梁一端的前侧,且第一锁紧旋钮与横梁拧接连接;所述拉杆插接安装在横梁的另一端,且拉杆与横梁通过第二锁紧旋钮锁紧固定;所述第二锁紧旋钮安装在横梁另一端的前侧,且第二锁紧旋钮与横梁拧接连接;所述手柄通过螺栓固定安装在拉杆的顶端;所述支架安装在拉杆的底部,且支架与拉杆通过插接方式连接;所述厚度测试仪插接安装在支架上,且厚度测试仪与支架通过第三锁紧旋钮锁紧固定;所述第三锁紧旋钮与支架通过拧接方式连接。
作为本技术方案的进一步优化,本实用新型一种先进的测量装置所述横梁为两端呈圆形的矩形板状结构,且横梁的一端开设有用于容纳支撑杆的圆孔,横梁的另一端开设有用于容纳拉杆的方孔。
作为本技术方案的进一步优化,本实用新型一种先进的测量装置所述拉杆为横截面呈矩形的杆状结构,且拉杆插接安装在横梁上设置为滑动装置。
作为本技术方案的进一步优化,本实用新型一种先进的测量装置所述支架的整体外观呈十字形,且支架的四周及中间位置共开设有五处用于容纳厚度测试仪的圆孔,并且厚度测试仪的底部通过所述圆孔贯穿支架。
作为本技术方案的进一步优化,本实用新型一种先进的测量装置所述第一锁紧旋钮、第二锁紧旋钮、第三锁紧旋钮均为手柄螺栓,且第一锁紧旋钮的端部贯穿横梁与支撑杆抵接,第二锁紧旋钮的端部贯穿横梁与拉杆抵接,第三锁紧旋钮的端部贯穿支架与厚度测试仪抵接连接。
由于上述技术方案的运用,本实用新型与现有技术相比具有下列优点:
1、本实用新型横梁为两端呈圆形的矩形板状结构,且横梁的一端开设有用于容纳支撑杆的圆孔,横梁的另一端开设有用于容纳拉杆的方孔,拉杆为横截面呈矩形的杆状结构,且拉杆插接安装在横梁上设置为滑动装置的设置,横梁通过套入方式安装在支撑杆上滑动实现升降,能灵活调整横梁与产品摆放台之间的距离,而拉杆通过滑动实现支架的升降,使厚度测试仪下降与工件接触实现厚度的测量。
2、本实用新型支架的整体外观呈十字形,且支架的四周及中间位置共开设有五处用于容纳厚度测试仪的圆孔,并且厚度测试仪的底部通过所述圆孔贯穿支架的设置,能同时安装五处厚度测试仪,实现了一次性测量四周及中间五个位置的厚度,无需移动产品,方便操作、便于测量。
3、本实用新型第一锁紧旋钮、第二锁紧旋钮、第三锁紧旋钮均为手柄螺栓,且第一锁紧旋钮的端部贯穿横梁与支撑杆抵接,第二锁紧旋钮的端部贯穿横梁与拉杆抵接,第三锁紧旋钮的端部贯穿支架与厚度测试仪抵接连接的设置,方便调节横梁高度、便于固定拉杆、便于厚度测试仪的安装与拆卸。
4、本实用新型通过对先进的测量装置的改进,具有结构设计合理,实现了一次性测量四周及中间五个位置的厚度,测量时无需移动产品,方便操作、便于测量的优点,从而有效的解决了本实用新型提出的问题和不足。
附图说明
构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为本实用新型的支架结构示意图。
图中:底座1、产品摆放台2、支撑杆3、横梁4、第一锁紧旋钮5、第二锁紧旋钮6、拉杆7、手柄8、支架9、第三锁紧旋钮10、厚度测试仪11。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
需要说明的是,在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上;术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
同时,在本实用新型的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电性连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
请参见图1至图2,本实用新型提供一种先进的测量装置的具体技术实施方案:
一种先进的测量装置,包括:底座1、产品摆放台2、支撑杆3、横梁4、第一锁紧旋钮5、第二锁紧旋钮6、拉杆7、手柄8、支架9、第三锁紧旋钮10、厚度测试仪11;底座1为矩形板状结构,且产品摆放台2设置在底座1的上方;支撑杆3安装在产品摆放台2的一侧,且支撑杆3与底座1通过插接方式连接;横梁4的一端套入安装在支撑杆3上,且横梁4与支撑杆3通过第一锁紧旋钮5锁紧固定;第一锁紧旋钮5安装在横梁4一端的前侧,且第一锁紧旋钮5与横梁4拧接连接;拉杆7插接安装在横梁4的另一端,且拉杆7与横梁4通过第二锁紧旋钮6锁紧固定;第二锁紧旋钮6安装在横梁4另一端的前侧,且第二锁紧旋钮6与横梁4拧接连接;手柄8通过螺栓固定安装在拉杆7的顶端;支架9安装在拉杆7的底部,且支架9与拉杆7通过插接方式连接;厚度测试仪11插接安装在支架9上,且厚度测试仪11与支架9通过第三锁紧旋钮10锁紧固定;第三锁紧旋钮10与支架9通过拧接方式连接。
具体的,横梁4为两端呈圆形的矩形板状结构,且横梁4的一端开设有用于容纳支撑杆3的圆孔,横梁4的另一端开设有用于容纳拉杆7的方孔。
具体的,拉杆7为横截面呈矩形的杆状结构,且拉杆7插接安装在横梁4上设置为滑动装置。
具体的,支架9的整体外观呈十字形,且支架9的四周及中间位置共开设有五处用于容纳厚度测试仪11的圆孔,并且厚度测试仪11的底部通过圆孔贯穿支架9。
具体的,第一锁紧旋钮5、第二锁紧旋钮6、第三锁紧旋钮10均为手柄螺栓,且第一锁紧旋钮5的端部贯穿横梁4与支撑杆3抵接,第二锁紧旋钮6的端部贯穿横梁4与拉杆7抵接,第三锁紧旋钮10的端部贯穿支架9与厚度测试仪11抵接连接。
具体实施步骤:
首先松开第二锁紧旋钮6,握住手柄8,向上拽动拉杆7,使支架9上升,然后拧紧第二锁紧旋钮6顶紧拉杆7,对支架9的高度进行固定,然后松开第三锁紧旋钮10,将五个厚度测试仪11安装到支架9上,调整厚度测试仪11的朝向及角度,然后拧紧第三锁紧旋钮10对厚度测试仪11进行固定,固定完毕后,将工件放置到产品摆放台2上,松开第二锁紧旋钮6,支架9下降滑动,厚度测试仪11的底部与工件接触,测量出工件四周及中间的厚度,记录数据即可。
综上所述:该一种先进的测量装置,通过横梁为两端呈圆形的矩形板状结构,且横梁的一端开设有用于容纳支撑杆的圆孔,横梁的另一端开设有用于容纳拉杆的方孔,拉杆为横截面呈矩形的杆状结构,且拉杆插接安装在横梁上设置为滑动装置的设置,横梁通过套入方式安装在支撑杆上滑动实现升降,能灵活调整横梁与产品摆放台之间的距离,而拉杆通过滑动实现支架的升降,使厚度测试仪下降与工件接触实现厚度的测量;通过支架的整体外观呈十字形,且支架的四周及中间位置共开设有五处用于容纳厚度测试仪的圆孔,并且厚度测试仪的底部通过所述圆孔贯穿支架的设置,能同时安装五处厚度测试仪,实现了一次性测量四周及中间五个位置的厚度,无需移动产品,方便操作、便于测量。
3、本实用新型第一锁紧旋钮、第二锁紧旋钮、第三锁紧旋钮均为手柄螺栓,且第一锁紧旋钮的端部贯穿横梁与支撑杆抵接,第二锁紧旋钮的端部贯穿横梁与拉杆抵接,第三锁紧旋钮的端部贯穿支架与厚度测试仪抵接连接的设置,方便调节横梁高度、便于固定拉杆、便于厚度测试仪的安装与拆卸。
4、本实用新型通过对先进的测量装置的改进,具有结构设计合理,实现了一次性测量四周及中间五个位置的厚度,测量时无需移动产品,方便操作、便于测量的优点,从而有效的解决了本实用新型提出的问题和不足。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种先进的测量装置,包括:底座(1)、产品摆放台(2)、支撑杆(3)、横梁(4)、第一锁紧旋钮(5)、第二锁紧旋钮(6)、拉杆(7)、手柄(8)、支架(9)、第三锁紧旋钮(10)、厚度测试仪(11);其特征在于:所述底座(1)为矩形板状结构,且产品摆放台(2)设置在底座(1)的上方;所述支撑杆(3)安装在产品摆放台(2)的一侧,且支撑杆(3)与底座(1)通过插接方式连接;所述横梁(4)的一端套入安装在支撑杆(3)上,且横梁(4)与支撑杆(3)通过第一锁紧旋钮(5)锁紧固定;所述第一锁紧旋钮(5)安装在横梁(4)一端的前侧,且第一锁紧旋钮(5)与横梁(4)拧接连接;所述拉杆(7)插接安装在横梁(4)的另一端,且拉杆(7)与横梁(4)通过第二锁紧旋钮(6)锁紧固定;所述第二锁紧旋钮(6)安装在横梁(4)另一端的前侧,且第二锁紧旋钮(6)与横梁(4)拧接连接;所述手柄(8)通过螺栓固定安装在拉杆(7)的顶端;所述支架(9)安装在拉杆(7)的底部,且支架(9)与拉杆(7)通过插接方式连接;所述厚度测试仪(11)插接安装在支架(9)上,且厚度测试仪(11)与支架(9)通过第三锁紧旋钮(10)锁紧固定;所述第三锁紧旋钮(10)与支架(9)通过拧接方式连接。
2.根据权利要求1所述的一种先进的测量装置,其特征在于:所述横梁(4)为两端呈圆形的矩形板状结构,且横梁(4)的一端开设有用于容纳支撑杆(3)的圆孔,横梁(4)的另一端开设有用于容纳拉杆(7)的方孔。
3.根据权利要求1所述的一种先进的测量装置,其特征在于:所述拉杆(7)为横截面呈矩形的杆状结构,且拉杆(7)插接安装在横梁(4)上设置为滑动装置。
4.根据权利要求1所述的一种先进的测量装置,其特征在于:所述支架(9)的整体外观呈十字形,且支架(9)的四周及中间位置共开设有五处用于容纳厚度测试仪(11)的圆孔,并且厚度测试仪(11)的底部通过所述圆孔贯穿支架(9)。
5.根据权利要求1所述的一种先进的测量装置,其特征在于:所述第一锁紧旋钮(5)、第二锁紧旋钮(6)、第三锁紧旋钮(10)均为手柄螺栓,且第一锁紧旋钮(5)的端部贯穿横梁(4)与支撑杆(3)抵接,第二锁紧旋钮(6)的端部贯穿横梁(4)与拉杆(7)抵接,第三锁紧旋钮(10)的端部贯穿支架(9)与厚度测试仪(11)抵接连接。
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