CN213576138U - 转接组件和气相沉积设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种转接组件和气相沉积设备，其中，转接组件包括承载架；连接部，连接部设置于承载架上，连接部上设置有多个连接件；液体分配组件，液体分配组件通过连接件与连接部相连接；气体分配组件，气体分配组件通过连接件与连接部相连接。本实用新型提供的转接组件，实现了将液体分配组件和气体分配组件的集中布置，进而实现了通过转接组件对液体分配组件和气体分配组件的集中转接，从而使得在对设备进行安装时，无需针对气体或液体传输管路和分配组件进行单独布置与安装，直接将液体和气体的传输接口连接于液体分配组件以及气体分配组件的入口，即可实现液体和气体分配管路的安装布置，简化了设备的安装过程，降低了安装成本。

Description

转接组件和气相沉积设备

技术领域

本实用新型涉及工程设备技术领域，具体而言，涉及一种转接组件和一种气相沉积设备。

背景技术

相关技术中，气相沉积设备中的多个元件均需要冷却液体对其冷却，或者需要压缩空气为其提供动力，因此在安装设备时，需要提供多条气体或液体传输管路，同时配备多个气体或液体传输所需的元器件，导致设备装配过程中线路的布置与安装复杂，安装成本也比较高。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型的第一目的在于提供一种转接组件。

本实用新型的第二目的在于提供一种气相沉积设备。

为有鉴于此，本实用新型的第一方面提供了转接组件，包括：承载架；连接部，连接部设置于承载架上，连接部上设置有多个连接件；液体分配组件，液体分配组件通过连接件与连接部相连接；气体分配组件，气体分配组件通过连接件与连接部相连接。

本实用新型提供的转接组件，包括承载架和连接部，其中，连接部设置于承载架上，以使承载架对连接部起到固定作用，连接部上还设置有多个连接件；进一步地，转接组件还包括液体分配组件和气体分配组件，液体分配组件和气体分配组件均通过连接件与连接部相连接，以实现液体分配组件与气体分配组件集中于连接部上，进而实现了通过转接组件对气体以及液体分配组件的集中转接。

本实用新型提供的转接组件，将液体分配组件和气体分配组件通过连接件与连接部相连接，同时，将连接部设置于承载架上，从而实现了将液体分配组件和气体分配组件的集中布置，进而实现了通过转接组件对液体分配组件和气体分配组件的集中转接，从而使得在对设备进行安装时，无需针对气体或液体传输管路和分配组件进行单独布置与安装，直接将液体和气体的传输接口连接于液体分配组件以及气体分配组件的入口，即可实现液体和气体分配管路的安装布置，简化了设备的安装过程，降低了安装成本。同时，转接组件无需固定在特定位置，可以自由移动，从而使得液体和气体管路的位置安排更加灵活，进一步地提高了设备安装的灵活性，方便设备安装。

另外，本实用新型提供的上述实施例中的转接组件还可以具有如下附加技术特征：

在上述技术方案中，进一步地，连接部包括：连接板，连接板与承载架相连接；多个连接件分别设置于连接板的不同位置。

在该技术方案中，连接部可以为与承载架相连接的连接板，同时将多个连接件设置于连接板上的不同位置，从而使得液体分配组件和气体分配组件可以同时连接于连接板上，并且不会对彼此造成影响，进一步保证了设备的液体分配和气体分配的稳定。具体地，多个连接件可以设置于连接板同一侧的不同位置，以使得液体分配组件和气体分配组件在连接板上依次有序排列，以方便工作人员进行操作，多个连接件也可以根据设备的结构分别设置于连接板的两侧，从而便于液体分配组件和气体分配组件的连接，以提高安装的灵活性。

在上述任一技术方案中，进一步地，液体分配组件包括：第一管体，第一管体上设置有多个出液口；第一阀门，第一阀门设置于出液口上。

在该技术方案中，液体分配组件可以包括第一管体，通过第一管体实现液体的传输，进一步地，在第一管体上设置有多个出液口，从而使得液体在流经第一管体之后根据设备的具体需有对液体进行进一步的分配。具体地，当出液口不启用时，可以通过封液盖将出液口密封，当出液口启用时，在每个出液口上均可以设置第一阀门，并在第一阀门上连接外接管路，通过调节第一阀门实现出液口的开启与关闭，同时还可以通过调节第一阀门开口的大小来调节出液口排出液体的流量，以满足设备的需求。

进一步地，在第一管体的入口处，可以设置连接法兰，通过法兰将设备的液体输入管路与液体分配组件相连接，以实现液体的引入。安装过程简单成本低廉。

在上述任一技术方案中，进一步地，液体分配组件还包括：第二阀门，设置于第一管体的入口与出液口之间；过滤器，设置于第二阀门与出液口之间；压力表，设置于第一管体上；温度表，设置于第一管体上。

在该技术方案中，通过设置于第一管体入口与出液口之间的第二阀门，可以实现通过对第二阀门进行调节，以实现液体输入管路与第一管体之间的通断，以及调节液体进入液体分配组件的流量的大小。进一步地，通过在第一管体上设置过滤器，可以对流入液体分配组件的液体进行过滤，去除其中的杂质，从而避免对管体内部造成堵塞，保证转接组件的稳定性。进一步地，在第一管体上还可以设置有压力表和温度表，用于对第一管体内的液体的压力和温度进行监测，防止压力或温度过高造成液体分配组件运行故障，保证转接组件的稳定性。进一步地，第一管体上还可以设置有报警元件，并且将报警元件与温度表和压力表相连接，在温度表或压力表的示值超过预设阈值时，报警元件发出报警信息，以提示相关操作人员及时调整第一管体内液体的压力或温度，进一步避免了转接组件在运行过程中发生故障。

进一步地，通过在第一管体上设置第二阀门、过滤器、压力表以及温度表等元器件，可以使得设备安装时，直接将液体输入主管道连接于第一管体上即可，无需在单独配备液体传输的相关元器件，进一步地简化了设备的安装过程。

在上述任一技术方案中，进一步地，气体分配组件包括：第二管体；分气块，与第二管体连通，分气块上设置有多个出气口；连接头，设置于出气口上。

在该技术方案中，气体分配组件可以包括第二管道和与第二管道相连通的分气块，具体地，设备运行时所需的气体可以通过第二管道传输至分气块内，在经过分气块的分配，通过分气块上的多个出气口分别传输至设备的不同位置，从而实现了气体的分配。进一步地，每个出气口上还可以设置有连接头，通过连接头将分气块的出气口与气体传输管道相连接，以便进一步对气体进行传输分配。具体地，连接头可以采用快接插头，进一步方便了气体传输管道的连接。

在上述任一技术方案中，进一步地，气体分配组件还包括：第三阀门，设置于第二管体的入口与分气块之间；调压阀，设置于第三阀门与分气块之间；油雾分离器，设置于调压阀与分气块之间。

在该技术方案中，通过在第二管体的入口与分气块之间设置第三阀门，可以实现通过调节第三阀门的通断来实现气体输入管路与第二管体之间的通断，同时，还可以通过调节第三阀门开口的大小，来调节气体传输的流量。进一步地，可以通过设置于第二管体上的调压阀，实现对第二管体内气体压力值的调节与监测显示，避免第二管体内气体压力过大导致转接组件出现故障。进一步地，通过在第二管体上设置油雾分离器，可以实现对第二管体中气体中水或者油等杂质的过滤，避免杂质对第二管体本身或者各个连接处造成腐蚀，增加了转接组件的使用寿命。进一步地，还可以在第二管体上设置报警元件，并且将报警元件与调压阀相连接，在调压阀所显示的气体压力值超过预设阈值时，报警元件发出报警，以提示相关操作人员及时调节第二管体内气体的压力值，避免造成转接组件发生故障。

进一步地，通过在第二管体上设置第三阀门、调压阀以及油雾分离器等元器件，可以使得设备安装时，直接将液体输入主管道连接于第一管体上即可，无需在单独配备液体传输的相关元器件，进一步地简化了设备的安装过程。

在上述任一技术方案中，进一步地，液体分配组件的数量为至少一套；气体分配组件的数量为至少一套。

在该技术方案中，转接组件中的液体分配组件和气体分配组件的数量均可以为一套或一套以上，并且，多套液体分配组件和气体分配组件均通过连接件连接于连接板的不同位置，从而可以适应不同设备对于液体分配和气体分配的不同需求，提高了转接组件的通用性。

在上述任一技术方案中，进一步地，转接组件还包括壳体，设置于承载架的外部；连接部、液体分配组件和气体分配组件均位于壳体内；滚轮，设置于壳体的底壁；地脚，设置于壳体的底壁，地脚为可伸缩结构。

在该技术方案中，通过设置于承载架外部的壳体，将转接组件的连接部、液体分配组件和气体分配组件置于壳体内部，从而防止外界环境中的灰尘等杂质对传输管道或各种元器件造成腐蚀，影响转接组件的使用寿命。进一步地，在壳体的底部可以设置滚轮，从而可以通过滚轮实现转接组件的自由移动，进一步提高了转接组件的灵活性。进一步地，在壳体的底部还可以设置有地脚，通过地脚可以实现对于转接组件的支撑，同时，在地脚的支撑作用下，防止转接组件自行移动，保证转接组件工作过程中的稳定性。进一步地，地脚可以设置为可伸缩结构，具体地，地脚的支撑杆可以设置为多段杆体，每段杆体可伸缩的设置于相邻杆体内，从而实现了递交的可伸缩设置，在地脚伸出时，通过地脚对转接组件进行支撑，当递交缩回时，则可以通过设置于壳体底部的滚轮对转接组件进行支撑，并可以实现转接组件的自由移动。

在上述任一技术方案中，进一步地，壳体包括：安装孔，设置于壳体的侧壁；第一预留孔，第一预留孔与第一管体的入口相对；第二预留孔，第二预留孔与第二管体的入口相对。

在该技术方案中，通过在转接组件壳体的侧壁上设置安装孔，可以通过安装孔将转接组件安装于设备的相关位置，或者通过安装孔将转接组件安装于设备所在区域的其他相关位置，以实现转接组件的固定。进一步地，壳体上还可以设置有第一预留孔，第一预留孔与第一管体的入口相对，从而使得液体输入管路可以通过第一预留孔与第一管体相连通；进一步地，壳体上还可以设置有第二预留孔，使得气体输入管路可以通过第二预留孔与第二管体相连通，以实现与液体和气体管道的连接。

根据本实用新型的第二方面，还提出了一种气相沉积设备，包括：如上述技术方案中任一项的转接组件。

本实用新型提供的气相沉积设备，因包括上述任一技术方案的转接组件，因此具有该转接组件的全部有益效果，在此不再赘述。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为本实用新型第一个实施例提供的转接组件的结构示意图；

图2为图1中示出的转接组件的主视图；

图3为图1中示出的转接组件的左视图；

图4为图1中示出的转接组件的右视图；

图5为图1中示出的转接组件的仰视图；

图6为图1中示出的转接组件的俯视图；

图7为本实用新型第二个实施例提供的转接组件的结构示意图；

图8为图7中示出的转接组件的主视图；

图9为图7中示出的转接组件的左视图；

图10为图7中示出的转接组件的右视图；

图11为图7中示出的转接组件的仰视图；

图12为图7中示出的转接组件的俯视图；

图13为本实用新型第一个实施例提供的转接组件中液体分配组件的结构示意图；

图14为本实用新型的第二个实施例提供的转接组件中液体分配组件的结构示意图；

图15为本实用新型第一个实施例提供的转接组件中气体分配组件的结构示意图；

图16为本实用新型的第二个实施例提供的转接组件中气体分配组件的结构示意图；

图17为本实用新型第三个实施例提供的转接组件的结构示意图；

图18为图17中示出的转接组件的主视图；

图19为图17中示出的转接组件的左视图；

图20为图17中示出的转接组件的右视图；

图21为图17中示出的转接组件的仰视图；

图22为图17中示出的转接组件的俯视图；

图23为图7示出的转接组件中壳体的结构示意图；

图24为图23中示出的壳体的主视图；

图25为图23中示出的壳体的左视图；

图26为图23中示出的壳体的右视图；

图27为图23中示出的壳体的仰视图；

图28为图23中示出的壳体的俯视图；

图29为图1示出的转接组件中承载架的结构示意图。

其中，图1至图29中附图标记与部件名称之间的对应关系为：

100转接组件，110承载架，120连接部，130液体分配组件，1302第一管体，1304第一阀门，1306第二阀门，1308过滤器，1310压力表，1312温度表，1314出液口，140气体分配组件，1402第二管体，1404分气块，1406连接头，1408第三阀门，1410调压阀，1412油雾分离器，150壳体，1502安装孔，1504第一预留孔，1506第二预留孔，160滚轮，170地脚。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

下面参照附图1至图29描述本实用新型一些实施例的转接组件和气相沉积设备。

实施例一

如图1至图7、图29示，本实用新型的第一方面提供了一种转接组件100，包括承载架110和连接部120，其中，连接部120设置于承载架110上，连接部120上还设置有多个连接件；转接组件100还包括液体分配组件130和气体分配组件，液体分配组件130和气体分配组件均通过连接件与连接部120相连接。具体地，承载架110对连接部120起到固定作用，通过将液体分配组件130与气体分配组件140通过连接件与连接部120相连接，以实现液体分配组件130与气体分配组件140集中于连接部120上，进而实现了通过转接组件100对气体以及液体分配组件130的集中转接。

本实用新型提供的转接组件100，将液体分配组件130和气体分配组件140通过连接件与连接部120相连接，同时，将连接部120设置于承载架110上，从而实现了将液体分配组件130和气体分配组件140的集中布置，进而实现了通过转接组件100对液体分配组件130和气体分配组件140的集中转接，从而使得在对设备进行安装时，无需针对气体或液体传输管路和分配组件进行单独布置与安装，直接将液体和气体的传输接口连接于液体分配组件130以及气体分配组件140的入口，即可实现液体和气体分配管路的安装布置，简化了设备的安装过程，降低了安装成本。同时，转接组件100无需固定在特定位置，可以自由移动，从而使得液体和气体管路的位置安排更加灵活，进一步地提高了设备安装的灵活性，方便设备安装。

进一步地，连接部120包括：连接板，连接板与承载架110相连接；多个连接件分别设置于连接板的不同位置。

具体地，连接部120可以为与承载架110相连接的连接板，同时将多个连接件设置于连接板上的不同位置，从而使得液体分配组件130和气体分配组件140可以同时连接于连接板上，并且不会对彼此造成影响，进一步保证了设备的液体分配和气体分配的稳定。具体地，多个连接件可以设置于连接板同一侧的不同位置，以使得液体分配组件130和气体分配组件140在连接板上依次有序排列，以方便工作人员进行操作，多个连接件也可以根据设备的结构分别设置于连接板的两侧，从而便于液体分配组件130和气体分配组件140的连接，以提高安装的灵活性。

实施例二

在上述实施例的基础上，如图1、图2、图3、图13和图14所示，液体分配组件130包括：第一管体1302，第一管体1302上设置有多个出液口1314；第一阀门1304，第一阀门1304设置于出液口1314上。

在该实施例中，液体分配组件130可以包括第一管体1302，通过第一管体1302实现液体的传输，进一步地，在第一管体1302上设置有多个出液口出液口1314，从而使得液体在流经第一管体1302之后根据设备的具体需有对液体进行进一步的分配。具体地，当出液口1314不启用时，可以通过封液盖将出液口1314密封，当出液口1314启用时，在每个出液口1314上设置第一阀门1304，并在第一阀门上连接外接管路，通过调节第一阀门1304实现出液口出液口1314的开启与关闭，同时还可以通过调节第一阀门1304开口的大小来调节出液口出液口1314排出液体的流量，以满足设备的需求。

进一步地，在第一管体1302的入口处，可以设置连接法兰，通过法兰将设备的液体输入管路与液体分配组件130相连接，以实现液体的引入。安装过程简单成本低廉。

进一步地，液体分配组件130还包括：第二阀门1306，设置于第一管体1302的入口与出液口1314之间；过滤器1308，设置于第二阀门1306与出液口1314之间；压力表1310，设置于第一管体1302上；温度表1312，设置于第一管体1302上。

具体地，通过设置于第一管体1302入口与出液口1314之间的第二阀门1306，可以实现通过对第二阀门1306进行调节，以实现液体输入管路与第一管体1302之间的通断，以及调节液体进入液体分配组件130的流量的大小。进一步地，通过在第一管体1302上设置过滤器1308，可以对流入液体分配组件130的液体进行过滤，去除其中的杂质，从而避免对管体内部造成堵塞，保证转接组件100的稳定性。进一步地，在第一管体1302上还可以设置有压力表1310和温度表1312，用于对第一管体1302内的液体的压力和温度进行监测，防止压力或温度过高造成液体分配组件130运行故障，保证转接组件100的稳定性。进一步地，第一管体1302上还可以设置有报警元件，并且将报警元件与温度表1312和压力表1310相连接，在温度表1312或压力表1310的示值超过预设阈值时，报警元件发出报警信息，以提示相关操作人员及时调整第一管体1302内液体的压力或温度，进一步避免了转接组件100在运行过程中发生故障。

进一步地，通过在第一管体1302上设置第二阀门1306、过滤器1308、压力表1310以及温度表1312等元器件，可以使得设备安装时，直接将液体输入主管道连接于第一管体1302上即可，无需在单独配备液体传输的相关元器件，进一步地简化了设备的安装过程。

实施例三

在上述任一实施例的基础上，如图1、图4、图5、图6、图15和图16所示，气体分配组件140包括：第二管体1402；分气块1404，与第二管体1402连通，分气块1404上设置有多个出气口；连接头1406，设置于出气口上。

在该实施例中，气体分配组件140可以包括第二管道和与第二管道相连通的分气块1404，具体地，设备运行时所需的气体可以通过第二管道传输至分气块1404内，在经过分气块1404的分配，通过分气块1404上的多个出气口分别传输至设备的不同位置，从而实现了气体的分配。进一步地，每个出气口上还可以设置有连接头1406，通过连接头1406将分气块1404的出气口与气体传输管道相连接，以便进一步对气体进行传输分配。具体地，连接头1406可以采用快接插头，进一步方便了气体传输管道的连接。

进一步地，气体分配组件140还包括：第三阀门1408，设置于第二管体1402的入口与分气块1404之间；调压阀1410，设置于第三阀门1408与分气块1404之间；油雾分离器1412，设置于调压阀1410与分气块1404之间。

具体地，通过在第二管体1402的入口与分气块1404之间设置第三阀门1408，可以实现通过调节第三阀门1408的通断来实现气体输入管路与第二管体1402之间的通断，同时，还可以通过调节第三阀门1408开口的大小，来调节气体传输的流量。进一步地，可以通过设置于第二管体1402上的调压阀1410，实现对第二管体1402内气体压力值的调节与监测显示，避免第二管体1402内气体压力过大导致转接组件100出现故障。进一步地，通过在第二管体1402上设置油雾分离器1412，可以实现对第二管体1402中气体中水或者油等杂质的过滤，避免杂质对第二管体1402本身或者各个连接处造成腐蚀，增加了转接组件100的使用寿命。进一步地，还可以在第二管体1402上设置报警元件，并且将报警元件与调压阀1410相连接，在调压阀1410所显示的气体压力值超过预设阈值时，报警元件发出报警，以提示相关操作人员及时调节第二管体1402内气体的压力值，避免造成转接组件100发生故障。

进一步地，通过在第二管体1402上设置第三阀门1408、调压阀1410以及油雾分离器1412等元器件，可以使得设备安装时，直接将液体输入主管道连接于第一管体1302上即可，无需在单独配备液体传输的相关元器件，进一步地简化了设备的安装过程。

实施例四

在上述任一实施例的基础上，如图1和图7所示，液体分配组件130的数量为至少一套；气体分配组件140的数量为至少一套。

在该实施例中，转接组件100中的液体分配组件130和气体分配组件140的数量均可以为一套或两一以上，并且，多套液体分配组件130和气体分配组件140均通过连接件连接于连接板的不同位置，从而可以适应不同设备对于液体分配和气体分配的不同需求，提高了转接组件100的通用性。

实施例五

在上述任一实施例的基础上，如图7、图8、图9、图10、图11、图12、图23、图24、图25、图26、图27、图28所示，转接组件100还包括壳体150，设置于承载架110的外部；连接部120、液体分配组件130和气体分配组件140均位于壳体150内；滚轮160，设置于壳体150的底壁；地脚170，设置于壳体150的底壁，地脚170为可伸缩结构。

在该实施例中，通过设置于承载架110外部的壳体150，将转接组件100的连接部120、液体分配组件130和气体分配组件140置于壳体150内部，从而防止外界环境中的灰尘等杂质对传输管道或各种元器件造成腐蚀，影响转接组件100的使用寿命。进一步地，在壳体150的底部可以设置滚轮160，从而可以通过滚轮160实现转接组件100的自由移动，进一步提高了转接组件100的灵活性。进一步地，在壳体150的底部还可以设置有地脚170，通过地脚170可以实现对于转接组件100的支撑，同时，在地脚170的支撑作用下，防止转接组件100自行移动，保证转接组件100工作过程中的稳定性。进一步地，地脚170可以设置为可伸缩结构，具体地，地脚170的支撑杆可以设置为多段杆体，每段杆体可伸缩的设置于相邻杆体内，从而实现了递交的可伸缩设置，在地脚170伸出时，通过地脚170对转接组件100进行支撑，当递交缩回时，则可以通过设置于壳体150底部的滚轮160对转接组件100进行支撑，并可以实现转接组件100的自由移动。

进一步地，壳体150包括：安装孔1502，设置于壳体150的侧壁；第一预留孔1504，第一预留孔1504与第一管体1302的入口相对；第二预留孔1506，第二预留孔1506与第二管体1402的入口相对。

具体地，通过在转接组件100壳体150的侧壁上设置安装孔1502，可以通过安装孔1502将转接组件100安装于设备的相关位置，或者通过安装孔1502将转接组件100安装于设备所在区域的其他相关位置，以实现转接组件100的固定。进一步地，壳体150上还可以设置有第一预留孔1504，第一预留孔1504与第一管体1302的入口相对，从而使得液体输入管路可以通过第一预留孔1504与第一管体1302相连通；进一步地，壳体150上还可以设置有第二预留孔1506，使得气体输入管路可以通过第二预留孔1506与第二管体1402相连通，以实现与液体和气体管道的连接。

实施例六

根据本实用新型的第二方面，还提出了一种气相沉积设备，包括：如上述实施例中任一项的转接组件100。

本实用新型提供的气相沉积设备，因包括上述任一实施例的转接组件100，因此具有该转接组件100的全部有益效果，在此不再赘述。

实施例七

在具体实施例中，本实用新型提供了一种转接组件100，包括承载架110和连接部120，其中，连接部120设置于承载架110上，连接部120上还设置有多个连接件；转接组件100还包括液体分配组件130和气体分配组件140，液体分配组件130和气体分配组件140均通过连接件与连接部120相连接。具体地，承载架110可以为框架结构，可由不同的杆件相互连接而组成的空间结构，杆件包括横杆和竖杆，连接方式可以为固定连接(焊接)或活动连接(螺钉)，连接部120件可设置在杆件上。

进一步地，液体分配组件130可以分为冷却水进分配系统组件、冷却水回分配系统组件；气体分配组件140可以分为压缩空气分配系统组件、氮气分配系统组件。

具体地，液体分配组件130可以包括第一管体1302、第一阀门1304、第二阀门1306、过滤器1308、法兰、压力表1310和温度表1312，第一管体1302上设置有多个出液口1314，第一阀门1304设置于出液口1314上。通过法兰将设备的液体输入管路与液体分配组件130相连接，通过设置于第一管体1302入口与出液口1314之间的第二阀门1306，可以实现通过对第二阀门1306进行调节，以实现液体输入管路与第一管体1302之间的通断，以及调节液体进入液体分配组件130的流量的大小。进一步地，通过在第一管体1302上设置过滤器1308，可以对流入液体分配组件130的液体进行过滤，去除其中的杂质，从而避免对管体内部造成堵塞，保证转接组件100的稳定性。进一步地，在第一管体1302上还可以设置有压力表1310和温度表1312，用于对第一管体1302内的液体的压力和温度进行监测，防止压力或温度过高造成液体分配组件130运行故障，保证转接组件100的稳定性。进一步地，第一管体1302上还可以设置有报警元件，并且将报警元件与温度表1312和压力表1310相连接，在温度表1312或压力表1310的示值超过预设阈值时，报警元件发出报警信息，以提示相关操作人员及时调整第一管体1302内液体的压力或温度，进一步避免了转接组件100在运行过程中发生故障。

进一步地，气体分配组件140可以包括：第二管体1402、分气块1404、连接头1406、第三阀门1408、调压阀1410以及油雾分离器1412。具体地，分气块1404与第二管体1402连通，分气块1404上设置有多个出气口，连接头1406设置于出气口上。第三阀门1408设置于第二管体1402的入口与分气块1404之间，调压阀1410设置于第三阀门1408和分气块1404之间，油雾分离器1412设置于调压阀1410与分气块1404之间。通过在第二管体1402的入口与分气块1404之间设置第三阀门1408，可以实现通过调节第三阀门1408的通断来实现气体输入管路与第二管体1402之间的通断，同时，还可以通过调节第三阀门1408开口的大小，来调节气体传输的流量。进一步地，可以通过设置于第二管体1402上的调压阀1410，实现对第二管体1402内气体压力值的调节与监测显示，避免第二管体1402内气体压力过大导致转接组件100出现故障。进一步地，通过在第二管体1402上设置油雾分离器1412，可以实现对第二管体1402中气体中水或者油等杂质的过滤，避免杂质对第二管体1402本身或者各个连接处造成腐蚀，增加了转接组件100的使用寿命。进一步地，还可以在第二管体1402上设置报警元件，并且将报警元件与调压阀1410相连接，在调压阀1410所显示的气体压力值超过预设阈值时，报警元件发出报警，以提示相关操作人员及时调节第二管体1402内气体的压力值，避免造成转接组件100发生故障。

进一步地，在上述实施例的基础上，如图17、图18、图19、图20、图21和图22所示，本实用新型提供的转接组件100中，连接部120、液体分配组件130和气体分配组件140均可以位于承载架110内部；从而使得转接组件100的结构更加紧凑，减小了转接组件100的体积，进一步方便了转接组件100在空间内的布置。

进一步地，本实用新型提供的转接组件100还可以包括壳体150，设置于承载架110的外部；壳体150可以为密封结构，壳体150侧壁设置有安装孔1502，用于与外部设备进行连接，壳体150上还设置有预留孔，以实现通过预留孔将外部传输管道与液体分配组件130和气体分配组件140相连接。进一步地，壳体150还设置有滚轮160，位于壳体150的底壁；以实现转接组件100的自由移动，地脚170，设置于壳体150的底壁，地脚170为可伸缩结构，以实现对于转接组件100的支撑与固定。

本实用新型提供的转接组件100，将液体分配组件130和气体分配组件140通过连接件与连接部120相连接，同时，将连接部120设置于承载架110上，从而实现了将液体分配组件130和气体分配组件140的集中布置，进而实现了通过转接组件100对液体分配组件130和气体分配组件140的集中转接，从而使得在对设备进行安装时，无需针对气体或液体传输管路和分配组件进行单独布置与安装，直接将液体和气体的传输接口连接于液体分配组件130以及气体分配组件140的入口，即可实现液体和气体分配管路的安装布置，简化了设备的安装过程，降低了安装成本。同时，转接组件100无需固定在特定位置，可以自由移动，从而使得液体和气体管路的位置安排更加灵活，进一步地提高了设备安装的灵活性，方便设备安装。

在本实用新型中，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。术语“填装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或单元必须具有特定的方向、以特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对本实用新型的限制。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种转接组件，其特征在于，包括：

承载架；

连接部，所述连接部设置于所述承载架上，所述连接部上设置有多个连接件；

液体分配组件，所述液体分配组件通过所述连接件与所述连接部相连接；

气体分配组件，所述气体分配组件通过所述连接件与所述连接部相连接。

2.根据权利要求1所述的转接组件，其特征在于，所述连接部包括：

连接板，所述连接板与所述承载架相连接；

多个所述连接件分别设置于所述连接板的不同位置。

3.根据权利要求1所述的转接组件，其特征在于，所述液体分配组件包括：

第一管体，所述第一管体上设置有多个出液口；

第一阀门，所述第一阀门设置于所述出液口上。

4.根据权利要求3所述的转接组件，其特征在于，所述液体分配组件还包括：

第二阀门，设置于所述第一管体的入口与所述出液口之间；

过滤器，设置于所述第二阀门与所述出液口之间；

压力表，设置于所述第一管体上；

温度表，设置于所述第一管体上。

5.根据权利要求3所述的转接组件，其特征在于，所述气体分配组件包括：

第二管体；

分气块，与所述第二管体连通，所述分气块上设置有多个出气口；

连接头，设置于所述出气口上。

6.根据权利要求5所述的转接组件，其特征在于，所述气体分配组件还包括：

第三阀门，设置于所述第二管体的入口与所述分气块之间；

调压阀，设置于所述第三阀门与所述分气块之间；

油雾分离器，设置于所述调压阀与所述分气块之间。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的转接组件，其特征在于，

所述液体分配组件的数量为至少一套；

所述气体分配组件的数量为至少一套。

8.根据权利要求5所述的转接组件，其特征在于，还包括：

壳体，设置于所述承载架的外部；

所述连接部、所述液体分配组件和所述气体分配组件均位于所述壳体内；

滚轮，设置于所述壳体的底壁；

地脚，设置于所述壳体的底壁，所述地脚为可伸缩结构。

9.根据权利要求8所述的转接组件，其特征在于，所述壳体包括：

安装孔，设置于所述壳体的侧壁；

第一预留孔，所述第一预留孔与所述第一管体的入口相对；

第二预留孔，所述第二预留孔与所述第二管体的入口相对。

10.一种气相沉积设备，其特征在于，包括：

如权利要求1至9中任一项所述的转接组件。

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