CN213541273U - 一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，属于半导体生产技术领域。该装置包括：移动机构以及封压机构，其中，基板安装于晶圆蚀刻设备，移动板与基板滑动连接，基板设置有移动槽，密封圈安装于移动槽周壁，升降杆贯穿移动板，升降杆与移动槽滑动连接，固定件安装于基板的一端，移动板设置有固定槽，固定件与固定槽连接，定位件安装于基板，定位件能够与移动板抵接，限位件安装于基板，限位件与移动板抵接以限制移动板的运动，抵持件的一端安装于基板，抵持件的另一端与移动板抵持，抵持件与移动板滑动连接。该装置能够提高蚀刻腔室的密封效果，有利于提高晶圆蚀刻设备的使用寿命。

Description

一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置

技术领域

本实用新型涉及半导体生产技术领域，具体而言，涉及一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置。

背景技术

晶圆蚀刻设备是半导体生产过程中常见的设备，蚀刻腔室内设有蚀刻功能机构，通过腐蚀性溶液对晶圆进行蚀刻处理。由于蚀刻腔室内充满腐蚀性气体，所以蚀刻腔室采用了密封装置，将密封装置设置在蚀刻腔室周壁防止蚀刻腔室内的腐蚀性气体从蚀刻腔室外泄。现在常用的晶圆蚀刻设备的密封装置为卷轴式，上下卷轴之间设置有密封软带，但是密封软带在使用中容易变形破损，使用寿命较短。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供了一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，旨在提高晶圆蚀刻设备的使用寿命。

本实用新型是这样实现的：一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，包括：移动机构以及封压机构。

其中，移动机构包括基板、移动板、密封圈以及升降杆，基板安装于晶圆蚀刻设备，移动板与基板滑动连接，基板设置有移动槽，密封圈安装于移动槽周壁，升降杆贯穿移动板，升降杆与移动槽滑动连接。

封压机构包括固定件、定位件、限位件以及抵持件，固定件安装于基板的一端，移动板设置有固定槽，固定件与固定槽连接，定位件安装于基板，定位件能够与移动板抵接，限位件安装于基板，限位件与移动板抵接以限制移动板的运动，抵持件的一端安装于基板，抵持件的另一端与移动板抵持，抵持件与移动板滑动连接。

在本实用新型实施例中，移动板与基板滑动连接，基板设置有移动槽，密封件安装于移动槽周壁与移动板抵接，升降杆与移动槽滑动连接，移动移动板，升降杆在移动槽内上下移动，固定件安装于基板，移动板设置有固定槽，固定件与固定槽滑动连接以固定移动槽运动的位置，定位件安装于基板，定位杆能够与移动板抵接防止移动板运动脱离基板，限位件的一端安装于基板，限位件的另一端能够与移动板抵接以限制移动板的运动，抵持件的一端与移动板滑动连接，抵持件的另一端与基板连接，抵持件用于压紧移动板与基板，增强密封效果。该装置既使用固定件、定位件以及限位件限制移动板相对基板的位置，又采用抵持件与密封件的配合使用使移动板与基板紧密连接，能够增强移动板相对基板运动的稳定性，还能够提高蚀刻腔室的密封效果，有利于提高晶圆蚀刻设备的使用寿命。

在本实用新型的一种实施例中，封压机构有两个，两个封压机构安装于移动机构两端。

在本实用新型实施例中，封压机构有两个，两个封压机构分别安装于移动机构的两端，两个封压机构能够在两端限制移动板的运动，提高移动板移动的有效性和密封性。

在本实用新型的一种实施例中，限位件包括限位板、固定杆、限位杆以及滑座，限位板的一端安装于基板，限位板的另一端与移动板抵接，限位板设置有滑槽，固定杆安装于滑槽，限位杆的一端套设于固定杆，限位杆的另一端与滑座连接，滑座的一端与移动板抵接，滑座的另一端贯穿限位板与限位板滑动连接。

在本实用新型实施例中，限位板设置有滑槽，固定杆的两端与滑槽壁固定连接，限位杆的一端套设于固定杆与固定杆滑动连接，限位杆的另一端与滑座固定连接，滑座的一端贯穿限位板并与限位板滑动连接，滑座的另一端与移动板抵接，滑座相对限位板能够滑动并与移动板抵接，能够限制移动板的运动。

在本实用新型的一种实施例中，移动板设置有限位槽，滑座的一端贯穿限位板与限位槽抵接。

在本实用新型实施例中，移动板设置有限位槽，限位槽能够与滑座抵接以限制移动板的运动，防止移动板运动脱离基板的范围。

在本实用新型的一种实施例中，限位槽设置有引导面，引导面能够引导滑座。

在本实用新型实施例中，限位槽设置有引导面，在移动槽向引导面相反方向运动时，引导面能够引导滑座移动向限位槽限制移动板的运动，也能够在移动板向引导面引导方向运动时引导滑座远离移动板，使移动板脱离滑座的限制，继续移动。

在本实用新型的一种实施例中，限位件还包括弹性件，弹性件安装于滑槽，弹性件套设于固定杆，弹性件的一端与限位板抵接，弹性件的另一端与固定杆抵接。

在本实用新型实施例中，弹性件套设于固定杆，弹性件的一端与固定杆抵接，弹性件的另一端与限位板抵接，弹性件能够在滑座远离限位槽时压缩，并在滑座运动到限位槽时在恢复力的作用下使滑座向移动板方向运动，加强滑座对移动板的限制作用。

在本实用新型的一种实施例中，抵持件包括安装板、螺纹杆以及滑轮，安装板的一端与基板连接，安装板的另一端与移动板抵接，螺纹杆的一端与安装板螺纹连接，螺纹杆的另一端与滑轮连接。

在本实用新型实施例中，安装板的一端与基板连接，安装板的另一端与移动板抵接，螺纹杆贯穿安装板与安装板螺纹连接，螺纹杆的另一端安装有滑轮，旋转螺纹杆，滑轮能够相对移动板移动，压紧移动板或者远离移动板，能够提高基板与移动板的密封效果。

在本实用新型的一种实施例中，抵持件还包括连接板，连接板的一端与螺纹连接，连接板的另一端与滑轮转动连接。

在本实用新型实施例中，连接板的一端与螺纹杆连接，连接板的另一端与滑轮转动连接，连接板能够在滑轮转动时提高螺纹杆的安装稳定性。

在本实用新型的一种实施例中，移动板设置有连接槽，滑轮与连接槽滑动连接。

在本实用新型实施例中，移动板设置有连接槽，滑轮在连接槽内滑动，连接槽能够固定滑轮的移动方向。

在本实用新型的一种实施例中，固定件由多个，多个固定件安装于基板。

在本实用新型实施例中，固定件有多个，多个固定件能够增强移动板的移动位置的稳定性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型实施方式提供的一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置的结构安装图；

图2为本实用新型实施方式提供的一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置的移动机构的结构示意图；

图3为本实用新型实施方式提供的一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置的封压机构的结构示意图；

图4为本实用新型实施方式提供的一种晶圆蚀刻设备移动机构限位件的示意图；

图5为本实用新型实施方式提供的一种晶圆蚀刻设备移动机构限位件的示意图；

图6为本实用新型实施方式提供的一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置的示意图。

图中：10-晶圆蚀刻设备移动机构密封装置；100-移动机构；110-基板；130-移动板；131-限位槽；133-引导面；150-密封圈；170-升降杆；300-封压机构；310-固定件；330-定位件；350-限位件；351-限位板；353-固定杆；355-限位杆；357-滑座；359-弹性件；370-抵持件；371-安装板；373-螺纹杆；375-滑轮；377-连接板。

具体实施方式

为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

实施例

请参阅图1，本实用新型实施例提供了一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置10，包括：移动机构100以及封压机构300。

请参阅图2，移动机构100包括基板110、移动板130、密封圈150以及升降杆170。在具体设置时，基板110为矩形板，基板110设置有移动槽，密封圈150安装于移动槽的周壁，具体的，密封圈150有弹性材料构成。在具体设置时，移动板130为矩形板，移动板130与基板110滑动连接，移动板130的一端能够与密封圈150抵接，移动板130在移动时与基板110为密封连接。在具体设置时，升降杆170固定安装于移动板130的一端，具体的，升降杆170的一端贯穿基板110与移动槽滑动连接，升降杆170远离移动板130的一端延伸到蚀刻腔室。

请参阅图3，封压机构300包括固定件310、定位件330、限位件350以及抵持件370。在具体设置时，固定件310有多个，过个固定件310的一端安装于基板110，另一端与移动板130连接，具体的，移动板130设置有固定槽，固定件310与固定槽滑动连接。在具体设置时，定位件330的一端安装于基板110，定位件330的另一端与移动板130抵接以确定移动板130的位置。在具体设置时，限位件350包括限位板351、固定杆353、限位杆355以及滑座357(如图4)，具体的，限位板351固定安装于基板110。在具体设置时，限位板351设置有滑槽，固定杆353的两端固定安装于滑槽，限位杆355的一端套设于固定杆353与固定杆353滑动连接，限位杆355的另一端与滑座357固定连接。在具体设置时，滑座357的一端贯穿限位板351并与限位板351滑动连接，滑座357的另一端与移动板130抵接，具体的，移动板130设置有限位槽131，滑座357能够与限位槽131抵接以限制移动板130的运动。在具体设置时，限位槽131设置有引导面133，引导面133能够引导滑座357的运动，增强滑座357限制移动板130运动的作用。在具体设置时，弹性件359套设于固定杆353，弹性件359的一端与固定杆353抵接，弹性件359的另一端与限位板351抵接，具体的，弹性件359为弹簧，弹簧能够在受力时压缩并在不受力时在恢复力作用下推动滑座357运动。

请参阅图3与图5，抵持件370包括安装板371、螺纹杆373以及滑轮375。在具体设置时，安装板371的一端固定安装于基板110，安装板371的另一端与移动板130抵接，具体的，安装板371为L型板。在具体设置时，螺纹杆373贯穿安装板371并与安装板371螺纹连接，具体的，安装板371上安装有螺母，螺纹杆373与螺母螺纹连接。在具体设置时，连接板377的一端与螺纹杆373转动连接，连接板377的另一端与滑轮375转动连接，具体的移动板130设置有连接槽，滑轮375滑动安装于连接槽，滑轮375能够在螺纹杆373转动时相对移动板130运动，实现滑轮375与移动板130的抵持。

请参阅图6，在实际应用中，封压机构300有两个，两个封压机构300安装于移动机构100的两端，在移动板130运动时，固定件310、定位件330、限位件350、抵持件370以及密封件共同作用，使移动板130在固定位置移动并与基板110密封连接。

在本实用新型实施例中，移动板130与基板110滑动连接，基板110设置有移动槽，密封件安装于移动槽周壁与移动板130抵接，升降杆170与移动槽滑动连接，移动移动板130，升降杆170在移动槽内上下移动，固定件310安装于基板110，移动板130设置有固定槽，固定件310与固定槽滑动连接以固定移动槽运动的位置，定位件330安装于基板110，定位杆能够与移动板130抵接防止移动板130运动脱离基板110，限位件350的一端安装于基板110，限位件350的另一端能够与移动板130抵接以限制移动板130的运动，抵持件370的一端与移动板130滑动连接，抵持件370的另一端与基板110连接，抵持件370用于压紧移动板130与基板110，增强密封效果。该装置既使用固定件310、定位件330以及限位件350限制移动板130相对基板110的位置，又采用抵持件370与密封件的配合使用使移动板130与基板110紧密连接，能够增强移动板130相对基板110运动的稳定性，还能够提高蚀刻腔室的密封效果，有利于提高晶圆蚀刻设备的使用寿命。

以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，其特征在于，包括：

移动机构，所述移动机构包括基板、移动板、密封圈以及升降杆，所述基板安装于所述晶圆蚀刻设备，所述移动板与所述基板滑动连接，所述基板设置有移动槽，所述密封圈安装于所述移动槽周壁，所述升降杆贯穿所述移动板，所述升降杆与所述移动槽滑动连接；

封压机构，所述封压机构包括固定件、定位件、限位件以及抵持件，所述固定件安装于所述基板的一端，所述移动板设置有固定槽，所述固定件与所述固定槽连接，所述定位件安装于所述基板，所述定位件能够与所述移动板抵接，所述限位件安装于所述基板，所述限位件与所述移动板抵接以限制所述移动板的运动，所述抵持件的一端安装于所述基板，所述抵持件的另一端与所述移动板抵持，所述抵持件与所述移动板滑动连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，其特征在于，所述封压机构有两个，两个所述封压机构安装于所述移动机构两端。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，其特征在于，所述限位件包括限位板、固定杆、限位杆以及滑座，所述限位板的一端安装于所述基板，所述限位板的另一端与所述移动板抵接，所述限位板设置有滑槽，所述固定杆安装于所述滑槽，所述限位杆的一端套设于所述固定杆，所述限位杆的另一端与所述滑座连接，所述滑座的一端与所述移动板抵接，所述滑座的另一端贯穿所述限位板与所述限位板滑动连接。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，其特征在于，所述移动板设置有限位槽，所述滑座的一端贯穿所述限位板与所述限位槽抵接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，其特征在于，所述限位槽设置有引导面，所述引导面能够引导所述滑座。

6.根据权利要求3所述的一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，其特征在于，所述限位件还包括弹性件，所述弹性件安装于所述滑槽，所述弹性件套设于所述固定杆，所述弹性件的一端与所述限位板抵接，所述弹性件的另一端与所述固定杆抵接。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，其特征在于，所述抵持件包括安装板、螺纹杆以及滑轮，所述安装板的一端与所述基板连接，所述安装板的另一端与所述移动板抵接，所述螺纹杆的一端与所述安装板螺纹连接，所述螺纹杆的另一端与所述滑轮连接。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，其特征在于，所述抵持件还包括连接板，所述连接板的一端与所述螺纹连接，所述连接板的另一端与所述滑轮转动连接。

9.根据权利要求7所述的一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，其特征在于，所述移动板设置有连接槽，所述滑轮与所述连接槽滑动连接。

10.根据权利要求1所述的一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，其特征在于，所述固定件由多个，多个所述固定件安装于所述基板。

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