CN213530923U - 一种lcd平面靶材的加工刀具 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种LCD平面靶材的加工刀具，所述LCD平面靶材的加工刀具通过设置弧面转角刀体以及与所述弧面转角刀体相切连接的第一刀体和第二刀体，能够直接对LCD平面靶材的侧面及与侧面相连接的R角同时加工，保证了侧面和R角的接刀处没有接刀痕，使靶材在溅射过程中正常使用，提高了加工后的LCD平面靶材产品质量。

Description

一种LCD平面靶材的加工刀具

技术领域

本实用新型涉及加工制造技术领域，尤其涉及靶材加工制造技术领域，特别涉及一种LCD平面靶材的加工刀具。

背景技术

物理气相沉积法是半导体芯片制造中最为普遍的工艺之一，而PVD用溅射靶材是配线材料、液晶平板显示器、光学镜头、电子成像、太阳能电池等制造工艺中尤为重要的原材料之一，其中，最被广泛使用的是溅射靶材。

CN110029316A公开了一种长寿命LCD靶材组件及其形成方法，但液晶(LCD)平面靶材的加工过程中存在材料承受切削力不一的问题，当材料承受切削力不一致时，就会在看似同一个面上有接刀痕，使得加工后的表面纹理不一致，如在一个平面内切削，换刀总会有接刀痕，常有毛刺，导致LCD平面靶材产品质量较差。

CN111408917A公开了一种LCD平面靶材机加工工艺，包括如下步骤：1)对LCD平面靶材毛坯料的两表面进行加工；2)对LCD平面靶材的溅射面进行半精铣面加工；3)对LCD平面靶材的侧面进行粗加工；4)对LCD平面靶材的溅射面进行精加工；5)对LCD平面靶材的侧面及圆弧角进行精加工该方法可有效解决因应力残留造成LCD平面靶材的异常放电现象，有效控制了靶材在机加工后表面的应力层厚度，但并未意识到加工过程中接刀痕的问题。

CN111421393A公开了一种LCD靶材侧面抛光工艺，该抛光工艺为：将LCD靶材固定，将磨头固定于机床，所述机床带动磨头传动，对所述LCD靶材的侧面进行抛光。该LCD靶材侧面抛光工艺，提高了LCD靶材侧面抛光的加工效率，单枚加工时间20～40min左右，粗糙度稳定在2.5～3.5μm，保障了品质的稳定性，但该工艺聚焦于加工后的抛光步骤，并未对加工步骤进行改进，仍然存在接刀痕的问题。

现有的加工工艺很难有效控制LCD靶材侧面的接刀痕，经常造成靶材在溅射过程中出现异常，且并未意识到LCD靶材接刀痕的问题。

因此，针对此种问题需要开发一种针对LCD平面靶材的加工刀具。

实用新型内容

鉴于现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种LCD平面靶材的加工刀具，所述LCD平面靶材的加工刀具能够同时对LCD平面靶材的侧面及R角加工，无需换刀或转换方向，解决了现有LCD平面靶材的侧面和R角之间存在接刀痕的问题，使靶材在溅射过程中正常使用，提高了加工后的LCD平面靶材产品质量。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供一种LCD平面靶材的加工刀具，所述加工刀具包括刀柄以及与所述刀柄固定连接的刀头；

所述刀头包括中心轴体以及位于所述中心轴体外侧与所述中心轴体形成一体结构的刀体；

所述刀柄与所述中心轴体均为圆柱状，且所述刀柄的轴线与所述中心轴体的轴线重合；

沿远离刀柄的方向，所述刀头包括依次设置的底部斜面刀体、第一刀体、弧面转角刀体、第二刀体和顶部斜面刀体；

所述弧面转角刀体的弧面与所述第一刀体和第二刀体均相切；

所述底部斜面刀体、第一刀体、弧面转角刀体、第二刀体和顶部斜面刀体均为回转体结构。

本实用新型提供的LCD平面靶材的加工刀具通过设置底部斜面刀体、第一刀体和弧面转角刀体对与侧面相连接的R角进行加工，设置底第二刀体和顶部斜面刀体对LCD靶材侧面进行加工，能够同时对LCD平面靶材的侧面及R角加工，无需换刀或转换方向，不仅提高了加工效率，而且加工后LCD平面靶材的侧面和R角之间不存在接刀痕，能够有效避免靶材在溅射过程中出现异常。

本实用新型所述R角是指侧面与底面之间相接的弧形转角，一般LCD平面靶材的侧面转角为设置有R角，加工困难，采用本实用新型提供的LCD平面靶材的加工刀具能够同时对侧面外形和R角进行加工，不仅提高了加工效率，而且不存在接刀痕。

本实用新型所述回转体结构是指以中心轴体的轴线为中心线的中心对称结构。

优选地，其特征在于，所述底部斜面刀体与中心轴体轴线的锐角夹角为30～70°，例如可以是30°、35°、39°、44°、48°、53°、57°、62°、66°或70°等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，所述顶部斜面刀体与中心轴体轴线的锐角夹角为60～80°，例如可以是60°、62°、64°、65°、68°、70°、72°、74°、75°、78°或80°等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，所述第一刀体的长度短于所述第二刀体的长度。

优选地，所述中心轴体的直径小于所述刀柄的直径。

优选地，所述第二刀体的直径与所述刀柄的直径相同。

优选地，所述第一刀体的直径大于第二刀体的直径。

优选地，所述第一刀体的直径比第二刀体的直径大5～20mm，例如可以是5mm、7mm、9mm、10mm、12mm、14mm、15mm、17mm、19mm或20mm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，所述弧面转角刀体的转角半径为2～10mm，例如可以是2mm、3mm、4mm、5mm、6mm、7mm、8mm、9mm、10mm或10mm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，所述第二刀体为弧形刀体。

本实用新型所述第二刀体可以是自所述中心轴体向外延伸的弧形刀体，便于加工。

优选地，所述LCD平面靶材的加工刀具的材质为金刚石。

本实用新型提供的LCD平面靶材的加工刀具的使用方法包括如下步骤：

(1)将所述LCD平面靶材的加工刀具的刀柄装在铣床上；

(2)利用铣床对LCD平面靶材进行加工。

步骤(2)中所述加工的进刀转速为2600～3200r/min，例如可以是2600r/min、2667r/min、2734r/min、2800r/min、2867r/min、2934r/min、3000r/min、3067r/min、3134r/min或3200r/min等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用，优选为3000r/min。

步骤(2)中所述加工过程中的转速为3400～3700r/min，例如可以是3400r/min、3434r/min、3467r/min、3500r/min、3534r/min、3567r/min、3600r/min、3634r/min、3667r/min或3700r/min等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用，优选为3500r/min。

与现有技术相比，本实用新型至少具有以下有益效果：

(1)本实用新型提供的LCD平面靶材的加工刀具无需切换刀具即可实现对LCD平面靶材的加工，提高了加工效率；

(2)本实用新型提供的LCD平面靶材的加工刀具对LCD平面靶材加工后不存在接刀痕，能够保障靶材表面的溅射使用。

附图说明

图1是本实用新型实施例1、实施例3和实施例4提供的LCD平面靶材的加工刀具的主视示意图。

图2是本实用新型实施例1提供的LCD平面靶材的加工刀具中第二刀体的俯视示意图。

图3是本实用新型实施例2提供的LCD平面靶材的加工刀具的主视示意图。

图4是对比例1提供的LCD平面靶材的加工刀具的主视示意图。

图中：1-刀柄；2-刀体；201-中心轴体；202-底部斜面刀体；203-第一刀体；204-弧面转角刀体；205-第二刀体；206-顶部斜面刀体；207-斜弧形刀体。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

下面对本实用新型进一步详细说明。但下述的实例仅仅是本实用新型的简易例子，并不代表或限制本实用新型的权利保护范围，本实用新型的保护范围以权利要求书为准。

一、实施例

实施例1

本实施例提供一种LCD平面靶材的加工刀具，如图1所示，所述加工刀具包括刀柄1以及与所述刀柄1固定连接的刀头2；所述刀头2包括中心轴体201以及位于所述中心轴体201外侧与所述中心轴体201形成一体结构的刀体，所述刀柄1与所述中心轴体201均为圆柱状，且所述刀柄1的轴线与所述中心轴体201的轴线重合；沿远离刀柄1的方向，所述刀头2包括依次设置的底部斜面刀体202、第一刀体203、弧面转角刀体204、第二刀体205和顶部斜面刀体206；所述弧面转角刀体204的弧面与所述第一刀体203和第二刀体205均相切；所述底部斜面刀体202、第一刀体203、弧面转角刀体204、第二刀体205和顶部斜面刀体206均为回转体结构，所述底部斜面刀体202、第一刀体203、弧面转角刀体204、第二刀体205和顶部斜面刀体206均设置有四齿。

所述底部斜面刀体202与中心轴体201轴线的锐角夹角为45°，所述顶部斜面刀体206与中心轴体201轴线的锐角夹角为60°，所述第一刀体203的长度为3mm，所述第二刀体205的长度为25mm，所述刀柄1的长度为50mm，所述刀柄1的直径为20mm，所述中心轴体201的直径为16mm，所述第一刀体203的直径为30mm，所述第二刀体205的直径与所述刀柄1的直径相同，所述弧面转角刀体204的转角半径为4mm，如图2所示，所述第二刀体205为弧形刀体。

本实施例提供的LCD平面靶材的加工刀具的使用方法包括如下步骤：

(1)将所述LCD平面靶材的加工刀具的刀柄1装在铣床上；

(2)利用铣床对LCD平面靶材的侧面以及侧面的转角进行加工，进刀转速为3000r/min，加工过程中的转速为3500r/min。

本实施例提供的LCD平面靶材的加工刀具对LCD平面靶材加工后不存在接刀痕，能够保障靶材表面的溅射使用。

实施例2

本实施例提供一种LCD平面靶材的加工刀具，如图3所示，所述加工刀具包括刀柄1以及与所述刀柄1固定连接的刀体2；所述刀头2包括中心轴体201以及位于所述中心轴体201外侧与所述中心轴体201形成一体结构的刀体，所述刀柄1与所述中心轴体201均为圆柱状，且所述刀柄1的轴线与所述中心轴体201的轴线重合；沿远离刀柄1的方向，所述刀头2包括依次设置的底部斜面刀体202、第一刀体203、弧面转角刀体204、第二刀体205和顶部斜面刀体206；所述弧面转角刀体204的弧面与所述第一刀体203和第二刀体205均相切；所述底部斜面刀体202、第一刀体203、弧面转角刀体204、第二刀体205和顶部斜面刀体206均为回转体结构，所述底部斜面刀体202、第一刀体203、弧面转角刀体204、第二刀体205和顶部斜面刀体206均设置有三齿。

所述底部斜面刀体202与中心轴体201轴线的锐角夹角为60°，所述顶部斜面刀体206与中心轴体201轴线的锐角夹角为70°，所述第一刀体203的长度为2mm，所述第二刀体205的长度为30mm，所述刀柄1的长度为60mm，所述刀柄1的直径为30mm，所述中心轴体201的直径为25mm，所述第一刀体203的直径为50mm，所述第二刀体205的直径与所述刀柄1的直径相同，所述弧面转角刀体204的转角半径为10mm。

本实施例提供的LCD平面靶材的加工刀具的使用方法包括如下步骤：

(1)将所述LCD平面靶材的加工刀具的刀柄1装在铣床上；

(2)利用铣床对LCD平面靶材的侧面以及侧面的转角进行加工，进刀转速为2800r/min，加工过程中的转速为4000r/min。

本实施例提供的LCD平面靶材的加工刀具对LCD平面靶材加工后不存在接刀痕，能够保障靶材表面的溅射使用。

实施例3

本实施例提供一种LCD平面靶材的加工刀具，如图1所示，所述加工刀具包括刀柄1以及与所述刀柄1固定连接的刀体2；所述刀头2包括中心轴体201以及位于所述中心轴体201外侧与所述中心轴体201形成一体结构的刀体，所述刀柄1与所述中心轴体201均为圆柱状，且所述刀柄1的轴线与所述中心轴体201的轴线重合；沿远离刀柄1的方向，所述刀头2包括依次设置的底部斜面刀体202、第一刀体203、弧面转角刀体204、第二刀体205和顶部斜面刀体206；所述弧面转角刀体204的弧面与所述第一刀体203和第二刀体205均相切；所述底部斜面刀体202、第一刀体203、弧面转角刀体204、第二刀体205和顶部斜面刀体206均为回转体结构，所述底部斜面刀体202、第一刀体203、弧面转角刀体204、第二刀体205和顶部斜面刀体206均设置有四齿。

所述底部斜面刀体202与中心轴体201轴线的锐角夹角为45°，所述顶部斜面刀体206与中心轴体201轴线的锐角夹角为80°，所述第一刀体203的长度为5mm，所述第二刀体205的长度为15mm，所述刀柄1的长度为30mm，所述刀柄1的直径为16mm，所述中心轴体201的直径为12mm，所述第一刀体203的直径为21mm，所述第二刀体205的直径与所述刀柄1的直径相同，所述弧面转角刀体204的转角半径为2mm。

本实施例提供的LCD平面靶材的加工刀具的使用方法包括如下步骤：

(1)将所述LCD平面靶材的加工刀具的刀柄1装在铣床上；

(2)利用铣床对LCD平面靶材的侧面以及侧面的转角进行加工，进刀转速为2500r/min，加工过程中的转速为3000r/min。

本实施例提供的LCD平面靶材的加工刀具对LCD平面靶材加工后不存在接刀痕，能够保障靶材表面的溅射使用。

实施例4

本实施例提供一种LCD平面靶材的加工刀具，如图1所示，所述加工刀具包括刀柄1以及与所述刀柄1固定连接的刀体2；所述刀头2包括中心轴体201以及位于所述中心轴体201外侧与所述中心轴体201形成一体结构的刀体，所述刀柄1与所述中心轴体201均为圆柱状，且所述刀柄1与所述刀头2的轴线重合；沿远离刀柄1的方向，所述刀头2包括依次设置的底部斜面刀体202、第一刀体203、弧面转角刀体204、第二刀体205和顶部斜面刀体206；所述弧面转角刀体204的弧面与所述第一刀体203和第二刀体205均相切；所述底部斜面刀体202、第一刀体203、弧面转角刀体204、第二刀体205和顶部斜面刀体206均为回转体结构，所述底部斜面刀体202、第一刀体203、弧面转角刀体204、第二刀体205和顶部斜面刀体206均设置有四齿。

所述底部斜面刀体202与中心轴体201的锐角夹角为20°，所述顶部斜面刀体206与中心轴体201的锐角夹角为35°，所述第一刀体203的长度为5mm，所述第二刀体205的长度为20mm，所述刀柄1的长度为35mm，所述刀柄1的直径为16mm，所述中心轴体201的直径为12mm，所述第一刀体203的直径为25mm，所述第二刀体205的直径的直径为18mm，所述弧面转角刀体204的转角半径为3mm。

本实施例提供的LCD平面靶材的加工刀具的使用方法包括如下步骤：

(1)将所述LCD平面靶材的加工刀具的刀柄1装在铣床上；

(2)利用铣床对LCD平面靶材的侧面以及侧面的转角进行加工，进刀转速为3000r/min，加工过程中的转速为3500r/min。

本实施例提供的LCD平面靶材的加工刀具对LCD平面靶材加工后不存在接刀痕，能够保障靶材表面的溅射使用。

二、对比例

对比例1

本对比例提供一种LCD平面靶材的加工刀具，如图4所示，所述加工刀具包括刀柄1以及与所述刀柄1固定连接的刀体2；所述刀头2包括中心轴体201以及位于所述中心轴体201外侧与所述中心轴体201形成一体结构的刀体，所述刀柄1与所述中心轴体201均为圆柱状，且所述刀柄1的轴线与所述中心轴体201的轴线重合；在所述中心轴体201外侧设置有弧形刀体2，所述斜弧形刀体207为回转体结构，所述弧形刀体2设置有四齿，

所述斜弧形刀体207靠近刀柄1的切线与中心轴体201的锐角夹角为35°，所述中心轴体201的长度为25mm，所述刀柄1的长度为50mm，所述刀柄1的直径为20mm，所述中心轴体201的直径为16mm，所述斜弧形刀体207的直径为30mm。

本对比例提供的LCD平面靶材的加工刀具的使用方法与实施例1中相同。

对比实施例1和对比例1可知，实施例1提供的LCD平面靶材的加工刀具在加工过程中无需换刀，即可同时对LCD平面靶材的转角和侧面外形进行加工，而对比例1中提供的刀具仅能对LCD平面靶材的侧面进行加工，还需要更换刀具才能够对LCD平面靶材的转角加工，不仅效率相对较低而且将出现接刀痕，无法保障靶材在溅射过程中的使用。

综上所述，本实用新型提供的LCD平面靶材的加工刀具通过设置弧面转角刀体以及与所述弧面转角刀体相切连接的第一刀体和第二刀体，能够直接对LCD平面靶材的侧面及R角同时加工，保证了侧面和R角的接刀处没有接刀痕，使靶材在溅射过程中正常使用，提高了加工后的LCD平面靶材产品质量。

申请人声明，本实用新型通过上述实施例来说明本实用新型的详细结构特征，但本实用新型并不局限于上述详细结构特征，即不意味着本实用新型必须依赖上述详细结构特征才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本实用新型的任何改进，对本实用新型所选用部件的等效替换以及辅助部件的增加、具体方式的选择等，均落在本实用新型的保护范围和公开范围之内。

Claims (10)

1.一种LCD平面靶材的加工刀具，其特征在于，所述加工刀具包括刀柄以及与所述刀柄固定连接的刀头；

所述刀头包括中心轴体以及位于所述中心轴体外侧与所述中心轴体形成一体结构的刀体；

所述刀柄与所述中心轴体均为圆柱状，且所述刀柄的轴线与所述中心轴体的轴线重合；

沿远离刀柄的方向，所述刀头包括依次设置的底部斜面刀体、第一刀体、弧面转角刀体、第二刀体和顶部斜面刀体；

所述弧面转角刀体的弧面与所述第一刀体和第二刀体均相切；

所述底部斜面刀体、第一刀体、弧面转角刀体、第二刀体和顶部斜面刀体均为回转体结构。

2.根据权利要求1所述的LCD平面靶材的加工刀具，其特征在于，所述底部斜面刀体与中心轴体轴线的锐角夹角为30～70°。

3.根据权利要求1或2所述的LCD平面靶材的加工刀具，其特征在于，所述顶部斜面刀体与中心轴体轴线的锐角夹角为60～80°。

4.根据权利要求1或2所述的LCD平面靶材的加工刀具，其特征在于，所述第一刀体的长度短于所述第二刀体的长度。

5.根据权利要求1所述的LCD平面靶材的加工刀具，其特征在于，所述中心轴体的直径小于所述刀柄的直径。

6.根据权利要求5所述的LCD平面靶材的加工刀具，其特征在于，所述第二刀体的直径与所述刀柄的直径相同。

7.根据权利要求5或6所述的LCD平面靶材的加工刀具，其特征在于，所述第一刀体的直径大于第二刀体的直径。

8.根据权利要求7所述的LCD平面靶材的加工刀具，其特征在于，所述第一刀体的直径比第二刀体的直径大5～20mm。

9.根据权利要求1或2所述的LCD平面靶材的加工刀具，其特征在于，所述弧面转角刀体的转角半径为2～10mm。

10.根据权利要求1或2所述的LCD平面靶材的加工刀具，其特征在于，所述第二刀体为弧形刀体。

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