CN213519903U - 一种晶圆清洗机的清洗篮 - Google Patents
一种晶圆清洗机的清洗篮 Download PDFInfo
- Publication number
- CN213519903U CN213519903U CN202023020281.7U CN202023020281U CN213519903U CN 213519903 U CN213519903 U CN 213519903U CN 202023020281 U CN202023020281 U CN 202023020281U CN 213519903 U CN213519903 U CN 213519903U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- basket
- wafer
- fixed
- pad
- slide rail
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种晶圆清洗机的清洗篮，包括固定座和固定篮，固定座的上端设置有滑轨，滑轨上设置有把手，滑轨的侧端面设置有滑槽，固定篮的侧端面设置有滑块，固定篮与固定座通过滑块与滑槽配合滑动连接，固定篮为镂空圆盘结构，固定篮内设置有支撑板，支撑板的上端面设置有支撑垫，支撑板的下端面设置有按压垫，把手为两组弓形的PVC管，把手焊接在滑轨的前端面和后端面的顶部。本实用通过固定篮对每一片晶圆片单独固定，避免晶圆件清洗过程中相互磨损，通过超细纤维与海绵制成的按压垫与支撑垫对晶圆片固定，大大提升了晶圆件与设备之间的牢固程度，从而提升了超声传导效果，提升了清洗效果。
Description
技术领域
本实用新型属于晶圆片清洗技术领域，具体为一种晶圆清洗机的清洗篮。
背景技术
在晶圆的加工过程中，通常需要对晶圆进行多次的清洗，晶圆清洗的一般首先将晶圆放置在清洗花篮内，然后将装有晶圆的清洗花篮投入清洗槽内，清洗槽内装有清洗剂并具有超声波发生装置。
授权公告号CN206897947U中公开了一种高效多用晶圆清洗花篮，其包括可拆卸连接杆、与可拆卸连接杆插槽匹配连接的可拆卸置物托盘，可拆卸置物托盘底部设有多个通孔，可拆卸连接杆上端插槽的相对侧设有挂钩，可拆卸连接杆插槽上端设有一实现可拆卸置物托盘与可拆卸连接杆插槽活动连接的拆卸连接口，可拆卸连接杆的插槽底端部设有固定档板，可拆卸置物托盘依次通过拆卸连接口实现与可拆卸连接杆活动连接。
上述公开的一种高效多用晶圆清洗花篮，该清洗篮在对晶圆清洗时，晶圆片在超声波的震动下相互磨损，导致晶圆损坏，且由于晶圆固定不牢导致震动衰减，影响清洗效果。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶圆清洗机的清洗篮，以解决现有技术中晶圆在清洗过程中容易磨损、晶圆清洗不干净的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆清洗机的清洗篮，包括固定座和固定篮，所述固定座的上端设置有滑轨，所述滑轨上设置有把手，所述滑轨的侧端面设置有滑槽，所述固定篮的侧端面设置有滑块，所述固定篮与固定座通过滑块与滑槽配合滑动连接，所述固定篮为镂空圆盘结构，所述固定篮内设置有支撑板，所述支撑板的上端面设置有支撑垫，所述支撑板的下端面设置有按压垫。
优选的，所述把手为两组弓形的PVC管，所述把手焊接在滑轨的前端面和后端面的顶部，通过把手将固定座抬起，方便对设备取出和放入。
优选的，所述滑槽为两组U型槽口，所述滑块为两组PVC圆柱，滑块的直径与滑槽的槽径相等，U型滑槽将滑轨分为两端，将放置晶圆片的固定篮沿滑轨逆时针滑到底部，然后依次将每一片固定篮顺时针滑动至底部后将晶圆片放置在固定篮上，U型轨道方便区分未使用的固定篮和已经使用的固定篮。
优选的，所述支撑板为十字形PVC板，所述支撑板的中心为圆形结构，支撑板对晶圆片起到固定支撑作用，其镂空处方便水进入固定篮内对晶圆件进行清洗，同时方便清洗后的灰尘排出。
优选的，所述支撑板的上端面与固定篮的上端面正视高度差为1.5毫米，支撑板与固定篮之间形成一个1.5毫米深的槽口，方便对晶圆片进行定位，避免晶圆片滑动。
优选的，所述支撑垫和按压垫采用超细纤维包裹海绵制成，海绵具有缓冲作用避免支撑垫压坏晶圆片，超细纤维为擦镜布原料，避免刮花晶圆片表面，同时又能够将晶圆件压紧，提升超声清洗效果。
优选的，所述支撑垫与按压垫的厚度之和为1.5毫米，确保两固定篮接触时，按压垫与下端的支撑垫刚好可以接触，提升支撑垫与按压垫对晶圆件的固定效果，且不影响固定篮堆叠。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用通过固定篮对每一片晶圆片单独固定，避免晶圆件清洗过程中相互磨损，通过超细纤维与海绵制成的按压垫与支撑垫对晶圆片固定，大大提升了晶圆件与设备之间的牢固程度，从而提升了超声传导效果，提升了清洗效果。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型的固定篮的侧剖图；
图3为本实用新型的图2中A处放大图。
图中：1固定座、11滑轨、111把手、112滑槽、2固定篮、21支撑板、211支撑垫、212按压垫、213滑块、214超细纤维、215海绵。
具体实施方式
请参阅图1，一种晶圆清洗机的清洗篮，包括固定座1和固定篮2，固定座1的上端焊接有滑轨11，滑轨11上焊接有把手111，滑轨11的侧端面开设有滑槽112，固定篮2的侧端面焊接有滑块213，固定篮2与固定座1通过滑块213与滑槽112配合滑动连接，固定篮2为镂空圆盘结构，固定篮2内焊接有支撑板21，支撑板21的上端面胶接有支撑垫211，支撑板21的下端面胶接有按压垫212。
请参阅图1，把手111为两组弓形的PVC管，把手111焊接在滑轨11的前端面和后端面的顶部，通过把手111将固定座1抬起，方便对设备取出和放入，滑槽112为两组U型槽口，滑块213为两组PVC圆柱，滑块213的直径与滑槽112的槽径相等，U型滑槽112将滑轨11分为两端，将放置晶圆片的固定篮2沿滑轨11逆时针滑到底部，然后依次将每一片固定篮2顺时针滑动至底部后将晶圆片放置在固定篮2上，U型轨道方便区分未使用的固定篮2和已经使用的固定篮2，支撑板21为十字形PVC板，支撑板21的中心为圆形结构，支撑板21对晶圆片起到固定支撑作用，其镂空处方便水进入固定篮2内对晶圆件进行清洗，同时方便清洗后的灰尘排出。
请参阅图2，支撑板21的上端面与固定篮2的上端面正视高度差为1.5毫米，支撑板21与固定篮2之间形成一个1.5毫米深的槽口，方便对晶圆片进行定位，避免晶圆片滑动，支撑垫211与按压垫212的厚度之和为1.5毫米，确保两固定篮2接触时，按压垫212与下端的支撑垫211刚好可以接触，提升支撑垫211与按压垫212对晶圆件的固定效果，且不影响固定篮2堆叠。
请参阅图3，支撑垫211和按压垫212采用超细纤维214包裹海绵215制成，海绵215具有缓冲作用避免支撑垫211压坏晶圆片，超细纤维214为擦镜布原料，避免刮花晶圆片表面，同时又能够将晶圆件压紧，提升超声清洗效果。
本方案的工作原理是：本实用新型在使用时，将固定篮2沿滑槽112滑至一边，使固定篮2底部的按压垫212向上，然后依次将固定篮2沿滑槽112向固定座1的另一侧滑动，在每个固定篮2的上端面放置一个晶圆片后，将下一个固定篮2压在晶圆片的上端面，安装好之后，提起把手111将固定座1整体放入超声波清洗装置内进行清洗，清洗后取出固定座1，依次取下晶圆件。
本实用通过固定篮2对每一片晶圆片单独固定，避免晶圆件清洗过程中相互磨损，通过超细纤维214与海绵215制成的按压垫212与支撑垫211对晶圆片固定，大大提升了晶圆件与设备之间的牢固程度，从而提升了超声传导效果，提升了清洗效果。
Claims (7)
1.一种晶圆清洗机的清洗篮，包括固定座(1)和固定篮(2)，其特征在于：所述固定座(1)的上端设置有滑轨(11)，所述滑轨(11)上设置有把手(111)，所述滑轨(11)的侧端面设置有滑槽(112)，所述固定篮(2)的侧端面设置有滑块(213)，所述固定篮(2)与固定座(1)通过滑块(213)与滑槽(112)配合滑动连接，所述固定篮(2)为镂空圆盘结构，所述固定篮(2)内设置有支撑板(21)，所述支撑板(21)的上端面设置有支撑垫(211)，所述支撑板(21)的下端面设置有按压垫(212)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗机的清洗篮，其特征在于：所述把手(111)为两组弓形的PVC管，所述把手(111)焊接在滑轨(11)的前端面和后端面的顶部。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗机的清洗篮，其特征在于：所述滑槽(112)为两组U型槽口，所述滑块(213)为两组PVC圆柱，滑块(213)的直径与滑槽(112)的槽径相等。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗机的清洗篮，其特征在于：所述支撑板(21)为十字形PVC板，所述支撑板(21)的中心为圆形结构。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗机的清洗篮，其特征在于：所述支撑板(21)的上端面与固定篮(2)的上端面正视高度差为1.5毫米。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗机的清洗篮，其特征在于：所述支撑垫(211)和按压垫(212)采用超细纤维(214)包裹海绵(215)制成。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗机的清洗篮，其特征在于：所述支撑垫(211)与按压垫(212)的厚度之和为1.5毫米。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202023020281.7U CN213519903U (zh) | 2020-12-15 | 2020-12-15 | 一种晶圆清洗机的清洗篮 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202023020281.7U CN213519903U (zh) | 2020-12-15 | 2020-12-15 | 一种晶圆清洗机的清洗篮 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN213519903U true CN213519903U (zh) | 2021-06-22 |
Family
ID=76429189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202023020281.7U Active CN213519903U (zh) | 2020-12-15 | 2020-12-15 | 一种晶圆清洗机的清洗篮 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN213519903U (zh) |
-
2020
- 2020-12-15 CN CN202023020281.7U patent/CN213519903U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN206706448U (zh) | 一种用于纺织布料的裁边机 | |
| CN213519903U (zh) | 一种晶圆清洗机的清洗篮 | |
| CN207996192U (zh) | 一种脚踏式拖布拧干辅助装置 | |
| CN217121021U (zh) | 一种基部胶生产用原料清洗装置 | |
| CN206838632U (zh) | 一种单晶硅片的清洗沥干装置 | |
| CN208048272U (zh) | 一种便利梳子刷 | |
| CN209873366U (zh) | 一种便于除皱的纺织机械 | |
| CN210676051U (zh) | 一种双面清洁的条形刷 | |
| CN211355337U (zh) | 一种可调式洗碗机餐具架 | |
| CN212370777U (zh) | 一种螺旋滚筒清洗机 | |
| CN209255278U (zh) | 一种液晶屏屏幕清理装置 | |
| CN210160162U (zh) | 一种铜丝压延机 | |
| CN215016914U (zh) | 一种多用型清洁布 | |
| CN211299847U (zh) | 一种高效家用筷子清洗机 | |
| CN206706980U (zh) | 一种纺织印染用过滤装置 | |
| CN213951695U (zh) | 一种纺织面料上料边沿清洁装置 | |
| CN213963680U (zh) | 一种医用棉球浸泡装置 | |
| CN213651244U (zh) | 一种卸泥工具 | |
| CN211637447U (zh) | 自动洗钻机 | |
| CN215197064U (zh) | 一种便于物流轨道转运的血培养标本固定架 | |
| CN210304698U (zh) | 一种纺织品生产用收卷装置的收集机构 | |
| CN217340493U (zh) | 一种便于对网面进行清理的过滤网 | |
| CN219003949U (zh) | 一种石英石切片清洗装置 | |
| CN218738826U (zh) | 一种厨房清洁复合棉布 | |
| CN212664250U (zh) | 一种高效清洁除尘无尘布 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |