CN213479228U

CN213479228U - 接口阀及化学气相沉积设备

Info

Publication number: CN213479228U
Application number: CN202022479572.6U
Authority: CN
Inventors: 刘海涛
Original assignee: Shanghai Huali Microelectronics Corp
Current assignee: Shanghai Huali Microelectronics Corp
Priority date: 2020-10-30
Filing date: 2020-10-30
Publication date: 2021-06-18
Anticipated expiration: 2030-10-30

Abstract

本实用新型提供一种接口阀及化学气相沉积设备，接口阀包括：阀体、承插法兰及连接环，阀体具有沿自身轴向贯通的第一通孔、以及沿自身轴向设置于阀体的一端的第一法兰盘；承插法兰具有沿自身轴向贯通的第二通孔、以及沿自身轴向设置于承插法兰的一端的第二法兰盘；连接环具有内孔；第一法兰盘通过连接环与第二法兰盘可拆卸地连接，且第一通孔、内孔与第二通孔用于依次贯通。通过设置连接环以连接阀体和承插法兰，一方面可使接口阀具有良好的密封性，避免气体泄漏；另一方面阀体、连接环及承插法兰为可拆卸地连接，三者中任一个发生损坏时，可以方便地拆卸更换、节省维护成本。

Description

接口阀及化学气相沉积设备

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种接口阀及化学气相沉积设备。

背景技术

现有的法兰接口为承插式法兰，与动力风管对接后无法机械固定，只能使用硅胶封堵对接处，易导致气体泄漏。另外，法兰接口绝大部分采用PVC材质制成，虽然增加了法兰接口的耐腐蚀性，但长期使用会导致法兰接口老化甚至断裂。改进型的法兰接口的一端的法兰盘较厚，可以承受较大的压应力，但不符合工程力学设计原理，易导致法兰接口的其他部位受力不均而断裂。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种接口阀及化学气相沉积设备，以解决现有的法兰接口易导致气体泄漏的问题。

为解决上述技术问题，基于本实用新型的一个方面，本实用新型提供一种接口阀，其包括：阀体、承插法兰及连接环，

所述阀体具有沿自身轴向贯通的第一通孔、以及沿自身轴向设置于所述阀体的一端的第一法兰盘；

所述承插法兰具有沿自身轴向贯通的第二通孔、以及沿自身轴向设置于所述承插法兰的一端的第二法兰盘；

所述连接环具有内孔；

所述第一法兰盘通过所述连接环与所述第二法兰盘可拆卸地连接，且所述第一通孔、所述内孔与所述第二通孔用于依次贯通。

可选的，所述第一法兰盘具有多个周向均匀分布的第一定位孔，所述第二法兰盘具有多个周向均匀分布的第二定位孔，所述连接环具有多个周向均匀分布的第三定位孔，所述第一定位孔、所述第二定位孔及所述第三定位孔用于相互对位，以供螺栓穿设连接。

可选的，所述第一定位孔、所述第二定位孔及所述第三定位孔均为六个。

可选的，所述接口阀还包括涂覆层，所述涂覆层分别层叠设置于所述第一法兰盘的外表面、所述承插法兰的外表面、所述第一通孔的内壁以及所述第二通孔的内壁。

可选的，所述阀体具有沿自身轴向设置于所述阀体的另一端的第三法兰盘，所述涂覆层层叠设置于所述第三法兰盘的外表面。

可选的，所述阀体还包括沿所述第一通孔的径向与所述第一通孔连通的旁支管道，以及连接于所述旁支管道远离所述第一通孔的一端的第四法兰盘，所述第四法兰盘异于连接所述旁支管道的一端用于与控制阀门法兰连接。

可选的，所述接口阀还包括设置于所述第一通孔内的阀片，所述阀片的延伸方向平行于所述第一通孔的轴向。

可选的，所述承插法兰具有沿自身轴向凸出所述第二法兰盘的插接部，所述阀体和所述承插法兰用于通过所述连接环相互装配后，所述插接部朝远离所述阀体的方向凸出，所述插接部用于插入待安装壳体的预定部位。

可选的，所述插接部具有沿周向设置于所述插接部之外周的卡槽，所述卡槽沿所述插接部的径向向内凹陷，所述卡槽用于与待安装壳体的预定部位设置的连接套卡合连接。

基于本实用新型的另一个方面，本实用新型还提供一种化学气相沉积设备，包括如上所述的接口阀。

综上所述，在本实用新型提供的接口阀及化学气相沉积设备中，所述接口阀包括：阀体、承插法兰及连接环，所述阀体具有沿自身轴向贯通的第一通孔、以及沿自身轴向设置于所述阀体的一端的第一法兰盘；所述承插法兰具有沿自身轴向贯通的第二通孔、以及沿自身轴向设置于所述承插法兰的一端的第二法兰盘；所述连接环具有内孔；所述第一法兰盘通过所述连接环与所述第二法兰盘可拆卸地连接，且所述第一通孔、所述内孔与所述第二通孔用于依次贯通。通过设置连接环以连接阀体和承插法兰，一方面可使接口阀具有良好的密封性，避免气体泄漏；另一方面阀体、连接环及承插法兰为可拆卸地连接，三者中任一个发生损坏时，可以方便地拆卸更换、节省维护成本。

附图说明

本领域的普通技术人员应当理解，提供的附图用于更好地理解本实用新型，而不对本实用新型的范围构成任何限定。其中：

图1是本实用新型一实施例的接口阀的示意图；

图2是本实用新型一实施例的连接环的示意图；

图3是本实用新型一实施例的阀体的示意图；

图4是本实用新型一实施例的阀体的俯视图；

图5是本实用新型一实施例的承插法兰的示意图；

图6是本实用新型一实施例的承插法兰的主视图。

附图中：

10-阀体；11-第一通孔；12-第一法兰盘；120-第一定位孔；13-第三法兰盘；14-旁支管道；15-第四法兰盘；20-承插法兰；21-第二通孔；22-第二法兰盘；220-第二定位孔；23-插接部；230-卡槽；30-连接环；31-内孔；32-第三定位孔；40-涂覆层；50-阀片。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。

如在本实用新型中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，术语“或”通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，术语“若干”通常是以包括“至少一个”的含义而进行使用的，术语“至少两个”通常是以包括“两个或两个以上”的含义而进行使用的，此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者至少两个该特征，除非内容另外明确指出外。

本实用新型提供一种接口阀及化学气相沉积设备，以解决现有的法兰接口易导致气体泄漏的问题。

以下请参考附图进行描述。

请参考图1至图6，其中，图1是本实用新型一实施例的接口阀的示意图；图2是本实用新型一实施例的连接环的示意图；图3是本实用新型一实施例的阀体的示意图；图4是本实用新型一实施例的阀体的俯视图；图5是本实用新型一实施例的承插法兰的示意图；图6是本实用新型一实施例的承插法兰的主视图。

参考图1并结合参考图3，本实施例提供一种接口阀，其包括：阀体10、承插法兰20及连接环30，所述阀体10具有沿自身轴向贯通的第一通孔11、以及沿自身轴向设置于所述阀体10的一端的第一法兰盘12；所述承插法兰20具有沿自身轴向贯通的第二通孔21、以及沿自身轴向设置于所述承插法兰20的一端的第二法兰盘22；所述连接环30具有内孔31；所述第一法兰盘12通过所述连接环30与所述第二法兰盘22可拆卸地连接，且所述第一通孔11、所述内孔31与所述第二通孔31用于依次贯通。需说明的，阀体10、连接环30以及承插法兰20用于相互装配后，第一通孔11、内孔31以及第二通孔21大致共轴线。可选地，内孔31的孔径不小于第一通孔11的孔径和第二通孔21的孔径，以使气体顺畅流通，优选地，内孔31的孔径、第一通孔11的孔径以及第二通孔21的孔径均相等，应当理解，孔径指的是孔的径向最大内尺寸，对于孔是圆形时，为其直径。但本实用新型并不限制孔的形状为圆形，例如第一通孔11、内孔31以及第二通孔21也可以为多边形。上述的接口阀中，通过设置连接环30以连接阀体10和承插法兰20，可使接口阀具有良好的密封性，避免气体泄漏；实际使用中，可将承插法兰20插入待连接的管道，密封后，与阀体10通过连接环30法兰连接，由此，阀体10、承插法兰20及连接环30三者为可拆卸地连接，三者中任一个发生损坏时，可以方便地拆卸更换，节省维护成本。

优选地，阀体10和承插法兰20均采用不锈钢材质制成，使二者具有较强的硬度和耐腐蚀性，同时可有效较低老化、变形、断裂的风险。连接环30采用聚四氟乙烯材质制成(连接环30即形成四氟垫片)，采用该材质制成的连接环具有耐腐蚀、抗老化、良好的机械强度等特性，另一方面，四氟垫片可进一步增加接口阀的密封性。

进一步，请参考图2、图4及图5，所述第一法兰盘12具有多个周向均匀分布的第一定位孔120，所述第二法兰盘22具有多个周向均匀分布的第二定位孔220，所述连接环30具有多个周向均匀分布的第三定位孔32，所述第一定位孔120、所述第二定位孔220及所述第三定位孔32用于相互对位，以供螺栓穿设连接。在一个示范性的实施例中，第一定位孔120、第二定位孔220以及第三定位孔32均为六个，同一类型定位孔的两个孔之间的夹角为60°。应当理解，第一法兰盘12和第二法兰盘22各自的俯视图与图2所示的连接环30的俯视图大致相同。第一定位孔120、第二定位孔220以及第三定位孔32的数量及分布并不局限于上述示范例，本领域技术人员可根据实际对定位孔的数量和分布进行合理的设置。

优选地，继续参考图1，所述接口阀还包括涂覆层40，所述涂覆层40分别层叠设置于所述第一法兰盘12的外表面、所述承插法兰20的外表面、所述第一通孔11的内壁以及所述第二通孔21的内壁，可选地，所述阀体10还具有沿自身轴向设置于所述阀体10的另一端的第三法兰盘13，所述涂覆层40层叠设置在于所述第三法兰盘13的外表面。通过设置涂覆层40，可进一步增加接口阀的耐腐蚀性。需说明的是，在图1中，为避免涂覆层40贴合设置于第一通孔11的内壁及第二通孔21的内壁，造成图1所示的接口阀的示意图模糊不清，本实施例将涂覆层40与第一通孔11的内壁及第二通孔21的内壁表示为分离状态，应理解实际中，涂覆层40与上述两个通孔的内壁是贴合在一起的。

在一个较优的示范例中，涂覆层40采用特氟龙材质制成，特氟龙即聚四氟乙烯，故涂覆层具有与前文所述采用聚四氟乙烯制成的连接环一样的特性，此外，特氟龙还具有不粘性和低摩擦系数，可避免粉尘大量附着于第一通孔11的内壁及第二通孔21的内壁。可选地，涂覆层40通过涂覆的方式分别成型于第一法兰盘12的外表面、承插法兰20的外表面、第三法兰盘13的外表面、第一通孔11的内壁及第二通孔21的内壁，优选地，涂覆层40通过喷漆工艺形成。

可选地，参考图1及图3，所述阀体10还包括沿所述第一通孔11的径向与所述第一通孔11连通的旁支管道14，以及连接于所述旁支管道14远离所述第一通孔11的一端的第四法兰盘15，所述第四法兰盘15异于连接旁支管道14的一端用于与控制阀门(未图示)法兰连接。更具体地，第四法兰盘15具有通过旁支管路14与第一通孔11连通的第三通孔(未图示)，以及多个周向均匀分布的第四定位孔(未图示)，可以理解的是，第四法兰盘15和图4所示的第一法兰盘12或第三法兰盘13的形状和结构大致相同，尺寸可略小于第一法兰盘12及第三法兰盘13的尺寸，第四法兰盘15通过多个第四定位孔与控制阀门可拆卸地法兰连接。可通过驱动控制阀门的开启以采集接口阀内的气体，从而评估化学气相沉积设备中尾气处理系统的废气处理效率。阀体具有旁支管道和第四法兰盘，在一个具体的实施例中，阀体为法兰三通。

可选地，所述接口阀还包括设置于所述第一通孔11内的阀片50，所述阀片50的延伸方向平行于所述第一通孔11的轴向。优选地，阀片为焊接于第一通孔11内的金属垫片。在一个具体的示范例中，阀片50设置于第一通孔11的正中间，阀片50的法向平行于第四法兰盘15的轴向，旁支管道14沿自身轴向于阀片50上的投影区域全部落于阀片50的范围内，以使阀片50沿旁支管道14的轴向遮蔽旁支管道14，从而阻绝粒子、颗粒物等随气体大量进入旁支管道14，从而影响废气处理效率的评估结果。

进一步，参考图5及图6，所述承插法兰20具有沿自身轴向凸出所述第二法兰盘22的插接部23，所述阀体10和所述承插法兰20用于通过所述连接环30相互装配后，所述插接部23朝远离所述阀体10的方向凸出，所述插接部23用于插入待安装壳体的预定部位。实际中，待安装的壳体具有一供插接部23插设的排气口，排气口的内周贴合设置有连接套(例如橡胶套)。易知，第二通孔21贯通插接部23，接口阀通过插接部23与壳体内连通，气体通过插接部23进入接口阀。

优选地，所述插接部23具有沿周向设置于所述插接部23之外周的卡槽230，所述卡槽230沿所述插接部23的径向向内凹陷，所述卡槽230用于与待安装壳体的预定部位设置的连接套卡合连接。插接部23通过卡槽230与排气口上的连接套卡合连接，一方面可防止插接部23滑动或松动，另一方面可使插接部23与排气口紧密连接，增加密封性，防止气体外逸。

本实施例还提供一种化学气相沉积设备，所述化学气相沉积设备包括如上所述的接口阀。由于所述化学气相沉积设备包括如上所述的接口阀，因此所述化学气相沉积设备也具备由所述接口阀带来的有益效果。本领域技术人员可以根据实际现有技术对化学气相沉积设备的其他部件和结构进行设置，这里对化学气相沉积设备的设置原理及其他部件不作详细的说明。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims

1.一种接口阀，其特征在于，包括：阀体、承插法兰及连接环，

所述连接环具有内孔；

2.根据权利要求1所述的接口阀，其特征在于，所述第一法兰盘具有多个周向均匀分布的第一定位孔，所述第二法兰盘具有多个周向均匀分布的第二定位孔，所述连接环具有多个周向均匀分布的第三定位孔，所述第一定位孔、所述第二定位孔及所述第三定位孔用于相互对位，以供螺栓穿设连接。

3.根据权利要求2所述的接口阀，其特征在于，所述第一定位孔、所述第二定位孔及所述第三定位孔均为六个。

4.根据权利要求1所述的接口阀，其特征在于，所述接口阀还包括涂覆层，所述涂覆层分别层叠设置于所述第一法兰盘的外表面、所述承插法兰的外表面、所述第一通孔的内壁以及所述第二通孔的内壁。

5.根据权利要求4所述的接口阀，其特征在于，所述阀体具有沿自身轴向设置于所述阀体的另一端的第三法兰盘，所述涂覆层层叠设置于所述第三法兰盘的外表面。

6.根据权利要求1所述的接口阀，其特征在于，所述阀体还包括沿所述第一通孔的径向与所述第一通孔连通的旁支管道，以及连接于所述旁支管道远离所述第一通孔的一端的第四法兰盘，所述第四法兰盘异于连接所述旁支管道的一端用于与控制阀门法兰连接。

7.根据权利要求1所述的接口阀，其特征在于，所述接口阀还包括设置于所述第一通孔内的阀片，所述阀片的延伸方向平行于所述第一通孔的轴向。

8.根据权利要求1所述的接口阀，其特征在于，所述承插法兰具有沿自身轴向凸出所述第二法兰盘的插接部，所述阀体和所述承插法兰用于通过所述连接环相互装配后，所述插接部朝远离所述阀体的方向凸出，所述插接部用于插入待安装壳体的预定部位。

9.根据权利要求8所述的接口阀，其特征在于，所述插接部具有沿周向设置于所述插接部之外周的卡槽，所述卡槽沿所述插接部的径向向内凹陷，所述卡槽用于与待安装壳体的预定部位设置的连接套卡合连接。

10.一种化学气相沉积设备，其特征在于，包括根据权利要求1～9中任一项所述的接口阀。