CN213459664U - 一种电力半导体高温扩散炉管 - Google Patents
一种电力半导体高温扩散炉管 Download PDFInfo
- Publication number
- CN213459664U CN213459664U CN202022957772.8U CN202022957772U CN213459664U CN 213459664 U CN213459664 U CN 213459664U CN 202022957772 U CN202022957772 U CN 202022957772U CN 213459664 U CN213459664 U CN 213459664U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- boiler tube
- diffusion
- end cover
- ectosome
- furnace tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 title claims abstract description 85
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 24
- 210000002583 cell-derived microparticle Anatomy 0.000 claims abstract description 25
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 claims abstract description 21
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 claims abstract description 17
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 claims abstract description 15
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000004512 die casting Methods 0.000 claims abstract description 11
- 230000008676 import Effects 0.000 claims abstract description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 20
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 16
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 9
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 13
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000009489 vacuum treatment Methods 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种电力半导体高温扩散炉管，涉及半导体制造技术领域，为解决现有技术中的扩散炉管反应完成后会处于高温状态容易导致工作人员被烫伤的问题。所述扩散炉管外体的上方安装有冷气进口，且扩散炉管外体与冷气进口通过螺栓固定连接，所述扩散炉管外体的下方安装有冷气出口，且扩散炉管外体与冷气出口通过螺栓固定连接，所述扩散炉管外体的内部安装有散热压铸铝，且扩散炉管外体与散热压铸铝通过螺栓固定连接，所述散热压铸铝的内部设置有扩散炉管本体，所述扩散炉管本体的外侧设置有降温环管，所述降温环管分别与冷气进口、冷气出口螺纹连接。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体为一种电力半导体高温扩散炉管。
背景技术
近几年我国扩散设备的升级换代迅速发展，技术进步速度空前，受国外光伏生产企业影响，目前国内有些光伏电池制造企业引进链式扩散生产设备，主要目的是适应生产半导体器件工艺，扩散炉管是半导体器件及大规模集成电路制造过程中用于对硅片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的一种加工装置，主要反应装置一般分为水平式和直立式两种，半导体材料在高纯净的反应腔内进行高温反应，此过程一般需要通入不同种类的气体或对腔体进行抽真空处理，整个生产过程操作、生产设备需要纯净、轻便、耐高温。
在扩散炉管反应完成后，需打开端盖取出半导体器件，但扩散炉管反应完成后会产生高温，容易导致工作人员被烫伤，而等扩散炉管自动降温需要浪费大量时间；因此市场急需研制一种电力半导体高温扩散炉管来帮助人们解决现有的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种电力半导体高温扩散炉管，以解决上述背景技术中提出的扩散炉管反应完成后会处于高温状态容易导致工作人员被烫伤的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种电力半导体高温扩散炉管，包括扩散炉管外体和第一输气管道，所述扩散炉管外体的上方安装有冷气进口，且扩散炉管外体与冷气进口通过螺栓固定连接，所述扩散炉管外体的下方安装有冷气出口，且扩散炉管外体与冷气出口通过螺栓固定连接，所述扩散炉管外体的内部安装有散热压铸铝，且扩散炉管外体与散热压铸铝通过螺栓固定连接，所述散热压铸铝的内部设置有扩散炉管本体，所述扩散炉管本体的外侧设置有降温环管，所述降温环管分别与冷气进口、冷气出口螺纹连接。
优选的，所述扩散炉管外体的一侧设置有端盖，所述端盖的一侧安装有密封环，且端盖与密封环通过螺栓固定连接，所述端盖的一侧安装有把手，且端盖与把手通过螺栓固定连接，所述端盖的内部设置有观察孔。
优选的，所述端盖的一侧安装有合页，且端盖与合页通过螺栓固定连接，所述端盖的一侧设置有封盖，且端盖与封盖通过合页转动连接，所述封盖的一侧安装有拉手，且封盖与拉手焊接连接。
优选的，所述扩散炉管外体的前端面上安装有绝缘块，且扩散炉管外体与绝缘块通过螺栓固定连接，所述绝缘块的前端面上安装有导电铜片，且绝缘块与导电铜片通过螺栓固定连接。
优选的，所述第一输气管道的一侧安装有缓冲管道，且第一输气管道与缓冲管道通过法兰固定连接，所述缓冲管道的一侧安装有第二输气管道，且缓冲管道与第二输气管道通过法兰固定连接。
优选的，所述缓冲管道的内部安装有挡板，且缓冲管道与挡板通过螺栓固定连接，所述挡板的一侧安装有分流块，且挡板与分流块焊接连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1.该实用新型通过散热压铸铝和降温环管的设置，散热压铸铝完全覆盖扩散炉管本体，加快扩散炉管本体的热传递，降温环管通过环形缠绕扩散炉管本体的外侧，使散热压铸铝散发的热量快速降低，提高扩散炉管本体的降温速度。
2.该实用新型通过挡板和分流块的设置，使气体在输送至扩散炉管本体前进行分流，并减缓气体流动速度，防止气体进入扩散炉管本体的速度过快内部化学反应不完全，提高了半导体器件生产的稳定性。
附图说明
图1为本实用新型的一种电力半导体高温扩散炉管的正视图；
图2为本实用新型的一种电力半导体高温扩散炉管的剖视图；
图3为本实用新型的A部位的放大示意图；
图4为本实用新型的缓冲管道的剖视图。
图中：1、扩散炉管外体；2、密封环；3、端盖；4、把手；5、导电铜片；6、绝缘块；7、冷气进口；8、冷气出口；9、第一输气管道；10、缓冲管道；11、第二输气管道；12、散热压铸铝；13、降温环管；14、扩散炉管本体；15、合页；16、拉手；17、封盖；18、观察孔；19、挡板；20、分流块。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种电力半导体高温扩散炉管，包括扩散炉管外体1和第一输气管道9，扩散炉管外体1的上方安装有冷气进口7，且扩散炉管外体1与冷气进口7通过螺栓固定连接，扩散炉管外体1的下方安装有冷气出口8，且扩散炉管外体1与冷气出口8通过螺栓固定连接，扩散炉管外体1的内部安装有散热压铸铝12，且扩散炉管外体1与散热压铸铝12通过螺栓固定连接，散热压铸铝12的内部设置有扩散炉管本体14，扩散炉管本体14的外侧设置有降温环管13，降温环管13分别与冷气进口7、冷气出口8螺纹连接。
进一步，扩散炉管外体1的一侧设置有端盖3，端盖3的一侧安装有密封环2，且端盖3与密封环2通过螺栓固定连接，端盖3的一侧安装有把手4，且端盖3与把手4通过螺栓固定连接，端盖3的内部设置有观察孔18，密封环2的内径大小与扩散炉管外体1的外径大小相同，使密封环2可以密封扩散炉管外体1。
进一步，端盖3的一侧安装有合页15，且端盖3与合页15通过螺栓固定连接，端盖3的一侧设置有封盖17，且端盖3与封盖17通过合页15转动连接，封盖17的一侧安装有拉手16，且封盖17与拉手16焊接连接，封盖17的一侧设置有密封胶垫，使封盖17可以密封观察孔18。
进一步，扩散炉管外体1的前端面上安装有绝缘块6，且扩散炉管外体1与绝缘块6通过螺栓固定连接，绝缘块6的前端面上安装有导电铜片5，且绝缘块6与导电铜片5通过螺栓固定连接，导电铜片5贯穿扩散炉管外体1和散热压铸铝12，与扩散炉管本体14点焊连接。
进一步，第一输气管道9的一侧安装有缓冲管道10，且第一输气管道9与缓冲管道10通过法兰固定连接，缓冲管道10的一侧安装有第二输气管道11，且缓冲管道10与第二输气管道11通过法兰固定连接，第一输气管道9贯穿扩散炉管外体1和散热压铸铝12，穿进扩散炉管本体14的内部。
进一步，缓冲管道10的内部安装有挡板19，且缓冲管道10与挡板19通过螺栓固定连接，挡板19的一侧安装有分流块20，且挡板19与分流块20焊接连接，挡板19和分流块20的表面均涂刷有防腐涂料，增加挡板19和分流块20的使用寿命。
工作原理：使用时，将导电铜片5连通电源使扩散炉管本体14内部增温，气体从第二输气管道11流入缓冲管道10内，经过挡板19和分流块20的作用使气体流速变慢，再经过第一输气管道9的输送，最终进入到扩散炉管本体14内进行反应，可以通过拉动拉手16打开封盖17，从观察孔18内观察扩散炉管本体14内部的反应程度。待扩散炉管反应完成后，通过冷气进口7向降温环管13内通入冷气，对扩散炉管本体14进行降温，温度降低后，拉动把手4打开端盖3取出半导体器件。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (6)
1.一种电力半导体高温扩散炉管，包括扩散炉管外体(1)和第一输气管道(9)，其特征在于：所述扩散炉管外体(1)的上方安装有冷气进口(7)，且扩散炉管外体(1)与冷气进口(7)通过螺栓固定连接，所述扩散炉管外体(1)的下方安装有冷气出口(8)，且扩散炉管外体(1)与冷气出口(8)通过螺栓固定连接，所述扩散炉管外体(1)的内部安装有散热压铸铝(12)，且扩散炉管外体(1)与散热压铸铝(12)通过螺栓固定连接，所述散热压铸铝(12)的内部设置有扩散炉管本体(14)，所述扩散炉管本体(14)的外侧设置有降温环管(13)，所述降温环管(13)分别与冷气进口(7)、冷气出口(8)螺纹连接。
2.根据权利要求1所述的一种电力半导体高温扩散炉管，其特征在于：所述扩散炉管外体(1)的一侧设置有端盖(3)，所述端盖(3)的一侧安装有密封环(2)，且端盖(3)与密封环(2)通过螺栓固定连接，所述端盖(3)的一侧安装有把手(4)，且端盖(3)与把手(4)通过螺栓固定连接，所述端盖(3)的内部设置有观察孔(18)。
3.根据权利要求2所述的一种电力半导体高温扩散炉管，其特征在于：所述端盖(3)的一侧安装有合页(15)，且端盖(3)与合页(15)通过螺栓固定连接，所述端盖(3)的一侧设置有封盖(17)，且端盖(3)与封盖(17)通过合页(15)转动连接，所述封盖(17)的一侧安装有拉手(16)，且封盖(17)与拉手(16)焊接连接。
4.根据权利要求1所述的一种电力半导体高温扩散炉管，其特征在于：所述扩散炉管外体(1)的前端面上安装有绝缘块(6)，且扩散炉管外体(1)与绝缘块(6)通过螺栓固定连接，所述绝缘块(6)的前端面上安装有导电铜片(5)，且绝缘块(6)与导电铜片(5)通过螺栓固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种电力半导体高温扩散炉管，其特征在于：所述第一输气管道(9)的一侧安装有缓冲管道(10)，且第一输气管道(9)与缓冲管道(10)通过法兰固定连接，所述缓冲管道(10)的一侧安装有第二输气管道(11)，且缓冲管道(10)与第二输气管道(11)通过法兰固定连接。
6.根据权利要求5所述的一种电力半导体高温扩散炉管，其特征在于：所述缓冲管道(10)的内部安装有挡板(19)，且缓冲管道(10)与挡板(19)通过螺栓固定连接，所述挡板(19)的一侧安装有分流块(20)，且挡板(19)与分流块(20)焊接连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022957772.8U CN213459664U (zh) | 2020-12-09 | 2020-12-09 | 一种电力半导体高温扩散炉管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022957772.8U CN213459664U (zh) | 2020-12-09 | 2020-12-09 | 一种电力半导体高温扩散炉管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN213459664U true CN213459664U (zh) | 2021-06-15 |
Family
ID=76305347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202022957772.8U Expired - Fee Related CN213459664U (zh) | 2020-12-09 | 2020-12-09 | 一种电力半导体高温扩散炉管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN213459664U (zh) |
-
2020
- 2020-12-09 CN CN202022957772.8U patent/CN213459664U/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN205011866U (zh) | 一种低压扩散炉 | |
| CN213459664U (zh) | 一种电力半导体高温扩散炉管 | |
| CN207410653U (zh) | 一种电气设备冷却室 | |
| CN201357295Y (zh) | 螺旋式水冷却装置 | |
| CN111551037A (zh) | 一种两端带水冷的工艺管 | |
| CN210965129U (zh) | 一种有机硅降温及热量回收装置 | |
| CN215069893U (zh) | 一种工艺管内带真空隔热功能的双层进气管 | |
| TWI667092B (zh) | 奈米核殼結構焊膏及其製備方法 | |
| CN208965080U (zh) | 铸锭炉 | |
| CN209608576U (zh) | 一种具有防尘和防水双重功能的变频器 | |
| CN207109143U (zh) | 一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉 | |
| CN206992863U (zh) | 一种整体拉伸焊接水冷发电机壳体结构 | |
| CN208872147U (zh) | 一种铝合金列管式水冷却器 | |
| CN220304236U (zh) | 一种真空型退火炉 | |
| CN215222692U (zh) | 一种具有自动冷却功能的电力电气安装装置 | |
| CN213955964U (zh) | 一种便捷式导热片导热管钟罩炉装置 | |
| CN215996499U (zh) | 一种新型石墨烯导电材料成型加工装置 | |
| CN218103763U (zh) | 一种保持低温功能的电气箱 | |
| CN209669307U (zh) | 一种全氢罩式炉用冷却装置 | |
| CN214411354U (zh) | 一种自动出炉机器人的防护装置 | |
| CN211717151U (zh) | 一种间接法氧化锌生产用隔焰反射炉 | |
| CN216845735U (zh) | 一种负极材料生产设备的冷却装置 | |
| CN217794569U (zh) | 一种具有良好换热功能的蒸馏装置 | |
| CN218511510U (zh) | 熔炼炉烟气冷却器 | |
| CN201598185U (zh) | 用于四氯化硅转化为三氯氢硅的转化炉 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20210615 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |