CN213459663U - 一种磷源恒温设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种磷源恒温设备，包括外壳、恒温箱体和控制模块；还包括三氯氧磷气体检测探头和应急抽排风装置，三氯氧磷气体检测探头设于恒温箱体的内壁，用于对恒温箱体内部的三氯氧磷气体浓度进行检测，三氯氧磷气体检测探头与控制模块电连接；应急抽排风装置包括漩涡气泵，漩涡气泵与控制模块电连接。本实用新型的磷源恒温设备设置三氯氧磷气体检测探头，用于检测恒温箱体内的三氯氧磷气体浓度，当三氯氧磷气体浓度超限时系统发出报警信号；设置应急抽排风装置，用于在出现磷源泄漏情况时进行应急抽排风，将恒温箱体内的泄漏气体排至已连接的尾气处理系统中，从而保证使用安全。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能光伏生产设备技术领域，尤其涉及一种太阳能电池片生产过程中用于进行硅片表面腐蚀的磷源恒温设备。
背景技术
扩散工艺是太阳能电池工艺的核心，直接关系到太阳能电池的转换效率，很多因素都会影响扩散工艺，其中扩散源三氯氧磷(POCl3)温度的恒定对扩散工艺至关重要，因此需要一种恒温装置确保磷源温度恒定。PSS(Phosphorus Safe Supply)系统，又称磷源安全供料系统，是一种密闭性精密恒温设备，常用于进行磷源恒温储存。三氯氧磷易挥发，有强烈的刺激气味，有强腐蚀性，一旦发生泄漏，将会带来生产安全问题。因此，为了保障生产安全，磷源恒温设备需要具备磷源泄漏报警和应急处理功能。
发明内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种具有磷源气体泄漏报警以及应急排风处理功能的磷源恒温设备，提高使用安全性。
为实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种磷源恒温设备，包括外壳、恒温箱体和控制模块，所述恒温箱体、所述控制模块设于所述外壳的内部；还包括三氯氧磷气体检测探头和应急抽排风装置，所述三氯氧磷气体检测探头设于所述恒温箱体的内壁，用于对所述恒温箱体内部的三氯氧磷气体浓度进行检测，所述三氯氧磷气体检测探头与所述控制模块电连接；所述应急抽排风装置包括漩涡气泵，所述漩涡气泵设于所述外壳内部，且与所述恒温箱体连通；所述漩涡气泵与所述控制模块电连接。
优选地，所述外壳上设有声光报警器，所述声光报警器与所述控制模块电连接。
优选地，所述恒温箱体的内部设有托盘，所述托盘上设有储位槽，用于放置磷源瓶。
优选地，所述恒温箱体的内部设有照明模块，所述照明模块与所述控制模块电连接。
优选地，所述外壳上设有密封门，所述密封门的一侧与所述外壳铰接，所述密封门的内侧设有密封条，用于保证所述密封门与所述恒温箱体之间的密封性。
优选地，所述密封门上设有透明的观察视口。
优选地，所述外壳上设有显示仪表和电源指示灯，所述显示仪表、所述电源指示灯分别与所述控制模块电连接。
优选地，所述外壳上设有操作仓，所述操作仓内设有上电控制开关、急停控制开关和排风控制开关，所述上电控制开关、所述急停控制开关、所述排风控制开关分别与所述控制模块电连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：本实用新型的磷源恒温设备设置三氯氧磷气体检测探头，用于检测恒温箱体内的三氯氧磷气体浓度，当三氯氧磷气体浓度超限时系统发出报警信号，设置应急抽排风装置，用于在出现磷源泄漏情况时进行应急抽排风，将恒温箱体内的泄漏气体排至已连接的尾气处理系统中，从而保证使用安全。
附图说明
图1为本实用新型实施例1的一种磷源恒温设备的主视图；
图2为本实用新型实施例1的一种磷源恒温设备的内部结构示意图；
图3为本实用新型实施例1的一种磷源恒温设备中操作仓的结构示意图。
图中，100-磷源恒温设备，10-外壳，11-密封门，12-观察视口，13-显示仪表，14-电源指示灯，15-操作仓，16-上电控制开关，17-急停控制开关，18-排风控制开关，19-声光报警器，20-恒温箱体，21-托盘，22-储位槽，30-控制模块， 40-三氯氧磷气体检测探头，50-应急抽排风装置，51-漩涡气泵。
具体实施方式
为使对本实用新型的目的、构造、特征、及其功能有进一步的了解，兹配合实施例详细说明如下。
请结合参见图1和图2，图1为本实用新型实施例1的一种磷源恒温设备的主视图；图2为本实用新型实施例1的一种磷源恒温设备的内部结构示意图。
本实用新型的一种磷源恒温设备100，包括外壳10、恒温箱体20和控制模块30，恒温箱体20、控制模块30设于外壳10的内部；还包括三氯氧磷气体检测探头40和应急抽排风装置50，三氯氧磷气体检测探头40设于恒温箱体20的内壁，用于对恒温箱体20内部的三氯氧磷气体浓度进行检测，三氯氧磷气体检测探头40与控制模块30电连接；应急抽排风装置50包括漩涡气泵51，漩涡气泵51设于外壳10内部，且与恒温箱体20连通；漩涡气泵51与控制模块30电连接。使用时，漩涡气泵51连接外部的尾气处理系统(图中未示出)。进一步的，外壳10上设有声光报警器19，声光报警器19与控制模块30电连接。
使用中，三氯氧磷气体检测探头40对恒温箱体20内的三氯氧磷浓度进行检测，当检测到的三氯氧磷浓度超出设定值时，控制模块30即判断恒温箱体20 内出现磷源泄漏现象，控制模块30控制声光报警器19发出声光报警信号，提醒工作人员进行处理；同时，控制模块30自动控制应急抽排风装置50进行应急处理，漩涡气泵51工作，将恒温箱体20内的泄漏气体排至已连接的尾气处理系统中。当应急处理后恒温箱体20内的气体浓度低于设定值时，声光报警器19停止工作，但已经运行的应急抽排风装置50不自动停止，需要操作人员确认后进行手动关闭。由此，可以保障生产安全。
在一实施例中，外壳采用优质A3钢板加工成型，且表面进行了喷塑处理，强度高；恒温箱体采用SUS304#不锈钢材料，恒温箱体的保温层采用高强度PU 发泡与优质岩棉材料，保温性能好。
请参见图1或图2，恒温箱体20的内部设有托盘21，托盘21插装到恒温箱体20内，托盘21上设有储位槽22，用于放置磷源瓶。进一步的，恒温箱体20 的内部设有照明模块23，用于对恒温箱体20的内部进行照明，照明模块23与控制模块40电连接。在一实施例中，照明模块23为LED灯，照明模块23设于恒温箱体20内壁顶端或恒温箱体20内壁与托盘21对应的位置。
请参见图1，外壳10上设有密封门11，密封门11的一侧与外壳10铰接，密封门11的内侧设有密封条，用于保证密封门11与恒温箱体20之间的密封性，保证恒温箱体20内部温度恒定。在一实施例中，密封条采用耐腐蚀的高韧性橡胶材质，能够增强密封性，延长使用寿命。进一步地，密封门11上设有透明的观察视口12，方便人员观察恒温箱体20的内部情况。在一实施例中，观察视口 12采用内嵌式双层高透明防爆钢化玻璃，强度高，能够延长使用寿命。
请结合参见图1和图3，图1为本实用新型实施例1的一种磷源恒温设备的主视图；图3为本实用新型实施例1的一种磷源恒温设备中操作仓的结构示意图。外壳10上还设有显示仪表13、电源指示灯14和操作仓15，显示仪表13、电源指示灯14分别与控制模块30电连接，显示仪表13用于显示磷源恒温设备100 的工作数据，方便操作人员进行监控；电源指示灯14用于指示磷源恒温设备100 的工作状态；打开操作仓15的仓门，操作仓15内设有上电控制开关16、急停控制开关17和排风控制开关18，上电控制开关16、急停控制开关17、排风控制开关18分别与控制模块30电连接。上电控制开关16用于进行磷源恒温设备 100的开关机操作，急停控制开关17用于在出现紧急状况时进行紧急停机控制，排风控制开关18用于进行应急抽排风装置50的手动控制。
本实用新型利用三氯氧磷气体检测探头40对恒温箱体20内的三氯氧磷浓度进行检测，当检测到的三氯氧磷浓度超出设定值时，控制模块30控制声光报警器19发出声光报警信号；同时，控制模块30自动控制应急抽排风装置50进行应急抽排风处理，将恒温箱体20内的泄漏气体排至已连接的尾气处理系统中。一段时间后，恒温箱体20内的气体浓度低于设定值时，声光报警器19停止工作，但已经运行的应急抽排风装置50不自动停止，操作人员需要通过排风控制开关 18控制应急抽排风装置50停止工作。
综上所述，本实用新型提供一种磷源恒温设备，恒温箱体内设置三氯氧磷气体检测探头，用于检测恒温箱体内的三氯氧磷气体浓度，当三氯氧磷气体浓度超限时系统发出报警信号；设置应急抽排风装置，用于在出现磷源泄漏情况时进行应急抽排风，将恒温箱体内的泄漏气体排至已连接的尾气处理系统中，从而保证使用安全。
本实用新型已由上述相关实施例加以描述，然而上述实施例仅为实施本实用新型的范例。必需指出的是，已揭露的实施例并未限制本实用新型的范围。相反地，在不脱离本实用新型的精神和范围内所作的更动与润饰，均属本实用新型的专利保护范围。
Claims (8)
1.一种磷源恒温设备，包括外壳、恒温箱体和控制模块，所述恒温箱体、所述控制模块设于所述外壳的内部，其特征在于：还包括三氯氧磷气体检测探头和应急抽排风装置，所述三氯氧磷气体检测探头设于所述恒温箱体的内壁，用于对所述恒温箱体内部的三氯氧磷气体浓度进行检测，所述三氯氧磷气体检测探头与所述控制模块电连接；所述应急抽排风装置包括漩涡气泵，所述漩涡气泵设于所述外壳内部，且与所述恒温箱体连通；所述漩涡气泵与所述控制模块电连接。
2.如权利要求1所述的磷源恒温设备，其特征在于：所述外壳上设有声光报警器，所述声光报警器与所述控制模块电连接。
3.如权利要求1所述的磷源恒温设备，其特征在于：所述恒温箱体的内部设有托盘，所述托盘上设有储位槽，用于放置磷源瓶。
4.如权利要求1所述的磷源恒温设备，其特征在于：所述恒温箱体的内部设有照明模块，所述照明模块与所述控制模块电连接。
5.如权利要求1所述的磷源恒温设备，其特征在于：所述外壳上设有密封门，所述密封门的一侧与所述外壳铰接，所述密封门的内侧设有密封条，用于保证所述密封门与所述恒温箱体之间的密封性。
6.如权利要求5所述的磷源恒温设备，其特征在于：所述密封门上设有透明的观察视口。
7.如权利要求1-6中任意一项所述的磷源恒温设备，其特征在于：所述外壳上设有显示仪表和电源指示灯，所述显示仪表、所述电源指示灯分别与所述控制模块电连接。
8.如权利要求1-6中任意一项所述的磷源恒温设备，其特征在于：所述外壳上设有操作仓，所述操作仓内设有上电控制开关、急停控制开关和排风控制开关，所述上电控制开关、所述急停控制开关、所述排风控制开关分别与所述控制模块电连接。
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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| CN213459663U true CN213459663U (zh) | 2021-06-15 |
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Family Applications (1)
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| CN202022943503.6U Active CN213459663U (zh) | 2020-12-11 | 2020-12-11 | 一种磷源恒温设备 |
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2020
- 2020-12-11 CN CN202022943503.6U patent/CN213459663U/zh active Active
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