CN213396879U - 一种定向工具的外径测量工具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种定向工具的外径测量工具，其结构包括尺身、轨道、移动块、外径头、磨球、宽度头，尺身与轨道为一体化成型，移动块内层与轨道外层过渡连接，外径头顶面固定安装于尺身左部分，磨球与外径头内部活动卡合，宽度头底面焊接于尺身左部分，本实用新型在外径头位置设有多个磨球，在进行夹持的时候，磨球由于变形壳的存在外径变小，不会导致测量准度下降，在拉出过程中，通过凸轮顶压顶轮顶出磨块，使磨块与晶圆工件外径表面进行紧密贴合摩擦，将表面的刮痕抹平，保证光滑度，避免给后续加工带来阻碍。

Description

一种定向工具的外径测量工具

技术领域

本实用新型涉及定向工具领域，具体的是一种定向工具的外径测量工具。

背景技术

定向工具是一种将所需的运输件向一定方向导向的工具，经常被用于工件传输的传输台上，若想令某一个工件可以顺利通过，需要对工件进行外径测量，以便于确定定向工具的开口大小，现有技术中用于外径测量的工具在对硅晶圆片的外径进行测量的时候，由于硅晶圆片材料较为柔软，测量工具通过手动进行夹持，在测量时稍有不慎用力过猛就会导致晶圆外径产生刮痕，导致晶圆工件光滑度降低，不利于后续加工的进行。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供一种定向工具的外径测量工具。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种定向工具的外径测量工具，其结构包括尺身、轨道、移动块、外径头、磨球、宽度头，所述尺身与轨道为一体化成型，所述移动块内层与轨道外层过渡连接，所述外径头顶面固定安装于尺身左部分，所述磨球与外径头内部活动卡合，所述宽度头底面焊接于尺身左部分。

更进一步的，所述磨球包括固定轴、固定棒、凸轮、变形壳、磨块，所述固定棒嵌入于固定轴内部，所述凸轮内层与固定棒底部固定连接，所述磨块嵌入于变形壳外层，所述凸轮外层与磨块底部固定连接。

更进一步的，所述磨块包括块体、顶轮、接触层、粗糙槽、摩擦块，所述块体底部与顶轮活动卡合，所述接触层底面与块体顶面固定连接，所述接触层顶面与粗糙槽为一体化成型，所述摩擦块底部嵌入于接触层顶面。

更进一步的，所述磨块设有四个，四个所述磨块都嵌入于变形壳外层。

更进一步的，所述粗糙槽为弧形槽结构，所述摩擦块为锲型块结构。

更进一步的，所述变形壳采用橡胶材料制造，有较强的变形恢复能力。

有益效果

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型在外径头位置设有多个磨球，在进行夹持的时候，磨球由于变形壳的存在外径变小，不会导致测量准度下降，在拉出过程中，通过凸轮顶压顶轮顶出磨块，使磨块与晶圆工件外径表面进行紧密贴合摩擦，将表面的刮痕抹平，保证光滑度，避免给后续加工带来阻碍。

附图说明

图1为本实用新型一种定向工具的外径测量工具立体的结构示意图。

图2为本实用新型磨球正视截面的结构示意图。

图3为本实用新型磨块正视截面的结构示意图。

图中：尺身-1、轨道-2、移动块-3、外径头-4、磨球-5、宽度头-6、固定轴-51、固定棒-52、凸轮-53、变形壳-54、磨块-55、块体-551、顶轮-552、接触层-553、粗糙槽-554、摩擦块-555。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

实施例

如图1-图3所示，本实用新型提供一种定向工具的外径测量工具，其结构包括尺身1、轨道2、移动块3、外径头4、磨球5、宽度头6，所述尺身1与轨道2为一体化成型，所述移动块3内层与轨道2外层过渡连接，所述外径头4顶面固定安装于尺身1左部分，所述磨球5与外径头4内部活动卡合，所述宽度头6底面焊接于尺身1左部分，所述磨球5包括固定轴51、固定棒52、凸轮53、变形壳54、磨块55，所述固定棒52嵌入于固定轴51内部，所述凸轮53内层与固定棒52底部固定连接，所述磨块55嵌入于变形壳54外层，所述凸轮53外层与磨块55底部固定连接，所述磨块55包括块体551、顶轮552、接触层553、粗糙槽554、摩擦块555，所述块体551底部与顶轮552活动卡合，所述接触层553底面与块体551顶面固定连接，所述接触层553顶面与粗糙槽554为一体化成型，所述摩擦块555底部嵌入于接触层553顶面，所述磨块55设有四个，四个所述磨块55都嵌入于变形壳54外层，所述粗糙槽554为弧形槽结构，所述摩擦块555为锲型块结构，所述变形壳54采用橡胶材料制造，有较强的变形恢复能力。

下面对本实用新型的工作原理做如下说明：通过移动块3在轨道2上移动，来张开外径头4进行对工件外径的测量，在测量时，将外径头4紧贴工件外径表面，即可通过尺身1读出外径大小，在测量完毕后，将工件拉出，在拉出过程中，工件表面会和磨球5的磨块55顶面的接触层553进行接触，并且在粗糙层554的作用下产生较大的摩擦力，推动变形壳554旋转，旋转到一定程度后，即可使凸轮53和顶轮552相互接触，将磨块55顶出，此时继续下拉，使摩擦块555在较强的压力情况下对工件的表面进行抹平，使其表面的瑕疵凹槽被去除保持工件表面的光滑度。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (5)

1.一种定向工具的外径测量工具，其结构包括尺身（1）、轨道（2）、移动块（3）、外径头（4）、磨球（5）、宽度头（6），其特征在于：所述尺身（1）与轨道（2）为一体化成型，所述移动块（3）内层与轨道（2）外层过渡连接，所述外径头（4）顶面固定安装于尺身（1）左部分，所述磨球（5）与外径头（4）内部活动卡合，所述宽度头（6）底面焊接于尺身（1）左部分。

2.根据权利要求1所述的一种定向工具的外径测量工具，其特征在于：所述磨球（5）包括固定轴（51）、固定棒（52）、凸轮（53）、变形壳（54）、磨块（55），所述固定棒（52）嵌入于固定轴（51）内部，所述凸轮（53）内层与固定棒（52）底部固定连接，所述磨块（55）嵌入于变形壳（54）外层，所述凸轮（53）外层与磨块（55）底部固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种定向工具的外径测量工具，其特征在于：所述磨块（55）包括块体（551）、顶轮（552）、接触层（553）、粗糙槽（554）、摩擦块（555），所述块体（551）底部与顶轮（552）活动卡合，所述接触层（553）底面与块体（551）顶面固定连接，所述接触层（553）顶面与粗糙槽（554）为一体化成型，所述摩擦块（555）底部嵌入于接触层（553）顶面。

4.根据权利要求2所述的一种定向工具的外径测量工具，其特征在于：所述磨块（55）设有四个，四个所述磨块（55）都嵌入于变形壳（54）外层。

5.根据权利要求3所述的一种定向工具的外径测量工具，其特征在于：所述粗糙槽（554）为弧形槽结构，所述摩擦块（555）为锲型块结构。

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