CN213394635U - 一种长晶炉稳压供气装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种长晶炉稳压供气装置，该长晶炉稳压供气装置，包括气源；与气源相连的主气管；多个连接于主气管上的支气管，每个支气管上设有第一减压稳压阀；稳压系统，所述稳压系统包括连接于气源和靠近气源的支气管之间的第一气瓶，所述第一气瓶设于主气管上，所述第一气瓶的进气管道上设有增压阀，所述第一气瓶的出气管道上设有第二减压稳压阀。该长晶炉稳压供气装置，可以在一根主管道尽量控制多台设备情况下，尽量降低成本，并尽量保证每一个设备之间气相稳定，减少设备之间的影响。

Description

一种长晶炉稳压供气装置

技术领域

本实用新型涉及长晶炉技术领域，尤其涉及一种长晶炉稳压供气装置。

背景技术

长晶炉气体的供应一直是关系到晶体生长的一个重要因素，气体的供应，提供了晶体生长所必须的气氛环境。目前大多数企业选择的方案是通过高压气体直接输送的方式供气，但由于成本及施工难度原因，常由一个主管道输送至车间，再在主管道上分接出直接连接设备的气体管道，一般一个主管道负责10个及以上设备的供气，然后由设备自带阀门进行减压供气。这种供气方式在某台设备通气状态改变或检修时，会影响到相同主管道的其他设备，导致气相不稳定，进而影响长晶质量。特别是当串联的设备增多或供气不足时，则更加剧了设备之间的相互干扰。若每台设备单独供气则资金花费巨大、且线路过于复杂不易维护。

实用新型内容

本实用新型为了弥补现有技术的不足，提供了一种长晶炉稳压供气装置，可以在一根主管道尽量控制多台设备情况下，尽量降低成本，并尽量保证每一个设备之间气相稳定，减少设备之间的影响。

本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案是：

一种长晶炉稳压供气装置，包括气源；

与气源相连的主气管；

多个连接于主气管上的支气管，每个支气管上设有第一减压稳压阀；

稳压系统，所述稳压系统包括连接于气源和靠近气源的支气管之间的第一气瓶，所述第一气瓶设于主气管上，所述第一气瓶的进气管道上设有增压阀，所述第一气瓶的出气管道上设有第二减压稳压阀。

可选的，所述稳压系统还包括设于第二减压稳压阀和第一减压稳压阀之间的第二气瓶。

可选的，所述第二气瓶设于主气管上。

可选的，所述第二气瓶的进气管道和出气管道上还分别设有第一开关阀。

可选的，所述稳压系统还包括连接于主气管末端的第三气瓶，所述支气管连接于第二气瓶和第三气瓶之间的主气管上。

可选的，所述第三气瓶与所述支气管之间的主气管上还设有第二开关阀。

可选的，所述稳压系统还包括连接于气源和第二减压稳压阀之间的备用管，所述备用管与所述第一气瓶并联，所述备用管上设有第三开关阀；

第一气瓶的出气管道上还设有第三稳压减压阀或/和第四开关阀。

可选的，长晶炉稳压供气装置还包括柜体，所述稳压系统集成设置在所述柜体中。

可选的，所述第三开关阀或第四开关阀采用球阀。

可选的，第一气瓶和气源之间还设有第五开关阀。

长晶炉供气装置，在使用时，由于同时供气个多个设备，必须保证供气压力，因此一般主气管设置的比较细，如此，在改变供气状态时，对其他设备影响较大，影响长晶质量。本实用新型能产生的优异效果包括但不限于：

1、本申请，在供气充足时，第一气瓶可以储存一部分气体，之后气体依次经过第二减压稳压阀、第一减压稳压阀，可以使得具有一定压力的气体比较平稳的达到长晶炉所需的气体压力和流量，此时，增压阀可以设置为不起作用。

在供气不足时，第一气瓶储存的气体可以起到调控多个长晶炉所需气体的作用；同时，增压阀起作用，增加进入第一气瓶的气体压力，以保证第二减压稳压阀、第一减压稳压阀的依次减压操作顺利进行，从而保证向长晶炉稳定供气。上述调控过程同样适用于增压长晶炉设备个数的情况。

2、本申请，通过第二气瓶的设置，可以起到更好的调控作用，尤其在增加长晶炉设备个数时，第二气瓶的设置，可以更加快速的实现气体补给，保证各长晶炉设备供气稳定，从而降低相互之间的干扰。

3、本申请，通过第三气瓶的设置，进一步实现更优的调控作用，在长晶炉设备个数较多时，供气不足或增加设备，对远离气源的设备影响较大，第三气瓶的设置，可以实现后方设备气体及时补充，保证各长晶炉设备供气稳定。

4、本申请，通过备用管的设置，可以在不切断使用的情况下，对第一气瓶进行检修，且第二气瓶与备用管连接也可以起到调控作用。

5、本申请，在一根主管道尽量控制多台设备情况下，尽量降低成本，并尽量保证每一个设备之间气相稳定，减少设备之间的影响。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的结构示意图；

图2为本实用新型另一实施例的结构示意图。

图中，1、气源，2、主气管，3、支气管，4、第一减压稳压阀，5、第一气瓶，6、增压阀，7、第二减压稳压阀，8、第二气瓶，9、第一开关阀，10、第三气瓶，11、第二开关阀，12、备用管，13、第三开关阀，14、第三减压稳压阀,15、第五开关阀。

具体实施方式

为能清楚说明本方案的技术特点，下面通过具体实施方式并结合附图，对本实用新型进行详细阐述。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请，但是，本申请还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本申请的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

另外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

长晶炉供气装置，在使用时，由于同时供气个多个设备，必须保证供气压力，因此一般主气管设置的比较细，如此，在改变供气状态时，对其他设备影响较大，影响长晶质量。本实用新型提供的长晶炉稳压供气装置，可以解决上述问题。

本实施例中，如图1所示，该长晶炉稳压供气装置，包括气源1；与气源1相连的主气管2；多个连接于主气管2上的支气管3，每个支气管3上设有第一减压稳压阀4；稳压系统，所述稳压系统包括连接于气源1和靠近气源的支气管3之间的主气管2上的第一气瓶5，所述第一气瓶5的进气管道上设有增压阀6，所述第一气瓶5的出气管道上设有第二减压稳压阀7。

本申请，在供气充足时，第一气瓶5可以储存一部分气体，之后气体依次经过第二减压稳压阀7、第一减压稳压阀4，可以使得具有一定压力的气体比较平稳的达到长晶炉所需的气体压力和流量，此时，增压阀6可以设置为不起作用。

在供气不足时，第一气瓶5储存的气体可以起到调控多个长晶炉所需气体的作用；同时，增压阀6起作用，增加进入第一气瓶5的气体压力，以保证第二减压稳压阀7、第一减压稳压阀4的依次减压操作顺利进行，从而保证向长晶炉稳定供气。上述调控过程同样适用于增加长晶炉设备个数的情况。

在一个实施例中，如图1所示，所述稳压系统还包括设于第二减压稳压阀7和第一减压稳压阀4之间的第二气瓶8。第二气瓶8即可以设于支气管3上，也可以设于主气管2上，设于主气管2上成本更低。其中，第二气瓶8的设置，可以使稳压系统起到更好的调控作用，尤其在增加长晶炉设备个数时，第二气瓶8的设置，可以更加快速的实现气体补给，保证各长晶炉设备供气稳定，从而降低相互之间的干扰。

为了检修第二气瓶8，在第二气瓶8的进气管道和出气管道上还分别设有第一开关阀9，第一开关阀9可以采用闸阀或球阀等能够实现气体切断作用的阀门。

在一个实施例中，如图1所示，所述稳压系统还包括连接于主气管2末端的第三气瓶10，所述支气管3连接于第二气瓶8和第三气瓶10之间的主气管2上。第三气瓶10的设置，进一步实现更优的调控作用，在长晶炉设备个数较多时，供气不足或增加设备，对远离气源的设备影响较大，第三气瓶10的设置，可以实现后方设备气体及时补充，保证各长晶炉设备供气稳定。

为了检修第三气瓶10，在第三气瓶10与支气管2之间的主气管2上还设有第二开关阀11。第二开关阀11可以采用闸阀或球阀等能够实现气体切断作用的阀门。

在一个实施例中，如图2所示，所述稳压系统还包括连接于气源1和第二减压稳压阀7之间的备用管12，所述备用管12与所述第一气瓶5并联，所述备用管12上设有第三开关阀13；第一气瓶5的出气管道上还设有第三稳压减压阀14或/和第四开关阀。通过备用管13的设置，可以在不切断使用的情况下，对第一气瓶5进行检修，且第二气瓶8与备用管12连接也可以起到调控作用。其中增压阀6实现进气切断，第三稳压减压阀14既可以实现出气切断，还可以实现使用时第一气瓶出气稳压作用，第四开关阀可以实现出气切断作用，因此，第三稳压减压阀14、第四开关阀既可以串联使用，也可以分别单独使用。所述备用管和第一气瓶与所述气源之间还设有第五开关阀15，作为总开关使用，也是为了不使用时，较好的切断第一气瓶和气源。其中，第三开关阀、第四开关阀、第五开关阀也可以采用闸阀或球阀等能够实现气体切断作用的阀门。

在一个实施例中，长晶炉稳压供气装置还包括柜体，如图2中，被框住的结构集成设置在柜体中，如此更加安全、方便、美观、便于维护。

上述具体实施方式不能作为对本实用新型保护范围的限制，对于本技术领域的技术人员来说，对本实用新型实施方式所做出的任何替代改进或变换均落在本实用新型的保护范围内。

本实用新型未详述之处，均为本技术领域技术人员的公知技术。

Claims (10)

1.一种长晶炉稳压供气装置，其特征在于，包括：

气源；

与气源相连的主气管；

多个连接于主气管上的支气管，每个支气管上设有第一减压稳压阀；

稳压系统，所述稳压系统包括连接于气源和靠近气源的支气管之间的第一气瓶，所述第一气瓶设于主气管上，所述第一气瓶的进气管道上设有增压阀，所述第一气瓶的出气管道上设有第二减压稳压阀。

2.根据权利要求1所述的长晶炉稳压供气装置，其特征在于，所述稳压系统还包括设于第二减压稳压阀和第一减压稳压阀之间的第二气瓶。

3.根据权利要求2所述的长晶炉稳压供气装置，其特征在于，所述第二气瓶设于主气管上。

4.根据权利要求3所述的长晶炉稳压供气装置，其特征在于，所述第二气瓶的进气管道和出气管道上还分别设有第一开关阀。

5.根据权利要求1或2所述的长晶炉稳压供气装置，其特征在于，所述稳压系统还包括连接于主气管末端的第三气瓶，所述支气管连接于第二气瓶和第三气瓶之间的主气管上。

6.根据权利要求5所述的长晶炉稳压供气装置，其特征在于，所述第三气瓶与所述支气管之间的主气管上还设有第二开关阀。

7.根据权利要求1或3所述的长晶炉稳压供气装置，其特征在于，所述稳压系统还包括连接于气源和第二减压稳压阀之间的备用管，所述备用管与所述第一气瓶并联，所述备用管上设有第三开关阀；

第一气瓶的出气管道上还设有第三稳压减压阀或/和第四开关阀。

8.根据权利要求7所述的长晶炉稳压供气装置，其特征在于，长晶炉稳压供气装置还包括柜体，所述稳压系统集成设置在所述柜体中。

9.根据权利要求7所述的长晶炉稳压供气装置，其特征在于，所述第三开关阀或第四开关阀采用球阀。

10.根据权利要求1所述的长晶炉稳压供气装置，其特征在于，第一气瓶和气源之间还设有第五开关阀。

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