CN213378176U - 全自动晶圆清洗机 - Google Patents
全自动晶圆清洗机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN213378176U CN213378176U CN202022092726.6U CN202022092726U CN213378176U CN 213378176 U CN213378176 U CN 213378176U CN 202022092726 U CN202022092726 U CN 202022092726U CN 213378176 U CN213378176 U CN 213378176U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- cavity
- cleaning
- lifting mechanism
- magazine
- main shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 69
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 91
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 60
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 40
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical group [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型公开了全自动晶圆清洗机，包括机体，所述机体内部设有第一腔体及第二腔体，并且所述第一腔体与所述第二腔体之间设有清洗腔，所述机体的前端设有机头，所述机头内部设有物料升降机构、第一弹匣及第二弹匣，所述清洗腔设有清洗摆臂机构及可真空吸附的陶瓷吸盘，所述第一腔体设有物料纵走机构、清洗盖升降机构及物料承载臂，所述物料纵走机构设有可夹取物料的气动夹爪，所述第二腔体设有主轴升降机构及主轴旋转机构，并且所述主轴升降机构与所述主轴旋转机构分别对接所述清洗腔，本实用新型通过升降式的送料及出料，并且通过自动夹取并实现自动清洗的功能实现全自动化清洗，提高清洗效率减少人工成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆清洗机技术领域，具体为全自动晶圆清洗机。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。随着特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，因此，清洗晶圆是半导体制程中常见的一道工序，于是清洗晶圆的设备大量出现，然而，传统的清洗晶圆的设备并非全自动，大多采用人工清洗，但人工进行手动清洗的方式，不但劳动强度大，清洗效率低，同时更因为人为因素而损坏晶圆而增加成本，为解决这些问题，提出一种全自动晶圆清洗机。
实用新型内容
为了克服现有技术方案的不足，本实用新型提供全自动晶圆清洗机，能有效的解决背景技术提出的问题。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
全自动晶圆清洗机，包括机体，所述机体内部设有第一腔体及第二腔体，并且所述第一腔体与所述第二腔体之间设有清洗腔，所述机体的前端设有机头，所述机头内部设有物料升降机构、第一弹匣及第二弹匣，所述清洗腔设有清洗摆臂机构及可真空吸附的陶瓷吸盘，所述第一腔体设有物料纵走机构、清洗盖升降机构及物料承载臂，所述物料纵走机构设有可夹取物料的气动夹爪，所述第二腔体设有主轴升降机构及主轴旋转机构，并且所述主轴升降机构与所述主轴旋转机构分别对接所述清洗腔。
特别的，所述第一弹匣位于所述物料升降机构的上端，所述第二弹匣位于所述物料升降机构的下端，并且所述物料升降机构分别连接所述第一弹匣与所述第二弹匣。
特别的，所述物料承载臂位于所述清洗腔的上端，并且所述物料承载臂与所述物料纵走机构连接。
特别的，所述陶瓷吸盘与所述主轴升降机构连接。
特别的，所述机体的外部还包括报警灯及触摸屏。
特别的，所述清洗盖升降机构垂直设于所述第一腔体内，并且所述清洗盖升降机构与所述清洗腔对齐。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型在结构设置了物料升降机构、物料纵走机构、清洗盖升降机构、主轴升降机构及主轴旋转机构，通过升降以及平移移动的方式和真空吸附的吸盘吸取物料后通过气动夹爪进行放置物料清洗，该结构实现的全自动的清洗效果，通过第一弹匣与第二弹匣利用推送式的送料方式进行送料以及出料，该加工能有效避免了人工手动对物料进行放置，同时通过自动清洗盖升降机构以及具有真空吸附功能的陶瓷吸盘进行对物料进行吸附以及对物料移动的功能，当物料放置好清洗腔上时，自动对物料进行清洗，全程实现了自动化清洗功能，在提高清洗效率的同时还能减少人工成本以及人工所产生的失误性的损失。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图；
图2为本实用新型腔体内部结构示意图；
图3为本实用新型又一结构示意图。
图中标号：
1、机体；2、报警灯；3、触摸屏；4、机头；5、第一弹匣；6、第二弹匣；7、物料纵走机构；8、清洗盖升降机构；9、气动夹爪；10、物料承载臂；11、陶瓷吸盘；12、清洗摆臂机构；13、主轴升降机构；14、主轴旋转机构；15、清洗腔；16、第一腔体；17、第二腔体；18、物料升降机构。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1-3所示，本实用新型提供了全自动晶圆清洗机，包括机体1，所述机体1内部设有第一腔体16及第二腔体17，并且所述第一腔体16与所述第二腔体17之间设有清洗腔15，所述机体1的前端设有机头4，所述机头4内部设有物料升降机构18、第一弹匣5及第二弹匣6，所述清洗腔15设有清洗摆臂机构12及可真空吸附的陶瓷吸盘11，所述第一腔体16设有物料纵走机构7、清洗盖升降机构8及物料承载臂10，所述物料纵走机构7设有可夹取物料的气动夹爪9，所述第二腔体17设有主轴升降机构13及主轴旋转机构14，并且所述主轴升降机构13与所述主轴旋转机构14分别对接所述清洗腔15，本实施案例通过多个升降机构以及气动式夹取机构、真空吸盘等机构对晶圆进行移动及定位的方式进行放置，同时，所述机体1的外部还包括报警灯2及热感按压式的触摸屏3，该结构起到警示以及操作机器运行的作用，所述主轴升降机构13对物料进行推送以至清洗腔15内配合所述清洗摆臂机构12以及主轴旋转机构14进行全自动全方位清洗，有效提高清洗效率以及减少人工成本。
进一步说明的是，所述第一弹匣5位于所述物料升降机构18的上端，所述第二弹匣6位于所述物料升降机构18的下端，并且所述物料升降机构18分别连接所述第一弹匣5与所述第二弹匣6，所述第二弹匣6装载着未清洗的晶圆，所述第二弹匣6需要通过人工上料的方式进行填充，所述第一弹匣5装载清洗完毕的晶圆，并且所述第一弹匣5随着晶圆的增多会通过所述物料升降机构18而发生位移，以达到对接清洗好的晶圆，方便操作者的收集，所述第二弹匣6与所述第一弹匣5的原理相反。
进一步说明的是，所述物料承载臂10位于所述清洗腔15的上端，并且所述物料承载臂10与所述物料纵走机构7连接，所述物料承载臂10用于晶圆的盛放，并且通过所述物料纵走机构7上的气动夹爪9对晶圆进行夹取放置于所述物料承载臂10上。
进一步说明的是，所述陶瓷吸盘11与所述主轴升降机构14连接，所述主轴升降机构14连接的陶瓷吸盘11采用真空式吸附晶圆的原理，在能紧固吸取的同时有效避免在吸取时损坏晶圆，并且通过该结构实现晶圆通过主轴升降机构14的升降结构进行推送，使晶圆以到达适合的位置进行下一步的工序。
进一步说明的是，所述清洗盖升降机构14垂直设于所述第一腔体内，并且所述清洗盖升降机构14与所述清洗腔15对齐，所述清洗盖升降机构8通过驱动实现升降功能，同时所述清洗盖升降机构8上有采用真空吸附晶圆的吸盘，能将晶圆吸附，并实现放置在固定的位置上进行清洗，同时，所述物料承载臂10打开，所述主轴升降机构13上升，所述清洗盖升降机构8下降，在放置合适的位置后，所述圆晶通过吸盘破真空后松开晶圆，并且所述主轴升降机构13下降到位后，所述主轴旋转机构14开始旋转，喷嘴开始进行清洗工作，同时，所述清洗摆臂机构12配合清洗工作进行摆动。
具体工作原理：在使用过程中，操作者首先将设于所述机头4内部的第二弹匣6将未清洗的晶圆放置好，然后将所述第二弹匣6放置在所述物料升降机构18上，同时，所述物料升降机构18上端的第一弹匣5是用于放置清洗完毕的晶圆，当完成晶圆的放置后，使用者通过设于所述机体1外部的触摸屏3进行开启，并且所述机体1外部的警示灯2连接所述机体1，并且可以针对机体1运作过程的出现的问题而产生变化，当机器运行后，所述物料纵走机构7上的气动夹爪9夹取晶圆，同时，所述物料承载臂10闭合到适当的距离放置晶圆，所述气动夹爪9带动夹取的晶圆移动到清洗腔15的上方，再放置到物料承载臂10上，所述清洗盖升降机构8上的吸盘将晶圆吸起并上升，所述物料承载臂10打开，同时所述主轴升降机构18上升，所述清洗盖升降机构8上升，所述陶瓷吸盘11真空吸附晶圆，然后所述主轴升降机构13下降到原位后，所述主轴旋转机构14开始旋转，并且，在所述清洗腔15内的喷嘴开始工作，同时，所述清洗摆臂机构12配合清洗工作进行摆动，当晶圆清洗完毕后，将晶圆推送至设于所述物料升降机构18上端的第一弹匣5处。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (6)
1.全自动晶圆清洗机，其特征在于：包括机体，所述机体内部设有第一腔体及第二腔体，并且所述第一腔体与所述第二腔体之间设有清洗腔，所述机体的前端设有机头，所述机头内部设有物料升降机构、第一弹匣及第二弹匣；
所述清洗腔设有清洗摆臂机构及可真空吸附的陶瓷吸盘，所述第一腔体设有物料纵走机构、清洗盖升降机构及物料承载臂，所述物料纵走机构设有可夹取物料的气动夹爪，所述第二腔体设有主轴升降机构及主轴旋转机构，并且所述主轴升降机构与所述主轴旋转机构分别对接所述清洗腔。
2.根据权利要求1所述的全自动晶圆清洗机，其特征在于：所述第一弹匣位于所述物料升降机构的上端，所述第二弹匣位于所述物料升降机构的下端，并且所述物料升降机构分别连接所述第一弹匣与所述第二弹匣。
3.根据权利要求1所述的全自动晶圆清洗机，其特征在于：所述物料承载臂位于所述清洗腔的上端，并且所述物料承载臂与所述物料纵走机构连接。
4.根据权利要求1所述的全自动晶圆清洗机，其特征在于：所述陶瓷吸盘与所述主轴升降机构连接。
5.根据权利要求1所述的全自动晶圆清洗机，其特征在于：所述机体的外部还包括报警灯及触摸屏。
6.根据权利要求1所述的全自动晶圆清洗机，其特征在于：所述清洗盖升降机构垂直设于所述第一腔体内，并且所述清洗盖升降机构与所述清洗腔对齐。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022092726.6U CN213378176U (zh) | 2020-09-22 | 2020-09-22 | 全自动晶圆清洗机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022092726.6U CN213378176U (zh) | 2020-09-22 | 2020-09-22 | 全自动晶圆清洗机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN213378176U true CN213378176U (zh) | 2021-06-08 |
Family
ID=76181391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202022092726.6U Active CN213378176U (zh) | 2020-09-22 | 2020-09-22 | 全自动晶圆清洗机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN213378176U (zh) |
-
2020
- 2020-09-22 CN CN202022092726.6U patent/CN213378176U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN113481575B (zh) | 晶圆电镀设备自动上下料装置 | |
| CN113134765B (zh) | 全自动镜片生产加工设备 | |
| CN210956602U (zh) | 一种自动化晶圆测试机台 | |
| CN116690821A (zh) | 切割分选上料机 | |
| CN213378176U (zh) | 全自动晶圆清洗机 | |
| CN115863209A (zh) | 全自动单晶圆清洗机及晶圆清洗方法 | |
| CN215887298U (zh) | 晶圆电镀设备自动上下料装置挂具移动开合机构 | |
| CN212071388U (zh) | 全自动刮边机 | |
| KR100524419B1 (ko) | 휴대폰 배터리의 인덱스테이블 검사장치 | |
| CN216056941U (zh) | 一种太阳能电池片输送检测装置 | |
| CN218806758U (zh) | 一种水平给袋式袋装机 | |
| CN219040438U (zh) | 一种晶圆刮边清洗机 | |
| CN216945200U (zh) | 一种试剂盒上料检测机构 | |
| CN218548392U (zh) | 一种晶圆检测自动上下料输送机构 | |
| CN208661553U (zh) | 一种硅片涂源装置 | |
| CN114193318B (zh) | 一种蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线及其控制方法 | |
| CN215823718U (zh) | 晶圆刷洗机 | |
| CN106898570B (zh) | 硅片清洁装置 | |
| CN111408990B (zh) | 全自动刮边机 | |
| JPS59227361A (ja) | 平面研削装置 | |
| CN211376607U (zh) | 一种用于大尺寸硅片的插片装置 | |
| JP3644706B2 (ja) | ポリッシング装置 | |
| CN210040153U (zh) | 全自动多功能贴片装置 | |
| JPS59156666A (ja) | 平面研削装置におけるワ−クの自動装填機構 | |
| CN214569050U (zh) | 一种非标自动上下料硅片激光清洗设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 523000 Room 302, 3rd floor, building A1, 38 Jingfu East Road, Yangwu village, Dalang Town, Dongguan City, Guangdong Province Patentee after: Dongguan Kaidi Micro Intelligent Equipment Co.,Ltd. Address before: 523000 Room 302, 3rd floor, building A1, 38 Jingfu East Road, Yangwu village, Dalang Town, Dongguan City, Guangdong Province Patentee before: Dongguan Kaidi micro Cleaning Technology Co.,Ltd. |
|
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 523000 Room 302, 3rd floor, building A1, 38 Jingfu East Road, Yangwu village, Dalang Town, Dongguan City, Guangdong Province Patentee after: Guangdong Kaidi Micro Intelligent Equipment Co.,Ltd. Address before: 523000 Room 302, 3rd floor, building A1, 38 Jingfu East Road, Yangwu village, Dalang Town, Dongguan City, Guangdong Province Patentee before: Dongguan Kaidi Micro Intelligent Equipment Co.,Ltd. |