CN213331586U - 一种抗颠振分子泵系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供的一种抗颠振分子泵系统，属于分子泵技术领域，包括：机组底板；分子泵，连接在机组底板的顶面上；前级泵，连接在机组底板的顶面上，并通过管路与所述分子泵的排气口处连通；控制器，连接在机组底板的顶面上，并分别与分子泵、前级泵电连接；减振器，一端连接在机组底板的底面上，另一端适于固定。本实用新型的分子泵、前级泵以及控制器全部集成在机组底板上，使得整体结构紧凑且安装方便；机组底板的底面设置有减振器，能有效地吸收消除其它设备对分子泵系统的振动影响，保障了分子泵系统的性能和使用寿命。

Description

一种抗颠振分子泵系统

技术领域

本实用新型涉及分子泵技术领域，具体涉及一种抗颠振分子泵系统。

背景技术

分子泵机组是由分子泵、前级机械泵、前级管路、电源以及真空测量仪器组装而成的清洁高真空获得设备，在表面分析、加速器设计、半导体设备、等离子体技术、电真空器件的制造及真空技术领域有着广泛的应用。

分子泵机组属于精密仪器，对使用环境有一定的要求，一般机组都要求安装位置远离振动源；但在恶劣环境下对机组的需求也变得越来越普遍，例如在船舰、陆地等颠簸振动的环境下，长期高频的振动会大大降低机组的性能和使用寿命。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的分子泵机组在长期高频振动环境下，机组的性能和使用寿命大大降低的缺陷，从而提供一种抗颠振分子泵系统。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供的一种抗颠振分子泵系统，包括：

机组底板；

分子泵，连接在所述机组底板的顶面上；

前级泵，连接在所述机组底板的顶面上，并通过管路与所述分子泵的排气口处连通；

控制器，连接在所述机组底板的顶面上，并分别与所述分子泵、所述前级泵电连接；

减振器，一端连接在所述机组底板的底面上，另一端适于固定。

作为优选方案，所述机组底板采用用7075铝合金材质。

作为优选方案，所述机组底板的厚度为16mm。

作为优选方案，所述分子泵与所述机组底板之间、所述前级泵与所述机组底板之间、以及所述控制器与所述机组底板之间均设有隔振垫。

作为优选方案，所述隔振垫采用天然橡胶材质。

作为优选方案，所述隔振垫的厚度为2mm。

作为优选方案，所述机组底板的顶面上具有与所述分子泵、所述前级泵以及所述控制器一一对应设置的第一减重孔、第二减重孔以及第三减重孔。

作为优选方案，所述减振器具有对称设置的至少4个。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的抗颠振分子泵系统，分子泵、前级泵以及控制器全部集成在机组底板上，使得整体结构紧凑且安装方便；机组底板的底面设置有减振器，能有效地吸收消除其它设备对分子泵系统的振动影响，保障了分子泵系统的性能和使用寿命。

2.本实用新型提供的抗颠振分子泵系统，7075铝合金结构紧密、强度高，能够满足颠簸工况下的强度要求。

3.本实用新型提供的抗颠振分子泵系统，隔振垫的设置，使分子泵、前级泵以及控制器与机组底板的刚性连接转化成弹性连接，到达了一定的缓冲吸振效果。

4.本实用新型提供的抗颠振分子泵系统，天然橡胶不仅具有较高的弹性，并且稍带塑性，具有良好的隔振减振效果。

5.本实用新型提供的抗颠振分子泵系统，在安装时，机组底板上第一减重孔、第二减重孔以及第三减重扩孔与分子泵、前级泵以及控制器的底面一一对应，实现了对分子泵系统的整体减重，使得整体系统紧凑轻便。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型中提供的抗颠振分子泵系统立体结构示意图。

图2为机组底板的俯视图。

附图标记说明：

1、机组底板；2、分子泵；3、前级泵；4、减振器；5、控制器；6、第一减重孔；7、第二减重孔；8、第三减重孔；9、管路；10、真空测量仪器；11、第一组安装孔；12、第二组安装孔。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

本实施例提供的抗颠振分子泵系统，包括：机组底板1、分子泵2、前级泵3、减振器4以及控制器5。

如图1所示，所述机组底板1的底面的四周对称的安装有四个减振器4，所述减振器4的背离所述机组底板1的一端适于与外界设备连接的安装孔；所述减振器4选用阻尼弹簧式结构，固有频率低，隔振效果好，并且结构紧凑，外形尺寸较小，安装更换方便，使用安全可靠，工作寿命长，对工作环境适应性强。所述分子泵2、所述前级泵3以及所述控制器5分别连接在所述机组底板1的顶面上，所述前级泵3通过管路9与所述分子泵2的排气口处连通，所述控制器5分别与所述分子泵2、所述前级泵3电连接；其中，连接在所述前级泵3与所述分子泵2之间的所述管路9为波纹管，且所述管路上连接有真空测量仪器；所述分子泵系统集成在所述机组底板1上，便于整体安装，且所述减振器4能够实现对各组件的同时减振、隔振的效果。

如图2所示，所述机组底板1为矩形结构板，选用7075铝合金材质，且厚度为16mm；所述机组底板1的顶面上设有第一减重孔6、第二减重孔7以及第三减重孔8，对所述机组底板1起到了减重作用；安装过程中，所述第一减重孔6位于所述分子泵2的底面中心处，所述第二减重孔7位于所述前级泵3的底面中心处，所述第三减重孔8位于所述控制器5的底面中心处；所述第一减重孔6、所述第二减重孔7以及所述第三减重孔8处的所述机组底板1的顶面上均连接有隔振垫，所述隔振垫采用厚度为2mm的天然橡胶；所述分子泵2、所述前级泵3以及所述控制器5分别通过所述隔振垫与所述机组底板1连接；所述隔振垫与所述减振器4共同使用，对分子泵系统进行复合减振，减振效果明显，使分子泵系统的性能和使用寿命得到了保障。

如图2所示，所述机组底板1上环绕所述第二减重孔7处预留有多组安装孔，其中包括：第一组安装孔11和第二组安装孔12，所述第一组安装孔11具有环绕所述第二减重孔7对称设置的四个，所述第二组安装孔12具有环绕所述第二减重孔7对称设置的四个；每组所述安装孔对应不同品牌型号的所述前级泵3，能够根据使用者的不同需求进行选择、并对应安装。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (8)

1.一种抗颠振分子泵系统，其特征在于，包括：

机组底板(1)；

分子泵(2)，连接在所述机组底板(1)的顶面上；

前级泵(3)，连接在所述机组底板(1)的顶面上，并通过管路与所述分子泵(2)的排气口处连通；

控制器(5)，连接在所述机组底板(1)的顶面上，并分别与所述分子泵(2)、所述前级泵(3)电连接；

减振器(4)，一端连接在所述机组底板(1)的底面上，另一端适于固定。

2.根据权利要求1所述的抗颠振分子泵系统，其特征在于，所述机组底板(1)采用用7075铝合金材质。

3.根据权利要求2所述的抗颠振分子泵系统，其特征在于，所述机组底板(1)的厚度为16mm。

4.根据权利要求1所述的抗颠振分子泵系统，其特征在于，所述分子泵(2)与所述机组底板(1)之间、所述前级泵(3)与所述机组底板(1)之间、以及所述控制器(5)与所述机组底板(1)之间均设有隔振垫。

5.根据权利要求4所述的抗颠振分子泵系统，其特征在于，所述隔振垫采用天然橡胶材质。

6.根据权利要求5所述的抗颠振分子泵系统，其特征在于，所述隔振垫的厚度为2mm。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的抗颠振分子泵系统，其特征在于，所述机组底板(1)的顶面上具有与所述分子泵(2)、所述前级泵(3)以及所述控制器(5)一一对应设置的第一减重孔(6)、第二减重孔(7)以及第三减重孔(8)。

8.根据权利要求1-6中任一项所述的抗颠振分子泵系统，其特征在于，所述减振器(4)具有对称设置的至少4个。

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