CN213275677U - 一种适用于直流测试系统的探针夹具 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种适用于直流测试系统的探针夹具。包括：探针、用于调整所述探针与被测器件的接触压力的调压组件和用于探测所述被测器件边缘的边缘探测组件；本申请利用支撑部作为基础部件，其上设有与线路板导通的线路，且线路与导电部电连接；通过在支撑部与支架之间设置调整柱，调整柱上的调压部旋转上下移动，改变套设在调整柱上的弹性元件的压缩量，实现压力调整；通过在支架上设置线路板，且其上开设有通孔，并套设在调整柱上，与支撑部上的线路配合使用；当导电部与线路板接触时，线路板与支撑部上的线路导通，当导电部与线路板分离时，线路板与支撑部上的线路断开，利用线路状态判断探针是否已移动到被测器件的边缘，实现边缘探测功能。

Description

一种适用于直流测试系统的探针夹具

技术领域

本公开一般涉及晶圆测试设备技术领域，具体涉及一种适用于直流测试系统的探针夹具。

背景技术

常见的器件测试方式为接触式测试，具体方式是让测试探针针尖接触到被测器件表面。但是，由于针夹直径通常很小，这样就很容易刺伤被测器件上表面而带来损失。

目前，现有的测试探针设计有缓冲结构来实现探针与被测器件的柔性接触，但是被测器件仍存在接触力过大被损坏的问题；并且在现在的测试行业中对测试效率的要求越来越高，即当对整个晶圆进行测试时，系统便需要准确得知当前已测试到本行最后一颗晶粒，即将开始测试下一行，目前单独依靠软件的功能无法实现，需要硬件上的结构配合，这样才能达到最大效率。

因此，我们提出一种适用于直流测试系统的探针夹具，用以解决上述的压力不可调，不能准确得知当前是否已测试到本行最后一颗晶粒的问题。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种压力可调，具有边缘探测功能，结构紧凑，操作简便且易于实现的适用于直流测试系统的探针夹具。

第一方面，本申请提供一种适用于直流测试系统的探针夹具，包括：探针、用于调整所述探针与被测器件的接触压力的调压组件和用于探测所述被测器件边缘的边缘探测组件；

所述调压组件包括：支撑部和设置在所述支撑部上的支架；所述支撑部上设有竖直设置的调整柱，且所述调整柱的顶部与所述支架固接；所述调整柱靠近所述支架一侧设有活动配接的调压部；所述调整柱上套设有弹性元件，且其位于所述调压部的下方；

所述边缘探测组件包括：与所述支架固接的线路板和设置在所述支撑部远离所述支架一侧的导电部；所述线路板上开设有通孔，且其套设在所述调整柱上；所述线路板通过连接部与所述支架连接；

所述探针通过夹针部与所述线路板远离所述支架的一侧固接。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述支撑部上设有能够与所述线路板导通的线路，且所述线路与所述导电部电连接。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述弹性元件远离所述调压部的一端设置有限位部，且所述限位部套设在所述调整柱上。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述夹针部上安装有用于固定所述探针的固定部。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述支架上设有连接件。

根据本申请实施例提供的技术方案，还包括：控制系统。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述连接部可拆卸地与所述支架连接。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述连接部可拆卸地与所述线路板连接。

综上所述，本技术方案具体地公开了一种适用于直流测试系统的探针夹具的具体结构。本申请具体地设计调压组件控制探针与被测器件的接触压力，利用边缘探测组件检测探针是否已移动至被测器件边缘，实现压力可控，边缘探测的目的；

本申请具体地利用支撑部作为调压组件的基础部件，其上设有能够与所述线路板导通的线路，且线路与所述导电部电连接；通过在支撑部与支架之间设置调整柱，调整柱上的调压部能够旋转上下移动，进而改变套设在调整柱上的弹性元件的压缩量，从而实现对压力的调整；进一步地，通过在支架上设置线路板，且其上开设有通孔，并套设在调整柱上，与支撑部上的线路配合使用；通过在所述支撑部远离所述支架一侧设置导电部，作为线路板与支撑部上的线路的导通介质；当导电部与线路板接触时，线路板与支撑部上的线路导通，当导电部与线路板分离时，线路板与支撑部上的线路断开，利用线路的状态判断探针是否已移动到被测器件的边缘，实现边缘探测的功能。

本技术方案进一步地在所述弹性元件远离所述调压部的一端设置限位部，且其套设在所述调整柱上，以增大弹性元件与线路板的接触面积，使调压组件在调压时，能够有效将线路板向下压。

本技术方案进一步地在所述夹针部上设置固定部，当探针在夹针部内移动至所需位置时，利用固定部将探针进一步固定，有效避免测试过程中，探针在夹针部内移动，影响正常的测试过程。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1、图2为一种适用于直流测试系统的探针夹具的结构示意图。

图中标号：1、探针；2、支撑部；3、支架；4、调整柱；5、调压部；6、限位部；7、弹性元件；8、线路板；9、导电部；10、连接部；11、夹针部；12、连接件；13、固定部。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

实施例一

请参考图1和图2所示的本申请提供的一种适用于直流测试系统的探针夹具的第一种实施例的结构示意图，包括：探针1、用于调整所述探针1与被测器件的接触压力的调压组件和用于探测所述被测器件边缘的边缘探测组件；

所述调压组件包括：支撑部2和设置在所述支撑部2上的支架3；所述支撑部2上设有竖直设置的调整柱4，且所述调整柱4的顶部与所述支架3固接；所述调整柱4靠近所述支架3一侧设有活动配接的调压部5；所述调整柱4上套设有弹性元件7，且其位于所述调压部5的下方；

所述边缘探测组件包括：与所述支架3固接的线路板8和设置在所述支撑部2远离所述支架3一侧的导电部9；所述线路板8上开设有通孔，且其套设在所述调整柱4上；所述线路板8通过连接部10与所述支架3连接；

所述探针1通过夹针部11与所述线路板8远离所述支架3的一侧固接。

在本实施例中，设计调压组件控制探针1与被测器件的接触压力，利用边缘探测组件检测探针是否已移动至被测器件边缘，实现压力可控，边缘探测的目的；

支撑部2，作为调压组件的基础部件，其上设有能够与所述线路板8导通的线路，且所述线路与所述导电部9电连接；当导电部9与线路板8接触时，支撑部2上的线路与线路板8导通；

支架3，设置在所述支撑部2上，起到辅助支撑的作用；

调整柱4，竖直设置在所述支撑部2上，且其顶部与所述支架3固接，对调压部5起到导向的作用；

调压部5，设置在所述调整柱4靠近所述支架3一侧，具有调节压力的作用；其能够在调整柱4上旋转上下移动，以调整压力；

弹性元件7，设置在所述调整柱4上，且其位于所述调压部5的下方，其产生的作用力决定压力的大小；此处，弹性元件7的类型，可选地，例如为弹簧；调压部5旋转上下移动改变弹簧的压缩量，使得弹簧的作用力改变，从而调整压力；

线路板8，通过连接部10与所述支架3固接，并且其上开设有通孔，能够套设在调整柱4上，用于与支撑部2上的线路配合使用，以实现边缘探测的功能；此处，连接部10具有弹性，其类型，可选地，例如为锰钢片；

导电部9，设置在所述支撑部2远离所述支架3一侧，其作为线路板8与支撑部2上的线路的导通介质；当导电部9与线路板8接触时，线路板8与支撑部2上的线路导通，当导电部9与线路板8分离时，线路板8与支撑部2上的线路断开；此处，导电部9，可选地，例如为镀金触点。

在任一优选的实施例中，所述弹性元件7远离所述调压部5的一端设置有限位部6，且所述限位部6套设在所述调整柱4上。

在本实施例中，限位部6，设置在所述弹性元件7远离所述调压部5的一端，且其套设在所述调整柱4上，用于增大弹性元件7与线路板8的接触面积，使调压组件在调压时，能够有效将线路板8向下压。

在任一优选的实施例中，所述夹针部11上安装有用于固定所述探针1的固定部13。

在本实施例中，固定部13，设置在所述夹针部11上，用于固定所述探针1；当探针1在夹针部11内移动至所需位置时，利用固定部13将探针1进一步固定，有效避免测试过程中，探针1在夹针部11内移动，影响正常的测试过程。

在任一优选的实施例中，所述支架3上设有连接件12。

在本实施例中，连接件12，设置在所述支架3上，用于将本装置安装在调整座上，进而通过调整座来调整本装置。

在任一优选的实施例中，还包括：控制系统。

在本实施例中，利用控制系统控制本装置测试被测器件，并且工作人员能够通过控制系统观测线路板8与支撑部2上的线路是否导通，从而能够判断出探针是否已移动到被测器件的边缘。

在任一优选的实施例中，所述连接部10可拆卸地与所述支架3连接。

在本实施例中，连接部10与支架3的连接方式，此处不加以限定，可选地，例如为螺钉连接，具体连接方式：利用螺钉将连接部10与支架3连接，并且螺钉上套有垫板，能够增大螺钉的接触面积，使得连接部10与支架3更好地连接。

在任一优选的实施例中，所述连接部10可拆卸地与所述线路板8连接。

在本实施例中，连接部10与线路板8的连接方式，此处不加以限定，可选地，例如为螺钉连接，具体连接方式：利用螺钉将连接部10与线路板8连接。

本装置的具体工作过程如下：

本装置未工作时，线路板与镀金触点为接触状态，线路板与支撑部的线路为导通状态；

当探针与被测器件接触后，探针带着线路板向上抬起，此时线路板与镀金触点分离，弹簧被压缩后会产生作用力，弹簧向下压线路板，根据弹簧自身的特性，被压缩的量越大产生的压力就越大，此时弹簧产生的力即为探针与被测器件的接触压力，当压力大小需要调整时，可通过旋转调压部上下移动来调整弹簧的压缩量，以此来调节压力大小；并且，当探针在测试时，线路板与镀金触点始终处于分离状态，此时线路板上的线路与支撑板上的线路是开路状态，当测试到一行被测器件的终点时，探针不再与被测器件接触，此时线路板通过弹簧的压力重新落到触点上，此时线路板与支撑板是通路状态，便可判断此点没有接触到被测器件，推断出探针已移动到被测器件边缘，实现边缘探测功能。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (8)

1.一种适用于直流测试系统的探针夹具，其特征在于，包括：探针(1)、用于调整所述探针(1)与被测器件的接触压力的调压组件和用于探测所述被测器件边缘的边缘探测组件；

所述调压组件包括：支撑部(2)和设置在所述支撑部(2)上的支架(3)；所述支撑部(2)上设有竖直设置的调整柱(4)，且所述调整柱(4)的顶部与所述支架(3)固接；所述调整柱(4)靠近所述支架(3)一侧设有活动配接的调压部(5)；所述调整柱(4)上套设有弹性元件(7)，且其位于所述调压部(5)的下方；

所述边缘探测组件包括：与所述支架(3)固接的线路板(8)和设置在所述支撑部(2)远离所述支架(3)一侧的导电部(9)；所述线路板(8)上开设有通孔，且其套设在所述调整柱(4)上；所述线路板(8)通过连接部(10)与所述支架(3)连接；

所述探针(1)通过夹针部(11)与所述线路板(8)远离所述支架(3)的一侧固接。

2.根据权利要求1所述的一种适用于直流测试系统的探针夹具，其特征在于，所述支撑部(2)上设有能够与所述线路板(8)导通的线路，且所述线路与所述导电部(9)电连接。

3.根据权利要求1所述的一种适用于直流测试系统的探针夹具，其特征在于，所述弹性元件(7)远离所述调压部(5)的一端设置有限位部(6)，且所述限位部(6)套设在所述调整柱(4)上。

4.根据权利要求1所述的一种适用于直流测试系统的探针夹具，其特征在于，所述夹针部(11)上安装有用于固定所述探针(1)的固定部(13)。

5.根据权利要求1所述的一种适用于直流测试系统的探针夹具，其特征在于，所述支架(3)上设有连接件(12)。

6.根据权利要求1所述的一种适用于直流测试系统的探针夹具，其特征在于，还包括：控制系统。

7.根据权利要求1所述的一种适用于直流测试系统的探针夹具，其特征在于，所述连接部(10)可拆卸地与所述支架(3)连接。

8.根据权利要求1所述的一种适用于直流测试系统的探针夹具，其特征在于，所述连接部(10)可拆卸地与所述线路板(8)连接。

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