CN213184217U - 一种晶圆盒充气装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆盒充气装置，包括操作箱，所述操作箱内部中端固定连接有支撑板，所述支撑板顶端固定连接有第二固定座，所述第二固定座顶端固定连接有净气室，所述净气室一端相通连接有干燥管，所述干燥管靠近净气室一端安装有电热丝，所述干燥管中部安装有第二气泵。本实用新型中，当需要充气时，关闭第二阀门，打开第一气泵，一边通过空气流通管涌出的空气覆盖晶圆盒内的空气，一边通过收气管将晶圆盒内原本的空气排出，循环一段时间后，待晶圆盒内的气体完全的换过一遍后，关闭第一阀门，打开第二阀门，通过充气口充氮气，操作简单且充气效果较好，有效节减部件且降低了劳动强度及劳动难度。

Description

一种晶圆盒充气装置

技术领域

本实用新型涉及充气装置领域，尤其涉及一种晶圆盒充气装置。

背景技术

晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆盒来搬运和储存晶圆。晶圆盒内部有对称的沟槽，尺寸严格统一用于支撑晶圆的两边，通常一个晶圆盒装25片晶圆。晶圆盒一般采用耐温，耐磨，防静电添加的半透明塑料材质，不同颜色的添加剂用于区分半导体生产中的金属制程段。由于半导体的关键尺寸小，图案密集，生产中的颗粒度要求非常严格，晶圆盒必须保证洁净的环境，来连接到不同生产机台的微环境盒反应腔。

晶圆对所处空气要求比较严格，所处空气湿度不能太大且要求气体比较纯洁，大多用惰性气体氮气，现有晶圆盒充气装置在充气过程中，无法做到将晶圆盒内的空气进行充分的排除再充气，且部件繁多，操作不便。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆盒充气装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种晶圆盒充气装置，包括操作箱，所述操作箱内部中端固定连接有支撑板，所述支撑板顶端固定连接有第二固定座，所述第二固定座顶端固定连接有净气室，所述净气室一端相通连接有干燥管，所述干燥管靠近净气室一端安装有电热丝，所述干燥管中部安装有第二气泵，所述净气室远离干燥管一端相通连接有空气流通管，所述空气流通管中部安装有第一阀门，所述空气流通管远离净气室一侧底端固定连接有收气管，所述收气管中部安装有第一气泵，所述操作箱内壁底端固定连接有第一固定座，所述第一固定座顶端固定连接有氮气罐，所述氮气罐一端相通连接有氮气流通管，所述氮气流通管中部安装有第二阀门，所述操作箱顶端固定连接有支撑架，所述支撑架顶端固定连接有水箱，所述水箱底端相通连接有冷凝管，所述冷凝管中部安装有微型水泵。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述干燥管远离电热丝一端开设有进气口，所述空气流通管远离净气室一端开设有充气口，所述收气管远离充气口一端开设有排气口。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述净气室底端开设有若干细孔，所述净气室底端相通连接有收集管，所述收集管底端相通连接有集水槽。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述操作箱底端活动连接有四组万向轮，四组所述万向轮均匀分布于操作箱底端。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述氮气罐位于净气室下端，所述氮气流通管远离氮气罐一端与空气流通管相通。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述净气室内部靠近电热丝一端固定连接有过滤网，所述冷凝管下端呈螺旋状。

本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型通过设置的收气管、空气流通管、第一气泵等，当需要充气时，关闭第二阀门，打开第一气泵，一边通过空气流通管涌出的空气覆盖晶圆盒内的空气，一边通过收气管将晶圆盒内原本的空气排出，循环一段时间后，待晶圆盒内的气体完全的换过一遍后，关闭第一阀门，打开第二阀门，通过充气口充氮气，操作简单且充气效果较好，有效节减部件且降低了劳动强度及劳动难度，更有利于晶圆的储存与运输。

2、本实用新型通过设置的电热丝、冷凝管、过滤网、集水槽等，通过第二气泵泵入空气，经过电热丝加热，过滤网过滤，空气中加热的水蒸气经过螺旋状的冷凝管进行充分的冷凝，冷凝产生的水流到集水槽中，可以将空气简单的处理，作为清理晶圆盒内的空气，能有效排除晶圆盒内需要更换的氮气，且不会对晶圆造成气体污染，有效的保护了晶圆。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种晶圆盒充气装置的结构示意图；

图2为图1中A处的放大图；

图3为图1中B处的放大图。

图例说明：

1、操作箱；2、第一阀门；3、空气流通管；4、充气口；5、收气管；6、第一气泵；7、排气口；8、第二阀门；9、氮气流通管；10、第一固定座；11、万向轮；12、氮气罐；13、支撑板；14、第二固定座；15、进气口；16、第二气泵；17、干燥管；18、电热丝；19、过滤网；20、净气室；21、水箱；22、支撑架；23、冷凝管；24、微型水泵；25、细孔；26、收集管；27、集水槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1-3，本实用新型提供的一种实施例：一种晶圆盒充气装置，包括操作箱1，操作箱1内部中端固定连接有支撑板13，支撑板13顶端固定连接有第二固定座14，第二固定座14顶端固定连接有净气室20，净气室20一端相通连接有干燥管17，干燥管17靠近净气室20一端安装有电热丝18，用于干燥空气用，干燥管17中部安装有第二气泵16，净气室20远离干燥管17一端相通连接有空气流通管3，空气流通管3中部安装有第一阀门2，空气流通管3远离净气室20一侧底端固定连接有收气管5，收气管5中部安装有第一气泵6，操作箱1内壁底端固定连接有第一固定座10，第一固定座10顶端固定连接有氮气罐12，用于储存纯度高的氮气，氮气罐12一端相通连接有氮气流通管9，氮气流通管9中部安装有第二阀门8，操作箱1顶端固定连接有支撑架22，支撑架22顶端固定连接有水箱21，水箱21底端相通连接有冷凝管23，冷凝管23中部安装有微型水泵24，可以使冷凝管23内的水循环，使其保持在较低的温度，冷凝效果更好。

干燥管17远离电热丝18一端开设有进气口15，空气流通管3远离净气室20一端开设有充气口4，收气管5远离充气口4一端开设有排气口7，净气室20底端开设有若干细孔25，净气室20底端相通连接有收集管26，收集管26底端相通连接有集水槽27，操作箱1底端活动连接有四组万向轮11，四组万向轮11均匀分布于操作箱1底端，氮气罐12位于净气室20下端，氮气流通管9远离氮气罐12一端与空气流通管3相通，净气室20内部靠近电热丝18一端固定连接有过滤网19，冷凝管23下端呈螺旋状。

工作原理：在对晶圆盒进行充气时，先将充气口4对准需要充气的晶圆盒，通过第二气泵16泵入空气，经过电热丝18加热，过滤网19过滤，空气中加热的水蒸气经过螺旋状的冷凝管23进行充分的冷凝，冷凝产生的水流到集水槽27中，可以将空气简单的处理，作为清理晶圆盒内的空气，能有效排除晶圆盒内需要更换的氮气，且不会对晶圆造成气体污染，然后关闭第二阀门8，打开第一气泵6，一边通过空气流通管3涌出的空气覆盖晶圆盒内的空气，一边通过收气管5将晶圆盒内原本的空气排出，循环一段时间后，待晶圆盒内的气体完全的换过一遍后，关闭第一阀门2，打开第二阀门8，通过充气口4充氮气，操作简单且充气效果较好。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种晶圆盒充气装置，包括操作箱(1)，其特征在于：所述操作箱(1)内部中端固定连接有支撑板(13)，所述支撑板(13)顶端固定连接有第二固定座(14)，所述第二固定座(14)顶端固定连接有净气室(20)，所述净气室(20)一端相通连接有干燥管(17)，所述干燥管(17)靠近净气室(20)一端安装有电热丝(18)，所述干燥管(17)中部安装有第二气泵(16)，所述净气室(20)远离干燥管(17)一端相通连接有空气流通管(3)，所述空气流通管(3)中部安装有第一阀门(2)，所述空气流通管(3)远离净气室(20)一侧底端固定连接有收气管(5)，所述收气管(5)中部安装有第一气泵(6)，所述操作箱(1)内壁底端固定连接有第一固定座(10)，所述第一固定座(10)顶端固定连接有氮气罐(12)，所述氮气罐(12)一端相通连接有氮气流通管(9)，所述氮气流通管(9)中部安装有第二阀门(8)，所述操作箱(1)顶端固定连接有支撑架(22)，所述支撑架(22)顶端固定连接有水箱(21)，所述水箱(21)底端相通连接有冷凝管(23)，所述冷凝管(23)中部安装有微型水泵(24)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒充气装置，其特征在于：所述干燥管(17)远离电热丝(18)一端开设有进气口(15)，所述空气流通管(3)远离净气室(20)一端开设有充气口(4)，所述收气管(5)远离充气口(4)一端开设有排气口(7)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆盒充气装置，其特征在于：所述净气室(20)底端开设有若干细孔(25)，所述净气室(20)底端相通连接有收集管(26)，所述收集管(26)底端相通连接有集水槽(27)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆盒充气装置，其特征在于：所述操作箱(1)底端活动连接有四组万向轮(11)，四组所述万向轮(11)均匀分布于操作箱(1)底端。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆盒充气装置，其特征在于：所述氮气罐(12)位于净气室(20)下端，所述氮气流通管(9)远离氮气罐(12)一端与空气流通管(3)相通。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆盒充气装置，其特征在于：所述净气室(20)内部靠近电热丝(18)一端固定连接有过滤网(19)，所述冷凝管(23)下端呈螺旋状。

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