CN116479531B - 碳化硅籽晶粘贴超净工作台 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种碳化硅籽晶粘贴超净工作台，该超净工作台包括新风处理器、工作台主体和排风装置，工作台主体由上至下依次设置有化学过滤器、高压风机、超高效过滤器和操作台，高压风机与化学过滤器之间形成四周封闭的进风腔，高压风机与超高效过滤器之间形成四周封闭的送风腔，进风腔和送风腔之间通过高压风机连通；超高效过滤器与操作台之间形成工作腔。新风处理器的出风口对应化学过滤器设置，操作台的一侧设置有与工作腔连通的排风腔，其与排风装置连通。该超净工作台可以在洁净度较低的空间，为碳化硅籽晶粘贴提供超洁净的环境，进而提高碳化硅籽晶粘贴的质量。
Description
技术领域
本发明涉及碳化硅生产技术领域，具体而言，涉及一种碳化硅籽晶粘贴超净工作台及碳化硅籽晶粘贴的操作方法。
背景技术
碳化硅单晶的生产是碳化硅半导体材料器件生产的重要一环，在碳化硅单晶生产过程中，籽晶粘贴是碳化硅单晶生产的一个重要环节。目前，碳化硅籽晶粘贴在很多工厂都是在洁净度较低或者没有洁净度要求的房间进行，使得籽晶粘贴的质量较差，从而长出的晶锭存在很多问题。但是如果对进行操作的整个房间进行超高洁净的要求，则能源消耗大，成本较高，操作条件也比较复杂。因此，亟需一种在洁净度较低的空间形成洁净度高的操作平台，以提高碳化硅籽晶粘贴的质量。
鉴于此，特提出本发明。
发明内容
本发明的目的在于提供一种碳化硅籽晶粘贴超净工作台及碳化硅籽晶粘贴的操作方法，以提高碳化硅籽晶粘贴的质量。
本发明的实施例是这样实现的：
本发明提供了一种碳化硅籽晶粘贴超净工作台，其包括新风处理器、工作台主体和排风装置，所述工作台主体由上至下依次设置有化学过滤器、高压风机、超高效过滤器和操作台，所述高压风机与所述化学过滤器之间形成四周封闭的进风腔，所述高压风机与所述超高效过滤器之间形成四周封闭的送风腔，所述进风腔和所述送风腔之间通过所述高压风机连通；所述超高效过滤器与所述操作台之间形成工作腔；
所述新风处理器的出风口对应所述化学过滤器设置，以使得经所新风处理器处理后的风通过所述化学过滤器进入到所述进风腔；
所述操作台的一侧设置有与所述工作腔连通的排风腔，所述排风装置与所述排风腔连通；
所述化学过滤器用于过滤影响碳化硅籽晶粘贴的空气传播分子污染物，所述新风处理器对于粒径大于或等于0.3μm粒子的过滤效率为90％以上，所述超高效过滤器对于粒径大于或等于0.12μm粒子的过滤效率为99％以上。
一些较佳的实施例中，所述新风处理器对于粒径大于或等于0.3μm粒子的过滤效率为96％以上，所述超高效过滤器对于粒径大于或等于0.12μm粒子的过滤效率为99.99995％以上。
一些较佳的实施例中，所述新风处理器内依次设置有初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器，所述初效过滤器对粒径大于或等于5μm粒子的过滤效率为85％以上，所述中效过滤器对粒径大于或等于1μm粒子的过滤效率为90％以上，所述高效过滤器对粒径大于或等于0.3μm粒子的过滤效率为96％以上。
一些较佳的实施例中，所述碳化硅籽晶粘贴超净工作台还包括空调控制柜，所述新风处理器内，所述中效过滤器与所述高效过滤器之间沿气体流动方向还依次设有预冷热管路、水洗装置、冷管路和热管路，所述新风处理器的出风管上设置有温度传感器和湿度传感器，所述预冷热管路、所述水洗装置、所述冷管路、所述热管路、所述温度传感器以及所述湿度传感器均与所述空调控制柜通信连接。
一些较佳的实施例中，所述热管路和所述高效过滤器之间还设置有新风风机，所述新风处理器的出风管上还设置有压力传感器，所述新风风机和所述压力传感器均与所述空调控制柜通信连接。
一些较佳的实施例中，所述工作台主体还包括滑动玻璃门，所述滑动玻璃门可选择性对所述工作腔打开或封闭。
一些较佳的实施例中，所述工作台主体对应所述进风腔和所述送风腔所在的部分设置有外盖，所述滑动玻璃门与所述外盖上下滑动配合，所述外盖的上部设置有玻璃门定位开关，所述滑动玻璃门的顶部运动至所述玻璃门定位开关时定位锁紧。
一些较佳的实施例中，所述超高效过滤器的底部两侧还设置有用于对所述操作台进行照明的照明灯。
一些较佳的实施例中，所述工作台主体上还设置有操作屏，所述操作台上还设置有玻璃门行程开关，所述滑动玻璃门移动至最下方时与所述玻璃门行程开关接触，所述玻璃门行程开关、所述排风装置、所述高压风机以及所述照明灯的开关均与所述操作屏通信连接。
本发明实施例的有益效果是：通过新风处理器对较大的尘埃颗粒进行去除后，再通过化学过滤器去除新风中的空气传播分子污染物(AMC)，同时，高压风机物理隔绝进风腔和送风腔，以使得位于中间的高压风机为经过化学过滤器的新风提供足够的动力，使得其能够通过超高效过滤器过滤掉较小的尘埃粒子并向下送风至操作台，使得工作腔的洁净度最高可以达到百级及以上。因此，可以在洁净度较低的空间，为碳化硅籽晶粘贴提供超洁净的环境，进而提高碳化硅籽晶粘贴的质量。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本发明实施例提供的碳化硅籽晶粘贴超净工作台的主要结构示意图；
图2为本发明实施例提供的碳化硅籽晶粘贴超净工作台的详细结构示意图；
图3为本发明实施例提供的碳化硅籽晶粘贴超净工作台的工作台主体的正视图。
图标:100-碳化硅籽晶粘贴超净工作台；101-进风腔；102-送风腔；103-工作腔；104-排风腔；105-水洗装置；106-新风风机；110-新风处理器；111-进风管；112-出风管；1121-温度传感器；1122-湿度传感器；1123-压力传感器；113-进压箱；114-初效过滤器；115-中效过滤器；116-高效过滤器；117-预冷热管路；118-冷管路；119-热管路；120-工作台主体；121-化学过滤器；122-高压风机；123-超高效过滤器；124-操作台；1241-玻璃门行程开关；125-滑动玻璃门；1251-玻璃门把手；126-外盖；1261-操作屏；127-玻璃门定位开关；128-支撑件；129-照明灯；130-排风装置；140-空调控制柜。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
参见图1，本实施例提供了一种碳化硅籽晶粘贴超净工作台100，其包括新风处理器110、工作台主体120和排风装置130，工作台主体120由上至下依次设置有用于过滤影响碳化硅籽晶粘贴的空气传播分子污染物(AMC)的化学过滤器121、高压风机122、超高效过滤器123和操作台124。
工作台主体120整体形状大致呈长方体型，化学过滤器121位于工作台主体120的顶部，高压风机122与化学过滤器121之间形成四周封闭的进风腔101，高压风机122与超高效过滤器123之间形成四周封闭的送风腔102，进风腔101和送风腔102之间通过高压风机122连通。具体而言，工作台主体120的上部设置有板状材料分别围成腔体结构，然后通过中间的高压风机122分隔为进风腔101和送风腔102，进风腔101的出口与高压风机122的进风口连通，送风腔102的进口与高压风机122的出风口连通。新风处理器110的出风口对应化学过滤器121设置，新风处理器110的出口与化学过滤器121的进风口连通，化学过滤器121的出风口与进风腔101的连通，以使得经所新风处理器110处理后的风通过化学过滤器121进入到进风腔101。
送风腔102的出风口与超高效过滤器123的进风口连通，超高效过滤器123与操作台124之间形成工作腔103，即超高效过滤器123的出风口与工作腔103连通，以使得通过超高效过滤器123送出的风能够分散到工作腔103中，并实现对操作台124台面的吹扫。操作台124的一侧设置有与工作腔103连通的排风腔104，排风装置设置于操作台的外部，且排风装置130通过管道与排风腔104连通。通过排风装置130可以实现对工作腔103中的空气进行抽吸排出。
通过新风处理器110对较大的尘埃颗粒进行去除，再通过化学过滤器121去除新风中的空气传播分子污染物(AMC)，然后再通过高压风机122将新风通过超高效过滤器123向下至操作台124。
需要说明的是，如果直接将新风气体通过化学过滤器121，则会因为新风气体中含有的大颗粒尘埃而导致化学过滤器121堵塞，造成其使用寿命下降，同时也会造成其化学过滤效果变差，要想使得空气能够大量通过化学过滤器121，则对于空气的气压也有更高的要求，部分颗粒或者污染物也会在较大的气压的作用下进一步进入到进风腔101，被高压风机122送到送风腔102，而送风腔102的气体由于含有的颗粒或者污染物较高也会进一步造成超高效过滤器123的过滤效果和使用寿命。因此，需要通过新风处理器110去除大部分大颗粒尘埃和部分污染物。具体地，本实施例的新风处理器110对于粒径大于或等于0.3μm粒子的过滤效率为90％以上。进一步地，本实施例中的化学过滤器121主要是为了对空气中能够影响碳化硅籽晶粘贴的空气传播分子污染物(AMC)进行过滤，避免了该类物质在籽晶粘贴过程中对产品质量造成不良影响。具体地，化学过滤器121需要根据具体的籽晶粘贴所选用的粘接剂进行选择，可以是酸性或碱性的，其化学滤料和催化剂根据需要除去的具体类型AMC添加，本实施例中，化学过滤器121对于AMC的去除率能够达到75％以上。
同时，由于超高效过滤器123的过滤性能较高，孔隙结构较小，因此，需要足够的压力才能使得气体能够较好的穿过超高效过滤器123，并实现过滤。因此，本实施例中，选择高压风机122分隔进风腔101和送风腔102，以使得位于中间的高压风机122能够为经过化学过滤器121的新风提供足够的动力，使得其能够通过超高效过滤器123过滤掉较小的尘埃粒子并向下送风至操作台124，使得工作腔103的洁净度最高可以达到百级及以上。具体地，本实施例的超高效过滤器123对于粒径大于或等于0.12μm粒子的过滤效率为99％以上，计量方法为最易穿透粒径法。
具体地，进风腔101为类漏斗形，其水平截面面积由上至下逐渐减小；送风腔102为类倒漏斗形，其水平截面面积其由上至下逐渐变大。类漏斗形的进风腔101便于引导气体进入高压风机122中，且在一定程度上能够增强气压。而类倒漏斗形的送风腔102能够使得从高压风机122排出的新风能够被全面分散到超高效过滤器123上，进而通过超高效过滤器123过滤后的新风气体能够均匀分布在工作腔103，并对操作台124均匀吹扫。
需要说明的是，本实施例中的高压风机122是指设计条件下，风压为30kPa～200KPa或压缩比e＝1.3～3的风机。
进一步地，参照图2，本实施例中，新风处理器110内依次设置有初效过滤器114、中效过滤器115和高效过滤器116，初效过滤器114的型号为G4，其对粒径大于或等于5μm粒子的过滤效率为85％以上，计量方法为计重法；中效过滤器115的型号为F8，其对粒径大于或等于1μm粒子的过滤效率为90％以上，计量方法为比色法；高效过滤器116的型号为H11，其对粒径大于或等于0.3μm粒子的过滤效率为96％以上，计量方法为最易穿透粒子。通过初效、中效、高效的过滤器的设置可以充分提高新风处理器110的处理效率以及使用寿命，也能够更好地分步去除新风气体中的较大尘埃颗粒以及部分AMC。
进一步地，本实施例中，新风处理器110具有壳体，整体呈圆柱形，并且，新风处理器110内，中效过滤器115与高效过滤器116之间沿气体流动方向还依次设有预冷热管路117、水洗装置105、冷管路118和热管路119，其中，其中，预冷热管路117分为预冷管路和预热管路两组管路，且预冷热管路117、冷管路118和热管路119均为盘管，盘管沿新风处理器110的壳体的径向盘旋分布。水洗装置105通过喷头喷出的水对新风处理器110内的气体流道进行覆盖，以使得经过预冷热管路117预热或预冷后的新风气体能够被水洗，水洗过程中可以对空气中的部分尘埃颗粒以及AMC进行去除。此外，其他实施例中，冷管路118和热管路119的位置可以进行互换。
承上述，新风处理器110的出风管112上设置有温度传感器1121和湿度传感器1122，碳化硅籽晶粘贴超净工作台还包括空调控制柜140，空调控制柜140内置有控制系统，预冷热管路117、水洗装置105、冷管路118、热管路119、温度传感器1121以及湿度传感器1122均与空调控制柜140通信连接。因此，通过温度传感器1121和湿度传感器1122可以将出风管112中的新风气体的温度和湿度信号传递给空调控制柜140，然后空调控制柜140可以根据所需预设的温度和湿度来调节预冷热管路117的温度，水洗装置105的水量以及冷管路118和热管路119的温度，来实现温度和湿度的调节。
具体地，加湿时，预热管路119开，水洗装置105开，因为水洗装置105兼有水洗空气功能，当新风气体经过水洗装置105存在加湿情况时，需要开启冷管路118除掉过度加湿的水分。除湿时，预冷管路开(因为水洗装置105兼有水洗空气功能，为了防止空气经过水洗装置105加湿量太大)，冷管路118开，空气经过冷管路118温度过低时(除湿需要)，需要开启热管路119把温度升高以满足工艺以对温度的要求(用设置于送风管上温度传感器1121控制)。综上通过空调控制柜140可以调控对操作台124进行吹扫的新风气体的温度和湿度，以使得其能够满足籽晶粘贴工艺的最佳要求，进一步提高籽晶粘贴的质量。
本实施例中，热管路119和高效过滤器116之间还设置有新风风机106，通过新风风机106能够为新风的流动提供动力，并且以便于经过新风处理后的气体能够具有一定的压力来通过化学过滤器121。新风处理器110的出风管112上还设置有压力传感器1123，新风风机106和压力传感器1123均与空调控制柜140通信连接。即可以通过空调控制柜140依据压力传感器1123检测的压力来对新风风机106的频率进行调节，以达到对吹扫操作台124的新风风量的控制。
再次参见图1，新风处理器110的一端具有进风管111，该进风管111是直接和工厂的新风管道连通的；新风处理器110的另外一端具有出风管112，出风管112的一端连通有进压箱113，进压箱113为长方体形，其底部为开口，开口大小略大于化学过滤器121的顶面。工作台主体120对应进风腔101和送风腔102的部分具有框架结构，即通过四块板材围成梯台形的结构，进压箱113可拆卸安装在化学过滤器121的上表面，且进压箱113与工作台主体120的框架结构之间还设置有密封结构。同样地，化学过滤器121也可拆卸安装于工作台主体120的框架结构上，便于不同工艺条件或者使用一段时间后对化学过滤器121的更换，同时，化学过滤器121的四周也设置有密封结构。以上结构能够使得新风处理器110处理后的新风气体通过管道进入进压箱113内，并在进压箱内持续升压至满足进入化学过滤器121的压力后，分散进入化学过滤器，再通过化学过滤器121进行全面充分的过滤，然后进入进风腔101。
具体地，本实施例中的超高效过滤器123也可拆卸连接于工作台主体120的框架结构上，便于定期更换，其四周也设置有密封结构，以使得送风腔102中的新风气体仅仅只能通过超高效过滤器123进入工作腔103。本实施例的超高效过滤器123的具体型号为U16，其对于粒径大于或等于0.12μm的粒子的过滤效率为大于或等于99.99995％，计量方法为最易穿透粒径法。
承上述，本实施例的操作台124一般为长方形，其位于超高效过滤器123的下方，且操作台124的台面与超高效过滤器123平行设置。工作台主体120底部具有基本的支撑结构，即操作台124的下方设有支撑件128，以对工作台主体120进行支撑。一般地，支撑件128可以是柱状，也可以为板状，为柱状时，支撑件128的个数为至少3个。本实施例中，支撑件128为从操作台124的台面向地面延伸的板，支撑件128的数量为两个，两块板状支撑件128相对设置。支撑件128的高度与人体所需作业高度相关，即操作台124的台面的高度一般为0.9～1.2米左右，该高度较为贴合碳化硅籽晶粘贴的作业。
进一步地，本实施例中，工作台主体120还包括滑动玻璃门125，滑动玻璃门125可选择性对工作腔103打开或封闭。当不需要操作时通过滑动玻璃门125对工作腔103封闭，可以避免外部环境中的尘埃颗粒等进入工作腔103或在操作台124上沉积。当需要在操作台124上进行操作时打开滑动玻璃门125即可进行在操作台124上进行操作。具体地，参见图1和图3，工作台主体120对应进风腔101和送风腔102所在的部分设置有外盖126，滑动玻璃门125与外盖126上下滑动配合，外盖126的上部设置有玻璃门定位开关127，滑动玻璃门125的顶部运动至玻璃门定位开关127时定位锁紧。玻璃门定位开关127为现有的开关设计，例如玻璃门定位开关127为弹性卡件，滑动玻璃门125顶部对于设置有配合件，当滑动玻璃门125的顶部的配合件移动至玻璃门定位开关127处压入卡接，在向下的拉力的作用下也能够脱离玻璃门定位开关127。需要说明的是，滑动玻璃门125的顶部被玻璃门定位开关127锁紧时，滑动玻璃门125的底部位于工作腔103的顶部，即实现对工作腔103的完全打开，便于操作。
参见图3，滑动玻璃门125上还设置有玻璃门把手1251，以便于对滑动玻璃门125进行上下滑动操作。
在碳化硅籽晶操作的过程中，还需要一定的光照度，以便于准确操作，达到较高的良率，因此，在超高效过滤器123的底部两侧还设置有用于对操作台124进行照明的照明灯129。两个照明灯129分布在滑动玻璃门125一侧和相对的另一侧，照明灯129以灯管的方式安装，以使得能够对操作台124进行充分照明。
进一步地，碳化硅籽晶操作会产生一些粉尘颗粒，会影响产品良率和人体健康，即如果直接将超高效过滤器123过滤后的新风气体对操作台124进行垂直向下的吹扫，再通过滑动玻璃门125处排出，则会使得粉尘颗粒在工作腔103内分布，也会对人体健康造成一定危害。因此，本实施例中，排风腔104以及排风装置130的设置可以使得工作腔103中的新风气体对操作台124面进行吹扫后，能够在排风装置130的作用下向排风腔104流动，将产生的粉尘颗粒不断从排风装置130吸走，进而保持操作台124的持续性的超高洁净度，同时也不会对人体健康产生影响。具体地，排出腔设置在与滑动玻璃门125相对的另一侧，即可以使得粉尘颗粒能够相对远离人体而移动，更好的保障了人体健康。本实施例中的排风装置130可为排风机。同时该排风装置130可以设置在室外，并进一步连接滤袋等对粉尘颗粒进行收集处理。
进一步地，本实施例中，工作台主体120上还设置有操作屏1261，操作屏1261也内置有控制系统，操作台124上还设置有玻璃门行程开关1241，滑动玻璃门125移动至最下方时与玻璃门行程开关1241接触，玻璃门行程开关1241、排风装置130、高压风机122以及照明灯129的开关均与操作屏1261通信连接。玻璃门行程开关1241为现有技术，通过玻璃门行程开关1241将玻璃开启的信号传递给操作屏1261内的控制系统，控制系统再控制高压风机122、照明灯129以及排风装置130的开启。即可实现当滑动玻璃门125上行打开行程开关，高压风机122、照明灯129以及排风装置130自动开启，下行关闭行程开关时，高压风机122、照明灯129以及排风装置130随之关闭。
综上所述，本实施例的碳化硅籽晶粘贴超净工作台100直接接入新风管道，新风通过新风处理器110去除大部分尘埃颗粒后，再通过化学过滤器121和超高效过滤器123进一步对AMC和其他小颗粒尘埃进行过滤后向下对操作台124进行吹扫，且通过排风装置130和排风腔104地对吹扫后的新风气体进行抽吸，以带走籽晶粘贴过程中产生的粉尘颗粒，最终使得操作台124的环境洁净度能够持续性地达到百级及以上，从而提高籽晶粘贴的质量，提升产品良率。且本实施例的碳化硅籽晶粘贴超净工作台100是在洁净度较低的空间形成一个洁净度高的操作平台，可跟据使用需求设计成一个工位或多个工位的平台。此外，通过集成控制电路，既能达到碳化硅籽晶粘贴对洁净度、AMC、照度等的要求，又能只针对工作台作微调节处理，从而起到在满足工艺要求的前提下充分节能降耗，对需要局部有洁净度要求的工艺特别适用。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种碳化硅籽晶粘贴超净工作台，其特征在于，其包括新风处理器(110)、工作台主体(120)和排风装置(130)，所述工作台主体(120)由上至下依次设置有化学过滤器(121)、高压风机(122)、超高效过滤器(123)和操作台(124)，所述高压风机(122)与所述化学过滤器(121)之间形成四周封闭的进风腔(101)，所述高压风机(122)与所述超高效过滤器(123)之间形成四周封闭的送风腔(102)，所述进风腔(101)和所述送风腔(102)之间通过所述高压风机(122)连通；所述超高效过滤器(123)与所述操作台(124)之间形成工作腔(103)；
所述新风处理器(110)的出风口对应所述化学过滤器(121)设置，以使得经所新风处理器(110)处理后的风通过所述化学过滤器(121)进入到所述进风腔(101)；
所述操作台(124)的一侧设置有与所述工作腔(103)连通的排风腔(104)，所述排风装置(130)与所述排风腔(104)连通；
所述化学过滤器(121)用于过滤影响碳化硅籽晶粘贴的空气传播分子污染物，所述新风处理器(110)对于粒径大于或等于0.3μm粒子的过滤效率为90％以上，所述超高效过滤器(123)对于粒径大于或等于0.12μm粒子的过滤效率为99％以上。
2.根据权利要求1所述的碳化硅籽晶粘贴超净工作台，其特征在于，所述新风处理器(110)对于粒径大于或等于0.3μm粒子的过滤效率为96％以上，所述超高效过滤器(123)对于粒径大于或等于0.12μm粒子的过滤效率为99.99995％以上。
3.根据权利要求2所述的碳化硅籽晶粘贴超净工作台，其特征在于，所述新风处理器(110)内依次设置有初效过滤器(114)、中效过滤器(115)和高效过滤器(116)，所述初效过滤器(114)对粒径大于或等于5μm粒子的过滤效率为85％以上，所述中效过滤器(115)对粒径大于或等于1μm粒子的过滤效率为90％以上，所述高效过滤器(116)对粒径大于或等于0.3μm粒子的过滤效率为96％以上。
4.根据权利要求3所述的碳化硅籽晶粘贴超净工作台，其特征在于，还包括空调控制柜(140)，所述新风处理器(110)内，所述中效过滤器(115)与所述高效过滤器(116)之间沿气体流动方向还依次设有预冷热管路(117)、水洗装置(105)、冷管路(118)和热管路(119)，所述新风处理器(110)的出风管(112)上设置有温度传感器(1121)和湿度传感器(1122)，所述预冷热管路(117)、所述水洗装置(105)、所述冷管路(118)、所述热管路(119)、所述温度传感器(1121)以及所述湿度传感器(1122)均与所述空调控制柜(140)通信连接。
5.根据权利要求4所述的碳化硅籽晶粘贴超净工作台，其特征在于，所述热管路(119)和所述高效过滤器(116)之间还设置有新风风机(106)，所述新风处理器(110)的出风管(112)上还设置有压力传感器(1123)，所述新风风机(106)和所述压力传感器(1123)均与所述空调控制柜(140)通信连接。
6.根据权利要求1～5任一项所述的碳化硅籽晶粘贴超净工作台，其特征在于，所述工作台主体(120)还包括滑动玻璃门(125)，所述滑动玻璃门(125)可选择性对所述工作腔(103)打开或封闭。
7.根据权利要求6所述的碳化硅籽晶粘贴超净工作台，其特征在于，所述工作台主体(120)对应所述进风腔(101)和所述送风腔(102)所在的部分设置有外盖(126)，所述滑动玻璃门(125)与所述外盖(126)上下滑动配合，所述外盖(126)的上部设置有玻璃门定位开关(127)，所述滑动玻璃门(125)的顶部运动至所述玻璃门定位开关(127)时定位锁紧。
8.根据权利要求6所述的碳化硅籽晶粘贴超净工作台，其特征在于，所述超高效过滤器(123)的底部两侧还设置有用于对所述操作台(124)进行照明的照明灯(129)。
9.根据权利要求8所述的碳化硅籽晶粘贴超净工作台，其特征在于，所述工作台主体(120)上还设置有操作屏，所述操作台(124)上还设置有玻璃门行程开关(1241)，所述滑动玻璃门(125)移动至最下方时与所述玻璃门行程开关(1241)接触，所述玻璃门行程开关(1241)、所述排风装置(130)、所述高压风机(122)以及所述照明灯(129)的开关均与所述操作屏(1261)通信连接。
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|---|---|---|---|---|
| KR19990070053A (ko) * | 1998-02-16 | 1999-09-06 | 윤종용 | 냉각응축기를 갖는 습식 공기청정장치 |
| KR200306936Y1 (ko) * | 2002-11-26 | 2003-03-11 | (주)케이디비테크놀러지 | 국부청정장치 |
| CN112461729A (zh) * | 2020-11-25 | 2021-03-09 | 深圳市赛威利华净化科技有限公司 | 一种超净间环境监控方法、装置、电子设备及存储介质 |
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