CN213878034U - 一种基板处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型为一种基板处理装置，包括箱体，所述箱体内设置有工作台，所述工作台上设置有转盘，所述工作台上设置有安装槽，所述转盘固定在所述安装槽内，所述鼓风机设置在所述储液箱周侧，所述鼓风机通过通风管与所述箱体内连接，所述箱体内一侧固定有支撑架，所述支撑架上固定有摄像头，所述摄像头与所述控制器连接，该基板处理装置，装置通过转盘和沥水孔配合，在基板进行清洗之后将基板上的清洗液甩干净，同时在凸缘上固定有防护圈，对基板进行保护，在基板处理之后利用鼓风机出入气体，同时加热网加热对基板进行烘干，控制器控制电磁阀使排气管排气。

Description

一种基板处理装置

技术领域

本实用新型涉及基板处理装置技术领域，具体为一种基板处理装置。

背景技术

众所周知，现有的基板处理装置是一种用于基板清理的辅助装置，其在基板处理装置领域中得到了广泛的应用。

例如公开号为“CN107039313A”专利名称为：“基板处理装置和基板处理装置的组装方法”的专利，专利公开了“本发明提供一种基板处理装置和基板处理装置的组装方法。缩短基板处理装置的设置所需的时间，且缩短设置时的设备的检查所需要的检查时间。基板处理装置包括：多个基板处理部，其向基板供给处理流体而进行处理；多个处理流体供给控制部，其1对1地与多个所述基板处理部相对应，并且包括通过对向基板处理部供给的处理流体起作用来对该处理流体的流动进行控制的流体控制设备；多个驱动部，其1对1地与多个处理流体供给控制部相对应，并且包括使所对应的处理流体供给控制部的流体控制设备动作的驱动设备。所对应的基板处理部、处理流体供给部以及驱动部形成组装体”。

现有的基板处理装置和基板处理装置的组装方法在使用中发现，其对基本清理不干净，清洗液有可能残留在基板上造成基板二次污染，装置在对基板清理时没有保护装置，导致其使用局限性较高。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种使用方便，清理干净的基板处理装置。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种基板处理装置，包括箱体，所述箱体内设置有工作台，所述工作台上设置有转盘，所述工作台上设置有安装槽，所述转盘固定在所述安装槽内，所述安装槽内固定有电机，所述电机与连接轴的一端连接，所述连接轴的另一端与所述转盘连接，所述转盘上设置有凸缘，所述凸缘下方固定有设置有沥水孔，所述箱体内上方固定有喷头，所述喷头与所述工作台相匹配，所述箱体上方固定有支架，所述支架上固定有储液箱，所述储液箱通过连接管与所述喷头连接，所述箱体上固定有控制器，所述控制器与所述电机连接，所述控制器与所述喷头连接，所述箱体上方固定有鼓风机，所述鼓风机设置在所述储液箱周侧，所述鼓风机通过通风管与所述箱体内连接，所述箱体内一侧固定有支撑架，所述支撑架上固定有摄像头，所述摄像头与所述控制器连接。

为了方便及时将清洗液清除，本实用新型改进有，所述沥水孔设置为多组均匀的布置在所述凸缘下方。

为了方便对基板进行烘干，本实用新型改进有，所述通风管内固定有加热网，所述加热网与所述控制器连接。

为了防止吹入的气体有杂质，本实用新型改进有，所述通风管内固定有过滤网，所述过滤网设置在所述加热网下方。

为了方便对清洗的基板进行监控，本实用新型改进有，所述支撑架和所述摄像头设置为两组对称布置在所述箱体内。

为了防止基板收到损伤，本实用新型改进有，所述凸缘内固定有防护圈，所述防护圈材质为硫化橡胶。

为了方便将箱体内的气体排出，本实用新型改进有，所述箱体上方设置有排气管，所述排气管贯穿所述箱体。

为了方便控制将箱体内的气体排出，本实用新型改进有，所述排气管上固定有电磁阀，所述电磁阀与所述控制器连接。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种基板处理装置，具备以下有益效果：

该基板处理装置，装置通过转盘和沥水孔配合，在基板进行清洗之后将基板上的清洗液甩干净，同时在凸缘上固定有防护圈，对基板进行保护，在基板处理之后利用鼓风机出入气体，同时加热网加热对基板进行烘干，控制器控制电磁阀使排气管排气。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型图1中局部放大结构示意图；

图3为本实用新型结构正视图。

图中：1、箱体；2、工作台；3、转盘；4、安装槽；5、电机；6、连接轴；7、凸缘；8、沥水孔；9、喷头；10、支架；11、储液箱；12、连接管；13、控制器；14、鼓风机；15、通风管；16、支撑架；17、摄像头；18、加热网；19、过滤网；20、防护圈；21、排气管；22、电磁阀。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，一种基板处理装置，包括箱体1，所述箱体1内设置有工作台2，所述工作台2上设置有转盘3，所述工作台2上设置有安装槽4，所述转盘3固定在所述安装槽4内，所述安装槽4内固定有电机5，所述电机5与连接轴6的一端连接，所述连接轴6的另一端与所述转盘3连接，所述转盘3上设置有凸缘7，所述凸缘7下方固定有设置有沥水孔8，所述箱体1内上方固定有喷头9，所述喷头9与所述工作台2相匹配，所述箱体1上方固定有支架10，所述支架10上固定有储液箱11，所述储液箱11通过连接管12与所述喷头9连接，所述箱体1上固定有控制器13，所述控制器13与所述电机5连接，所述控制器13与所述喷头9连接，所述箱体1上方固定有鼓风机14，所述鼓风机14设置在所述储液箱11周侧，所述鼓风机14通过通风管15与所述箱体1内连接，所述箱体1内一侧固定有支撑架16，所述支撑架16上固定有摄像头17，所述摄像头17与所述控制器13连接。

所述沥水孔8设置为多组均匀的布置在所述凸缘7下方，为了方便及时将清洗液清除。

所述通风管15内固定有加热网18，所述加热网18与所述控制器13连接，为了方便对基板进行烘干。

所述通风管15内固定有过滤网19，所述过滤网19设置在所述加热网18下方，为了防止吹入的气体有杂质。

所述支撑架16和所述摄像头17设置为两组对称布置在所述箱体1内，为了方便对清洗的基板进行监控。

所述凸缘7内固定有防护圈20，所述防护圈20材质为硫化橡胶，为了防止基板收到损伤。

所述箱体1上方设置有排气管21，所述排气管21贯穿所述箱体1，为了方便将箱体1内的气体排出。

所述排气管21上固定有电磁阀22，所述电磁阀22与所述控制器13连接，为了方便控制将箱体1内的气体排出。

综上所述，该基板处理装置，在使用时，将基板放置到转盘3的凸缘7内，储液箱11内的液体通过连接管12进入喷头9，控制器13控制喷头9对凸缘7内的基板进行清洗，同时利用电机5带动连接轴6使转盘3转动，使基板上的清洗液在沥水孔8中排出，通过鼓风机14向箱体1内出入气体，吹入的气体通过通风管15内的过滤网19进行过滤，同时控制器13控制加热网18加热，对基板进行烘干，使基板处理效率增高，同时利用控制器13控制排气管21上的电磁阀22，使箱体1内的气体被排出，在凸缘7上固定有防护圈20，方便对基板进行保护，同时利用支撑架16上的摄像头17可以对基板进行实时监控。

该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种基板处理装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内设置有工作台(2)，所述工作台(2)上设置有转盘(3)，所述工作台(2)上设置有安装槽(4)，所述转盘(3)固定在所述安装槽(4)内，所述安装槽(4)内固定有电机(5)，所述电机(5)与连接轴(6)的一端连接，所述连接轴(6)的另一端与所述转盘(3)连接，所述转盘(3)上设置有凸缘(7)，所述凸缘(7)下方固定有设置有沥水孔(8)，所述箱体(1)内上方固定有喷头(9)，所述喷头(9)与所述工作台(2)相匹配，所述箱体(1)上方固定有支架(10)，所述支架(10)上固定有储液箱(11)，所述储液箱(11)通过连接管(12)与所述喷头(9)连接，所述箱体(1)上固定有控制器(13)，所述控制器(13)与所述电机(5)连接，所述控制器(13)与所述喷头(9)连接，所述箱体(1)上方固定有鼓风机(14)，所述鼓风机(14)设置在所述储液箱(11)周侧，所述鼓风机(14)通过通风管(15)与所述箱体(1)内连接，所述箱体(1)内一侧固定有支撑架(16)，所述支撑架(16)上固定有摄像头(17)，所述摄像头(17)与所述控制器(13)连接。

2.根据权利要求1所述的一种基板处理装置，其特征在于：所述沥水孔(8)设置为多组均匀的布置在所述凸缘(7)下方。

3.根据权利要求1所述的一种基板处理装置，其特征在于：所述通风管(15)内固定有加热网(18)，所述加热网(18)与所述控制器(13)连接。

4.根据权利要求3所述的一种基板处理装置，其特征在于：所述通风管(15)内固定有过滤网(19)，所述过滤网(19)设置在所述加热网(18)下方。

5.根据权利要求1所述的一种基板处理装置，其特征在于：所述支撑架(16)和所述摄像头(17)设置为两组对称布置在所述箱体(1)内。

6.根据权利要求1所述的一种基板处理装置，其特征在于：所述凸缘(7)内固定有防护圈(20)，所述防护圈(20)材质为硫化橡胶。

7.根据权利要求1所述的一种基板处理装置，其特征在于：所述箱体(1)上方设置有排气管(21)，所述排气管(21)贯穿所述箱体(1)。

8.根据权利要求7所述的一种基板处理装置，其特征在于：所述排气管(21)上固定有电磁阀(22)，所述电磁阀(22)与所述控制器(13)连接。

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