CN213134107U - 一种导电辊在线擦拭装置及镀膜设备 - Google Patents

一种导电辊在线擦拭装置及镀膜设备 Download PDF

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Abstract

本实用新型公开了薄膜电镀生产技术领域中的一种镀膜设备,镀膜设备的导电辊处设有该导电辊在线擦拭装置,该导电辊在线擦拭装置,包括支撑杆和擦拭机构,擦拭机构包括擦拭块、连接座及驱动单元,擦拭块通过连接座与驱动单元连接,驱动单元带动连接座、擦拭块沿着支撑杆滑动,擦拭块的内侧为与导电辊相配合的弧形,且擦拭块的内侧表面与清洗层可拆卸连接。本实用新型通过带动擦拭机构对导电辊辊面进行不间断快速擦拭,达到使辊面保持清洁的效果,从而解决导电辊上返镀造成金属微粒积累的问题,另外,本实用新型可以将清洁后的颗粒物转移,避免颗粒异物对导电辊的辊面造成损伤。

Description

一种导电辊在线擦拭装置及镀膜设备
技术领域
本实用新型涉及薄膜电镀生产技术领域,具体的说,是涉及一种导电辊在线擦拭装置及镀膜设备。
背景技术
电镀是铜膜生产的一道工序,通过导电辊给铜膜导电作为阴极,从而实现在电镀池中增加镀铜厚度的生产目标。在生产过程中,导电辊与铜膜接触的同时也会与镀液中的铜离子接触,会在导电辊上形成返镀铜的现象,经过积累,导电辊上的镀铜增加到一定程度会造成铜膜表面缺陷。市面上常用的导电辊表面清洁是通过刮刀装置实现,但刮刀片可能会造成导电辊的辊面损伤或者局部贴合不紧密的情况,清洁效果较差,另外刮刀清洁的颗粒异物无法随时转移处理,造成在刮刀与辊面的缝隙中积累,对辊面造成划伤。
中国专利(CN109797415A)公开了一种带有清洁功能的导电辊装置,包括支撑柱,支撑柱的底端固定连接底脚,两个支撑柱的顶端之间转动连接导电辊,支撑柱的另一端固定连接第一驱动电机,第一驱动电机的输出轴与导电辊固定连接,导电辊的上方设有导轨,导轨上设有清洁装置,支撑柱的顶端固定设有转动座,转动座的一侧与清洁装置固定连接,清洁装置包括顶块,顶块的底端设有移动块,移动块上贯穿开设有螺孔,移动块的底端固定连接压块。
上述方案尽管在一定程度上解决了刮刀装置的缺陷,但是其结构复杂、成本较高。鉴于此,有必要提供一种结构相对简单且能实时处理异物的装置以克服上述缺陷。
发明内容
为了克服现有的技术的不足,本实用新型提供一种导电辊在线擦拭装置及镀膜设备。
本实用新型技术方案如下所述:
一种导电辊在线擦拭装置,包括支撑杆和擦拭机构,其特征在于,所述擦拭机构包括擦拭块、连接座及驱动单元,所述擦拭块通过所述连接座与所述驱动单元连接,所述驱动单元带动所述连接座、所述擦拭块沿着所述支撑杆滑动;
所述擦拭块的内侧为与导电辊相配合的弧形,且所述擦拭块的内侧表面与清洗层可拆卸连接。
根据上述方案的本实用新型,其特征在于,所述擦拭块的内侧的弧度可调节。
根据上述方案的本实用新型,其特征在于,所述擦拭块与所述连接座之间设有缓冲件。
进一步的,所述缓冲件为弹性介质。
根据上述方案的本实用新型,其特征在于,所述擦拭块的左右侧边设有倾斜的擦拭斜边。
根据上述方案的本实用新型,其特征在于,所述支撑杆上设有滑轨,所述连接座上设有与所述滑轨相匹配的滑块。
根据上述方案的本实用新型,其特征在于,所述支撑杆的两端边缘分别设有位置传感器。
根据上述方案的本实用新型,其特征在于,还包括冲洗机构,所述冲洗机构包括加压喷管和与所述加压喷管连接的连接管,所述加压喷管位于所述支撑杆的左右两端,所述连接管的另一端与电镀装的镀液箱连接。
进一步的,所述擦拭块的左右两侧还设有挡液板。
更进一步的,所述挡液板为圆环形。
另一方面,一种镀膜设备,其特征在于,所述镀膜设备的导电辊处设有上述的导电辊在线擦拭装置。
根据上述方案的本实用新型,其有益效果在于,本实用新型通过驱动单元实现短周期、高频次的快速往复运动的装置,带动擦拭机构对导电辊辊面进行不间断快速擦拭,达到使辊面保持清洁的效果,从而解决导电辊上返镀造成金属微粒积累的问题;另外,本实用新型可以将清洁后的颗粒物转移,避免颗粒异物对导电辊的辊面造成损伤;本实用新型利用结构上的改进,减少设备零部件数量,降低装置重量并节约成本。
附图说明
图1为本实用新型实施例一的结构示意图。
图2为实施例一的侧视图。
图3为本实用新型实施例二的结构示意图。
图4为本实用新型实施例三的结构示意图。
在图中,10-擦拭块;101-清洗层;102-擦拭斜边;11-连接座;12-驱动电机;
20-支撑杆;
31-加压喷管;32-挡液板;
40-导电辊;
50-薄膜。
具体实施方式
下面结合附图以及实施方式对本实用新型进行进一步的描述:
一种镀膜设备,镀膜设备的导电辊处设有导电辊在线擦拭装置,导电辊在线擦拭装置与导电辊配合,并对导电辊上表面进行在线擦拭。
实施例一
如图1、图2所示,一种导电辊在线擦拭装置,包括支撑杆20和擦拭机构。擦拭机构装配在导电辊40处,擦拭机构沿着支撑杆20滑动,使得擦拭机构能够对导电辊40的表面进行擦拭。
擦拭机构包括擦拭块10、连接座11及驱动单元(优选为驱动电机12,本实施例中选用伺服电机作为驱动单元),擦拭块10通过连接座11与驱动电机12连接,驱动电机12带动连接座11、擦拭块10沿着支撑杆20滑动。具体的,连接座11的下端通过螺钉、螺孔与擦拭块10固定连接;支撑杆20上设有滑轨,连接座11上设有与滑轨相匹配的滑块,滑块与滑轨相互配合,实现了连接座11与支撑杆20的配合连接、滑动。
擦拭块10的内侧为与导电辊40相配合的弧形,使得擦拭块10能与导电辊40紧密贴合。擦拭块10的内侧表面与清洗层101可拆卸连接,通过清洗层101对导电辊40进行清洁,并且清洁层能根据需要进行更换。
本实施例中,擦拭块10与连接座11之间设有缓冲件,缓冲件选用弹性介质,如弹簧。通过缓冲件对擦拭块10进行挤压,使得擦拭块10与导电辊40实现弹性接触,避免两者接触不紧密,增强清洁效果;同时,通过设置弹性介质,避免了由于施加压力过大而划伤导电辊 40表面。
优选的,支撑杆20的两端边缘分别设有位置传感器,使得擦拭块10运动到支撑杆20两端的时候进行定位,便于擦拭块10能够进行往复运动。
在本实施例中,安装座及擦拭块10可采用耐酸、碱腐蚀的不锈钢或PP、PVC材质,优选为PVC材质。
本实施例在实现的过程中:将导电辊在线擦拭装置安装在镀膜设备的导电辊40上,调整擦拭机构使得清洗层101与导电辊40紧密贴合。启动伺服电机,擦拭机构在电机驱动下开始运动,擦拭块10在电机的驱动下沿导电辊40方向做往复运动。当擦拭机构到达导电辊40边缘位置时,被位置传感器检测到,并进行1至2秒短时间停留,擦拭机构从导电辊40一端运行到另一端的时间为3至20秒。
本实施例中擦拭机构在导电辊40边缘停留时间为1.5秒,从导电辊40一端运行到另一端的时间为5秒。本实施例通过导电辊在线擦拭装置,利用电机实现短周期、高频次的快速往复运动的装置,带动擦拭机构对导电辊40辊面进行不间断快速擦拭,达到使辊面保持清洁的效果,解决了导电辊40辊面产生金属结晶或返镀造成的金属微粒的积累,保持导电辊40 辊面洁净,实现导电辊40与薄膜50的均匀紧密接触,从而使薄膜50被导电辊40均匀导电并避免被颗粒划伤。
实施例二
如图3所示,与实施例一不同的是,本实施例中擦拭块10的左右侧边设有倾斜的擦拭斜边102,提高擦拭块10的擦拭效果。优选的,擦拭块10的内侧的弧度可调节,使得擦拭块10能适应不同规格的导电辊40,擦拭块10的弧度调节方式可根据具体需求进行选择,例如可利用气压调节(即气缸驱动擦拭块10左右两侧进行移动)、机械调节(即利用螺栓等装置对擦拭块10左右两侧的高度进行调节)等,通过上述手段调节擦拭块10左右两个侧边的高度,进而实现其弧度的角度调节。
本实施例中擦拭斜边102与导电辊40周向的夹角为45度。
本实施例在实现的过程中:通过调节擦拭块10的弧度,从而适应不同规格的导电辊40,使得擦拭块10能够紧密贴合在导电辊40上,提高清洁效果。通过对擦拭斜边102设置倾斜角度,在擦拭直线运动过程中,由于导电辊40在同时匀速转动,使擦拭斜边102对导电辊 40的摩擦力方向垂直于斜边,从而实现擦拭效果最佳。在斜边的作用下,导电辊40上被擦下的结晶或镀铜微粒积累在擦拭头边缘而不会直接掉落在从下方经过的薄膜50上。
实施例三
如图4所示,与实施例二不同的是,本实施例中还包括冲洗机构,冲洗机构与该导电辊在线擦拭装置配合安装。冲洗机构包括加压喷管31和与加压喷管31连接的连接管,加压喷管31位于支撑杆20的左右两端,连接管的另一端与电镀装的镀液箱连接。
具体的,加压喷管31固定在装置的端部,待该导电辊在线擦拭装置运行到端部时对擦拭的杂质进行喷洗。由于导电辊两侧端部有未镀膜的区域,加压喷管31与该位置对应,冲洗后的液体自动落入镀液池内,或经由其他引流装置进行引流。
擦拭块10的左右两侧还设有挡液板32。优选的,挡液板32为圆环形。
本实施例在实现的过程中:导电辊40左右边缘设计有对称的加压喷管31,擦拭块10左右两端设计有对称的擦拭斜边102。擦拭机构在电机的驱动下沿导电辊方向做往复运动,并在导电辊40左右两端分别进行停留和冲洗。同时该停留位置与加压喷管31位置相配合,加压喷管31喷出经过加压的镀液冲击擦拭块10的擦拭斜边102,加压压力为0.05至0.5兆帕,达到将擦拭过程中积累的微粒从擦拭斜边102冲洗转移走的目的。在本实施例中,加压压力优选为0.1兆帕,冲洗时间为1秒,擦拭机构在导电辊边缘停留时间为1.5秒。
在连接座11上沿左右斜边的方向,设有具有一定尺寸的圆环形挡液板32,本实施例中挡液板32的尺寸与擦拭机构长度一致。挡液板32在加压喷管31冲洗过程中将飞溅的液滴大部分阻挡下来,避免液滴飞溅在下方的薄膜50上,并将喷出的镀液导流进入镀液池。
本实用新型具有以下优势:
1、通过导电辊在线擦拭装置,利用驱动单元实现短周期、高频次的快速往复运动,带动擦拭机构对导电辊辊面进行不间断快速擦拭,达到使辊面保持清洁的效果,解决了导电辊辊面产生金属结晶或返镀造成的金属微粒的积累,保持导电辊洁净状态,实现导电辊与薄膜的均匀紧密接触,从而使薄膜被导电辊均匀导电并避免被颗粒划伤。
2、通过导电辊两侧的加压喷管、挡液板的设计,将擦拭下来的颗粒异物及时转移,解决了擦拭导电辊过程中在擦拭机构边缘产生的颗粒积累,从而实现将擦拭的颗粒物转移走、避免划伤导电辊辊面的目标。
3、本实用新型的擦拭机构简单可靠,成本较低且对导电辊辊面的清洁效果明显彻底。
应当理解的是,对本领域普通技术人员来说,可以根据上述说明加以改进或变换,而所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。
上面结合附图对本实用新型专利进行了示例性的描述,显然本实用新型专利的实现并不受上述方式的限制,只要采用了本实用新型专利的方法构思和技术方案进行的各种改进,或未经改进将本实用新型专利的构思和技术方案直接应用于其它场合的,均在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种导电辊在线擦拭装置,包括支撑杆和擦拭机构,其特征在于,所述擦拭机构包括擦拭块、连接座及驱动单元,所述擦拭块通过所述连接座与所述驱动单元连接,所述驱动单元带动所述连接座、所述擦拭块沿着所述支撑杆滑动;
所述擦拭块的内侧为与导电辊相配合的弧形,且所述擦拭块的内侧表面与清洗层可拆卸连接。
2.根据权利要求1所述的导电辊在线擦拭装置,其特征在于,所述擦拭块的内侧的弧度可调节。
3.根据权利要求1所述的导电辊在线擦拭装置,其特征在于,所述擦拭块与所述连接座之间设有缓冲件。
4.根据权利要求1所述的导电辊在线擦拭装置,其特征在于,所述擦拭块的左右侧边设有倾斜的擦拭斜边。
5.根据权利要求1所述的导电辊在线擦拭装置,其特征在于,所述支撑杆上设有滑轨,所述连接座上设有与所述滑轨相匹配的滑块。
6.根据权利要求1所述的导电辊在线擦拭装置,其特征在于,所述支撑杆的两端边缘分别设有位置传感器。
7.根据权利要求1所述的导电辊在线擦拭装置,其特征在于,还包括冲洗机构,所述冲洗机构包括加压喷管和与所述加压喷管连接的连接管,所述加压喷管位于所述支撑杆的左右两端,所述连接管的另一端与电镀装的镀液箱连接。
8.根据权利要求7所述的导电辊在线擦拭装置,其特征在于,所述擦拭块的左右两侧还设有挡液板。
9.根据权利要求8所述的导电辊在线擦拭装置,其特征在于,所述挡液板为圆环形。
10.一种镀膜设备,其特征在于,所述镀膜设备的导电辊处设有权利要求1-9任一项所述的导电辊在线擦拭装置。
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