CN213110325U - 一种硅片加工用除异味装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅片加工用除异味装置，包括除味箱、集气箱和引风机，集气箱位于除味箱的侧部，引风机的进风口与除味箱连接，引风机的出风口与集气箱连接；除味箱内腔的底部安装有电机，电机的转轴端部与涡轮扇叶连接，除味箱的内腔中设置有隔板，隔板位于涡轮扇叶的上部，隔板上间隔开设有通孔，除味箱的前端密封设置有箱门，除味箱侧壁的底部设置有吸气口，吸气口位于隔板的下部，吸气口与吸气支管连接，吸气支管的另一端与吸气干管连接，吸气干管的另一端与引风机的进风口连接；引风机的出风口与出气管连接，出气管的另一端与集气箱连接。本实用新型针对现有除异味装置除异味效果差的问题进行改进，本实用新型具有除异味效果好的优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及微电子技术领域，尤其涉及一种硅片加工用除异味装置。
背景技术
微电子技术是随着集成电路，尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术。微电子技术是一门作用于半导体上的微小型集成电路系统的学科。微电子技术的关键在于研究集成电路的工作方式以及如何实际制造应用。集成电路的发展依赖于半导体器件的不断演化。微电子技术可在纳米级超小的区域内通过固体内的微观电子运动来实现信息的处理与传递，并且有着很好的集成性。而微电子技术的发展离不开硅片，硅片是制作集成电路的重要材料，可以通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。在加工硅片时，需要在硅片的表面涂附一层负光阻剂，涂附后再进行烘干，而负光阻剂中含有二甲苯等有害物质，当负光阻剂附着在硅片上后，有害气味会散发出来，因此，在烘干之前需要对这些异味进行去除。
现有技术中在对硅片进行除异味时，通常通过吊顶式和墙面侧挂式的抽风系统将异味抽除，然而，在现有的吊顶式以及墙面侧挂式抽风系统中，抽风罩与硅片之间存在相应的距离，吊顶式的距离在80cm左右，墙面侧挂式的距离在60cm左右，从而在抽除异味时，气体不能及时完全的被吸走，在车间密闭的环境下，累积的异味会逐步增加，从而人员在车间内工作时会将异味吸入体内，严重影响身体健康。
针对以上技术问题，本实用新型公开了一种硅片加工用除异味装置，本实用新型具有除异味效果好、不易污染环境、更好的保护了工作人员的身体健康等优点。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供了一种硅片加工用除异味装置，以解决现有技术中在对硅片散发出的异味进行去除时，去除的效果差，异味容易散发出来，严重影响工作人员的身体健康等技术问题，本实用新型具有除异味效果好、不易污染环境、更好的保护了工作人员的身体健康等优点。
本实用新型通过以下技术方案实现：本实用新型公开了一种硅片加工用除异味装置，包括除味箱、集气箱和引风机，集气箱位于除味箱的侧部，引风机的进风口与除味箱连接，引风机的出风口与集气箱连接；除味箱底端的四个拐角分别设置有第一支撑腿，除味箱内腔的底部固定安装有电机，电机的转轴端部向上与涡轮扇叶固定连接，除味箱的内腔中还设置有隔板，隔板位于涡轮扇叶的上部，隔板上间隔开设有通孔，除味箱的前端密封设置有箱门，箱门的外壁上设置有拉把，除味箱侧壁的底部设置有吸气口，吸气口位于隔板的下部，吸气口与吸气支管的一端连接，吸气支管的另一端与吸气干管的一端连接，吸气干管的另一端与引风机的进风口连接；集气箱底端的四个拐角分别设置有第二支撑腿，引风机固定安装在集气箱的外壁上，引风机的出风口与出气管的一端连接，出气管的另一端与集气箱连接。
进一步的，为了便于安装与拆卸隔板，除味箱左右内壁上相对设置有托板，隔板的左右两端分别位于两块托板的顶端，从而在安装隔板时只需将隔板放置在两块托板的顶端并将隔板向内推入即可，当需要取出隔板时，直接将隔板拉出即可。
进一步的，为了提高一次去除异味的硅片的数量，提高工作的效率，隔板的个数不少于两个。从而在对硅片进行除异味时，将硅片放置在架片篮中，再分别放置在隔板的顶端。
进一步的，为了便于将隔板拉出，隔板的前端开设有拉孔。
进一步的，为了更好的对除味箱内硅片散发出来的异味进行吸除，除味箱底部的四周侧壁上均设置有吸气口。
进一步的，为了更好的观察除味箱内的情况，箱门上设置有观察窗，观察窗采用透明塑料或者透明玻璃制成。
本实用新型具有以下优点：本实用新型通过设置除味箱，除味箱内设置有隔板，并且在除味箱内腔的底部设置电机，电机的转动端部设置有涡轮扇叶，从而在对硅片进行除异味工作时，将硅片放置与除味箱内的隔板的顶端，关闭箱门进行密封，同时启动电机和引风机，从而电机带动涡轮扇叶转动，在除味箱内隔板的底部形成负压，使除味箱内硅片散发的异味迅速向下运动，从而再配合引风机将异味抽入到集气箱内，后续再对集气箱内的气体进行净化处理后排放，从而本实用新型的除异味效果好，在除异味的过程中异味不会散发于空间，更好的保护了工作人员的身体健康。
附图说明
图1为本实用新型正视图；
图2为除味箱剖视图；
图3为隔板俯视图。
图中：1、除味箱；11、第一支撑腿；12、电机；13、托板；14、箱门；15、吸气口；141、拉把；142、观察窗；2、集气箱；21、第二支撑腿；3、引风机；4、涡轮扇叶；5、隔板；51、拉孔；52、通孔；6、吸气支管；7、吸气干管；8、出气管。
具体实施方式
下面对本实用新型的实施例作详细说明，本实施例在以本实用新型技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本实用新型的保护范围不限于下述的实施例，在本实用新型的描述中，类似于“前”、“后”、“左”、“又”等指示方位或位置关系的词语仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
实施例1
实施例1公开了一种硅片加工用除异味装置，如图1所示，包括除味箱1、集气箱2和引风机3，集气箱2位于除味箱1的侧部，引风机3的进风口与除味箱1连接，引风机3的出风口与集气箱2连接；除味箱1底端的四个拐角分别设置有第一支撑腿11；如图2所示，除味箱1内腔的底部固定安装有电机12，电机12的型号为SEWR17，电机12的转轴端部向上与涡轮扇叶4固定连接，除味箱1的内腔中还设置有隔板5，具体的，除味箱1左右内壁上相对设置有托板13，隔板5的左右两端分别位于两块托板13的顶端，隔板5的个数为三个；如图3所示，隔板5的前端开设有拉孔51；如图2所示，隔板5位于涡轮扇叶4的上部，隔板5上还间隔开设有通孔52；如图1所示，除味箱1的前端密封设置有箱门14，具体的，箱门14为双开式，箱门14与除味箱1的箱体之间以及两个箱门14之间均通过密封条(图中未标出)密封，箱门14的外壁上设置有拉把141，箱门14上还设置有观察窗142，观察窗142采用透明塑料或者透明玻璃制成；如图1和图2所示，除味箱1侧壁的底部设置有吸气口15，具体的，除味箱1底部的四周侧壁上均设置有吸气口15，吸气口15位于隔板5的下部，吸气口15与吸气支管6的一端连接，吸气支管6的另一端与吸气干管7的一端连接，吸气干管7的另一端与引风机3的进风口连接；引风机3的型号为CZR-LY80，集气箱2底端的四个拐角分别设置有第二支撑腿21，引风机3固定安装在集气箱2的外壁上，引风机3的出风口与出气管8的一端连接，出气管8的另一端与集气箱2连接。
本实用新型的工作过程如下：工作时，将涂附负光阻剂的硅片放置于架片篮中(图中未标出)，再打开箱门14，将架片篮依次放置在隔板5的顶端，然后，关闭箱门14，启动电机12和引风机3，电机12转动从而带动涡轮扇叶4转动，从而在除味箱1内腔中隔板5的底部形成负压，使除味箱1内硅片散发出的异味向下运动，再通过引风机3抽入到集气箱2内，后续再对集气箱2内的气体进行净化处理后排放，本实用新型具有除异味效果好、不易污染环境、更好的保护了工作人员的身体健康等优点。
Claims (6)
1.一种硅片加工用除异味装置，其特征在于，包括除味箱、集气箱和引风机，所述集气箱位于所述除味箱的侧部，所述引风机的进风口与所述除味箱连接，所述引风机的出风口与所述集气箱连接；
所述除味箱底端的四个拐角分别设置有第一支撑腿，所述除味箱内腔的底部固定安装有电机，所述电机的转轴端部向上与涡轮扇叶固定连接，所述除味箱的内腔中还设置有隔板，所述隔板位于所述涡轮扇叶的上部，所述隔板上间隔开设有通孔，所述除味箱的前端密封设置有箱门，所述箱门的外壁上设置有拉把，所述除味箱侧壁的底部设置有吸气口，所述吸气口位于所述隔板的下部，所述吸气口与吸气支管的一端连接，所述吸气支管的另一端与吸气干管的一端连接，所述吸气干管的另一端与所述引风机的进风口连接；
所述集气箱底端的四个拐角分别设置有第二支撑腿，所述引风机固定安装在所述集气箱的外壁上，所述引风机的出风口与出气管的一端连接，所述出气管的另一端与所述集气箱连接。
2.如权利要求1所述的一种硅片加工用除异味装置，其特征在于，所述除味箱左右内壁上相对设置有托板，所述隔板的左右两端分别位于两块所述托板的顶端。
3.如权利要求1所述的一种硅片加工用除异味装置，其特征在于，所述隔板的个数不少于两个。
4.如权利要求1所述的一种硅片加工用除异味装置，其特征在于，所述隔板的前端开设有拉孔。
5.如权利要求1所述的一种硅片加工用除异味装置，其特征在于，所述除味箱底部的四周侧壁上均设置有所述吸气口。
6.如权利要求1所述的一种硅片加工用除异味装置，其特征在于，所述箱门上设置有观察窗，所述观察窗采用透明塑料或者透明玻璃制成。
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