CN213102961U - 晶圆加热装置的顶升组件及具有其的多工位点胶机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆加热装置的顶升组件及具有其的多工位点胶机，晶圆加热装置的顶升组件设于晶圆加热装置的底座上以顶升晶圆，顶升组件包括：多个顶针，沿其轴向在第一位置和第二位置之间可活动地设于底座，顶针位于第一位置时，顶针的上端突出于晶圆加热装置以承接晶圆，顶针位于第二位置时，顶针的上端不超出晶圆加热装置；顶针驱动件，驱动顶针活动。根据本实用新型实施例的晶圆加热装置的顶升组件实现对晶圆的非接触式加热，使晶圆的温度逐渐升高，解决了传统的接触式加热致使晶圆温度突然上升而导致的晶圆破裂问题，并且通过调控晶圆距离加热面的高度，来改变晶圆的加热温度，其具有可使晶圆平稳移动，均匀升温，操控性强等优点。

Description

晶圆加热装置的顶升组件及具有其的多工位点胶机

技术领域

本实用新型涉及点胶机技术领域，具体涉及一种晶圆加热装置的顶升组件及具有其的多工位点胶机。

背景技术

随着经济技术的飞速发展，市场对半导体需求的不断增加，晶圆是制造半导体芯片的基本材料，晶圆的点胶技术是先进电子制造业中至为重要的关键性术，其广泛应用于芯片封装和集成电路装备中，其目的是为了减少在产品使用过程中因冷热变化、跌落、振动等因素导致元件的失效机率，从而延长产品的使用寿命。因此，点胶技术作为电子封装技术的关键和核心，其技术水平的提高直接关系到封装技术的优劣。点胶机作为一种新型的自动化设备主要是完成胶体以特定方式通过预先设定的路径点滴到相应位置的功能。

在点胶过程中，晶圆需要在加热装置上进行加热，要达到设定温度后才能进行点胶，加热的温度要均匀，不能局部过热，否则晶圆容易断裂，加热不完全，点胶效果会不好。现有的技术无法使晶圆逐步升温，通常通过气缸驱动晶圆沿着上下方向活动，存在两种极端的调节高度，即最上面和最下面的紧贴加热装置上，不能够控制晶圆停在任意高度位置，无法使晶圆温度均匀上升，极易导致晶圆受热温度不均匀。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型提出一种晶圆加热装置的顶升组件，其具有晶圆受热均匀、可使晶圆平稳地靠近晶圆加热装置的加热面等优点。

本实用新型还提出一种具有晶圆加热装置的顶升组件的多工位点胶机，该多工位点胶机具有晶圆生产产品质量高，生产加工效率高等优点。

根据本实用新型第一方面实施例的晶圆加热装置的顶升组件，设于晶圆加热装置的底座上以顶升晶圆，所述顶升组件包括：多个顶针，多个所述顶针沿其轴向在第一位置和第二位置之间可活动地设于所述底座，所述顶针位于所述第一位置时，所述顶针的上端突出于所述晶圆加热装置以承接晶圆，所述顶针位于所述第二位置时，所述顶针的上端不超出所述晶圆加热装置；顶针驱动件，所述顶针驱动件设于所述底座且与所述顶针相连，所述顶针驱动件驱动所述顶针活动。

根据本实用新型实施例的晶圆加热装置的顶升组件，采用顶针支撑晶圆，通过顶针驱动件驱动顶针上下活动，来改变晶圆与加热面的距离，实现对晶圆的非接触式加热，晶圆从远离加热面的位置活动至靠近加热面的位置，晶圆的升温速率逐渐加快，温度逐渐升高，解决了现有的接触式加热致使的晶圆温度突然上升而导致的晶圆破裂问题，并且晶圆距离加热面的高度可调控，可根据温度要求，使晶圆停在不同位置来进行加热，其具有可使晶圆均匀升温、温度可选择性高，操控性强等优点。

通过根据本实用新型一个实施例，所述的晶圆加热装置的顶升组件还包括支撑板，所述支撑板形成为板状，多个所述顶针分别设于所述支撑板的上表面，所述支撑板的下表面与所述顶针驱动件相连以由所述顶针驱动件驱动。

通过根据本实用新型一个实施例，每个所述顶针分别形成为柱状，多个所述顶针在所述支撑板上间隔开均匀分布。

通过根据本实用新型一个实施例，每个所述顶针的上端分别设有防静电顶块，所述防静电顶块形成为柱状且径向尺寸不大于所述顶针的径向尺寸。

通过根据本实用新型一个实施例，所述晶圆加热装置的顶升组件还包括：多个卡爪，多个所述卡爪与多个所述顶针同步活动地设于所述支撑板，所述卡爪位于所述晶圆加热装置的外周以固定所述晶圆。

通过根据本实用新型一个实施例，每个所述卡爪的上端分别设有防静电支撑块，所述防静电支撑块用于夹持所述晶圆。

通过根据本实用新型一个实施例，每个所述防静电支撑块的上端分别设有L形沉槽，所述晶圆设在所述沉槽内且止抵所述沉槽的侧壁。

通过根据本实用新型一个实施例，所述卡爪与所述顶针的个数相同且每个所述卡爪分别位于所述顶针的外侧。

通过根据本实用新型一个实施例，所述顶针与所述顶针驱动件之间设有隔热板。

根据本实用新型第二方面实施例的多工位点胶机，包括根据上述任一实施例所述的晶圆加热装置的顶升组件。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型的一实施例的晶圆加热装置与晶圆的装配示意图；

图2是根据本实用新型的一实施例的晶圆加热装置的结构示意图；

图3是根据本实用新型的又一实施例的晶圆加热装置的结构示意图；

图4是根据本实用新型实施例的晶圆加热装置的顶升组件的结构示意图。

附图标记：

晶圆加热装置210；

底座220；

晶圆加热装置的顶升组件270；卡爪271；顶针272；沉槽273；顶针驱动件274；

防静电支撑块275；防静电顶块276；隔热板279；

支撑板290；

晶圆2000。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考附图具体描述根据本实用新型实施例的晶圆加热装置的顶升组件270及具有其的多工位点胶机。

如图1至图4所示，根据本实用新型实施例的晶圆加热装置的顶升组件270，设于晶圆加热装置210的底座220上以顶升晶圆2000，顶升组件270包括多个顶针272和顶针驱动件274。

具体而言，根据本实用新型实施例的晶圆加热装置的顶升组件270，多个顶针272沿其轴向在第一位置和第二位置之间可活动地设于底座220，顶针272位于第一位置时，顶针272的上端突出于晶圆加热装置210以承接晶圆2000，顶针272位于第二位置时，顶针272的上端不超出晶圆加热装置210；顶针驱动件274设于底座220且与顶针272相连，顶针驱动件274驱动顶针272活动。

换言之，根据本实用新型实施例的晶圆加热装置的顶升组件270，如图3所示，晶圆加热装置210可以是预热机构，如图1和图2所示也可以是加热平台，在晶圆加热装置210是预热机构时，在晶圆加热装置210的一侧可设有点胶保温平台420，点胶保温平台420设于发热支撑台250的一侧，点胶保温平台420的一部分形成为能够对点胶机本体进行加热的保温面，能够防止胶水堵塞点胶头。顶升组件270主要由多个顶针272和顶针驱动件274组成。顶针驱动件274设在底座220上且与顶针272相连，顶针驱动件274可为电机，可驱动顶针272在第一位置和第二位置之间可活动，在顶针272位于第一位置时，顶针272的上端可以伸出晶圆加热装置210的上表面并能够承接晶圆2000，此时晶圆2000不与晶圆加热装置210的加热面相接触。当顶针272位于第二位置时，顶针272的上端不超出晶圆加热装置210，此时晶圆2000与加热面接触。在顶针272位于第二位置时，顶针272的上端可位于加热面的下方。

晶圆2000可随着顶针272在第一位置和第二位置之间活动，使得晶圆2000和加热面之间的距离发生改变，在晶圆2000靠近加热面时，晶圆2000的升温速度快，在晶圆2000远离加热面时，晶圆2000的升温速度慢。当顶针驱动件274驱动顶针272从第一位置向第二位置活动时，晶圆2000可以停在第一位置和第二位置之间的任意位置进行加热，可以根据温度要求选择加热位置，当晶圆2000逐步地靠近加热面时，晶圆2000的温度将逐渐升高，从而实现均匀平稳加热。

由此，根据本实用新型实施例的晶圆加热装置的顶升组件270，采用顶针272支撑晶圆2000，通过顶针驱动件274驱动顶针272上下活动，来改变晶圆2000与加热面的距离，实现对晶圆2000的非接触式加热，晶圆2000从远离加热面的位置活动至靠近加热面的位置，晶圆2000的升温速率逐渐加快，温度逐渐升高，解决了现有的接触式加热致使的晶圆2000温度突然上升而导致的晶圆2000破裂问题，并且晶圆2000距离加热面的高度可调控，可根据温度要求，使晶圆2000停在不同位置来进行加热，其具有可使晶圆2000均匀升温、温度可选择性高，操控性强等优点。

根据本实用新型的一个实施例，晶圆加热装置的顶升组件270还包括支撑板290，支撑板290形成为板状，多个顶针272分别设于支撑板290的上表面，支撑板290的下表面与顶针驱动件274相连以由顶针驱动件274驱动。支撑板290设于顶针驱动件274和顶针272之间，不仅能够支撑顶针272，还能够连接顶针272和顶针驱动件274，使多个顶针272同步上升或者下降。

可选地，每个顶针272分别形成为柱状，多个顶针272在支撑板290上间隔开均匀分布。将顶针272设计为柱状，设计简单无棱角，通过多个均匀分布的顶针272可平稳支撑晶圆2000。

优选地，每个顶针272的上端分别设有防静电顶块276，防静电顶块276可形成为柱状且径向尺寸不大于顶针272的径向尺寸。顶针272的上端可直接与晶圆2000相接触，在顶针272的上端设有防静电顶块276可有效解决接触位置产生静电影响晶圆2000质量的问题，具有设计简单，易于实施等优点。

在本实用新型的一些具体实施方式中，晶圆加热装置的顶升组件270还包括多个卡爪271，多个卡爪271与多个顶针272同步活动地设于支撑板290，卡爪271位于晶圆加热装置210的外周以固定晶圆2000。采用卡爪271和顶针272相配合的结构，不仅对晶圆2000起到支撑作用，而且可以更加牢固地固定晶圆2000，防止顶升组件270活动时，晶圆2000跌落或者偏移。

进一步地，每个卡爪271的上端分别设有防静电支撑块275，防静电支撑块275能够用于夹持晶圆2000。在安装时，可在卡爪271与晶圆2000的接触位置采用防静电支撑块275，可以有效地防止静电产生，保证晶圆2000质量，设计简单，易于操作。

可选地，每个防静电支撑块275的上端分别设有L形沉槽273，晶圆2000设在沉槽273内且止抵沉槽273的侧壁。当机械手将晶圆2000送至晶圆加热装置210的上方后，将晶圆2000放在卡爪271上，卡爪271可与晶圆2000卡接，晶圆2000的外周受到沉槽273的侧壁面的限位，下方受到沉槽273的底壁的支撑。当驱动晶圆2000上下活动时，可以进一步防止晶圆2000错位或者掉落，具有设计简单，可靠性高等优点。

优选地，卡爪271与顶针272的个数相同且每个卡爪271分别位于顶针272的外侧。卡爪271在顶针272的外侧用以卡接晶圆2000，限制晶圆2000水平方向的移动，保证晶圆2000不平移。

可选地，顶针272可为三个。三个顶针272均匀地分布在晶圆加热装置210平面上，三个卡爪271和三个顶针272可以分别绕晶圆加热装置210的轴向等间距间隔开分布，卡爪271可设置在邻近晶圆加热装置210的外侧的位置，顶针272可设置在邻近晶圆加热装置210的中间区域的位置，在使用时，可以先驱动顶针272对晶圆2000进行承接，随后可以驱动顶针272带动晶圆2000沿着上下方向下行，晶圆2000缓慢落至卡爪271的沉槽273内，能够有效防止直接放置在沉槽273内导致的对位不便，效率慢等缺陷。由此，通过卡爪271和顶针272相配合，能够限制晶圆2000在水平方向和向下方向的移动，保证晶圆2000不平移，从而保证晶圆2000平稳地随着顶升组件270活动。

可选地，顶针272、卡爪271可采用铝质材料，顶块276、支撑块275可采用工程塑料PEEK。

进一步地，顶针272与顶针驱动件274之间设有隔热板279，隔热板279能够避免下方的顶针驱动件274受热。

总而言之，根据本实用新型实施例中的晶圆加热装置的顶升组件270，通过采用卡爪271和顶针272相配合的结构，晶圆2000能够平稳地随着顶升组件270上下活动，通过采用逐渐靠近加热面的加热方式，实现对于晶圆2000的逐步升温。该晶圆加热装置的顶升组件270具有设计简单，平稳移动和防静电等优点。

根据本实用新型实施例的多工位点胶机包括根据上述任一实施例的晶圆加热装置的顶升组件270，由于根据本实用新型实施例的晶圆加热装置的顶升组件270具有上述技术效果，晶圆加热装置210可以设置在多工位点胶机的预热区和点胶区。因此，根据本实用新型实施例的多工位点胶机也具有相应的技术效果，即可实现对晶圆2000的非接触式加热，晶圆2000可从顶针272上升的最高位置逐渐活动至加热面上，晶圆2000的温度逐渐升高，解决了接触式加热使晶圆2000温度突然上升导致晶圆2000破裂的问题，并且晶圆2000距离加热面的高度可调控，可根据温度要求，使晶圆2000停在不同位置来进行加热，其具有可使晶圆2000均匀升温、平稳移动和操控性强等优点。

根据本实用新型实施例的多工位点胶机的其他结构和操作对于本领域技术人员而言都是可以理解并且容易实现的，因此不再详细描述。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种晶圆加热装置的顶升组件，设于晶圆加热装置的底座上以顶升晶圆，其特征在于，所述顶升组件包括：

多个顶针，多个所述顶针沿其轴向在第一位置和第二位置之间可活动地设于所述底座，所述顶针位于所述第一位置时，所述顶针的上端突出于所述晶圆加热装置以承接晶圆，所述顶针位于所述第二位置时，所述顶针的上端不超出所述晶圆加热装置；

顶针驱动件，所述顶针驱动件设于所述底座且与所述顶针相连，所述顶针驱动件驱动所述顶针活动。

2.根据权利要求1所述的晶圆加热装置的顶升组件，其特征在于，还包括：

支撑板，所述支撑板形成为板状，多个所述顶针分别设于所述支撑板的上表面，所述支撑板的下表面与所述顶针驱动件相连以由所述顶针驱动件驱动。

3.根据权利要求2所述的晶圆加热装置的顶升组件，其特征在于，每个所述顶针分别形成为柱状，多个所述顶针在所述支撑板上间隔开均匀分布。

4.根据权利要求3所述的晶圆加热装置的顶升组件，其特征在于，每个所述顶针的上端分别设有防静电顶块，所述防静电顶块形成为柱状且径向尺寸不大于所述顶针的径向尺寸。

5.根据权利要求2所述的晶圆加热装置的顶升组件，其特征在于，还包括：

多个卡爪，多个所述卡爪与多个所述顶针同步活动地设于所述支撑板，所述卡爪位于所述晶圆加热装置的外周以固定所述晶圆。

6.根据权利要求5所述的晶圆加热装置的顶升组件，其特征在于，每个所述卡爪的上端分别设有防静电支撑块，所述防静电支撑块用于夹持所述晶圆。

7.根据权利要求6所述的晶圆加热装置的顶升组件，其特征在于，每个所述防静电支撑块的上端分别设有L形沉槽，所述晶圆设在所述沉槽内且止抵所述沉槽的侧壁。

8.根据权利要求5所述的晶圆加热装置的顶升组件，其特征在于，所述卡爪与所述顶针的个数相同且每个所述卡爪分别位于所述顶针的外侧。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的晶圆加热装置的顶升组件，其特征在于，所述顶针与所述顶针驱动件之间设有隔热板。

10.一种多工位点胶机，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的晶圆加热装置的顶升组件。

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