CN212965037U - 吸附结构及芯片检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种吸附结构及芯片检测设备，该吸附结构包括：固定部，内部中空且内侧设置有环形的气流通道，所述气流通道与外部真空装置连通；旋转轴，内部中空且可转动地设置于所述固定部内部，所述旋转轴的侧壁沿环向开设有若干通气孔，所述旋转轴的内部通过所述通气孔与所述气流通道连通；吸附组件，一端伸入所述旋转轴并与所述旋转轴连接以跟随所述旋转轴同步转动，另一端悬置于所述固定部外部以吸附工件，所述吸附组件内部的吸附气道与所述通气孔连通；导向件，套设于所述旋转轴内部的所述吸附组件上以便在跟随所述旋转轴同步转动为所述吸附组件提供导向；及限位件，设置于所述旋转轴的端部，跟随所述旋转轴转动并对所述导向件限位。

Description

吸附结构及芯片检测设备

技术领域

本实用新型涉及芯片检测制造领域，特别涉及一种吸附结构及芯片检测设备。

背景技术

在芯片制造完成时，需要通过芯片检测设备对芯片进行电特性检测。在检测前，一般需要通过上料机构将芯片输送至上料位置，再通过检测设备的吸嘴将芯片从上料位置移动至检测位置。检测完成后，再通过吸嘴从检测位置拾取芯片并移动至下料工位。在实际应用中，芯片在不同位置转换时，难免出现错位或者放置方向不满足使用需求的情况，这就需要吸嘴在放置芯片时对其进行调整。

目前芯片的搬运大多采用真空吸附的方式，吸嘴通过管路连接至真空发生装置，在进行芯片放置方向调整时，吸嘴整体需要进行转动调节，在小角度调节时，传统吸嘴的形式能够满足使用要求，但在进行大角度调节甚至整周360度调节时，容易出现管路缠绕于吸嘴上的问题，且若转动机构故障，吸嘴多圈转动势必会导致管路连接脱落或断开，安全性及可靠性低。

现有技术中公开了一种吸嘴结构，能够实现吸嘴的任意角度转动，但该吸嘴结构在转动时的摩擦阻力过大。而且，由于该吸嘴结构的结构相对复杂，安装方式对同轴精度影响较大，故对安装人员的专业性要求较高。

实用新型内容

本实用新型提供一种吸附结构及芯片检测设备，以解决现有技术中存在的吸嘴转动摩擦阻力大和安装难度高的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种吸附结构，包括：

固定部，内部中空且内侧设置有环形的气流通道，所述气流通道与外部真空装置连通；

旋转轴，内部中空且可转动地设置于所述固定部内部，所述旋转轴的侧壁沿环向开设有若干通气孔，所述旋转轴的内部通过所述通气孔与所述气流通道连通；

吸附组件，一端伸入所述旋转轴并与所述旋转轴连接以跟随所述旋转轴同步转动，另一端悬置于所述固定部外部以吸附工件，所述吸附组件内部的吸附气道与所述通气孔连通；以及

导向件，套设于所述旋转轴内部的所述吸附组件上以便在跟随所述旋转轴同步转动为所述吸附组件提供导向；

限位件，设置于所述旋转轴的端部，跟随所述旋转轴转动并对所述导向件限位。

作为优选，所述固定部包括：由下向上依次套设在所述限位件和所述旋转轴上的套筒、由上向下依次套设在所述旋转轴和所述套筒上的安装轴以及固定于所述套筒端部的端盖。

作为优选，所述端盖上开设有让位槽，以避免与限位件发生干涉。

作为优选，所述旋转轴的顶部通过第一旋转轴承与所述安装轴连接，所述限位件通过第二旋转轴与所述套筒连接。

作为优选，所述吸附组件包括：吸嘴杆和设置于所述吸嘴杆端部的吸嘴，其中，所述吸嘴杆能够相对于所述旋转轴沿轴向运动，在所述吸嘴杆沿轴向运动时，所述通气孔至少部分不被所述吸嘴遮挡，以保持与所述吸嘴杆的吸附气道连通。

作为优选，所述吸附组件还包括设置于所述吸嘴杆与所述旋转轴之间的弹性件，所述弹性件的两端分别与所述旋转轴和所述吸嘴杆固定或相抵，所述吸嘴杆受外力沿竖向相对所述旋转轴向上移动时，所述弹性件受压收缩，外力消失时，所述吸嘴杆在所述弹性件的回复力下复位。

作为优选，所述旋转轴的侧部沿所述吸嘴杆的轴向开设有限位槽；

所述吸嘴杆上设置有限位销，所述限位销横穿所述吸嘴杆后滑动设置于所述限位槽中。

作为优选，所述固定部的顶部设置有安装板，所述安装板上固定有驱动装置，所述驱动装置连接至所述旋转轴并用于驱动所述旋转轴转动。

作为优选，所述气流通道为成型于所述固定部内侧壁上的环形槽，所述通气孔的高度不小于所述环形槽的宽度。

本实用新型还提供一种芯片检测设备，包括吸附结构。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

1、本实用新型增设了导向件，确保吸嘴组件在轴向上的运动不会发生偏移，保证了吸嘴组件的上下运动直线度可以保证，不会产生卡滞和偏心，便于定位，且可以保证密封效果。

2、本实用新型的结构更为简单，各部件之间的配合性好，安装方式更为简单，普通技术员就可以完成，提高了设备的组装效率。

附图说明

图1为本实用新型中吸附结构的立体结构示意图；

图2为本实用新型中吸附结构的剖视图；

图3为本实用新型中吸附组件的剖面结构示意图。

图中所示：

1、驱动装置；2、安装板；

3、固定部；31、套筒；311、环形槽；32、安装轴；33、端盖；331、让位槽；

4、真空接头；

5、吸附组件；51、吸嘴杆；52、柔性吸嘴；53、弹性件；

6、旋转轴；61、旋转连接轴；62、通气孔；63、限位槽；64、限位销；

7、导向件；8、限位件；9、联轴器；

101、第一旋转轴承；102、第二旋转轴承；103、密封圈。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。需说明的是，本实用新型附图均采用简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

本实用新型实施例中提供一种芯片检测设备，包括吸附结构，用于吸附工件，在本实施例中，工件为芯片。该检测设备还包括移动装置，移动装置能够带动吸附结构沿竖向或水平方向移动，以使吸附结构在吸取位置与放置位置往复运动。具体地，移动装置包括水平驱动装置和竖向驱动装置，水平驱动装置连接于竖向驱动装置，竖向驱动装置连接吸附结构。

如图1至图3所示，本实用新型实施例中提供的吸附结构，专门针对芯片检测设备，由于芯片检测设备经常需要安装多个吸附结构，用于同步工作，故而每个吸附结构的空间较小，针对较小空间的应用，该吸附结构包括驱动装置1、安装板2、固定部3、真空接头4、吸附组件5、旋转轴6、导向件7、限位件8，以下对上述部件进一步详细说明。

请参照图1和图2，所述固定部3包括：沿轴向贯通的套筒31、套设在所述套筒31上的安装轴32以及设置在所述套筒31的底部的端盖33。

所述安装轴32的一端向外凸设有第一连接环，该第一连接环通过螺栓连接有安装板2，安装板2上放置驱动装置1，驱动装置1优选为电机，其驱动轴11穿过安装板2伸入安装轴32的内部。

所述套筒31设置于所述安装轴32内部，所述套筒31上远离所述驱动装置1的一端向外凸设有第二连接环，该第二连接环位于安装轴31的另一端并与安装轴31的端部通过螺钉连接。所述端盖33则连接于第二连接环。从而实现端盖33、套筒32及安装轴31的固定连接。

如图2和图3所示，旋转轴6设置于所述套筒31内，且顶部伸出所述套筒31至所述安装轴32内部。且能够相对于所述套筒31和安装轴32转动。具体地，所述旋转轴6与所述安装轴32之间设置有第一旋转轴承101。优选地，所述安装轴32的内部凸设有第一台阶面，所述旋转轴6外侧一周设置有与所述第一台阶面对应的第二台阶面。所述第一旋转轴承101设置于所述第一台阶面与第二台阶面之间。进一步的，所述第一旋转轴承101的外环侧面和外环顶面抵压至所述第一台阶面，所述第一旋转轴承101的内环侧面和内环底面抵压至所述第二台阶面。

所述旋转轴6的一端设置有旋转连接轴61，旋转连接轴61与驱动轴11通过联轴器9连接。旋转轴6的另一端通过限位件8抵压于端盖33。因此，旋转轴6沿轴向被限定。

所述套筒31上靠近所述第一旋转轴承101的一端的内侧壁上开设有环形槽311，该环形槽311与外部真空发生装置连接，形成环形的气流通道。所述旋转轴6的侧壁沿环向开设有若干通气孔62，该通气孔62与所述气流通道连通。当旋转轴6进行任意角度或任意方向旋转时，通气孔62能够时刻保持与环形槽311连通，这就解决了现有技术中因大角度调整时出现的线路缠绕等问题，保证了吸附结构的安全性。

继续参照图2和图3，所述旋转轴6的内部还设置有与所述通气孔62连通的轴向通道。为了保证气密性，所述通气孔62的上、下两侧的旋转轴6与套筒31之间分别设置有密封圈103。

所述套筒31上还设置有与所述环形槽311连通的第一孔，所述安装轴32的侧壁上开设有与所述第一孔位置对应的第二孔，所述第二孔上安装有真空接头4，所述真空接头4连接至外部真空发生装置。故，外部真空发生装置通过所述真空接头4、第二孔、第一孔和环形槽311与所述通气孔62连通，进而与所述吸附组件5连通。

请重点参照图3，所述吸附组件5的一端伸入所述旋转轴6并与所述旋转轴6连接以跟随所述旋转轴6同步转动，所述吸附组件5的另一端悬置于所述固定部3外部以吸附工件，所述吸附组件5内部的吸附气道与所述通气孔62连通。

所述吸附组件5包括吸嘴杆51、柔性吸嘴52和弹性件53。所述吸嘴杆51为中空结构，即其内部设置有吸附气道。所述吸嘴杆51的一端伸入旋转轴6的轴向通道并能够相对于所述旋转轴6沿轴向运动。当所述吸嘴杆51沿轴向运动时，所述通气孔62至少部分不被所述柔性吸嘴52遮挡，以保持与所述吸嘴杆51的吸附气道连通。优选地，为了保证不堵塞通气孔62，所述通气孔62的高度高于所述吸嘴杆51的顶端高度。所述吸嘴杆51的另一端伸出端盖33后与柔性吸嘴52连接。该柔性吸嘴52吸附工件时，外部真空发生装置工作，通过真空接头4依次向第二孔、第一孔、环形槽311、通气孔62以及吸附气道抽真空，从而使得柔性吸嘴52的吸附部分形成负压，实现吸附。其中，所述柔性吸嘴52优选采用橡胶吸嘴。

然而，在上述吸附过程中，由于柔性吸嘴52与工件接触的一瞬间会造成相互碰撞，容易导致工件损耗，为此，为了使柔性吸嘴52在吸附工件时具有缓冲能力，避免硬性接触工件，该柔性吸嘴52能够相对于旋转轴6沿轴向运动。因而在柔性吸嘴52接触工件时，通过吸嘴杆51带动柔性吸嘴52沿轴向的移动，可以实现缓冲，起到保护工件的目的。

为实现上述缓冲，吸嘴杆51与旋转轴6之间设置有所述弹性件53，所述弹性件53的两端分别与所述旋转轴6和所述吸嘴杆51固定或相抵。具体地，所述吸嘴杆51的外侧设置有凸台，所述旋转轴6的内部设置有阶梯孔，分别为阶梯小孔和阶梯大孔，所述弹性件53设置于凸台与阶梯小孔的端面之间。即，所述弹性件53位于所述阶梯孔的上部区域。当然，所述弹性件53套设于所述吸嘴杆51上。

当柔性吸嘴52吸附工件时，柔性吸嘴52接触工件的瞬间，柔性吸嘴52和吸嘴杆51因受到瞬间的冲击力，沿竖向相对旋转轴6向上移动，弹性件7受压收缩，吸附完成后，外部的冲击力消失，吸嘴杆51带动柔性吸嘴52在弹性件53的回复力下复位。其中，弹性件53优选为弹簧。

为实现吸嘴杆51沿轴向运动，旋转轴6的侧部沿吸嘴杆51的轴向开设有限位槽63。所述吸嘴杆51的凸台处还设置有限位销64，限位销64沿轴向滑动设置于限位槽63中。通过限位销64与限位槽63的配合，一方面能避免吸嘴杆51相对于旋转轴6转动，另一方面还能实现吸嘴杆51相对于旋转轴6沿轴向的移动，结构简单，且在不增加额外连接部件的基础上，将限位销64设置于旋转轴6的内部，极大地简化外部结构，很好地减小了整体体积，有利于小空间使用，更加灵活便利。

优选地，限位槽63为相对设置的两个，且两个限位槽63设置于旋转轴6的阶梯小孔的两相对侧部，限位销64横穿所述吸嘴杆51的凸台后滑动设置于限位槽63中，提升轴向移动的平稳性。

所述导向件7位于所述旋转轴6内部且能够跟随所述旋转轴6同步转动。具体地，所述导向件7设置于所述阶梯大孔，即阶梯孔的下部区域，且所述导向件7的端部与旋转轴6的端部持平。其中，所述导向件7优选采用直线轴承。

为保证密封性，所述导向件7的顶部也设置有密封圈103，当然，该密封圈103和导向件7均套设于吸嘴杆51上。所述导向件可以为吸嘴杆51提供竖向导向，保证吸嘴杆51的垂直度，避免吸嘴杆51沿轴向运动时发生偏移，确保柔性吸嘴52可以精准的吸附工件。

为避免所述导向件7脱离所述阶梯孔，所述旋转轴6的底部端面处设置有限位件8，所述限位件8的端面抵压至所述旋转轴6以及导向件7的底面，并跟随所述旋转轴6同步旋转。

进一步的，为了降低整个旋转轴6的旋转阻力，减少旋转时候的偏摆，所述导向件7与所述套筒31之间还设置有第二旋转轴承102。具体地，所述导向件7的外侧面设置有第三台阶面，所述套筒31的端部内侧设置有第四台阶面，所述第三台阶面抵压至所述第二旋转轴承102的内环侧面和远离端盖一侧的内环端面，所述第四台阶面抵压至所述第二旋转轴承102的外环侧面和远离端盖一侧的外环端面，所述第二旋转轴承102的另一侧外环端面抵压至所述端盖33。所述端盖33上与所述第二旋转轴承102的内环以及限位件8对应位置处，设置有让位槽331。从而为所述限位件8和第二旋转轴承102的内环提供让位空间，确保所述限位件8和第二旋转轴承102在跟随旋转轴6转动时，不会与端盖33发生干涉，降低了旋转轴6的旋转阻力。

本实用新型的吸附结构，在工作时，通过芯片检测设备的移动装置移动至吸取工件的位置并下降至接触工件，在接触工件的瞬间，吸附组件5整体在旋转轴6中上移，移动过程依靠限位销64导向，在移动至最高位置处时不会堵塞通气孔62，在上升过程中，弹性件53被压缩。

同时，外部的真空发生装置动作，使得柔性吸嘴52能够吸附工件。

在吸附工件后，可以通过移动装置继续将吸附结构上升并移动至指定的放置位置，用来释放工件。吸附结构上升过程中，吸嘴杆51带动柔性吸嘴52复位。

在释放工件之前，通常需要旋转来调节工件的放置方向，这时，驱动装置1通过驱动轴11、联轴器9、旋转连接轴61带动旋转轴6旋转，旋转轴6可以通过限位销64带动吸嘴杆51、柔性吸嘴52及工件一起转动，在旋转过程中，由于若干个通气孔61始终保持与环形槽311连通，因而整个气路畅通，仍然能够使柔性吸嘴52保持吸附住工件，这就能够实现360°任意角度的旋转调节，避免出现线路缠绕等问题。

显然，本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包括这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种吸附结构，其特征在于，包括：

固定部，内部中空且内侧设置有环形的气流通道，所述气流通道与外部真空装置连通；

旋转轴，内部中空且可转动地设置于所述固定部内部，所述旋转轴的侧壁沿环向开设有若干通气孔，所述旋转轴的内部通过所述通气孔与所述气流通道连通；

吸附组件，一端伸入所述旋转轴并与所述旋转轴连接以跟随所述旋转轴同步转动，另一端悬置于所述固定部外部以吸附工件，所述吸附组件内部的吸附气道与所述通气孔连通；

导向件，套设于所述旋转轴内部的所述吸附组件上以便在跟随所述旋转轴同步转动为所述吸附组件提供导向；以及

限位件，设置于所述旋转轴的端部，跟随所述旋转轴转动并对所述导向件限位。

2.根据权利要求1所述的吸附结构，其特征在于，所述固定部包括：由下向上依次套设在所述限位件和所述旋转轴上的套筒、由上向下依次套设在所述旋转轴和所述套筒上的安装轴以及固定于所述套筒端部的端盖。

3.根据权利要求2所述的吸附结构，其特征在于，所述端盖上开设有让位槽，以避免与限位件发生干涉。

4.根据权利要求2所述的吸附结构，其特征在于，所述旋转轴的顶部通过第一旋转轴承与所述安装轴连接，所述限位件通过第二旋转轴与所述套筒连接。

5.根据权利要求1所述的吸附结构，其特征在于，所述吸附组件包括：吸嘴杆和设置于所述吸嘴杆端部的吸嘴，其中，所述吸嘴杆能够相对于所述旋转轴沿轴向运动，在所述吸嘴杆沿轴向运动时，所述通气孔至少部分不被所述吸嘴遮挡，以保持与所述吸嘴杆的吸附气道连通。

6.根据权利要求5所述的吸附结构，其特征在于，所述吸附组件还包括设置于所述吸嘴杆与所述旋转轴之间的弹性件，所述弹性件的两端分别与所述旋转轴和所述吸嘴杆固定或相抵，所述吸嘴杆受外力沿竖向相对所述旋转轴向上移动时，所述弹性件受压收缩，外力消失时，所述吸嘴杆在所述弹性件的回复力下复位。

7.根据权利要求5所述的吸附结构，其特征在于，所述旋转轴的侧部沿所述吸嘴杆的轴向开设有限位槽；

所述吸嘴杆上设置有限位销，所述限位销横穿所述吸嘴杆后滑动设置于所述限位槽中。

8.根据权利要求1所述的吸附结构，其特征在于，所述固定部的顶部设置有安装板，所述安装板上固定有驱动装置，所述驱动装置连接至所述旋转轴并用于驱动所述旋转轴转动。

9.根据权利要求1所述的吸附结构，其特征在于，所述气流通道为成型于所述固定部内侧壁上的环形槽，所述通气孔的高度不小于所述环形槽的宽度。

10.一种芯片检测设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的吸附结构。

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