CN212931699U - 一种可测量旗状样品托温度的热偶弹片及其测温装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种可测量旗状样品托温度的热偶弹片及其测温装置，一种可测量旗状样品托温度的热偶弹片包括弹片本体(1)，其特征在于：所述弹片本体(1)包括基板(12)、弯折部(13)和弹性接触部(14)；所述基板(12)上设置有通孔(15)；所述弹片本体(1)由热偶材料制成；一种可测量旗状样品托温度的热偶测温装置基于热偶弹片结构进行组合，通过弹片结构和样品托的快速拆改结构，可实现精准真空测温，同时便于拆改的技术效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空测温技术领域，特别涉及一种可测量旗状样品托温度的热偶弹片及其测温装置。
背景技术
在对真空内样品高温热处理的过程中，必须准确把握样品的温度，现有的测温方式基本可分为接触式及非接触式。
接触式的多为温度传感器或热偶，根据加热温度选择合适量程的热偶，通过点焊或拧螺丝等方式固定在需要测温的位置。好处是可以直接测得该位置温度，测温较准。缺点是由于样品需要经常更换，如果将热偶固定在样品上则需要频繁拆装，繁琐并且对腔体的真空有影响。也可以将热偶固定在放置样品托的样品台上，测量样品台的温度，从而估算出样品的温度，但是由于测的是样品台温度而非样品温度，因此还是无法精确把握样品温度。
非接触式常见的是红外测温仪，通过探测物体发出的红外辐射计算其温度。好处是不需要直接接触即刻测得温度，缺点是需要知道材料的发射系数，调整好焦距，探头及样品之间无阻挡物，且材料的发射系数会随温度变化而改变。
所以需要一种既可以测得样品托温度，又并非固定在样品托上，更换样品托时不需要拆装改动的热偶测温结构及其测温装置。
发明内容
为了解决上述技术问题，本实用新型中披露了一种可测量旗状样品托温度的热偶弹片及其测温装置，本实用新型的技术方案是这样实施的：
一种可测量旗状样品托温度的热偶弹片，包括弹片本体(1)，其特征在于：所述弹片本体(1)包括基板(12)、至少一个弯折部(13)和弹性接触部(14)；所述基板(12)上包括至少一个通孔(15)；所述弹片本体(1)由热偶材料制成。
优选地，所述弹片本体(1)还包括抵触部(16)。
优选地，所述弹性接触部(14)横截面为弧形结构。
优选地，所述基板(12)上所述通孔(15)数量为一。优选地，所述弹片本体(1)为具有弹性的热偶材料。
一种可测量旗状样品托温度的热偶测温装置，包括第一热偶弹片(1A)、第二热偶弹片(1B)、样品托(2)和热偶线(6)；所述第一热偶弹片(1A)和所述第二热偶弹片(1B)为上述的任意一种可测量旗状样品托温度的热偶弹片；所述第一热偶弹片(1A)和所述第二热偶弹片(1B)相互绝缘；所述热偶线(6)的两端分别连接所述第一热偶弹片(1A)的第一热偶弹片通孔(15A)和所述第二热偶弹片(1B)的第二热偶弹片通孔(15B)；所述第一热偶弹片(1A)的第一热偶弹片弹性接触部(14A)和所述第二热偶弹片(1B)的第二热偶弹片弹性接触部(14B)分别接触的所述样品托(2)的不同位置。
优选地，还包括陶瓷垫圈(4)。
优选地，还包括耐高温固定件(5)。
优选地，所述样品托(2)为插入式样品托；所述第一热偶弹片(1A)的第一弹片弯折部(13A)和第二热偶弹片(1B)的第二弹片弯折部(13B)朝所述样品托插入方向弯折；所述第一热偶弹片(1A)和所述第二热偶弹片(1B)接触于所述样品托(2)的下方。
优选地，还包括样品托加热装置(3)。
实施本实用新型的技术方案可解决现有技术中需要对热偶测温结构做频繁拆改的技术问题；实施本实用新型的技术方案，通过特殊的弹片结构和样品托的快速拆改结构装置，可实现精准真空测温，同时便于拆改的技术效果。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为一种具体实施例1的一种可测量旗状样品托温度的热偶弹片的结构示意图；
图2为一种具体实施例2的一种可测量旗状样品托温度的热偶弹片的结构示意图；
图3为一种具体实施例3的一种可测量旗状样品托温度的热偶弹片的结构示意图；
图4为一种具体实施例4的一种可测量旗状样品托温度的热偶测温装置示意图局部图；
图5为一种具体实施例4的一种可测量旗状样品托温度的热偶测温装置透视示意图；
图6为一种具体实施例4的一种可测量旗状样品托温度的热偶测温装置侧视示意图。
在上述附图中，各图号标记分别表示：
1、弹片本体；
12、基板；13、弯折部；14、弹性接触部；15、通孔；16、抵触部；17、固定通孔；
1A、第一热偶弹片；1B、第二热偶弹片；13A、第一弹片弯折部；14A、第一热偶弹片弹性接触部；2、样品托；3、样品托加热装置；4、陶瓷垫圈；5、钼质固定件。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
一种可测量旗状样品托温度的热偶弹片，包括弹片本体(1)，其特征在于：弹片本体(1)包括基板(12)、至少一个弯折部(13)和弹性接触部(14)；基板(12)上包括至少一个通孔(15)；弹片本体(1)由热偶材料制成。
实施例1：
如附图图1所示，一种可测量旗状样品托温度的热偶弹片，包括弹片本体(1)，弹片本体(1)包括基板(12)、一个弯折部(13)和弹性接触部(14)；基板(12)上包括一个通孔(15)；弹片本体(1)由热偶材料制成。
在样品托(2)进行测温安装时，通过顶起弹片本体(1)使得弹性接触部(14)和样品托发生接触以及薄片既能起到压住样品托，防止其滑出槽的作用，又能保证薄片与样品托接触紧密，通过弹片本体(1)这一结构能够使得实现便便携的样品托拆改，从而在精准真空测温的同时保证了测量效率。
实施例2：
如附图图2所示，一种可测量旗状样品托温度的热偶弹片，包括弹片本体(1)，弹片本体(1)包括基板(12)、二个弯折部(13)、抵触部(16)和弹性接触部(14)；基板(12)上包括一个通孔(15)用以连接热偶线(6)和另一个通孔(15)用以固定其他部件；弹片本体(1)由带有弹性的热偶材料制成。
在样品托(2)进行测温安装时，通过顶起弹片本体(1)使得弹性接触部(14)和样品托发生接触以及薄片既能起到压住样品托，防止其滑出槽的作用，又能保证薄片与样品托接触紧密。弹片本体(1)具有弹性，能够经受一定的碰撞冲击，从而进一步保证了弹片本体(1)和目标样品托(2)的接触面积，从而使得读数更加稳定；抵触部(16)能够对于弯曲结构进行保护，使得在受到过大冲击力时，在一定程度上使得弹片不会发生过大的形变而损坏；通过弹片本体(1)这一结构能够使得实现便便携的样品托拆改，从而在精准真空测温的同时保证了测量效率。
实施例3：
如附图图3所示，一种可测量旗状样品托温度的热偶弹片，包括弹片本体(1)，弹片本体(1)包括基板(12)、三个弯折部(13)、抵触部(16)和弧形的弹性接触部(14)；基板(12)上包括一个通孔(15)用以连接热偶线(6)和另一个通孔(15)用以固定其他部件；弹片本体(1)由带有弹性的热偶材料制成。
在样品托(2)进行测温安装时，通过顶起弹片本体(1)使得弹性接触部(14)和样品托发生接触以及薄片既能起到压住样品托，防止其滑出槽的作用，又能保证薄片与样品托接触紧密。弹片本体(1)具有弹性，能够经受一定的碰撞冲击，从而进一步保证了弹片本体(1)和目标样品托(2)的接触面积，从而使得读数更加稳定；抵触部(16)能够对于弯曲结构进行保护，使得在受到过大冲击力时，在一定程度上使得弹片不会发生过大的形变而损坏；弧形的弹性接触部(14)能够保持更大的接触面积，同时在弹片本体(1)的发生形变后进行补偿，延长弹片的使用寿命。通过弹片本体(1)这一结构能够使得实现便便携的样品托拆改，从而在精准真空测温的同时保证了测量效率。
综上，
在一种优选的实施例中，弹片本体(1)还包括抵触部(16)。抵触部(16)能够对于弯曲结构进行保护，使得在受到过大冲击力时，在一定程度上使得弹片不会发生过大的形变而损坏。
在一种优选的实施例中，弹性接触部(14)横截面为弧形结构。弧形的弹性接触部(14)能够保持更大的接触面积，同时在弹片本体(1)的发生形变后进行补偿，延长弹片的使用寿命。
在一种优选的实施例中，基板(12)上通孔(15)数量为一。通过单一通孔(15)既可以实现固定部件以及连接热偶线(6)，通孔(15)的形状可以根据实际进行调整变形，从而适应不同的安装结构，降低弹片的成本。
在一种优选的实施例中，弹片本体(1)为具有弹性的热偶材料。弹片本体(1)具有弹性，能够经受一定的碰撞冲击，从而进一步保证了弹片本体(1)和目标样品托(2)的接触面积，从而使得读数更加稳定。
一种可测量旗状样品托温度的热偶测温装置，包括第一热偶弹片(1A)、第二热偶弹片(1B)、样品托(2)和热偶线(6)；第一热偶弹片(1A)和第二热偶弹片(1B)为上述中的任意一种可测量旗状样品托温度的热偶弹片；第一热偶弹片(1A)和第二热偶弹片(1B)相互绝缘；热偶线(6)的两端分别连接第一热偶弹片(1A)的第一热偶弹片通孔(15A)和第二热偶弹片(1B)的第二热偶弹片通孔(15B)；第一热偶弹片(1A)的第一热偶弹片弹性接触部(14A)和第二热偶弹片(1B)的第二热偶弹片弹性接触部(14B)分别接触的样品托(2)的不同位置。
实施例4：
如附图图4-6所示，一种可测量旗状样品托温度的热偶测温装置，包括第一热偶弹片(1A)、第二热偶弹片(1B)、样品托(2)和热偶线(6)；第一热偶弹片(1A)和第二热偶弹片(1B)为上述中的任意一种可测量旗状样品托温度的热偶弹片；第一热偶弹片(1A)和第二热偶弹片(1B)相互绝缘；热偶线(6)的两端分别连接第一热偶弹片(1A)的第一热偶弹片通孔(15A)和第二热偶弹片(1B)的第二热偶弹片通孔(15B)；第一热偶弹片(1A)的第一热偶弹片弹性接触部(14A)和第二热偶弹片(1B)的第二热偶弹片弹性接触部(14B)分别接触的样品托(2)的不同位置。其中作为耐高温固定件(5)的钼螺丝依次穿过陶瓷垫圈(4)、热偶薄片中间位置的通孔(15)和作为耐高温固定件(5)的钼螺母，拧紧钼螺母以固定这些零件。
由于上下侧有陶瓷垫圈(4)，可以保证耐高温固定件(5)及热偶弹片(1)皆与样品台无接触。热偶弹片(1)上的通孔(15)用于连接固定热偶线(6)，可以通过(15)或者额外的通孔(15)用以第一热偶弹片(1A)和第二热偶弹片(1B)，当样品托(2)插入时，第一热偶弹片(1A)和第二热偶弹片(1B)会被顶起，第一热偶弹片(1A)和第二热偶弹片(1B)既能起到压住样品托(2)，防止其滑出槽的作用，又能保证自身与样品托(2)接触紧密。
装置中还引入了样品托加热装置(3)，其可以通过加热钨丝或者其他加热方式均可以对于样品托进行加热，进行温度补偿或者温度维持，便于测温操作的展开。
样品托(2)插入槽前时，第一热偶弹片(1A)和第二热偶弹片(1B)相互绝缘，没有测温值。当样品托插入时，第一热偶弹片(1A)和第二热偶弹片(1B)被顶起，通过与样品托(2)紧密接触而导通，此时使用测温器通过热偶线(6)可测得第一热偶弹片(1A)和第二热偶弹片(1B)之间的样品托(2)的温度。
在本实施例中，通过热偶直接接触样品托来测温，相比于红外测温，没有调整发射系数、对焦等步骤，更简捷，且测得的温度更加准确；需要时即可直接更换样品托，不需要拆装其他部件，提升了测量效率；第一热偶弹片(1A)和第二热偶弹片(1B)安装在样品托背面，不会阻挡到实验中反射式高能电子衍射装置(RHEED)射向样品的单能电子等。
综上，
在一种优选的实施例中，还包括陶瓷垫圈(4)。陶瓷垫圈(4)可以保证耐高温固定件(5)及热偶弹片(1)皆与样品台无接触，以隔绝固定设备和热偶弹片(1)，从而保证测量的准确性和设备稳定性。
在一种优选的实施例中，还包括耐高温固定件(5)。耐高温固定件(5)可以选择包括钼、钽或者其他耐高温的固定件，用以实现连接部件之间固定，同时耐高温的特性又能较好地配合进行测温，使得测温设备可以在更广的功作业范围内工作。
在一种优选的实施例中，样品托(2)为插入式样品托；第一热偶弹片(1A)的第一弹片弯折部(13A)和第二热偶弹片(1B)的第二弹片弯折部(13B)朝样品托插入方向弯折。这样的设计可以使得在受到过大冲击力时，在一定程度上使得弹片不会发生过大的形变而损坏利用热偶弹片(1)自身的弹性吸收部分冲击力，从而延长装置的寿命。第一热偶弹片(1A)和第二热偶弹片(1B)接触于样品托(2)的下方。第一热偶弹片(1A)和第二热偶弹片(1B)安装在样品托背面，不会阻挡到实验中反射式高能电子衍射装置(RHEED)射向样品的单能电子等，使得本装置适用性更广泛。
在一种优选的实施例中，还包括样品托加热装置(3)。这样设置的好处是可以通过加热钨丝或者其他加热结构对于样品托进行加热，进行温度补偿或者温度维持，使得测量结果的一致性更好，精确度更高。
需要说明的是，样品托加热装置(3)可采用现有技术中的任意技术方案，与本专利披露的技术方案结合，形成的技术方案，均在本专利的保护范围内。
需要指出的是，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种可测量旗状样品托温度的热偶弹片，包括弹片本体(1)，其特征在于：所述弹片本体(1)包括基板(12)、弯折部(13)和弹性接触部(14)；所述基板(12)上设置通孔(15)；所述弹片本体(1)由热偶材料制成。
2.根据权利要求1所述的一种可测量旗状样品托温度的热偶弹片，其特征在于：所述弹片本体(1)还包括抵触部(16)。
3.根据权利要求1所述的一种可测量旗状样品托温度的热偶弹片，其特征在于：所述弹性接触部(14)横截面为弧形结构。
4.根据权利要求1所述的一种可测量旗状样品托温度的热偶弹片，其特征在于：所述基板(12)上所述通孔(15)数量为一。
5.根据权利要求1所述的一种可测量旗状样品托温度的热偶弹片，其特征在于：所述弹片本体(1)为具有弹性的热偶材料。
6.一种可测量旗状样品托温度的热偶测温装置，其特征在于：包括第一热偶弹片(1A)、第二热偶弹片(1B)、样品托(2)和热偶线(6)；所述第一热偶弹片(1A)和所述第二热偶弹片(1B)为权利要求1-5中所述的任意一种可测量旗状样品托温度的热偶弹片；所述第一热偶弹片(1A)和所述第二热偶弹片(1B)相互绝缘；所述热偶线(6)的两端分别连接所述第一热偶弹片(1A)的第一热偶弹片通孔(15A)和所述第二热偶弹片(1B)的第二热偶弹片通孔(15B)；所述第一热偶弹片(1A)的第一热偶弹片弹性接触部(14A)和所述第二热偶弹片(1B)的第二热偶弹片弹性接触部(14B)分别接触的所述样品托(2)的不同位置。
7.根据权利要求6所述的一种可测量旗状样品托温度的热偶测温装置，其特征在于：还包括陶瓷垫圈(4)。
8.根据权利要求7所述的一种可测量旗状样品托温度的热偶测温装置，其特征在于：还包括耐高温固定件(5)。
9.根据权利要求6-8任一所述的一种可测量旗状样品托温度的热偶测温装置，其特征在于：所述样品托(2)为插入式样品托；所述第一热偶弹片(1A)的第一弹片弯折部(13A)和第二热偶弹片(1B)的第二弹片弯折部(13B)朝所述样品托插入方向弯折；所述第一热偶弹片(1A)和所述第二热偶弹片(1B)接触于所述样品托(2)的下方。
10.根据权利要求9所述的一种可测量旗状样品托温度的热偶测温装置，其特征在于：还包括样品托加热装置(3)。
Priority Applications (1)
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| CN202021337072.2U CN212931699U (zh) | 2020-07-09 | 2020-07-09 | 一种可测量旗状样品托温度的热偶弹片及其测温装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN212931699U true CN212931699U (zh) | 2021-04-09 |
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Family Applications (1)
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