CN212931653U - 一种激光光束测量仪 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种激光光束测量仪，涉及激光技术领域，该激光光束测量仪包括：第一分光镜、可移动反射镜、中性滤光片、光束分析仪、聚焦镜、第二分光镜以及第三分光镜。本实用新型所述激光光束测量仪通过设置可移动反射镜以及相配合的光路部件，在不影响激光器的使用的同时只选取了极小部份功率的激光进行激光光束测量，既能测量近场光斑，又能测量聚焦后的远场光斑及发散角，在节省了搭建多个光路的成本的同时，又提高了测量激光光束的效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及激光技术领域，尤其涉及一种激光光束测量仪。
背景技术
激光光束有几个最常用的激光参数：近场光斑和远场光斑的光束直径、强度的空间分布、模式结构，以及发散角。近场光斑是在激光器出口几米内的激光光斑，远场光斑是离激光器出口无穷远处的光斑，一般通过聚焦镜聚焦到焦点处测量远场光斑的空间分布，发散角是从近场到远场光斑发散的角度，一般通过测量聚焦镜焦距处的光斑d，除以焦距F得到激光器的发散角d/F。一个普遍使用的光束直径的定义是当光束强度降到其峰值的(13.5％)时的宽度。这个定义是由高斯光束推导而来，非常适合工作在基模(TEM00模或接近)的激光。ISO 11146标准定义光束直径为二阶矩强度分布的1/e2点处的数值，这个数值是根据原始强度数据计算得到的，对于完美的高斯光束，就会简化到普通定义。光束截面分析仪可以采用基于相机或刀口式的光束分析仪来测量。激光光束质量与激光的功率影响不大，一般需要衰减激光功率直到相机或刀口式的光束分析仪能够承受为止。
在实现本实用新型过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题：一般的激光光束分析仪要么需要搭建光路测量近场光斑，要么需要搭建另一个光路测量聚焦后的远场光斑及发散角，不能做到两者都能测量。
实用新型内容
为了克服现有技术中相关产品的不足，本实用新型提出一种激光光束测量仪，解决现有的激光光束分析仪对近场光斑和远场光斑不能同时测量的问题。
本实用新型提供了一种激光光束测量仪，包括：第一分光镜、可移动反射镜、中性滤光片、光束分析仪、聚焦镜、第二分光镜以及第三分光镜，所述第一分光镜、可移动反射镜、聚焦镜以及第二分光镜由上至下依次同轴设置，所述第三分光镜、可移动反射镜、中性滤光片以及光束分析仪依次同轴设置，入射激光光束经过第一分光镜后，依次经过聚焦镜以及第二分光镜，然后反射至所述第三分光镜，再依次通过中性滤光片以及光束分析仪。
在本实用新型的某些实施方式中，所述第一分光镜、第二分光镜以及第三分光镜为楔形分光镜、分光片中的一种。
在本实用新型的某些实施方式中，所述光束分析仪为基于CCD相机的光束分析仪、基于刀口式的光束分析仪中的一种。
与现有技术相比，本实用新型有以下优点：
本实用新型所述激光光束测量仪通过设置可移动反射镜以及相配合的光路部件，在不影响激光器的使用的同时只选取了极小部份功率的激光进行激光光束测量，既能测量近场光斑，又能测量聚焦后的远场光斑及发散角，在节省了搭建多个光路的成本的同时，又提高了测量激光光束的效率。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型所述激光光束测量仪的结构示意图。
附图标记说明：
1-第一分光镜、2-可移动反射镜、3-中性滤光片、4-光束分析仪、5-聚焦镜、6-第二分光镜、7-第三分光镜。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，附图中给出了本实用新型的较佳实施例。本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例，相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。
参阅图1所示，所述激光光束测量仪包括第一分光镜1、可移动反射镜2、中性滤光片3、光束分析仪4、聚焦镜5、第二分光镜6以及第三分光镜7，所述第一分光镜1、可移动反射镜2、聚焦镜5以及第二分光镜6由上至下依次同轴设置，所述第三分光镜7、可移动反射镜2、中性滤光片3以及光束分析仪4依次同轴设置，入射激光光束经过第一分光镜1后，依次经过聚焦镜5以及第二分光镜6，然后反射至所述第三分光镜7，再依次通过中性滤光片3以及光束分析仪4。
入射激光光束经A光路入射到第一分光镜1，所述入射激光光束为准直输出或发散输出的激光光束，或者为聚焦输出的激光光束。
当所述入射激光光束为准直输出或发散输出的激光光束时，经过第一分光镜1后，大部份功率的激光透射，小部份功率的激光反射；经过第一分光镜1反射的激光经过到B位置处的可移动反射镜2反射，经过可调的中性滤光片3衰减功率，到达光束分析仪4测量激光的近场光斑，当可移动反射镜2移动到C位置处避开激光时，经过第一分光镜1反射的激光经过聚焦镜5聚焦，聚焦镜5的位置保证其焦距点刚好在光束分析仪4的探测面上，聚焦光束经过第二分光镜6后反射并衰减激光，经过第三分光镜7后进一步反射并衰减激光，经过可调的中性滤光片3衰减功率，到达光束分析仪4测量激光的远场光斑及发散角。
当所述入射激光光束为聚焦输出的激光光束时，激光光束测量仪是可以整体移动的，经过第一分光镜1后，大部份功率的激光透射，小部份功率的激光反射；经过第一分光镜1反射的激光经过到B位置处的可移动反射镜2反射，经过可调的中性滤光片3衰减功率，到达光束分析仪4，保证光束分析仪4的探测面刚好在A光路聚焦光束焦距点上，测量激光的远场光斑及发散角；当可移动反射镜2移动到C位置处避开激光时，经过第一分光镜1反射的激光经过聚焦镜5后准直，聚焦镜5的位置保证其焦距点与A光路聚焦光束焦点共焦，准直光束经过第二分光镜6后反射并衰减激光，经过第三分光镜7后进一步反射并衰减激光，经过可调的中性滤光片3衰减功率，到达光束分析仪4测量激光的近场光斑。
在其中一个实施例中，所述第一分光镜1、第二分光镜6以及第三分光镜7包括但不限于为楔形分光镜、分光片中的一种。
在其中一个实施例中，所述光束分析仪4包括但不限于为基于CCD相机的光束分析仪、基于刀口式的光束分析仪中的一种。
本实用新型所述激光光束测量仪通过设置可移动反射镜2以及相配合的光路部件，在不影响激光器的使用的同时只选取了极小部份功率的激光进行激光光束测量，既能测量近场光斑，又能测量聚焦后的远场光斑及发散角，在节省了搭建多个光路的成本的同时，又提高了测量激光光束的效率。
本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。以上仅为本实用新型的实施例，但并不限制本实用新型的专利范围，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来而言，其依然可以对前述各具体实施方式所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等效替换。凡是利用本实用新型说明书及附图内容所做的等效结构，直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理在本实用新型专利保护范围之内。
Claims (3)
1.一种激光光束测量仪，其特征在于，包括：第一分光镜、可移动反射镜、中性滤光片、光束分析仪、聚焦镜、第二分光镜以及第三分光镜，所述第一分光镜、可移动反射镜、聚焦镜以及第二分光镜由上至下依次同轴设置，所述第三分光镜、可移动反射镜、中性滤光片以及光束分析仪依次同轴设置，入射激光光束经过第一分光镜后，依次经过聚焦镜以及第二分光镜，然后反射至所述第三分光镜，再依次通过中性滤光片以及光束分析仪。
2.根据权利要求1所述的激光光束测量仪，其特征在于：所述第一分光镜、第二分光镜以及第三分光镜为楔形分光镜、分光片中的一种。
3.根据权利要求1所述的激光光束测量仪，其特征在于：所述光束分析仪为基于CCD相机的光束分析仪、基于刀口式的光束分析仪中的一种。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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2020
- 2020-09-24 CN CN202022122721.3U patent/CN212931653U/zh active Active
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