CN212931364U - 一种光掩膜图形位置的检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光掩膜图形位置的检测装置，包括第一主体和第二主体，所述第二主体的底部固定连接有底座，所述底座的顶部固定连接有第一固定块，所述第一固定块的内部开设有通槽，所述通槽的另一端活动套接有丝杆，所述丝杆的外表面活动连接有滑块，所述丝杆的另一端活动连接有转动杆；通过设计的第一把手、转动杆、丝杆、滑块、第一活动杆和活动板，便于该装置在使用时，可以通过第一把手带动转动杆转动，然后转动杆通过丝杆、滑块、第一活动杆带动活动板运动，从而便于装置移动，且可以自由收纳滚轮，解决了装置移动不便和滚轮不便收纳的问题。

Description

一种光掩膜图形位置的检测装置

技术领域

本实用新型属于光掩膜技术领域，具体涉及一种光掩膜图形位置的检测装置。

背景技术

在半导体制造的整个流程中，其中一部分就是从版图到晶圆制造中间的一个过程，即光掩膜或称光罩制造，光掩模在使用前需要经过一定的工序，其中，包括用检测装置来检测光掩膜图形位置，然而市面上出现的检测装置仍存在各种各样的不足，不能够满足生产的需求。

现有的检测装置在使用过程中，由于装置体积大，移动不便且在移动过程中需要耗费较大的人力和物力，从而降低了工作效率，继而降低了装置实用性的问题，为此我们提出一种光掩膜图形位置的检测装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光掩膜图形位置的检测装置，以解决上述背景技术中提出现有的检测装置在使用过程中，由于装置体积大，移动不便且在移动过程中需要耗费较大的人力和物力，从而降低了工作效率，继而降低了装置实用性的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光掩膜图形位置的检测装置，包括第一主体和第二主体，所述第二主体的底部固定连接有底座，所述底座的顶部固定连接有第一固定块，所述第一固定块的内部开设有通槽，所述通槽的另一端活动套接有丝杆，所述丝杆的外表面活动连接有滑块，所述丝杆的另一端活动连接有转动杆，所述转动杆的另一端活动连接有第一把手，所述滑块的前表面活动连接有第二销轴，所述第二销轴的后表面活动连接有第一活动杆，所述第一活动杆的底部活动连接有第一销轴，所述第一销轴的后表面活动连接有第一连接块，所述第一连接块的底部固定连接有活动板，所述活动板的底部活动连接有螺栓，所述螺栓的外表面活动连接有第一弹簧，所述活动板的底部固定连接有连接杆，所述连接杆的底部活动连接有滚轮。

优选的，所述第二主体的前表面活动连接有放置箱，所述放置箱的另一端活动套接有连接板，所述连接板的另一端活动连接有第三连接块，所述放置箱的一端内部固定连接有第二固定块，所述第二固定块的另一端活动连接有第二弹簧，所述连接板的内部开设有放置槽，所述连接板的底部活动连接有第二活动杆，所述第二活动杆的底部固定连接有第二把手，所述第三连接块的一端固定连接有第二连接块，所述第二连接块的另一端活动连接有第三弹簧，所述第三弹簧的另一端活动连接有活动块，所述活动块的另一端固定连接有拉手。

优选的，所述通槽的剖面形状为圆形，所述通槽的内表面直径等于丝杆外表面直径的一点二倍。

优选的，所述滑块的数量为两个，两个所述滑块分别位于丝杆的外表面。

优选的，所述滑块的内部开设有与丝杆相匹配的凹槽，所述活动板的底部开设有与螺栓相匹配的连接槽。

优选的，所述放置槽的剖面形状为圆形，所述放置槽的内表面直径等于第二活动杆的外表面直径的一点二倍。

优选的，所述拉手的横截面形状为L形，所述活动块的另一端开设有与拉手相匹配的卡接槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过设计的第一把手、转动杆、丝杆、滑块、第一活动杆和活动板，便于该装置在使用时，可以通过第一把手带动转动杆转动，然后转动杆通过丝杆、滑块、第一活动杆带动活动板运动，从而便于装置移动，且可以自由收纳滚轮，解决了装置移动不便和滚轮不便收纳的问题。

2、通过设计的拉手、活动块、第三弹簧和第二连接块，便于该装置在使用时，可以通过拉手带动活动块运动，然后活动块通过第三弹簧带动第二连接块运动，从而便于收纳连接板，且保持连接板外表面清洁，解决了因连接板不便收纳造成了占用放置空间和外表面覆盖灰尘影响光掩膜图形位置的结果的问题。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的图1中A处放大结构示意图；

图3为本实用新型的放置箱俯视剖面结构示意图；

图4为本实用新型的放置箱侧视结构示意图。

图中：1、第一主体；2、第二主体；3、连接板；4、放置箱；5、拉手；6、底座；7、第一连接块；8、第一销轴；9、活动板；10、螺栓；11、第一弹簧；12、第一固定块；13、通槽；14、滑块；15、第二销轴；16、第一活动杆；17、丝杆；18、第一把手；19、转动杆；20、连接杆；21、滚轮；22、第二固定块；23、第二弹簧；24、放置槽；25、第二活动杆；26、第二把手；27、第二连接块；28、第三弹簧；29、活动块；30、第三连接块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种光掩膜图形位置的检测装置，包括第一主体1和第二主体2，第二主体2的底部固定连接有底座6，底座6的顶部固定连接有第一固定块12，第一固定块12的内部开设有通槽13，通槽13的另一端活动套接有丝杆17，丝杆17的外表面活动连接有滑块14，丝杆17的另一端活动连接有转动杆19，转动杆19的另一端活动连接有第一把手18，滑块14的前表面活动连接有第二销轴15，第二销轴15的后表面活动连接有第一活动杆16，第一活动杆16的底部活动连接有第一销轴8，第一销轴8的后表面活动连接有第一连接块7，第一连接块7的底部固定连接有活动板9，活动板9的底部活动连接有螺栓10，螺栓10的外表面活动连接有第一弹簧11，活动板9的底部固定连接有连接杆20，连接杆20的底部活动连接有滚轮21。

本实施方案中，当装置需要移动时，首先，通过转动第一把手18，带动了转动杆19开始运动，在转动杆19运动的作用力下，丝杆17也开始转动，从而使得滑块14开始在丝杆17的外表面往相反的方向进行滑动，接着，滑块14带动了第一活动杆16运动，从而使得活动板9开始往靠近底座6底部的方向进行运动，由于连接杆20和活动板9连接，从而使得连接杆20和滚轮21往远离底座6底部的方向运动，最后，对螺栓10施加一个外力，带动了螺栓10的顶部开始往靠近活动板9底部的方向运动，当螺栓10的顶部与活动板9的底部卡合时，此时第一弹簧11受到了压缩，当装置不需要移动时，反向操作即可收纳滚轮21。

具体的，第二主体2的前表面活动连接有放置箱4，放置箱4的另一端活动套接有连接板3，连接板3的另一端活动连接有第三连接块30，放置箱4的一端内部固定连接有第二固定块22，第二固定块22的另一端活动连接有第二弹簧23，连接板3的内部开设有放置槽24，连接板3的底部活动连接有第二活动杆25，第二活动杆25的底部固定连接有第二把手26，第三连接块30的一端固定连接有第二连接块27，第二连接块27的另一端活动连接有第三弹簧28，第三弹簧28的另一端活动连接有活动块29，活动块29的另一端固定连接有拉手5。

本实施例中，当不需要对光掩膜图形位置进行检测时，可以将连接板3进行收纳，防止其外表面覆盖灰尘，同时也节省了放置空间，首先，通过对拉手5施加一个外力，带动了活动块29开始运动，此时，第三弹簧28受到了压缩，从而使得第二连接块27开始往靠近放置箱4内部的方向进行运动，接着，由于第二连接块27和连接板3的另一端连接，会带动连接板3开始往靠近放置箱4内部的方向运动，此时，第二弹簧23受到了挤压，当连接板3的另一端完全进入放置箱4的内部时，停止对拉手5施加外力，最后，转动第二把手26，带动第二活动杆25开始往连接板3的内部运动，直到第二活动杆25的一端运动接触到放置槽24的顶部时，停止转动第二把手26，固定了连接板3在放置箱4中的位置，当需要对光掩膜图形位置进行检测时，反向操作即可。

具体的，通槽13的剖面形状为圆形，通槽13的内表面直径等于丝杆17外表面直径的一点二倍。

本实施例中，便于丝杆17的一端在通槽13的内部运动。

具体的，滑块14的数量为两个，两个滑块14分别位于丝杆17的外表面。

本实施例中，通过设置两个滑块14，从而使得活动板9在底座6的内部平稳运动。

具体的，滑块14的内部开设有与丝杆17相匹配的凹槽，活动板9的底部开设有与螺栓10相匹配的连接槽。

本实施例中，转动第一把手18，带动了转动杆19和丝杆17运动，从而使得滑块14在丝杆17的外表面进行滑动。

具体的，放置槽24的剖面形状为圆形，放置槽24的内表面直径等于第二活动杆25的外表面直径的一点二倍。

本实施例中，便于第二活动杆25运动接触到放置槽24时，固定连接板3在放置箱4中的位置。

具体的，拉手5的横截面形状为L形，活动块29的另一端开设有与拉手5相匹配的卡接槽。

本实施例中，便于施加一个外力，带动拉手5运动；便于拉手5与活动块29连接，带动了活动块29开始运动。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种光掩膜图形位置的检测装置，包括第一主体（1）和第二主体（2），其特征在于：所述第二主体（2）的底部固定连接有底座（6），所述底座（6）的顶部固定连接有第一固定块（12），所述第一固定块（12）的内部开设有通槽（13），所述通槽（13）的另一端活动套接有丝杆（17），所述丝杆（17）的外表面活动连接有滑块（14），所述丝杆（17）的另一端活动连接有转动杆（19），所述转动杆（19）的另一端活动连接有第一把手（18），所述滑块（14）的前表面活动连接有第二销轴（15），所述第二销轴（15）的后表面活动连接有第一活动杆（16），所述第一活动杆（16）的底部活动连接有第一销轴（8），所述第一销轴（8）的后表面活动连接有第一连接块（7），所述第一连接块（7）的底部固定连接有活动板（9），所述活动板（9）的底部活动连接有螺栓（10），所述螺栓（10）的外表面活动连接有第一弹簧（11），所述活动板（9）的底部固定连接有连接杆（20），所述连接杆（20）的底部活动连接有滚轮（21）。

2.根据权利要求1所述的一种光掩膜图形位置的检测装置，其特征在于：所述第二主体（2）的前表面活动连接有放置箱（4），所述放置箱（4）的另一端活动套接有连接板（3），所述连接板（3）的另一端活动连接有第三连接块（30），所述放置箱（4）的一端内部固定连接有第二固定块（22），所述第二固定块（22）的另一端活动连接有第二弹簧（23），所述连接板（3）的内部开设有放置槽（24），所述连接板（3）的底部活动连接有第二活动杆（25），所述第二活动杆（25）的底部固定连接有第二把手（26），所述第三连接块（30）的一端固定连接有第二连接块（27），所述第二连接块（27）的另一端活动连接有第三弹簧（28），所述第三弹簧（28）的另一端活动连接有活动块（29），所述活动块（29）的另一端固定连接有拉手（5）。

3.根据权利要求1所述的一种光掩膜图形位置的检测装置，其特征在于：所述通槽（13）的剖面形状为圆形，所述通槽（13）的内表面直径等于丝杆（17）外表面直径的一点二倍。

4.根据权利要求1所述的一种光掩膜图形位置的检测装置，其特征在于：所述滑块（14）的数量为两个，两个所述滑块（14）分别位于丝杆（17）的外表面。

5.根据权利要求1所述的一种光掩膜图形位置的检测装置，其特征在于：所述滑块（14）的内部开设有与丝杆（17）相匹配的凹槽，所述活动板（9）的底部开设有与螺栓（10）相匹配的连接槽。

6.根据权利要求2所述的一种光掩膜图形位置的检测装置，其特征在于：所述放置槽（24）的剖面形状为圆形，所述放置槽（24）的内表面直径等于第二活动杆（25）的外表面直径的一点二倍。

7.根据权利要求2所述的一种光掩膜图形位置的检测装置，其特征在于：所述拉手（5）的横截面形状为L形，所述活动块（29）的另一端开设有与拉手（5）相匹配的卡接槽。

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