CN212924808U - 蚀刻装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种蚀刻装置，包括：池体，池体上设置有第一反应槽；第一辅助装置，第一辅助装置包括第一放置架和第一驱动装置，至少一部分的第一放置架置于第一反应槽中，第一驱动装置能够驱使第一放置架沿前后方向作往复运动，以及能够驱使第一放置架沿左右方向作往复运动，第一驱动装置还能够驱使第一放置架沿上下方向运动。本实用新型能够使得处理后的玻璃的厚薄均匀，厚度误差小，玻璃的不良率低。

Description

蚀刻装置

技术领域

本实用新型涉及玻璃蚀刻技术领域，尤其是涉及一种蚀刻装置。

背景技术

随着科技的进步，越来越多的可穿戴设备(如手机、掌上电脑和笔记本电脑)采用柔性玻璃做玻璃盖板。目前市场可生产的超薄玻璃为0.07mm，如需要获得更加轻薄的玻璃，就需对玻璃进行蚀刻减薄。现有的蚀刻装置，玻璃置于蚀刻液中，由蚀刻液自由腐蚀，处理后的玻璃的厚薄不均，厚度误差大，不良率高。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种蚀刻装置，能够使得处理后的玻璃的厚薄均匀，厚度误差小，玻璃的不良率低。

本实用新型的一个实施例提供了一种蚀刻装置，包括：池体，所述池体上设置有第一反应槽；第一辅助装置，所述第一辅助装置包括第一放置架和第一驱动装置，至少一部分的所述第一放置架置于所述第一反应槽中，所述第一驱动装置能够驱使所述第一放置架沿前后方向作往复运动，以及能够驱使所述第一放置架沿左右方向作往复运动，所述第一驱动装置还能够驱使所述第一放置架沿上下方向运动。

本实用新型实施例的蚀刻装置至少具有如下有益效果：池体上设置有第一反应槽，第一反应槽可盛放第一蚀刻液；至少一部分的第一放置架置于第一反应槽中，也即玻璃放置到第一放置架上后，玻璃能够浸入到第一反应槽中的第一蚀刻液中；第一驱动装置能够驱使第一放置架沿前后方向作往复运动，以及能够驱使第一放置架沿左右方向作往复运动，第一驱动装置还能够驱使第一放置架沿上下方向运动，也即，玻璃无论是平放还是竖放，在第一驱动装置的作用下，玻璃均可沿平行玻璃的蚀刻面的方向运动到第一蚀刻液的各个位置；传统的蚀刻装置，将玻璃静置于第一蚀刻液中，一段时间后，玻璃周围的蚀刻液的浓度将发生变化，不再均匀一致，这容易导致玻璃厚薄不均，玻璃厚度误差大，而玻璃在第一蚀刻液中运动后，玻璃可与各处的第一蚀刻液反应，不容易造成某一区域的第一蚀刻液的浓度急剧下降的现象，第一反应槽中的第一蚀刻液始终较为均匀，由此使玻璃均匀减薄，处理后的玻璃误差小，玻璃的合格率高。

根据本实用新型的另一些实施例的蚀刻装置，还包括第二辅助装置，所述池体上还设置有第二反应槽，所述第二辅助装置包括第二放置架和第二驱动装置，至少一部分的所述第二放置架置于所述第二反应槽中，所述第二驱动装置能够驱使所述第二放置架沿前后方向作往复运动，以及能够驱使所述第二放置架沿左右方向作往复运动，所述第二驱动装置还能够驱使所述第二放置架沿上下方向运动。

根据本实用新型的另一些实施例的蚀刻装置，所述池体上还设置有清洗槽和烘干槽，所述第一反应槽、所述第二反应槽、所述清洗槽和所述烘干槽沿直线依次设置。

根据本实用新型的另一些实施例的蚀刻装置，所述第一驱动装置包括第一驱动组件，所述第一驱动组件包括第一驱动元件、第一安装板、第一转盘、第一连杆、第一滑块和第一滑轨，所述第一驱动元件包括第一转轴，所述第一转盘与所述第一转轴固定连接，所述第一连杆的一端与所述第一转盘转动连接，所述第一连杆的另一端与所述第一放置架转动连接，所述第一转轴的转动轴心为第一轴心，所述第一连杆的所述一端与所述第一转盘的转动轴心为第二轴心，所述第一轴心和所述第二轴心不共线；所述第一滑块与所述第一放置架固定连接，所述第一滑块和所述第一滑轨滑动连接，所述第一滑轨与所述第一安装板固定连接，且所述第一滑轨的长度方向沿前后方向设置。

根据本实用新型的另一些实施例的蚀刻装置，所述第一驱动装置还包括第二驱动组件，所述第二驱动组件包括第二驱动元件、第二安装板、第二转盘、第二连杆、第二滑块和第二滑轨，所述第二驱动元件包括第二转轴，所述第二转盘与所述第二转轴固定连接，所述第二连杆的一端与所述第二转盘转动连接，所述第二连杆的另一端与所述第一安装板转动连接，所述第二转轴的转动轴心为第三轴心，所述第二连杆的所述一端与所述第二转盘的转动轴心为第四轴心，所述第三轴心和所述第四轴心不共线；所述第二滑块与所述第一安装板固定连接，所述第二滑块和所述第二滑轨滑动连接，所述第二滑轨与所述第二安装板固定连接，且所述第二滑轨的长度方向沿左右方向设置。

根据本实用新型的另一些实施例的蚀刻装置，所述第一驱动装置还包括第三驱动组件，所述第三驱动组件包括第三驱动元件、丝杆、螺母、第三滑轨和第三滑块，所述第三驱动元件包括第三转轴，所述第三转轴与所述丝杆的一端固定连接，所述螺母与所述丝杆螺纹配合，所述螺母与第二安装板固定连接，所述第三滑轨固定于所述池体，且所述第三滑轨的长度方向沿上下方向设置，所述第三滑块与所述第三滑轨滑动连接，所述第三滑块与所述第二安装板固定连接。

根据本实用新型的另一些实施例的蚀刻装置，第一驱动元件为第一电机。

根据本实用新型的另一些实施例的蚀刻装置，还包括通气装置，所述通气装置能够向所述第一反应槽中的蚀刻液通入气体。

根据本实用新型的另一些实施例的蚀刻装置，所述第一放置架包括托板，所述托板置于所述第一反应槽中，所述托板上设置有多个第一通孔。

根据本实用新型的另一些实施例的蚀刻装置，还包括加热装置，所述加热装置能够加热所述第一反应槽中的蚀刻液。

附图说明

图1是第一实施例的蚀刻装置的斜视图；

图2是图1中蚀刻装置的另一角度的斜视图；

图3是图1中蚀刻装置拆除盖板后的俯视图。

具体实施方式

以下将结合实施例对本实用新型的构思及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本实用新型的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本实用新型的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型实施例的描述中，如果涉及到方位描述，例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型实施例的描述中，如果某一特征被称为“设置”、“固定”、“连接”、“安装”在另一个特征，它可以直接设置、固定、连接在另一个特征上，也可以间接地设置、固定、连接、安装在另一个特征上。在本实用新型实施例的描述中，如果涉及到“若干”，其含义是一个以上，如果涉及到“多个”，其含义是两个以上，如果涉及到“大于”、“小于”、“超过”，均应理解为不包括本数，如果涉及到“以上”、“以下”、“以内”，均应理解为包括本数。如果涉及到“第一”、“第二”，应当理解为用于区分技术特征，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

参照图1至图3，图1是第一实施例的蚀刻装置的斜视图，图2是图1中蚀刻装置的另一角度的斜视图，图3是图1中蚀刻装置拆除盖板110后的俯视图。本实施例的蚀刻装置包括池体100、第一辅助装置200、第二辅助装置300、加热装置和通气装置400。其中，池体100包括盖板110和池体主体，池体主体为一箱体，箱体沿直线依次设置有第一反应槽120、第二反应槽130、清洗槽140和烘干槽150。第一反应槽120用于盛放第一蚀刻液，第二反应槽130用于盛放第二蚀刻液。盖板110设置有两个，一个盖板110盖设在第一反应槽120的开口处，另一个盖板110盖设在第二反应槽130的开口处，盖板110可防止蚀刻液溅射，从而保护工作人员。此外，盖板110还可减少蚀刻液(如氢氟酸)的挥发

第一辅助装置200包括第一放置架210和第一驱动装置，第一放置架210的一部分置于第一反应槽120中，第一驱动装置能够驱使第一放置架210沿前后方向和沿左右方向作往复运动，以及驱使第一放置架210沿上下方向运动。类似的，第二辅助装置300包括第二放置架310和第二驱动装置，第二放置架310的一部分置于第二反应槽130中，第二驱动装置能够驱使第二放置架310沿前后方向和沿左右方向作往复运动，以及驱使第二放置架310沿上下方向运动。

具体的，第一放置架210为一折弯呈“Z”字形的板。第一放置架210的下端设置托板211(参照图3)，托板211置于第一反应槽120的底部，且与第一反应槽120的底面存在一定距离。托板211水平放置，托板211用于托举玻璃(多块玻璃先摆放在插架上，再将插架放置在托板211上)。

为防止托板211阻挡蚀刻液，导致玻璃的某部分蚀刻不足，在托板211上设置有第一通孔。由此，托板211沿上下方向运动时，蚀刻液将穿过第一通孔，与托板211上托举的玻璃反应。

第一驱动装置包括第一驱动组件220、第二驱动组件230和第三驱动组件240，第一驱动组件220包括第一驱动元件、第一安装板224、第一转盘223、第一连杆222、第一滑块和第一滑轨221。第一驱动元件安装固定于第一安装板224，第一驱动元件包括第一转轴，第一转轴与第一转盘223固定连接。第一连杆222的前端与第一转盘223转动连接，第一连杆222的后端与第一放置架210的上端转动连接。第一转轴的转动轴心为第一轴心，第一连杆222的前端与第一转盘223转动连接的转动轴心为第二轴心，第一轴心与第二轴心平行且不共线。

第一转轴与第一转盘223的固定连接可通过紧定螺钉实现，即在第一转轴上加工出轴肩，第一转盘223上开安装槽，第一转轴开轴肩的一端插设在安装槽中，紧定螺钉沿径向穿过第一转盘223，与第一转轴抵紧，从而实现第一转轴与第一转盘223的固定连接。

第一连杆222的前端与第一转盘223的转动连接通过销钉和卡簧实现，即在第一连杆222的前端开第二通孔，在第一转盘223上开第三通孔，销钉穿过第二通孔和第三通孔后，在销钉远离头部的一端卡上卡簧，由此实现第一连杆222的前端与第一转盘223的转动连接。第一连杆222的后端与第一放置架210的上端的转动连接与此同理。

第一滑轨221锁紧固定在第一安装板224的上表面上，且第一滑轨221的长度方向沿前后方向设置。第一滑块与第一滑轨221滑动连接，第一滑块与第一放置架210的上端锁紧固定。第一滑块与第一滑轨221设置有两组，两组第一滑块与第一滑轨221沿左右方向间隔设置。

由此，当第一驱动元件驱使第一转轴旋转时，第一转盘223将跟随第一转轴一起旋转。由于第一轴心与第二轴心平行且不共线，第一连杆222的前端将绕第一轴心旋转。第一连杆222整体在前后方向有位移，因而可带动第一放置架210沿前后方向运动。第一转轴一周时，第一放置架210完成一次向前的动作和一次向后的动作，第一转轴持续旋转时，第一放置架210将在前后方向作往复直线运动。

在本实施例中，第一驱动元件为第一电机。在另外的实施例中，第一驱动元件也可为旋转气缸。

第二驱动组件230的结构与第一驱动组件220的结构类同，第二驱动组件230整体位于第一安装板224的下侧。第二驱动组件230包括第二驱动元件、第二安装板231、第二转盘、第二连杆、第二滑块和第二滑轨。第二驱动元件安装固定于第二安装板231，第二驱动元件包括第二转轴，第二转轴与第二转盘固定连接。第二连杆的右端与第二转盘转动连接，第二连杆的左端与第一安装板224转动连接。第二转轴的转动轴心为第三轴心，第二连杆的右端与第二转盘转动连接的转动轴心为第四轴心，第三轴心与第四轴心平行且不共线。

第二滑轨锁紧固定在第二安装板231的上表面上，且第二滑轨的长度方向沿左右方向设置。第二滑块与第二滑轨滑动连接，第二滑块与第一安装板224锁紧固定。第二滑块与第二滑轨设置有两组，两组第二滑块与第二滑轨沿前后方向间隔设置。

由此，在第二驱动元件的作用下，第一安装板224将沿左右方向作往复直线运动，也即第一放置架210可沿左右方向作往复直线运动。

在本实施例中，第二驱动元件为第二电机。在另外的实施例中，第一驱动元件也可为旋转气缸。

第三驱动组件240包括第三驱动元件241、丝杆242、螺母、第三滑轨243、第三滑块和第三安装板244。第三驱动元件241安装固定在池体主体上，第三驱动元件241包括第三转轴，第三转轴通过联轴器与丝杆242的下端固定连接。螺母与丝杆螺纹配合，螺母还与第三安装板244锁紧固定。第三滑轨243锁紧固定在池体主体上，且第三滑轨243的长度方向沿上下方向设置。第三滑块与第三滑轨243滑动连接，第三滑块与第三安装板244锁紧固定。第二安装板231与第三安装板244锁紧固定。

由此，当第三驱动元件241驱使第三转轴旋转时，丝杆242将带动螺母沿上下方向运动，在第三滑轨243和第三滑块的辅助和限制下，第三安装板244将沿上下方向运动。最终，第三驱动组件240可使第一放置架210沿上下方向作运动。

在本实施例中，第三驱动元件241为第三电机。在另外的实施例中，第一驱动元件也可为旋转气缸。

在另外的实施例中，第一驱动组件220和第二驱动组件230可直接使用气缸或直线电机。

传统的蚀刻装置，将玻璃静置于第一蚀刻液中，一段时间后，玻璃周围的蚀刻液的浓度将发生变化，不再均匀一致，这容易导致玻璃厚薄不均，玻璃厚度误差大。而本实施例的蚀刻装置，通过设置第一驱动装置，能够使第一放置架210在第一蚀刻液中沿平行玻璃的蚀刻面的方向运动到第一蚀刻液的各个位置。由此，第一放置架210上放置的玻璃可与各处的第一蚀刻液反应，不容易造成某一区域的第一蚀刻液的浓度急剧下降的现象，第一反应槽中的第一蚀刻液始终较为均匀，由此使玻璃均匀减薄，处理后的玻璃误差小，玻璃的合格率高。

为实现玻璃的精确蚀刻，池体主体还设置有第二反应槽130和第二辅助装置300。第二辅助装置300的结构与第一辅助装置200的结构完全相同。第二反应槽130与第一反应槽120的不同之处在于，第二反应槽130中盛放的第二蚀刻液的初始浓度低于第一反应槽120中盛放的第一蚀刻液的初始浓度，而玻璃在第二蚀刻液中沿各个方向运动的速度，大于玻璃在第一蚀刻液中沿各个方向运动的速度。由此，玻璃可先在第一蚀刻液中大幅度减薄，而在第二蚀刻液中小幅度减薄，以达到预定的厚度。

为将蚀刻液加热到合适温度，使蚀刻液与玻璃的化学反应快速进行，设置有加热装置。在本实施例中，加热装置为电热管，电热管的表面镀一层铁氟龙(即聚四氟乙烯)，防止被蚀刻液腐蚀。

为使反应过程中，第一蚀刻液的浓度更为均匀，设置有通气装置400，通气装置400可对第一反应槽120中的第一蚀刻液通气。在本实施例中，通气装置400为气管和鼓风机，气管的一端与鼓风机连通，气管置于第一蚀刻液，气管上开有多个出气孔，鼓风机通电后，即可对第一蚀刻液通气。通气后，第一蚀刻液将会上下翻滚，从而使得第一蚀刻液各部分的浓度更为均匀。

在另外的实施例中，通气装置400为气管和空气压缩机，气管通过空气压缩机供气，从而对第一蚀刻液通气。

清洗槽140用于盛放清洗液(如清水或纯碱)，烘干槽150用于对清洗后的玻璃进行烘干。清洗液也通过电热管加热，从而提升清洗效果。烘干槽150也方向电热管，电热管对空气加热，从而将玻璃表面的水汽烘干。

上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。此外，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

Claims (10)

1.一种蚀刻装置，其特征在于，包括：

池体，所述池体上设置有第一反应槽；

第一辅助装置，所述第一辅助装置包括第一放置架和第一驱动装置，至少一部分的所述第一放置架置于所述第一反应槽中，所述第一驱动装置能够驱使所述第一放置架沿前后方向作往复运动，以及能够驱使所述第一放置架沿左右方向作往复运动，所述第一驱动装置还能够驱使所述第一放置架沿上下方向运动。

2.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，还包括第二辅助装置，所述池体上还设置有第二反应槽，所述第二辅助装置包括第二放置架和第二驱动装置，至少一部分的所述第二放置架置于所述第二反应槽中，所述第二驱动装置能够驱使所述第二放置架沿前后方向作往复运动，以及能够驱使所述第二放置架沿左右方向作往复运动，所述第二驱动装置还能够驱使所述第二放置架沿上下方向运动。

3.根据权利要求2所述的蚀刻装置，其特征在于，所述池体上还设置有清洗槽和烘干槽，所述第一反应槽、所述第二反应槽、所述清洗槽和所述烘干槽沿直线依次设置。

4.根据权利要求1至3任一项所述的蚀刻装置，其特征在于，所述第一驱动装置包括第一驱动组件，所述第一驱动组件包括第一驱动元件、第一安装板、第一转盘、第一连杆、第一滑块和第一滑轨，所述第一驱动元件包括第一转轴，所述第一转盘与所述第一转轴固定连接，所述第一连杆的一端与所述第一转盘转动连接，所述第一连杆的另一端与所述第一放置架转动连接，所述第一转轴的转动轴心为第一轴心，所述第一连杆的所述一端与所述第一转盘的转动轴心为第二轴心，所述第一轴心和所述第二轴心不共线；所述第一滑块与所述第一放置架固定连接，所述第一滑块和所述第一滑轨滑动连接，所述第一滑轨与所述第一安装板固定连接，且所述第一滑轨的长度方向沿前后方向设置。

5.根据权利要求4所述的蚀刻装置，其特征在于，所述第一驱动装置还包括第二驱动组件，所述第二驱动组件包括第二驱动元件、第二安装板、第二转盘、第二连杆、第二滑块和第二滑轨，所述第二驱动元件包括第二转轴，所述第二转盘与所述第二转轴固定连接，所述第二连杆的一端与所述第二转盘转动连接，所述第二连杆的另一端与所述第一安装板转动连接，所述第二转轴的转动轴心为第三轴心，所述第二连杆的所述一端与所述第二转盘的转动轴心为第四轴心，所述第三轴心和所述第四轴心不共线；所述第二滑块与所述第一安装板固定连接，所述第二滑块和所述第二滑轨滑动连接，所述第二滑轨与所述第二安装板固定连接，且所述第二滑轨的长度方向沿左右方向设置。

6.根据权利要求5所述的蚀刻装置，其特征在于，所述第一驱动装置还包括第三驱动组件，所述第三驱动组件包括第三驱动元件、丝杆、螺母、第三滑轨和第三滑块，所述第三驱动元件包括第三转轴，所述第三转轴与所述丝杆的一端固定连接，所述螺母与所述丝杆螺纹配合，所述螺母与第二安装板固定连接，所述第三滑轨固定于所述池体，且所述第三滑轨的长度方向沿上下方向设置，所述第三滑块与所述第三滑轨滑动连接，所述第三滑块与所述第二安装板固定连接。

7.根据权利要求4所述的蚀刻装置，其特征在于，第一驱动元件为第一电机。

8.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，还包括通气装置，所述通气装置能够向所述第一反应槽中的蚀刻液通入气体。

9.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述第一放置架包括托板，所述托板置于所述第一反应槽中，所述托板上设置有多个第一通孔。

10.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，还包括加热装置，所述加热装置能够加热所述第一反应槽中的蚀刻液。

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