CN212900278U - 抽真空系统用真空波纹管 - Google Patents

Abstract

本抽真空系统用真空波纹管包括金属可饶性波纹管体，套设在金属可饶性波纹管体上的金属网套，在金属可饶性波纹管体的两端分别设有焊接平面，以及通过焊接固定在各自焊接平面上的加强环，还包括两个分别套设在金属网套两端的压网环，压网环远离金属网套的一端延长并套设在加强环外侧并且压网环和加强环通过焊接连接，所述的加强环内径等于金属可饶性波纹管体的内径。

Description

抽真空系统用真空波纹管

技术领域

本实用新型属于真空管体技术领域，尤其涉及一种抽真空系统用真空波纹管。

背景技术

半导体设备其自身需要安装真空波纹管，用于抽真空。

真空波纹管的结构包括金属可饶性波纹管体，以及套设在金属可饶性波纹管体上的金属网套，套在金属网套端部的压网环和金属可饶性波纹管体端部外壁通过焊接连接在一起，外接管路与金属可饶性波纹管体端面外缘以及压网环通过焊接连接，这种现有的方式其虽然能够满足焊接强度的要求，但是，这种方式其在金属可饶性波纹管体的端部需要在同一个位置进行多次进行焊接，焊接质量较差(主要是碳化问题)，其次，焊接效率较低。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对上述问题，提供一种可以解决上述技术问题的抽真空系统用真空波纹管。

为达到上述目的，本实用新型采用了下列技术方案：

本抽真空系统用真空波纹管包括金属可饶性波纹管体，套设在金属可饶性波纹管体上的金属网套，在金属可饶性波纹管体的两端分别设有焊接平面，以及通过焊接固定在各自焊接平面上的加强环，还包括两个分别套设在金属网套两端的压网环，压网环远离金属网套的一端延长并套设在加强环外侧并且压网环和加强环通过焊接连接，所述的加强环内径等于金属可饶性波纹管体的内径。

在上述的抽真空系统用真空波纹管中，所述的加强环远离金属可饶性波纹管体的一端端面和压网环套在加强环的一端端面齐平。

在上述的抽真空系统用真空波纹管中，所述的加强环外壁和压网环的内壁形成间隙，金属网套伸入间隙并且金属网套的端面位于加强环的外端面内侧。

在上述的抽真空系统用真空波纹管中，所述的加强环外壁外端、压网环内壁外端和金属网套的端面形成环形焊接空间，以及将环形焊接空间填充的焊疤。

在上述的抽真空系统用真空波纹管中，所述的加强环厚度大于金属可饶性波纹管体的壁厚。

在上述的抽真空系统用真空波纹管中，所述的加强环包括圆环体，圆环体的两个端面为环形平面并且两个环形平面相互平行，在圆环体的外壁开设有一环形切槽，环形切槽将圆环体的外壁分切成波纹管焊接连接部和压网环焊接部，波纹管焊接连接部的厚度小于压网环焊接部的厚度。

在上述的抽真空系统用真空波纹管中，所述的环形切槽为V形槽。

在上述的抽真空系统用真空波纹管中，所述的环形切槽包括与圆环体轴心线垂直的圆环垂直面，与圆环体轴心线形成锐角的圆环倾斜面，圆环垂直面和圆环倾斜面连接形成上述的环形切槽。

在上述的抽真空系统用真空波纹管中，所述的圆环体内壁为圆柱孔。

在上述的抽真空系统用真空波纹管中，所述的圆环体内壁为圆锥孔，圆锥孔的大直径口位于波纹管焊接连接部的一侧。

与现有的技术相比，本抽真空系统用真空波纹管的优点在于：

利用加强环形成两处不同位置的焊接连接，不仅能够避免在同一个位置的多次焊接导致的质量较差问题，而且还可以缩短前后焊接的冷却等待时间，以提高焊接效率。

利用环形切槽进行焊接分区，同时，增加的圆环体其可以避免集中一点焊接多次，以导致焊接质量较差等现象；其次，通过增加圆环体其可以进行分步骤的焊接加工，以提高焊接效率。

附图说明

图1是本实用新型提供的加强环结构示意图。

图2是本实用新型提供的真空波纹管端部截面结构示意图。

图3是本实用新型提供的实施例二结构示意图。

图中，加强环1a、圆环体1、环形平面10、环形切槽11、圆环垂直面110、圆环倾斜面111、波纹管焊接连接部12、压网环焊接部13、金属可饶性波纹管体2、焊接平面20、金属网套3、压网环4。

具体实施方式

以下是实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。

实施例一

如图1所示，本抽真空系统用真空波纹管包括金属可饶性波纹管体2，套设在金属可饶性波纹管体2上的金属网套3，金属可饶性波纹管体2和金属网套3直接采购。

在金属可饶性波纹管体2的两端分别设有焊接平面20，焊接平面20以便于后续的焊接定位，以及通过焊接固定在各自焊接平面20上的加强环1a，其次，加强环1a厚度大于金属可饶性波纹管体2的壁厚。具体地，本实施例的加强环1a包括圆环体1，圆环体1由金属材质制成。

圆环体1的两个端面为环形平面10并且两个环形平面10相互平行，在圆环体1的外壁开设有一环形切槽11，环形切槽11将圆环体1的外壁分切成波纹管焊接连接部12和压网环焊接部13，波纹管焊接连接部12的厚度小于压网环焊接部13的厚度。

波纹管焊接连接部12的外宽度等于或者略微大于金属可饶性波纹管体的壁厚。例如，厚度厚0.1-0.2mm。

具体地，本实施例的环形切槽11为V形槽。

其次，圆环体1内壁为圆柱孔。为圆柱孔时，外接管路的内径与金属可饶性波纹管体的内径相等。

在焊接时，如图1和图2所示，金属可饶性波纹管体2的两端端面被压平形成焊接平面20，此时的圆环体1靠近波纹管焊接连接部12一端的一环形平面10服帖在金属可饶性波纹管体一端的焊接平面20上，利用焊枪使得金属可饶性波纹管体和波纹管焊接连接部12之间周向焊接(两者的服帖面外缘周向处焊接),金属网套3和套在金属网套上的压网环4，压网环的外端和压网环焊接部13焊接连接(两者的服帖面外缘周向处焊接)，最终将外接管焊接在圆环体1的另外一个环形平面10上。

利用环形切槽11进行焊接分区，同时，增加的圆环体1其可以避免集中一点焊接多次，以导致焊接质量较差等现象；其次，通过增加圆环体1其可以进行分步骤的焊接加工，以提高焊接效率(传统的外接管、压网环和波纹管需要一起定位并一次焊接，效率低)。

还包括两个分别套设在金属网套3两端的压网环4，压网环4远离金属网套3的一端延长并套设在加强环1a外侧并且压网环4和加强环1a通过焊接连接，所述的加强环1a内径等于金属可饶性波纹管体2的内径。等直径的结构其可以防止气流在行走的过程中形成阻碍而导致发生乱流以及风铃声。

进一步地，加强环1a远离金属可饶性波纹管体2的一端端面和压网环4套在加强环1a的一端端面齐平。齐平的结构其可以防止后续与管路连接时的干涉。

在加强环1a外壁和压网环4的内壁形成间隙，金属网套3伸入间隙并且金属网套3的端面位于加强环1a的外端面内侧。其次，加强环1a外壁外端、压网环4内壁外端和金属网套3的端面形成环形焊接空间，以及将环形焊接空间填充的焊疤。

焊接时，将金属可饶性波纹管体2和加强环1a进行先焊接，焊接完成之后，套入金属网套3和压网环4，然后在焊接金属可饶性波纹管体2和压网环4，附图2中的黑色填充区域为焊疤。

实施例二

本实施例的工作原理与结构与实施例一基本相同，不同的结构在于：如图3所示，所述的环形切槽11包括与圆环体1轴心线垂直的圆环垂直面110，与圆环体1轴心线形成锐角的圆环倾斜面111，圆环垂直面110和圆环倾斜面111连接形成上述的环形切槽11。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

Claims (5)

1.抽真空系统用真空波纹管，包括金属可饶性波纹管体(2)，套设在金属可饶性波纹管体(2)上的金属网套(3)，其特征在于，在金属可饶性波纹管体(2)的两端分别设有焊接平面(20)，以及通过焊接固定在各自焊接平面(20)上的加强环(1a)，还包括两个分别套设在金属网套(3)两端的压网环(4)，压网环(4)远离金属网套(3)的一端延长并套设在加强环(1a)外侧并且压网环(4)和加强环(1a)通过焊接连接，所述的加强环(1a)内径等于金属可饶性波纹管体(2)的内径。

2.根据权利要求1所述的抽真空系统用真空波纹管，其特征在于，所述的加强环(1a)远离金属可饶性波纹管体(2)的一端端面和压网环(4)套在加强环(1a)的一端端面齐平。

3.根据权利要求2所述的抽真空系统用真空波纹管，其特征在于，所述的加强环(1a)外壁和压网环(4)的内壁形成间隙，金属网套(3)伸入间隙并且金属网套(3)的端面位于加强环(1a)的外端面内侧。

4.根据权利要求3所述的抽真空系统用真空波纹管，其特征在于，所述的加强环(1a)外壁外端、压网环(4)内壁外端和金属网套(3)的端面形成环形焊接空间，以及将环形焊接空间填充的焊疤。

5.根据权利要求1所述的抽真空系统用真空波纹管，其特征在于，所述的加强环(1a)厚度大于金属可饶性波纹管体(2)的壁厚。

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