CN212855273U - 一种磷烷尾气回收装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于尾气处理装置技术领域,尤其为一种磷烷尾气回收装置,包括底座、壳体、稀释仓和进气管,所述壳体固定连接在底座上表面,所述底座共有四个,并且排列在壳体下表面,所述稀释仓开设在壳体内部,所述进气管固定连接在稀释仓上表面,所述进气管上端固定连接有第一导气管,所述第一导气管的表面设置有第一阀门,所述壳体侧面固定连接有支撑台;本实用新型,通过设置限位杆、弹簧和卡槽,当人们氮气罐进行固定时,人们需要拉动把手,从而得以将限位杆拉入限位槽中,然后将氮气罐搭接在定位槽中,然后将把手松开,在弹簧的作用下从而得以将限位杆推出限位槽中,并且与开设在氮气罐表面的卡槽相卡接,从而实现对氮气罐进行固定的目的。
Description
技术领域
本实用新型属于尾气处理装置技术领域,具体涉及一种磷烷尾气回收装置。
背景技术
电子工业中往往使用含磷烷气体做掺杂气体,由气体生产工厂混合成磷烷浓度为5%的混合气体,在充装前需要对残余气体进行处理置换,由于磷烷气体属于剧毒品,排放需小于0.3mg/m3,工业上通常采用燃烧法进行处理,实际吸收效果并不理想,仍有部分磷烷气体进入空气中,为解决以上问题,我们推出了以下装置。
实用新型内容
为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种磷烷尾气回收装置,具有结构简单,操作便捷,并且具有方便使用的特点。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种磷烷尾气回收装置,包括底座、壳体、稀释仓和进气管,所述壳体固定连接在底座上表面,所述底座共有四个,并且排列在壳体下表面,所述稀释仓开设在壳体内部,所述进气管固定连接在稀释仓上表面,所述进气管上端固定连接有第一导气管,所述第一导气管的表面设置有第一阀门,所述壳体侧面固定连接有支撑台,所述支撑台上表面固定连接有限位台,所述限位台上表面开设有定位槽,所述定位槽内部搭接有氮气罐,所述氮气罐上端设置有快速连接器,所述快速连接器上端设置有氮气导管,所述氮气导管与氮气罐通过快速连接器固定连接,所述氮气导管表面固定连接有第二阀门,所述氮气导管穿设在稀释仓内,所述氮气导管的另一端固定连接有喷头,所述壳体内部开设有导气仓,所述导气仓内部固定连接有抽气扇,所述抽气扇的侧面固定连接有第二导气管,所述第二导气管的另一端穿设在稀释仓内部,所述壳体内部开设有回收仓,所述回收仓表面穿设有第三导气管,所述第三导气管的另一端穿设在导气仓内部,所述回收仓内部储存有碱液,所述第三导气管的另一端穿设在碱液液面以下,所述碱液为NaClO与NaOH混合溶液,所述第三导气管的材质为耐腐蚀材质,所述回收仓上表面固定连接有排气管,所述排气管的另一端固定连接有第四导气管。
优选的,所述限位台内部开设有限位槽,所述限位槽中穿设有限位杆,所述限位杆的表面固定连接有限位块,所述限位杆的表面套接有弹簧,所述限位杆的一端固定连接有把手,所述氮气罐侧面开设有卡槽,所述限位杆的另一端卡接在卡槽中,所述限位杆共有两组,并且对称设置在限位台两侧。
优选的,所述回收仓内壁固定连接有PH检测仪,所述PH检测仪设置在碱液液面一下,所述回收仓内壁固定连接有磷烷浓度报警器,所述磷烷浓度报警器设置在碱液液面以上。
优选的,所述回收仓上表面固定连接有注液管,所述回收仓侧面固定连接有排液管,所述排液管的表面固定连接有第三阀门,所述排液管的材质为耐腐蚀材质。
优选的,所述回收仓表面镶嵌有观察窗,所述观察窗表面固定连接有计量刻度,所述观察窗的材质为耐腐蚀材质,所述壳体正面固定连接有控制开关,所述控制开关内部设置有微处理器。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
本实用新型,通过设置限位杆、弹簧和卡槽,当人们氮气罐进行固定时,人们需要拉动把手,从而得以将限位杆拉入限位槽中,然后将氮气罐搭接在定位槽中,然后将把手松开,在弹簧的作用下从而得以将限位杆推出限位槽中,并且与开设在氮气罐表面的卡槽相卡接,从而实现对氮气罐进行固定的目的,减轻了人们的工作压力,通过设置回收仓和碱液,当人们需要对磷烷尾气进行回收处理时,人们首先需要将第一阀门和第二阀门打开,使得磷烷尾气和氮气进行反应稀释,高浓度的磷烷尾气被氮气稀释后,人们需要通过控制开关控制抽气扇进行运作,从而得以将稀释后的气体通过第二导气管抽入导气仓,并且在第三导气管的配合下,从而得以将稀释后的气体注入碱液中,进行最终的反应,反应过后的气体得以通过排气管和第四导气管进行集中收集检测方便了人们对磷烷尾气进行集中处理。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
图1为本实用新型正视剖视的结构示意图;
图2为本实用新型正视的结构示意图;
图3为图1-2中A出放大的结构示意图;
图中:1、底座;2、壳体;3、稀释仓;4、进气管;5、第一导气管;6、第一阀门;7、支撑台;8、限位台;9、定位槽;10、氮气罐;11、限位槽;12、限位杆;13、弹簧;14、限位块;15、把手;16、卡槽;17、快速连接器;18、氮气导管;19、第二阀门;20、喷头;21、导气仓;22、抽气扇;23、第二导气管;24、回收仓;25、碱液;26、第三导气管;27、排气管;28、第四导气管;29、PH检测仪;30、磷烷浓度报警器;31、注液管;32、排液管;33、第三阀门;34、观察窗;35、控制开关。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
实施例
请参阅图1-3,本实用新型提供以下技术方案:一种磷烷尾气回收装置,包括底座1、壳体2、稀释仓3和进气管4,所述壳体2固定连接在底座1上表面,所述底座1共有四个,并且排列在壳体2下表面,所述稀释仓3开设在壳体2内部,所述进气管4固定连接在稀释仓3上表面,所述进气管4上端固定连接有第一导气管5,所述第一导气管5的表面设置有第一阀门6,所述壳体2侧面固定连接有支撑台7,所述支撑台7上表面固定连接有限位台8,所述限位台8上表面开设有定位槽9,所述定位槽9内部搭接有氮气罐10,所述氮气罐10上端设置有快速连接器17,所述快速连接器17上端设置有氮气导管18,所述氮气导管18与氮气罐10通过快速连接器17固定连接,所述氮气导管18表面固定连接有第二阀门19,所述氮气导管18穿设在稀释仓3内,所述氮气导管18的另一端固定连接有喷头20,所述壳体2内部开设有导气仓21,所述导气仓21内部固定连接有抽气扇22,所述抽气扇22的侧面固定连接有第二导气管23,所述第二导气管23的另一端穿设在稀释仓3内部,所述壳体2内部开设有回收仓24,所述回收仓24表面穿设有第三导气管26,所述第三导气管26的另一端穿设在导气仓21内部,所述回收仓24内部储存有碱液25,所述第三导气管26的另一端穿设在碱液25液面以下,所述碱液25为NaClO与NaOH混合溶液,所述第三导气管26的材质为耐腐蚀材质,所述回收仓24上表面固定连接有排气管27,所述排气管27的另一端固定连接有第四导气管28,通过设置回收仓24和碱液25,当人们需要对磷烷尾气进行回收处理时,人们首先需要将第一阀门6和第二阀门19打开,使得磷烷尾气和氮气进行反应稀释,高浓度的磷烷尾气被氮气稀释后,人们需要通过控制开关35控制抽气扇22进行运作,从而得以将稀释后的气体通过第二导气管23抽入导气仓21,并且在第三导气管26的配合下,从而得以将稀释后的气体注入碱液25中,进行最终的反应,反应过后的气体得以通过排气管27和第四导气管28进行集中收集检测方便了人们对磷烷尾气进行集中处理。
具体的,所述限位台8内部开设有限位槽11,所述限位槽11中穿设有限位杆12,所述限位杆12的表面固定连接有限位块14,所述限位杆12的表面套接有弹簧13,所述限位杆12的一端固定连接有把手15,所述氮气罐10侧面开设有卡槽16,所述限位杆12的另一端卡接在卡槽16中,所述限位杆12共有两组,并且对称设置在限位台8两侧,通过设置限位杆12、弹簧13和卡槽16,当人们氮气罐10进行固定时,人们需要拉动把手15,从而得以将限位杆12拉入限位槽11中,然后将氮气罐10搭接在定位槽9中,然后将把手15松开,在弹簧13的作用下从而得以将限位杆12推出限位槽11中,并且与开设在氮气罐10表面的卡槽16相卡接,从而实现对氮气罐10进行固定的目的,减轻了人们的工作压力。
具体的,所述回收仓24内壁固定连接有PH检测仪29,所述PH检测仪29设置在碱液25液面一下,所述回收仓24内壁固定连接有磷烷浓度报警器30,所述磷烷浓度报警器30设置在碱液25液面以上。
具体的,所述回收仓24上表面固定连接有注液管31,所述回收仓24侧面固定连接有排液管32,所述排液管32的表面固定连接有第三阀门33,所述排液管32的材质为耐腐蚀材质。
具体的,所述回收仓24表面镶嵌有观察窗34,所述观察窗34表面固定连接有计量刻度,所述观察窗34的材质为耐腐蚀材质,所述壳体2正面固定连接有控制开关35,所述控制开关35内部设置有微处理器。
本实用新型的工作原理及使用流程:本实用新型,在使用时,首先将该装置移动至指定位置,当人们氮气罐10进行固定时,人们需要拉动把手15,从而得以将限位杆12拉入限位槽11中,然后将氮气罐10搭接在定位槽9中,然后将把手15松开,在弹簧13的作用下从而得以将限位杆12推出限位槽11中,并且与开设在氮气罐10表面的卡槽16相卡接,从而实现对氮气罐10进行固定的目的,然后将氮气罐10与氮气导管18通过快速连接器17进行连接,当人们需要对磷烷尾气进行回收处理时,人们首先需要将第一阀门6和第二阀门19打开,使得磷烷尾气和氮气进行反应稀释,高浓度的磷烷尾气被氮气稀释后,人们需要通过控制开关35控制抽气扇22进行运作,从而得以将稀释后的气体通过第二导气管23抽入导气仓21,并且在第三导气管26的配合下,从而得以将稀释后的气体注入碱液25中,进行最终的反应,反应过后的气体得以通过排气管27和第四导气管28进行集中收集检测。
最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种磷烷尾气回收装置,包括底座(1)、壳体(2)、稀释仓(3)和进气管(4),其特征在于:所述壳体(2)固定连接在底座(1)上表面,所述底座(1)共有四个,并且排列在壳体(2)下表面,所述稀释仓(3)开设在壳体(2)内部,所述进气管(4)固定连接在稀释仓(3)上表面,所述进气管(4)上端固定连接有第一导气管(5),所述第一导气管(5)的表面设置有第一阀门(6),所述壳体(2)侧面固定连接有支撑台(7),所述支撑台(7)上表面固定连接有限位台(8),所述限位台(8)上表面开设有定位槽(9),所述定位槽(9)内部搭接有氮气罐(10),所述氮气罐(10)上端设置有快速连接器(17),所述快速连接器(17)上端设置有氮气导管(18),所述氮气导管(18)与氮气罐(10)通过快速连接器(17)固定连接,所述氮气导管(18)表面固定连接有第二阀门(19),所述氮气导管(18)穿设在稀释仓(3)内,所述氮气导管(18)的另一端固定连接有喷头(20),所述壳体(2)内部开设有导气仓(21),所述导气仓(21)内部固定连接有抽气扇(22),所述抽气扇(22)的侧面固定连接有第二导气管(23),所述第二导气管(23)的另一端穿设在稀释仓(3)内部,所述壳体(2)内部开设有回收仓(24),所述回收仓(24)表面穿设有第三导气管(26),所述第三导气管(26)的另一端穿设在导气仓(21)内部,所述回收仓(24)内部储存有碱液(25),所述第三导气管(26)的另一端穿设在碱液(25)液面以下,所述碱液(25)为NaClO与NaOH混合溶液,所述第三导气管(26)的材质为耐腐蚀材质,所述回收仓(24)上表面固定连接有排气管(27),所述排气管(27)的另一端固定连接有第四导气管(28)。
2.根据权利要求1所述的一种磷烷尾气回收装置,其特征在于:所述限位台(8)内部开设有限位槽(11),所述限位槽(11)中穿设有限位杆(12),所述限位杆(12)的表面固定连接有限位块(14),所述限位杆(12)的表面套接有弹簧(13),所述限位杆(12)的一端固定连接有把手(15),所述氮气罐(10)侧面开设有卡槽(16),所述限位杆(12)的另一端卡接在卡槽(16)中,所述限位杆(12)共有两组,并且对称设置在限位台(8)两侧。
3.根据权利要求1所述的一种磷烷尾气回收装置,其特征在于:所述回收仓(24)内壁固定连接有PH检测仪(29),所述PH检测仪(29)设置在碱液(25)液面一下,所述回收仓(24)内壁固定连接有磷烷浓度报警器(30),所述磷烷浓度报警器(30)设置在碱液(25)液面以上。
4.根据权利要求1所述的一种磷烷尾气回收装置,其特征在于:所述回收仓(24)上表面固定连接有注液管(31),所述回收仓(24)侧面固定连接有排液管(32),所述排液管(32)的表面固定连接有第三阀门(33),所述排液管(32)的材质为耐腐蚀材质。
5.根据权利要求1所述的一种磷烷尾气回收装置,其特征在于:所述回收仓(24)表面镶嵌有观察窗(34),所述观察窗(34)表面固定连接有计量刻度,所述观察窗(34)的材质为耐腐蚀材质,所述壳体(2)正面固定连接有控制开关(35),所述控制开关(35)内部设置有微处理器。
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