CN212792200U - 用于洁净半导体配件的吸尘装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型揭示了一种用于洁净半导体配件的吸尘装置，包括：真空刷体、过滤器、真空产生器、控制开关及压缩空气源，压缩空气源、控制开关经供气管与真空产生器的进气孔串接连通，真空产生器的负压吸气孔经吸气管与过滤器、真空刷体串接连通，真空刷体设有刷毛及多个通孔，多个通孔分布于刷毛周围且连通吸气管，当压缩空气源供气会让连通真空产生器的吸气管产生负压，吸气管同步让真空刷体的通孔产生吸力，以吸取由刷毛刷起的异物，借此避免异物残留到半导体测试配件表面或扩散至外部环境。

Description

用于洁净半导体配件的吸尘装置

技术领域

本实用新型属于吸尘装置技术领域，具体涉及一种用于半导体配件的洁净设备。

背景技术

如图1所示，在半导体元件的测试过程中，会使用测试座A1来承载晶片，随着半导体技术提升，晶片尺寸愈来愈小，相对地可测试座A1也愈来愈密集且尺寸愈小，在反覆不断的测试运作中，探针与电性焊垫重复施压接触，难免造成锡渣剥离，让测试座A1中残留锡渣等异物，期间会不定时使用普通毛刷A2执行清洁作业，但单纯使用毛刷A2清洁，对于某些具有较小孔径的测试座A1，常会有刷除不到的情形发生，导致清洁效果不好。

为了更加清洁效果，有些操作人员会在毛刷A2清洁后，再使用压缩空气喷枪喷气，喷除表面异物，但在强风喷出下，并无法充分确认异物的飘散方向，异物有可能重新掉入测试座A1的其他位置，或测试电路板表面，从而导致电性短路，影响测试品质。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于洁净半导体配件的吸尘装置，主要提供一组具有吸力的真空刷体，在刷毛刷除及清洁半导体测试配件(如测试座Socket或探针卡ProbeCard)的过程中，同步产生真空吸力，以吸取异物，有效地避免锡渣、异物乱飞的状况，从而降低测试异常发生。

为了实现上述目的，本实用新型一实施例提供的技术方案如下：

一实施例中，提供了一种用于洁净半导体配件的吸尘装置，包括真空刷体、过滤器、真空产生器、控制开关及压缩空气源，压缩空气源、控制开关经供气管与真空产生器的进气孔串接连通，真空产生器的负压吸气孔经吸气管与过滤器、真空刷体串接连通，真空刷体设有刷毛及多个通孔，多个通孔分布于刷毛周围且连通吸气管，当压缩空气源供气会让连通真空产生器的吸气管产生负压，吸气管同步让真空刷体的通孔产生吸力，以吸取由刷毛刷起的异物。

作为较佳优选实施方案之一，真空刷体具有一腔室，腔室分别连通吸气管与通孔。

作为较佳优选实施方案之一，压缩空气源经供气管并联一组喷气枪。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果包括：

1、本实用新型的吸尘装置透过真空刷体在执行清洁半导体测试配件的过程中，能同步吸取飞扬的异物，达到极佳的清洁效果；

2、本实用新型的吸尘装置无须改变原本的清洁流程，清洁人员依原本清洁毛刷的操作方式即可执行清洁作业，方便又容易且达到较佳的洁净度；

3、本实用新型的吸尘装置可搭配喷气枪使用，例如先以喷气枪去除半导体测试配件上附着力较强的异物，之后再由吸尘装置进一步地清洁，确实吸取残留异物，让洁净度再度加分；

4、本实用新型的吸尘装置或喷气枪可轻易地安装，为操作者带来极佳的方便性。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中毛刷清洁测试座的示意图；

图2为本实用新型的用于洁净半导体配件的吸尘装置的结构示意图；

图3为本实用新型的用于洁净半导体配件的吸尘装置中的真空产生器的剖面放大示意图；

图4为本实用新型的洁净半导体件的吸尘装置另一实施例的示意图。

附图标号说明：

A1:测试座；A2:毛刷；11:真空刷体；11:刷毛；12:通孔；13:腔室；2:过滤器；3:真空产生器；31:进气孔；32:吸气孔；33:排气孔；34:渐缩通道；35:压负压区；351:颈区；4:控制开关；5:压缩空气源；6:供气管；7:吸气管；8:喷气枪。

具体实施方式

以下将结合附图所示的各实施方式对本实用新型进行详细描述。但该等实施方式并不限制本实用新型，本领域的普通技术人员根据该等实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本实用新型的保护范围内。

如图2所示，为本实用新型的用于洁净半导体配件的吸尘装置的结构示意图。本实用新型的吸尘装置包括真空刷体1、过滤器2、真空产生器3、控制开关4及压缩空气源5。压缩空气源5、控制开关4经供气管6与真空产生器3的进气孔串接连通，真空产生器3的负压吸气孔经吸气管7与过滤器2、真空刷体1串接连通，借此在真空刷体1刷除过程中同步产生吸力。

真空刷体1设有刷毛11及多个通孔12，多个通孔12分布于刷毛11周围且连通吸气管7。在本实施例中真空刷体1内部还具有一中空的腔室13，腔室13上下分别连通吸气管7与通孔12。过滤器2设置于真空产生器3与真空刷体1之间，用以过滤掉由通孔12及腔室13所吸入的异物，避免影响真空产生器3的运作。另外在使用一段时间后也必须清洁过滤器2，避免吸气管7的吸力降低，降低吸取异物能力。

压缩空气源5为一空气压缩机，以适时产生高压空气，经由控制开关4控制该供气管6的供气时机。

如图3所示，为本实用新型的真空产生器的剖面示意图。本实施例仅提供一种方式作说明，并不因此限制只能使用此种型式。此真空产生器3是利用文氏管原理产生真空，设有进气孔31、吸气孔32及排出孔33，于内部具有相连通的渐缩通道34及负压区35，进气孔31直接连通于渐缩通道34，负压区35与吸气孔32相连通，负压区35另经一孔径小的颈区351与排出孔33相连通。在本实施例中供气管6是连接于进气孔31，吸气管7连接于吸气孔32，当压缩空气源5输出气体，经进气孔31通过渐缩通道34位置，因孔径缩小流速快、压力减小，于负压区34内产生负压，使吸气孔32与吸气管7产生负压，以吸取异物，之后空气再经排气孔33排出。

综合以上所述，本实用新型的用于洁净半导体配件的吸尘装置是利用压缩空气源将压缩空气送入真空产生器3中，真空产生器3利用文氏管原理于经吸气管7产生真空，在使用真空刷体1之刷毛11刷除半导体测试配件如测试座(Socket)或探针卡(Probe Card)的过程中，所刷除的异物会经通孔12、进入腔室13，之后经吸气管7至过滤器2，避免异物污染或残留半导体测试配件。

如图4所示，为本实用新型的用于洁净半导体配件的吸尘装置的另一实施例图。本实施例中真空刷体1、过滤器2、真空产生器3、控制开关4皆与上述实施例相同，不同之处是于压缩空气源5另经并联的供气管6连接一喷气枪8。由于控制开关4设置于真空产生器3与压缩空气源5之间，也能达到切换喷气枪8的效果。原则上同一时间中，仅会使用喷气枪8与真空刷体1其中一种工具。较佳的使用案例，是先透过单一压缩空气源5启动喷气枪8以高压空气对半导体测试配件表面喷出，一方面去除表面异物，另一方面能将能黏着力较强的异物喷起使之分离，后续再切换控制开关4改由真空刷体1在刷清过程中同步吸附异物，达成所需的洁净度，从而达到完美的清洁效果，提升测试良率。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施例加以描述，但并非每个实施例仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (3)

1.一种用于洁净半导体配件的吸尘装置，其特征在于，包括：真空刷体、过滤器、真空产生器、控制开关及压缩空气源，该压缩空气源、该控制开关经供气管与该真空产生器的进气孔串接连通，该真空产生器的负压吸气孔经吸气管与该过滤器、该真空刷体串接连通，该真空刷体设有刷毛及多个通孔，多个通孔分布于该刷毛周围且连通该吸气管，当该压缩空气源供气会让连通该真空产生器的该吸气管产生负压，该吸气管同步让该真空刷体的该通孔产生吸力，以吸取由该刷毛刷起的异物。

2.根据权利要求1所述的用于洁净半导体配件的吸尘装置，其特征在于，该真空刷体具有一腔室，该腔室分别连通该通孔与该吸气管。

3.根据权利要求1所述的用于洁净半导体配件的吸尘装置，其特征在于，其中该压缩空气源经供气管并联至一喷气枪。

Images