CN212779096U - 一种晶圆抛光检测工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供的一种晶圆抛光检测工装，包括工作台、固定支撑架、旋转电机、旋转平台、夹紧销和检测组件；固定支撑架位于工作台上，与固定台固定连接；旋转电机位于工作台的下方，主轴向上延伸；旋转平台位于固定支架上，与旋转电机相连接，跟随旋转电机旋转；夹紧销位于旋转平台上，与旋转平台固定连接，同时对应待检测的晶圆；检测组件位于旋转平台的一侧；与工作台固定连接，对应旋转平台。本实用新型提供的一种晶圆抛光检测工装，通过旋转电机带动旋转平台旋转，利用红外感应器设定平面范围，晶圆在范围内旋转，一旦超出范围就会形成报警，关闭电机，提高检测效率和准确度。

Description

一种晶圆抛光检测工装

技术领域

本实用新型涉及一种检测工装，尤其涉及一种晶圆抛光检测工装。

背景技术

多晶硅经过前期的多次提纯后，生成约直径12寸的硅棒，硅棒经专用切割机切片后，经过多次的抛光，打磨，实现表面光洁度达到标准，因此对于抛光设备和检测装置的要求很高，传统的光洁度检测以及跳动检测都是利用检测设备在晶圆平面上抽取检测点，如此就无法对整个平面进行有效检测，而且影响检测效率。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于：提供一种晶圆抛光检测工装，将晶圆放置在检测设备上，通过红外感应器布置在被测晶圆的上方，利用设定好的平面范围进行感应检查，而晶圆在工作台上旋转，实现快速检测，提高检测效率。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种晶圆抛光检测工装，包括工作台、固定支撑架、旋转电机、旋转平台、夹紧销和检测组件；所述的固定支撑架位于所述的工作台上，与所述的工作台固定连接；所述的旋转电机位于所述的工作台的下方，主轴向上延伸；所述的旋转平台位于所述的固定支撑架上，与所述的旋转电机相连接，跟随所述的旋转电机旋转；所述的夹紧销位于所述的旋转平台上，与所述的旋转平台固定连接，同时对应待检测的晶圆；所述的检测组件位于所述的旋转平台的一侧；与所述的工作台固定连接，对应所述的旋转平台；

所述的检测组件包括检测支架、红外感应器和报警器；所述的检测支架位于所述的工作台上，同时位于所述的旋转平台的一侧，对应所述的旋转平台；所述的红外感应器位于所述的检测支架上，与所述的检测支架固定连接，对应待检测的晶圆的表面；所述的报警器位于所述的工作台的一侧，与所述的红外感应器电连接。

进一步的，所述的旋转电机的外轴上设置有连接杆，所述的连接杆贯穿所述的工作台和固定支撑架，与所述的旋转平台相连接。

进一步的，所述的夹紧销设置有多个，分布在所述的旋转平台的圆周上。

进一步的，所述的红外感应器设定有平面范围，对应晶圆的表面平面度和跳动范围。

进一步的，所述的报警器联通所述的红外感应器，当待测晶圆超出设定的平面范围时，向所述的报警器下达指令，进行报警，同时联通所述的旋转电机，停止电机转动。

与现有技术相比，本实用新型提供的一种晶圆抛光检测工装，通过旋转电机带动旋转平台旋转，利用红外感应器设定平面范围，晶圆在范围内旋转，一旦超出范围就会形成报警，关闭电机，提高检测效率和准确度。

附图说明

图1示出本实用新型的主视图。

其中：1.工作台、2.固定支撑架、3.旋转电机、4.旋转平台、5.夹紧销、6.检测组件、7.检测支架、8.红外感应器、9.报警器、10.连接杆。

具体实施方式

如图所示，一种晶圆抛光检测工装，包括工作台1、固定支撑架2、旋转电机3、旋转平台4、夹紧销5和检测组件6；所述的固定支撑架2位于所述的工作台1上，与所述的工作台固定连接；所述的旋转电机3位于所述的工作台1 的下方，主轴向上延伸；所述的旋转平台4位于所述的固定支撑架上，与所述的旋转电机3相连接，跟随所述的旋转电机3旋转；所述的夹紧销5位于所述的旋转平台4上，与所述的旋转平台4固定连接，同时对应待检测的晶圆；所述的检测组件6位于所述的旋转平台4的一侧；与所述的工作台1固定连接，对应所述的旋转平台4；

所述的检测组件6包括检测支架7、红外感应器8和报警器9；所述的检测支架7位于所述的工作台1上，同时位于所述的旋转平台4的一侧，对应所述的旋转平台4；所述的红外感应器8位于所述的检测支架7上，与所述的检测支架7固定连接，对应待检测的晶圆的表面；所述的报警器9位于所述的工作台1 的一侧，与所述的红外感应器8电连接。

进一步的，所述的旋转电机3的外轴上设置有连接杆，所述的连接杆贯穿所述的工作台1和固定支撑架2，与所述的旋转平台4相连接。

进一步的，所述的夹紧销5设置有多个，分布在所述的旋转平台4的圆周上。

进一步的，所述的红外感应器8设定有平面范围，对应晶圆的表面平面度和跳动范围。

进一步的，所述的报警器9联通所述的红外感应器8，当待测晶圆超出设定的平面范围时，向所述的报警器9下达指令，进行报警，同时联通所述的旋转电机3，停止电机转动。

最后需要说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制性技术方案，本领域的普通技术人员应当理解，那些对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本技术方案的宗旨和范围，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

Claims (4)

1.一种晶圆抛光检测工装，其特征在于，包括工作台、固定支撑架、旋转电机、旋转平台、夹紧销和检测组件；所述的固定支撑架位于所述的工作台上，与所述的工作台固定连接；所述的旋转电机位于所述的工作台的下方，主轴向上延伸；所述的旋转平台位于所述的固定支撑架上，与所述的旋转电机相连接，跟随所述的旋转电机旋转；所述的夹紧销位于所述的旋转平台上，与所述的旋转平台固定连接同时对应待检测的晶圆；所述的检测组件位于所述的旋转平台的一侧，与所述的工作台固定连接，对应所述的旋转平台；

所述的检测组件包括检测支架、红外感应器和报警器；所述的检测支架位于所述的工作台上，同时位于所述的旋转平台的一侧，对应所述的旋转平台；所述的红外感应器位于所述的检测支架上，与所述的检测支架固定连接，对应待检测的晶圆的表面；所述的报警器位于所述的工作台的一侧，与所述的红外感应器电连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆抛光检测工装，其特征在于，所述的旋转电机的外轴上设置有连接杆，所述的连接杆贯穿所述的工作台和固定支撑架，与所述的旋转平台相连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆抛光检测工装，其特征在于，所述的夹紧销设置有多个，分布在所述的旋转平台的圆周上。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆抛光检测工装，其特征在于，所述的红外感应器设定有平面范围，对应晶圆的表面平面度和跳动范围。

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