CN212776068U - 一种用于化学气相沉积炉的活接头导气工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种用于化学气相沉积炉的活接头导气工装。用于化学气相沉积炉的活接头导气工装，包括：第一连接管；外丝管，所示外丝管固定套设在所示第一连接管上；第一螺母，所示第一螺母固定套设在所示第一连接管上，所述第一螺母与所述外丝管固定连接；楔形管，所述楔形管固定套设在所述第一连接管上；第二连接管，所述第二连接管设于所述第一连接管的一端；内丝块，所述内丝块滑动安装在所述第二连接管上。本实用新型提供的用于化学气相沉积炉的活接头导气工装具有对活接头的导气起到双重密封作用、降低密封圈更换频率、避免因沉积炉震动导致活接头锁紧螺母松动而造成气体泄漏的优点。

Description

一种用于化学气相沉积炉的活接头导气工装

技术领域

本实用新型涉及活接头技术领域，尤其涉及一种用于化学气相沉积炉的活接头导气工装。

背景技术

化学气相沉积炉是应用气态物质在固体上产生化学反应和传输反应等并产生固态沉积物的一种反应容器。在进行化学气相沉积时，需要向沉积炉内导入反应气体，因此不可避免地需要用到活接头来连接管路。

传统上用于化学气相沉积炉的活接头，其内的密封主要是靠一个密封橡胶圈，但是在实际的化学气相沉积的过程中，一般需要对沉积炉内导入的气体进行预热，预热的气体长期通过管路的接头时，与密封橡胶圈接触，可能会导致密封橡胶圈老化而造成气体轻微泄漏而又不容易被发现。并且，在沉积炉上有电机等驱动设备工作时，会产生震动，管路活接头上锁紧螺母可能会因震动而慢慢松动，从而导致管路活接头位置发生气体泄漏。

因此，有必要提供一种用于化学气相沉积炉的活接头导气工装解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种对活接头的导气起到双重密封作用、降低密封圈更换频率、避免因沉积炉震动导致活接头锁紧螺母松动而造成气体泄漏的用于化学气相沉积炉的活接头导气工装。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的用于化学气相沉积炉的活接头导气工装，包括：第一连接管；外丝管，所示外丝管固定套设在所示第一连接管上；第一螺母，所示第一螺母固定套设在所示第一连接管上，所述第一螺母与所述外丝管固定连接；楔形管，所述楔形管固定套设在所述第一连接管上；第二连接管，所述第二连接管设于所述第一连接管的一端；内丝块，所述内丝块滑动安装在所述第二连接管上，所述内丝块上开设有螺纹槽；第二螺母，所述第二螺母固定套设在所述内丝块上；挡环块，所述挡环块固定套设在所述第二连接管上；第一密封圈，所述第一密封圈设于所述第二连接管的一端；楔形环，所述楔形环固定安装在所述挡环块靠近所述第一连接管的一侧；第二密封圈，所述第二密封圈设于所述楔形环上。

优选的，所述第一连接管与所述外丝管、第一螺母和楔形管为一体成型，所述内丝块与所述第二螺母为一体成型，所述第二连接管与所述挡环块、所述楔形环为一体成型。

优选的，所述外丝管上开设有外螺纹，所述螺纹槽内开设有内螺纹，所述内丝块与所述外丝管螺纹连接。

优选的，所述螺纹槽的一侧内壁上开设有滑孔，所述第二连接管与所述滑孔滑动连接。

优选的，所述第一连接管靠近所述第二连接管的一端开设有第一环形槽，所述第二连接管靠近所述第一连接管的一端开设有第二环形槽，所述第一密封圈固定安装在所述第二环形槽内。

优选的，所述楔形环的内壁上开设有第三环形槽，所述第二密封圈固定安装在所述第三环形槽内。

优选的，所述第一连接管上还包括安装环块、三个丝杆、三个手拧螺母、多个第一活动孔、多个第二活动孔，所述安装环块滑动套设在所述第一连接管上，三个所述丝杆固定安装在所述安装环块靠近所述第一螺母的一侧，三个所述手拧螺母分别螺纹安装在三个所述丝杆的一端，多个所述第一活动孔开设在所述第一螺母上，多个所述第一活动孔呈环形分布，多个所述第二活动孔开设在所述第二螺母上，多个所述第二活动孔呈环形分布，所述丝杆贯穿相应的所述第一活动孔和所述第二活动孔上。

与相关技术相比较，本实用新型提供的用于化学气相沉积炉的活接头导气工装具有如下有益效果：

本实用新型提供一种用于化学气相沉积炉的活接头导气工装，通过第一连接管、外丝管、第一螺母、楔形管、第二连接管、内丝块、第二螺母、挡环块、第一密封圈、楔形环和第二密封圈，对活接头的导气起到双重密封作用，防止因第一密封圈与导入的预热后的气体直接接触而老化造成气体泄漏，降低了更换第一密封圈和第二密封圈的频；通过安装环块、丝杆与手拧螺母的固定作用，避免第二螺母与第一螺母发生相对转动，从而避免内丝块与外丝管脱丝，进而避免因活接头锁紧螺母松动而造成气体泄漏。

附图说明

图1为本实用新型提供的用于化学气相沉积炉的活接头导气工装第一实施例的结构示意图；

图2为图1的剖视结构示意图；

图3为图1所示的A部分放大结构示意图；

图4为本实用新型提供的用于化学气相沉积炉的活接头导气工装第二实施例的示意图；

图5为图4所示的第一螺母的侧视结构示意图；

图6为图4所示的第二螺母的侧视结构示意图；

图7为图4所示的安装环块与丝杆的立体结构示意图。

图中标号：1、第一连接管；2、外丝管；3、第一螺母；4、楔形管；5、第二连接管；6、内丝块；7、第二螺母；8、挡环块；9、第一密封圈；10、楔形环；11、第二密封圈；12、安装环块；13、丝杆；14、手拧螺母；15、第一活动孔；16、第二活动孔。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。

第一实施例：

请结合参阅图1-3，在本实用新型的第一实施例中，用于化学气相沉积炉的活接头导气工装包括：第一连接管1；外丝管2，所示外丝管2固定套设在所示第一连接管1上；第一螺母3，所示第一螺母3固定套设在所示第一连接管1上，所述第一螺母3与所述外丝管2固定连接；楔形管4，所述楔形管4固定套设在所述第一连接管1上；第二连接管5，所述第二连接管5设于所述第一连接管1的一端；内丝块6，所述内丝块6滑动安装在所述第二连接管5上，所述内丝块6上开设有螺纹槽；第二螺母7，所述第二螺母7固定套设在所述内丝块6上；挡环块8，所述挡环块8固定套设在所述第二连接管5上；第一密封圈9，所述第一密封圈9设于所述第二连接管5的一端；楔形环10，所述楔形环10固定安装在所述挡环块8靠近所述第一连接管1的一侧；第二密封圈11，所述第二密封圈11设于所述楔形环10上。

所述第一连接管1与所述外丝管2、第一螺母3和楔形管4为一体成型，所述内丝块6与所述第二螺母为一体成型，所述第二连接管5与所述挡环块8、所述楔形环10为一体成型。

所述外丝管2上开设有外螺纹，所述螺纹槽内开设有内螺纹，所述内丝块6与所述外丝管2螺纹连接。

所述螺纹槽的一侧内壁上开设有滑孔，所述第二连接管5与所述滑孔滑动连接。

所述第一连接管1靠近所述第二连接管5的一端开设有第一环形槽，所述第二连接管5靠近所述第一连接管1的一端开设有第二环形槽，所述第一密封圈9固定安装在所述第二环形槽内。

所述楔形环10的内壁上开设有第三环形槽，所述第二密封圈11固定安装在所述第三环形槽内。

本实用新型提供的用于化学气相沉积炉的活接头导气工装的工作原理如下：

通过扳手拧动第二螺母7，使内丝块6螺纹安装在外丝管2上，并使第一连接管1上的第一环形槽抵紧第一密封圈9，楔形管4紧抵第二密封圈11，对活接头的导气起到双重密封作用，当第一密封圈9长期与导入的预热气体接触而老化，导致无法完全密封时，第二密封圈11可继续维持密封效果，防止因第一密封圈9老化而造成气体泄漏，降低了更换第一密封圈9和第二密封圈11的频率。

与相关技术相比较，本实用新型提供的用于化学气相沉积炉的活接头导气工装具有如下有益效果：

通过第一连接管1、外丝管2、第一螺母3、楔形管4、第二连接管5、内丝块6、第二螺母7、挡环块8、第一密封圈9、楔形环10和第二密封圈11，对活接头的导气起到双重密封作用，防止因第一密封圈9与导入的预热后的气体直接接触而老化造成气体泄漏，降低了更换第一密封圈9和第二密封圈11的频率。

第二实施例：

基于本申请的第一实施例提供的用于化学气相沉积炉的活接头导气工装，本申请的第二实施例提出另一种用于化学气相沉积炉的活接头导气工装。第二实施例仅仅是第一实施例的优选的方式，第二实施例的实施对第一实施例的单独实施不会造成影响。

下面结合附图和实施方式对本实用新型的第二实施例作进一步说明。

请结合参阅图4-7，用于化学气相沉积炉的活接头导气工装还包括安装环块12、三个丝杆13、三个手拧螺母14、多个第一活动孔15、多个第二活动孔16，所述安装环块12滑动套设在所述第一连接管1上，三个所述丝杆13固定安装在所述安装环块12靠近所述第一螺母3的一侧，三个所述手拧螺母14分别螺纹安装在三个所述丝杆13的一端，多个所述第一活动孔15开设在所述第一螺母3上，多个所述第一活动孔15呈环形分布，多个所述第二活动孔16开设在所述第二螺母7上，多个所述第二活动孔16呈环形分布，所述丝杆13贯穿相应的所述第一活动孔15和所述第二活动孔16上。

在内丝块6螺纹安装在外丝管2上并起到良好密封后，将安装环块12上的丝杆13穿过第一螺母3上的第一活动孔15和第二螺母7上的第二活动孔16，并通过手拧螺母14锁紧，当因沉积炉上的电机等驱动机构工作造成震动导致内丝块6与外丝管2将要相对转动而脱丝时，安装环块12、丝杆13与手拧螺母14的固定作用，避免第二螺母7与第一螺母3发生相对转动，从而避免内丝块6与外丝管2脱丝，进而避免因活接头锁紧螺母松动而造成气体泄漏。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (7)

1.一种用于化学气相沉积炉的活接头导气工装，其特征在于，包括：

第一连接管；

外丝管，所示外丝管固定套设在所示第一连接管上；

第一螺母，所示第一螺母固定套设在所示第一连接管上，所述第一螺母与所述外丝管固定连接；

楔形管，所述楔形管固定套设在所述第一连接管上；

第二连接管，所述第二连接管设于所述第一连接管的一端；

内丝块，所述内丝块滑动安装在所述第二连接管上，所述内丝块上开设有螺纹槽；

第二螺母，所述第二螺母固定套设在所述内丝块上；

挡环块，所述挡环块固定套设在所述第二连接管上；

第一密封圈，所述第一密封圈设于所述第二连接管的一端；

楔形环，所述楔形环固定安装在所述挡环块靠近所述第一连接管的一侧；

第二密封圈，所述第二密封圈设于所述楔形环上。

2.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积炉的活接头导气工装，其特征在于，所述第一连接管与所述外丝管、第一螺母和楔形管为一体成型，所述内丝块与所述第二螺母为一体成型，所述第二连接管与所述挡环块、所述楔形环为一体成型。

3.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积炉的活接头导气工装，其特征在于，所述外丝管上开设有外螺纹，所述螺纹槽内开设有内螺纹，所述内丝块与所述外丝管螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积炉的活接头导气工装，其特征在于，所述螺纹槽的一侧内壁上开设有滑孔，所述第二连接管与所述滑孔滑动连接。

5.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积炉的活接头导气工装，其特征在于，所述第一连接管靠近所述第二连接管的一端开设有第一环形槽，所述第二连接管靠近所述第一连接管的一端开设有第二环形槽，所述第一密封圈固定安装在所述第二环形槽内。

6.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积炉的活接头导气工装，其特征在于，所述楔形环的内壁上开设有第三环形槽，所述第二密封圈固定安装在所述第三环形槽内。

7.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积炉的活接头导气工装，其特征在于，所述第一连接管上还包括安装环块、三个丝杆、三个手拧螺母、多个第一活动孔、多个第二活动孔，所述安装环块滑动套设在所述第一连接管上，三个所述丝杆固定安装在所述安装环块靠近所述第一螺母的一侧，三个所述手拧螺母分别螺纹安装在三个所述丝杆的一端，多个所述第一活动孔开设在所述第一螺母上，多个所述第一活动孔呈环形分布，多个所述第二活动孔开设在所述第二螺母上，多个所述第二活动孔呈环形分布，所述丝杆贯穿相应的所述第一活动孔和所述第二活动孔上。

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