CN212760186U - 一种坩埚及保温层的清洁处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种坩埚及保温层的清洁处理装置，所述装置包括：工作台；弯曲定型杆，所述弯曲定型杆的一端固定在所述工作台上，所述弯曲定型杆包括第一弯曲定型杆、第二弯曲定型杆和第三弯曲定型杆；吸尘圆筒，所述吸尘圆筒转动安装于第一弯曲定型杆上，所述吸尘圆筒的内径与坩埚的外径匹配；第一刀片，所述第一刀片转动安装于第二弯曲定型杆上；第二刀片，所述第二刀片转动安装于第三弯曲定型杆上。通过设置吸尘圆筒、第一刀片和第二刀片，可以实现坩埚、上保温层和下保温层的清洁处理，提高了清洁效率和清洁效果，且有效避免了人工处理对坩埚及保温层造成的损坏的问题。

Description

一种坩埚及保温层的清洁处理装置

技术领域

本实用新型涉及一种坩埚及保温层的清洁处理装置，属于清理装置的技术领域。

背景技术

PVT法生长碳化硅晶体是在密闭的坩埚中进行，坩埚外包裹有保温层，保温层包括位于所述坩埚上方的上保温层、位于所述坩埚下方的下保温层和位于所述坩埚侧壁外的外保温层。保温层通常采用石墨毡、石墨纸等耐高温且的碳材料制备。在长晶过程中，坩埚高温易造成下保温层的侵蚀和凹陷，杂质随原料气氛扩散沉积到的上保温层孔洞上，造成上保温层孔洞的污染，坩埚外壁也会累积很多灰尘。在长晶完成后，需要对坩埚及保温层上灰尘和杂质进行清理。通常对外保温层的清理采用普通的毛刷处理。

现有技术中只涉及到对坩埚的清洁处理装置，对上保温层和下保温层的清洁主要采用人工处理，但人工处理存在处理不干净的问题，清理坩埚及保温层的使用工具繁多及费时费力。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种坩埚及保温层的清洁处理装置，通过设置吸尘圆筒、第一刀片和第二刀片，用于对坩埚外壁、下保温层和上保温层孔洞进行处理，提高了清洁效率，且清洁效果好。

本申请采用的技术方案如下：

本申请提供了一种坩埚及保温层的清洁处理装置，所述装置包括：

工作台，所述工作台用于放置待处理的坩埚和/或保温层，所述保温层包括上保温层和下保温层；

弯曲定型杆，所述弯曲定型杆的一端固定在所述工作台上，所述弯曲定型杆包括第一弯曲定型杆、第二弯曲定型杆和第三弯曲定型杆；

吸尘圆筒，所述吸尘圆筒转动安装于第一弯曲定型杆上，所述吸尘圆筒的内径与坩埚的外径匹配；

第一刀片，所述第一刀片转动安装于第二弯曲定型杆上，当所述第一刀片的刀刃与工作台表面平行时，所述第一刀片能够对下保温层进行处理；

第二刀片，所述第二刀片转动安装于第三弯曲定型杆上，当所述第二刀片的刀刃与工作台表面垂直时，所述第二刀片能够对上保温层孔洞进行处理。

优选地，所述吸尘圆筒内壁设置有毛刷，所述吸尘圆筒与吸尘箱连接。

优选地，所述第一刀片为圆形刀片，所述圆形刀片的底部边缘设置有刀刃。

优选地，所述圆形刀片的底部中间粘贴有砂纸。

优选地，所述第二刀片为矩形刀片，所述矩形刀片的一侧或两侧设置有刀刃，所述矩形刀片的宽度不大于上保温层上孔洞的直径。

优选地，所述第一刀片和第二刀片的材质均为不锈钢。

优选地，所述弯曲定型杆包括支撑短杆和金属定型软管，所述支撑短杆的一端固定在工作台上，另一端与金属定型软管连接。

优选地，所述第一弯曲定型杆与吸尘圆筒连接处管路包括内层管路和外层管路，所述吸尘圆筒的吸尘管路设置在外层管路上。

优选地，所述第一弯曲定型杆内安装有第一微型电机，所述吸尘圆筒通过转动轴与所述第一微型电机连接；和/或

所述第二弯曲定型杆内安装有第二微型电机，所述第一刀片通过转动轴与所述第二微型电机连接；和/或

所述第三弯曲定型杆内安装有第三微型电机，所述第二刀片通过转动轴与所述第三微型电机连接。

优选地，所述装置还包括吸尘毛刷，所述弯曲定型杆还包括第四弯曲定型杆，所述吸尘毛刷安装在第四弯曲定型杆上。

本实用新型的有益效果为：

(1)本实用新型涉及的坩埚及保温层清洁处理装置，通过设置吸尘圆筒、第一刀片和第二刀片，可以实现坩埚、上保温层和下保温层的清洁处理，提高了清洁效率和清洁效果，且有效避免了人工处理对坩埚及保温层造成损坏的问题。

(2)本实用新型涉及的坩埚及保温层清洁处理装置，通过将第一刀片设置为圆形刀片，使得圆形刀片底部的刀刃作用于下保温层上，从而对下保温层侵蚀处进行切削处理，避免人工磨平时的费时费力和处理不当对保温层产生损坏。

(3)本实用新型涉及的坩埚及保温层清洁处理装置，通过将第二刀片设置为矩形刀片，使得矩形刀片宽度方向进入上保温层孔洞中，矩形刀片的刀刃作用于孔洞内壁，以使得对孔洞内壁沉积的杂质等进行切削处理，提高了上保温层孔洞处理的清洁效果。

(4)本实用新型涉及的坩埚及保温层清洁处理装置，弯曲定型杆包括支撑短杆和金属定型软管，金属定型软管可任意弯曲，从而实现吸尘圆筒、第一刀片或第二刀片的位置的变化，提供了吸尘圆筒、第一刀片或第二刀片的可操作空间；支撑短杆对吸尘圆筒、第一刀片或第二刀片起到稳定的支撑作用，具有较强的实用性。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型涉及到的清洁处理装置的结构示意图；

图2为本实用新型涉及到的清洁处理装置中第一弯曲定型杆与吸尘圆筒连接处的结构示意图；

其中，1、工作台；2、第一弯曲定型杆；3、第二弯曲定型杆；4、第三弯曲定型杆；5、吸尘圆筒；51、毛刷；6、第一刀片；7、第二刀片；8、吸尘箱；9、第四弯曲定型杆；10、吸尘毛刷；11、供电装置。

具体实施方式

下面结合实施例详述本申请，但本申请并不局限于这些实施例。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请，但是，本申请还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本申请的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

另外，在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

参考图1，本实施例提供了一种坩埚及保温层的清洁处理装置，该清洁处理装置包括：工作台1、弯曲定型杆和吸尘圆筒5、第一刀片6和第二刀片7，工作台1用于放置待处理的坩埚和/或保温层，保温层包括上保温层和下保温层；弯曲定型杆的一端固定在工作台1上，弯曲定型杆包括第一弯曲定型杆2、第二弯曲定型杆3和第三弯曲定型杆4；吸尘圆筒5转动安装于第一弯曲定型杆2上，吸尘圆筒5的内径与坩埚的外径匹配；第一刀片6转动安装于第二弯曲定型杆3上，当第一刀片6的刀刃与工作台1表面平行时，第一刀片6能够对下保温层进行处理；第二刀片7转动安装于第三弯曲定型杆4上，当第二刀片7的刀刃与工作台1表面垂直时，第二刀片7能够对上保温层上孔洞进行处理。

本实用新型装置中吸尘圆筒5用于对坩埚的外壁进行清理，以去除坩埚外壁上的灰尘和杂质等；通过设置第一刀片6和第二刀片7，当第一刀片6的刀刃与工作台1表面平行时，使得第一刀片6的刀刃平行作用于下保温层表面，第一刀片6可转动，以对下保温层侵蚀处进行磨平处理。当第二刀片7的刀刃与工作台1表面垂直时，使得第二刀片7的刀刃与上保温层孔洞的内壁垂直，第二刀片7转动时对上保温层孔洞进行清洁处理，保证了上孔洞的清洁程度，且同时避免了孔洞内壁破损不均的问题。本实用新型可以实现对坩埚及保温层的半自动化清理，提高了处理效率与清洁的效果。

作为一个优选实施方式，吸尘圆筒5内壁设置有毛刷51，主要为起尘的作用，以更好的清洁物体的表面，吸尘圆筒5与吸尘箱8连接，吸尘箱8内设置有电动机、风机、滤尘器(袋)和吸尘附件。吸尘圆筒5内壁上开有进风口，同时风机在电动机高速驱动下，将叶轮中的空气高速排出风机，同时使吸尘部分内空气不断地补充进风机，以与外界形成较高的压差。尘埃随空气被吸入吸尘圆筒5，并经过漏器过漏，将尘埃、脏物收集于吸尘箱8内。在此压差的作用下，吸入含灰尘的空气，经过滤，排出清净的空气，此处为工业吸尘杂质多为碳，硅等固体颗粒，因此此处在吸尘箱内加入水，采用水过滤吸尘器，这样可以更好的清洁含有杂质的空气，从而将杂质锁定在水中，进而排出更为干净的空气。毛刷51与进风口错开设置，在吸尘圆筒5转动后，毛刷51将沉积在坩埚外壁的灰尘起开，在吸入到吸尘圆筒5中后，通过连接管路收集到吸尘箱8中，在吸尘箱中在进一步过滤空气，从而排出干净的空气，这样吸尘过程即可结束。

作为一个优选实施方式，第一刀片6为圆形刀片，圆形刀片的底部边缘设置有刀刃。使用时，将圆形刀片位于下保温层的表面，从下保温层的最薄处向外移动圆形刀片，第一刀片6可转动，使得圆形刀片底部四周的刀刃持续作用于下保温层上，使得对下保温层侵蚀处进行切削处理，避免人工磨平时的费时费力和处理不当对保温层产生损坏。

作为一个优选实施方式，圆形刀片的底部中间粘贴有砂纸，以对下保温层的表面做光洁平滑处理，使下保温层具有一定的平整性。

作为一个优选实施方式，第二刀片7为矩形刀片，矩形刀片的一侧或两侧设置有刀刃，矩形刀片的宽度不大于上保温层上孔洞的直径，以使得矩形刀片宽度方向进入上保温层孔洞中，矩形刀片的刀刃紧挨孔洞内壁，在第二刀片7转动后，刀刃作用于上保温层孔洞内壁，以对上保温层孔洞内壁沉积的杂质等进行切削处理，提高了上保温层孔洞处理的清洁效果。

作为一个优选实施方式，第一刀片6和第二刀片7的材质均为不锈钢。不锈钢材质具有一定的强度和硬度，具有耐高温和耐腐蚀性的优势。不锈钢材质的第一刀片6和第二刀片7不仅能保证对碳材料的保温层进行切削处理，且不会在处理时造成对保温层的污染。

优选地，弯曲定型杆包括支撑短杆和金属定型软管，支撑短杆的一端固定在工作台上，另一端与金属定型软管连接，金属定型软管连接吸尘圆筒5、第一刀片6或第二刀片7。金属定型软管可任意弯曲，从而实现吸尘圆筒5、第一刀片6或第二刀片7的位置的变化，提供吸尘圆筒5、第一刀片6或第二刀片7的可操作空间。支撑短杆对吸尘圆筒5、第一刀片6或第二刀片7起到稳定的支撑作用，具有较强的实用性。

如图2所示，作为一个优选实施方式，第一弯曲定型杆与吸尘圆筒连接处管路包括内层管路和外层管路，吸尘圆筒的吸尘管路设置在外层管路上，外层管路连接到吸尘箱，驱动吸尘圆筒5转动的电机安装在内层管路中，内层管路连接到工作台上，电机连接到电源上。内外层套管在后面分成两个管路。通过设置内层管路和外层管路，以将吸尘管路与驱动电机分开，保证吸尘圆筒5的安全运转。

作为一个优选实施方式，第一弯曲定型杆2内安装有第一微型电机，吸尘圆筒通过转动轴与第一微型电机连接，第一微型电机驱动吸尘圆筒5的转动；和/或第二弯曲定型杆3内安装有第二微型电机，第一刀片6通过转动轴与第二微型电机连接；和/或第三弯曲定型杆4内安装有第三微型电机，第二刀片7通过转动轴与第三微型电机连接。通过第一/第二/第三微型电机驱动转动轴转动，转动轴转动带动吸尘圆筒5、第一刀片6或第二刀片7的转动，该结构简单，易于操作。

作为一个优选实施方式，该清洁处理装置还包括吸尘毛刷10，弯曲定型杆还包括第四弯曲定型杆9，吸尘毛刷10固定在第四弯曲定型杆9上。在工作台1上可使用该吸尘毛刷10对外保温层进行清理，也可直接使用单独的吸尘毛刷对外保温层进行清理，以去除外保温层上的灰尘。

作为一个优选实施方式，该清洁处理装置还包括供电装置11，供电装置11用于向吸尘圆筒5、吸尘毛刷10和第一微型电机2、第二微型电机3和第三微型电机4等提供电源，以使其正常工作。

作为一个优选实施方式，工作台1上方设置有传输带。待处理的坩埚及保温层，及清洁处理后的坩埚及保温层可通过传输带移动，以实现大量坩埚及保温层的自动化处理，待处理的坩埚及保温层从传输带一侧进入到工作台1上，利用吸尘圆筒5、第一刀片6和第二刀片7对坩埚、下保温层和上保温层进行清洁处理后，通过传输带移送至别处。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于系统实施例而言，由于其基本相似于方法实施例，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

以上所述，仅为本申请的实施例而已，本申请的保护范围并不受这些具体实施例的限制，而是由本申请的权利要求书来确定。对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的技术思想和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种坩埚及保温层的清洁处理装置，其特征在于，所述装置包括:

工作台，所述工作台用于放置待处理的坩埚和/或保温层，所述保温层包括上保温层和下保温层；

弯曲定型杆，所述弯曲定型杆的一端固定在所述工作台上，所述弯曲定型杆包括第一弯曲定型杆、第二弯曲定型杆和第三弯曲定型杆；

吸尘圆筒，所述吸尘圆筒转动安装于第一弯曲定型杆上，所述吸尘圆筒的内径与坩埚的外径匹配；

第一刀片，所述第一刀片转动安装于第二弯曲定型杆上，当所述第一刀片的刀刃与工作台表面平行时，所述第一刀片能够对下保温层进行处理；

第二刀片，所述第二刀片转动安装于第三弯曲定型杆上，当所述第二刀片的刀刃与工作台表面垂直时，所述第二刀片能够对上保温层孔洞进行处理。

2.根据权利要求1所述的坩埚及保温层的清洁处理装置，其特征在于，所述吸尘圆筒内壁设置有毛刷，所述吸尘圆筒与吸尘箱连接。

3.根据权利要求1所述的坩埚及保温层的清洁处理装置，其特征在于，所述第一刀片为圆形刀片，所述圆形刀片的底部边缘设置有刀刃。

4.根据权利要求3所述的坩埚及保温层的清洁处理装置，其特征在于，所述圆形刀片的底部中间粘贴有砂纸。

5.根据权利要求1所述的坩埚及保温层的清洁处理装置，其特征在于，所述第二刀片为矩形刀片，所述矩形刀片的一侧或两侧设置有刀刃，

所述矩形刀片的宽度不大于上保温层孔洞的直径。

6.根据权利要求1所述的坩埚及保温层的清洁处理装置，其特征在于，所述第一刀片和第二刀片的材质均为不锈钢。

7.根据权利要求1所述的坩埚及保温层的清洁处理装置，其特征在于，所述弯曲定型杆包括支撑短杆和金属定型软管，所述支撑短杆的一端固定在工作台上，另一端与金属定型软管连接。

8.根据权利要求7所述的坩埚及保温层的清洁处理装置，其特征在于，所述第一弯曲定型杆与吸尘圆筒连接处管路包括内层管路和外层管路，所述吸尘圆筒的吸尘管路设置在外层管路上。

9.根据权利要求1所述的坩埚及保温层的清洁处理装置，其特征在于，所述第一弯曲定型杆内安装有第一微型电机，所述吸尘圆筒通过转动轴与所述第一微型电机连接；和/或

所述第二弯曲定型杆内安装有第二微型电机，所述第一刀片通过转动轴与所述第二微型电机连接；和/或

所述第三弯曲定型杆内安装有第三微型电机，所述第二刀片通过转动轴与所述第三微型电机连接。

10.根据权利要求1所述的坩埚及保温层的清洁处理装置，其特征在于，所述装置还包括吸尘毛刷，所述弯曲定型杆还包括第四弯曲定型杆，所述吸尘毛刷安装在第四弯曲定型杆上。

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