CN212645068U - 一种真空镀膜机循环冷却装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于真空镀膜机领域，尤其是一种真空镀膜机循环冷却装置，针对现有的用于真空镀膜机的冷却装置结构都较为单一，冷却效果不够理想，不能满足实际使用需求的问题，现提出如下方案，其包括底座，所述底座的顶部固定安装有镀膜机腔体，且镀膜机腔体上固定套设有集热管，集热管上等间距固定安装有多个环形管，底座的顶部固定安装有安装箱，且安装箱内设有冷却液，安装箱上固定安装有循环泵，本实用新型通过分别启动循环泵和制冷压缩机，以此可实现对多个环形管内的冷却液进行循环流动和降温，因此可实现多个环形管保持低温状态，能够持续的消除集热管吸附的热量，因此具有实现对镀膜机腔体持续的降温散热。

Description

一种真空镀膜机循环冷却装置

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，尤其涉及一种真空镀膜机循环冷却装置。

背景技术

真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面(通常是非金属材料)，属于物理气相沉积工艺，真空镀膜技术广泛应用到电子、宇航、包装、光伏等技术领域，当利用真空腔体在基片上对某种材料进行真空镀膜时，往往由于沉积反应或工艺要求，需要对基片进行高温加热，加热过程导致真空腔体内部温度过高，长期受热则会使真空腔体内部的机械结构发生形变，从而使真空腔体的功能失效；

但现有的用于真空镀膜机的冷却装置结构都较为单一，冷却效果不够理想，不能满足实际使用需求，所以我们提出一种真空镀膜机循环冷却装置，用于解决上述所提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在用于真空镀膜机的冷却装置结构都较为单一，冷却效果不够理想，不能满足实际使用需求的缺点，而提出的一种真空镀膜机循环冷却装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种真空镀膜机循环冷却装置，包括底座，所述底座的顶部固定安装有镀膜机腔体，且镀膜机腔体上固定套设有集热管，集热管上等间距固定安装有多个环形管，底座的顶部固定安装有安装箱，且安装箱内设有冷却液，安装箱上固定安装有循环泵，且安装箱的一侧内壁上固定安装有分流管，循环泵的吸水端固定安装有回流管，回流管和分流管均与多个环形管相连通，安装箱上固定安装有制冷组件。

优选的，所述环形管的顶部内壁和底部内壁上均固定安装有进水管，且位于同一个环形管上的两个进水管相互远离的一端分别与分流管和回流管固定连通，可实现多个环形管内的冷却液同时流动。

优选的，所述底座的顶部对称固定安装有两个立柱，且两个立柱的顶端均与镀膜机腔体固定连接，可实现对镀膜机腔体进行稳定的支撑。

优选的，所述安装箱的一侧内壁上密封固定安装有安装罩，且循环泵固定安装在安装罩的一侧内壁上，循环泵的输出端贯穿安装罩的一侧内壁并延伸至安装箱内，且循环泵的输出端固定安装有格栅管，格栅管的内壁上等间距开设有多个出水孔，可在将冷却液输送至安装箱内后分散喷出，以此可降低冷却液的流动速率，进而实现充分的降温。

优选的，所述制冷组件包括固定安装在安装箱一侧的制冷压缩机和位于安装箱内的多个冷凝管，安装箱内分别固定安装有集气箱和分流箱，多个冷凝管的两端分别延伸至集气箱和分流箱内并分别与集气箱的一侧内壁和分流箱的一侧内壁密封固定连接，制冷压缩机的出气端延伸至分流箱内并与分流箱的一侧内壁密封固定连接，可实现对安装箱内持续的降温。

优选的，所述集气箱的顶部内壁上固定安装有排气管，且排气管的顶端延伸至安装箱的上方并固定安装有溢流阀，可方便进行换气。

本实用新型中，所述一种真空镀膜机循环冷却装置：

本技术方案通过集热管，可将镀膜机腔体在进行工作时集中吸附，并且将热量传递至多个环形管上，之后可启动循环泵将多个环形管内的冷却液由回流管集中收集至安装箱内，并且在液压的作用下，可将位于安装箱内的冷却液推送至分流管内，之后便会分散流入多个环形管内，以此可保持多个环形管内的冷却液循环流动，能够具有持续吸收热量的能力；

通过启动制冷压缩机可将产生的冷气输送至分流箱内，之后经过多个冷凝管的输送可将冷气输送至集气箱内，此时可保持分流箱、多个冷凝管和集气箱均处于低温状态，所以在将冷却液回收至安装箱内后，便可对冷却液进行降温处理；

本实用新型通过分别启动循环泵和制冷压缩机，以此可实现对多个环形管内的冷却液进行循环流动和降温，因此可实现多个环形管保持低温状态，能够持续的消除集热管吸附的热量，因此具有实现对镀膜机腔体持续的降温散热。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种真空镀膜机循环冷却装置的结构主视图；

图2为本实用新型提出的一种真空镀膜机循环冷却装置的安装箱内部结构侧视图；

图3为本实用新型提出的一种真空镀膜机循环冷却装置的安装箱内部结构后视图；

图4为本实用新型提出的一种真空镀膜机循环冷却装置的镀膜机腔体、集热管和环形管连接结构侧视图。

图中：1底座、2立柱、3镀膜机腔体、4集热管、5环形管、6进水管、7出水管、8分流管、9回流管、10安装箱、11安装罩、12循环泵、13格栅管、14集气箱、15分流箱、16冷凝管、17溢流阀、18制冷压缩机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-4，一种真空镀膜机循环冷却装置，包括底座1，底座1的顶部固定安装有镀膜机腔体3，且镀膜机腔体3上固定套设有集热管4，集热管4上等间距固定安装有多个环形管5，底座1的顶部固定安装有安装箱10，且安装箱10内设有冷却液，安装箱10上固定安装有循环泵12，且安装箱10的一侧内壁上固定安装有分流管8，循环泵12的吸水端固定安装有回流管9，回流管9和分流管8均与多个环形管5相连通，安装箱10上固定安装有制冷组件。

其中，本技术方案通过集热管4，可将镀膜机腔体3在进行工作时集中吸附，并且将热量传递至多个环形管5上，之后可启动循环泵12将多个环形管5内的冷却液由回流管9集中收集至安装箱10内，并且在液压的作用下，可将位于安装箱10内的冷却液推送至分流管8内，之后便会分散流入多个环形管5内，以此可保持多个环形管5内的冷却液循环流动，能够具有持续吸收热量的能力，通过启动制冷压缩机18可将产生的冷气输送至分流箱15内，之后经过多个冷凝管16的输送可将冷气输送至集气箱14内，此时可保持分流箱15、多个冷凝管16和集气箱14均处于低温状态，所以在将冷却液回收至安装箱10内后，便可对冷却液进行降温处理，本实用新型通过分别启动循环泵12和制冷压缩机18，以此可实现对多个环形管5内的冷却液进行循环流动和降温，因此可实现多个环形管5保持低温状态，能够持续的消除集热管4吸附的热量，因此具有实现对镀膜机腔体3持续的降温散热。

本实用新型中，环形管5的顶部内壁和底部内壁上均固定安装有进水管6，且位于同一个环形管5上的两个进水管6相互远离的一端分别与分流管8和回流管9固定连通，可实现多个环形管5内的冷却液同时流动。

本实用新型中，底座1的顶部对称固定安装有两个立柱2，且两个立柱2的顶端均与镀膜机腔体3固定连接，可实现对镀膜机腔体3进行稳定的支撑。

本实用新型中，安装箱10的一侧内壁上密封固定安装有安装罩11，且循环泵12固定安装在安装罩11的一侧内壁上，循环泵12的输出端贯穿安装罩11的一侧内壁并延伸至安装箱10内，且循环泵12的输出端固定安装有格栅管13，格栅管13的内壁上等间距开设有多个出水孔，可在将冷却液输送至安装箱10内后分散喷出，以此可降低冷却液的流动速率，进而实现充分的降温。

本实用新型中，制冷组件包括固定安装在安装箱10一侧的制冷压缩机18和位于安装箱10内的多个冷凝管16，安装箱10内分别固定安装有集气箱14和分流箱15，多个冷凝管16的两端分别延伸至集气箱14和分流箱15内并分别与集气箱14的一侧内壁和分流箱15的一侧内壁密封固定连接，制冷压缩机18的出气端延伸至分流箱15内并与分流箱15的一侧内壁密封固定连接，可实现对安装箱10内持续的降温。

本实用新型中，集气箱14的顶部内壁上固定安装有排气管，且排气管的顶端延伸至安装箱10的上方并固定安装有溢流阀17，可方便进行换气。

本实用新型中，本技术方案通过集热管4，可将镀膜机腔体3在进行工作时集中吸附，并且将热量传递至多个环形管5上，之后位于环形管5内的冷却液便会吸附传递至环形管5上的热量，这时可启动循环泵12将多个环形管5内的冷却液由回流管9集中收集至安装箱10内，并且在液压的作用下，可将位于安装箱10内的冷却液推送至分流管8内，之后便会分散流入多个环形管5内，以此可保持多个环形管5内的冷却液循环流动，能够具有持续吸收热量的能力，通过启动制冷压缩机18可将产生的冷气输送至分流箱15内，之后经过多个冷凝管16的输送可将冷气输送至集气箱14内，此时可保持分流箱15、多个冷凝管16和集气箱14均处于低温状态，所以在将冷却液回收至安装箱10内后，便可对冷却液进行降温处理，并且制冷压缩机18采用间断式启动，每次启动时，在气压力的作用下，溢流阀17便会处于打开状态，即可将升温后的气体排出，即可保证分流箱15、多个冷凝管16和集气箱14均保持恒定的低温状态，持续的对冷却液进行降温，因此可实现多个环形管5保持低温状态，能够持续的消除集热管4吸附的热量，因此具有实现对镀膜机腔体3持续的降温散热。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种真空镀膜机循环冷却装置，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）的顶部固定安装有镀膜机腔体（3），且镀膜机腔体（3）上固定套设有集热管（4），集热管（4）上等间距固定安装有多个环形管（5），底座（1）的顶部固定安装有安装箱（10），且安装箱（10）内设有冷却液，安装箱（10）上固定安装有循环泵（12），且安装箱（10）的一侧内壁上固定安装有分流管（8），循环泵（12）的吸水端固定安装有回流管（9），回流管（9）和分流管（8）均与多个环形管（5）相连通，安装箱（10）上固定安装有制冷组件。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机循环冷却装置，其特征在于，所述环形管（5）的顶部内壁和底部内壁上均固定安装有进水管（6），且位于同一个环形管（5）上的两个进水管（6）相互远离的一端分别与分流管（8）和回流管（9）固定连通。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机循环冷却装置，其特征在于，所述底座（1）的顶部对称固定安装有两个立柱（2），且两个立柱（2）的顶端均与镀膜机腔体（3）固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机循环冷却装置，其特征在于，所述安装箱（10）的一侧内壁上密封固定安装有安装罩（11），且循环泵（12）固定安装在安装罩（11）的一侧内壁上，循环泵（12）的输出端贯穿安装罩（11）的一侧内壁并延伸至安装箱（10）内，且循环泵（12）的输出端固定安装有格栅管（13），格栅管（13）的内壁上等间距开设有多个出水孔。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机循环冷却装置，其特征在于，所述制冷组件包括固定安装在安装箱（10）一侧的制冷压缩机（18）和位于安装箱（10）内的多个冷凝管（16），安装箱（10）内分别固定安装有集气箱（14）和分流箱（15），多个冷凝管（16）的两端分别延伸至集气箱（14）和分流箱（15）内并分别与集气箱（14）的一侧内壁和分流箱（15）的一侧内壁密封固定连接，制冷压缩机（18）的出气端延伸至分流箱（15）内并与分流箱（15）的一侧内壁密封固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜机循环冷却装置，其特征在于，所述集气箱（14）的顶部内壁上固定安装有排气管，且排气管的顶端延伸至安装箱（10）的上方并固定安装有溢流阀（17）。

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