CN212607881U - 一种陶瓷靶材生产加工用除杂装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种陶瓷靶材生产加工用除杂装置,包括底板,底板顶部靠近左侧处安装有两组第一竖板,且每组第一竖板的数量为两个设置,位于同一组的两个第一竖板相靠近的一侧靠近顶部处分别安装有第一轴承,且每组内的两个第一轴承内圈均固定连接有转轴,位于同一组的两个第一竖板之间均设有第一转动辊,且两个第一转动辊的前后两端分别与每组内的两个转轴相靠近的一端固定连接,通过第一驱动电机、第一转动辊和第一传送带的相互配合,可以实现陶瓷靶材的输送,而圆盘、缓料杆和滚筒的设置,可以保证陶瓷靶材进行有序的间距输送,便于后续的除杂,从而可以达到除杂效率高和使用效果佳的特点。
Description
技术领域
本实用新型涉及靶材生产技术领域,具体为一种陶瓷靶材生产加工用除杂装置。
背景技术
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。根据材质的不同,靶材可分为金属靶材和陶瓷靶材等,在陶瓷靶材生产过程中,其表面产生杂质和灰尘,为了保证靶材品质,需要进行除杂,但是现有技术的除杂装置除杂不彻底,容易发生残留,大大降低了除杂效率,使用效果差,为此,我们提出一种陶瓷靶材生产加工用除杂装置。
实用新型内容
本实用新型解决的技术问题在于克服现有技术的除杂效率低和使用效果差等缺陷,提供一种陶瓷靶材生产加工用除杂装置。所述一种陶瓷靶材生产加工用除杂装置具有除杂效率高和使用效果佳等特点。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种陶瓷靶材生产加工用除杂装置,包括底板,所述底板顶部靠近左侧处安装有两组第一竖板,且每组第一竖板的数量为两个设置,位于同一组的两个所述第一竖板相靠近的一侧靠近顶部处分别安装有第一轴承,且每组内的两个第一轴承内圈均固定连接有转轴,位于同一组的两个所述第一竖板之间均设有第一转动辊,且两个第一转动辊的前后两端分别与每组内的两个转轴相靠近的一端固定连接,位于右侧的所述第一转动辊后侧的第一竖板的后壁通过两个细杆固定连接有第一驱动电机,且第一驱动电机的输出轴与后侧的转轴后端固定连接,两个所述第一转动辊的外壁活动连接有第一传送带,所述底板顶部靠近中间处安装有两个侧板,且两个侧板为前后设置,所述第一传送带右侧设有导料轨,且导料轨的前壁和后壁靠近右侧处与两个侧板相靠近的一侧靠近左侧处固定连接,两个所述侧板之间固定连接有清洗轨,且清洗轨左侧与导料轨的右侧固定连接,所述清洗轨右侧固定连接有出料轨,且出料轨的前壁和后壁靠近左侧处与两个侧板相靠近的一侧靠近右侧处固定连接,所述出料轨底部靠近右侧处设有第二传送带,两个所述侧板之间设有转动杆,两个所述侧板相靠近的一侧分别安装有第六轴承,且转动杆的前后两端分别与两个第六轴承内圈固定连接,所述底板顶部安装有第二驱动电机,且第二驱动电机与转动杆之间传动连接有皮带,所述转动杆外壁上固定连接有若干个均匀分布的螺旋叶片,两个所述侧板之间固定连接有两个横板,且两个横板为上下设置,两个所述横板相靠近一侧靠近左侧处分别固定连接有刮板,且两个横板相靠近一侧靠近右侧处分别固定连接有两个安装板,两个所述安装板相靠近的一侧分别设有毛刷。
优选的,所述底板顶部靠近右侧处安装有两组第二竖板,且每组第二竖板的数量为两个设置,位于同一组的两个所述第二竖板相靠近的一侧靠近顶部处分别安装有第二轴承,且每组内的两个第二轴承内圈均固定连接有转轴,位于同一组的两个所述第二竖板之间均设有第二转动辊,且两个第二转动辊的前后两端分别与每组内的两个转轴相靠近的一端固定连接,两个所述第二转动辊的外壁与第二传送带活动连接,位于左侧的所述第二转动辊后侧的第二轴承上的转轴与位于右侧的第一转动辊后侧的第一轴承上的转轴之间传动连接有皮带。
优选的,所述第一传送带的后侧设有U形板,且U形板底部与底板顶部之间固定连接有两个直杆,所述U形板内腔顶部和内腔底部均安装有若干个均匀分布的第三轴承,且若干个第三轴承内圈均固定连接有转轴,所述U形板内设有若干个均匀分布的滚筒,且若干个滚筒的顶端和底端分别与位于上方和下方的若干个转轴相靠近的一端固定连接。
优选的,所述第一传送带的前侧设有L形板,且L形板底部与底板顶部固定连接,所述L形板顶部安装有第四轴承,且第四轴承内圈固定连接有转轴,所述转轴顶端固定连接有圆盘,且圆盘的前后左右四侧均开设有弧形凹槽。
优选的,所述圆盘顶部靠近左侧处安装有第五轴承,且第五轴承内圈固定连接有转轴,所述转轴顶端固定连接有缓料杆。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、在本技术方案中,通过第一驱动电机、第一转动辊和第一传送带的相互配合,可以实现陶瓷靶材的输送,而圆盘、缓料杆和滚筒的设置,可以保证陶瓷靶材进行有序的间距输送,便于后续的除杂,有效的提高了除杂效率和使用效果;
2、在本技术方案中,通过第二驱动电机、转动杆、螺旋叶片、导料轨、清洗轨、刮板和毛刷的相互配合,可以实现陶瓷靶材的除杂,保证其表面的杂质和灰尘进行能够彻底去除,使其除杂效果更佳;
3、在本技术方案中,通过第一驱动电机、出料轨、第二转动辊和第二传送带的相互配合,可以实现除杂后的陶瓷靶材的快速出料,提高了出料效率,从而可以达到除杂效率高和使用效果佳的特点。
附图说明
图1为本实用新型的原始结构图;
图2为图1中圆盘的俯视图;
图3为图1中第一驱动电机的俯视图;
图4为图1中导料轨的俯视图。
图中标号:1、底板;2、第一竖板;3、第一转动辊;4、第一传送带;5、 L形板;6、圆盘;7、缓料杆;8、U形板;9、滚筒;10、导料轨;11、刮板; 12、毛刷;13、清洗轨;14、出料轨;15、侧板;16、螺旋叶片;17、第一驱动电机;18、第二竖板;19、第二转动辊;20、第二传送带;21、第二驱动电机。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4,本实用新型提供一种技术方案:一种陶瓷靶材生产加工用除杂装置,包括底板1,底板1顶部靠近左侧处安装有两组第一竖板2,且每组第一竖板2的数量为两个设置,位于同一组的两个第一竖板2相靠近的一侧靠近顶部处分别安装有第一轴承,且每组内的两个第一轴承内圈均固定连接有转轴,位于同一组的两个第一竖板2之间均设有第一转动辊3,且两个第一转动辊3的前后两端分别与每组内的两个转轴相靠近的一端固定连接,位于右侧的第一转动辊3后侧的第一竖板2的后壁通过两个细杆固定连接有第一驱动电机17,且第一驱动电机17的输出轴与后侧的转轴后端固定连接,两个第一转动辊3的外壁活动连接有第一传送带4,第一传送带4的后侧设有U形板8,且U形板8底部与底板1顶部之间固定连接有两个直杆,U形板8内腔顶部和内腔底部均安装有若干个均匀分布的第三轴承,且若干个第三轴承内圈均固定连接有转轴,U形板8内设有若干个均匀分布的滚筒9,且若干个滚筒9的顶端和底端分别与位于上方和下方的若干个转轴相靠近的一端固定连接,第一传送带4的前侧设有L 形板5,且L形板5底部与底板1顶部固定连接,L形板5顶部安装有第四轴承,且第四轴承内圈固定连接有转轴,转轴顶端固定连接有圆盘6,且圆盘6的前后左右四侧均开设有弧形凹槽,圆盘6顶部靠近左侧处安装有第五轴承,且第五轴承内圈固定连接有转轴,转轴顶端固定连接有缓料杆7,通过第一驱动电机 17、第一转动辊3和第一传送带4的相互配合,可以实现陶瓷靶材的输送,而圆盘6、缓料杆7和滚筒9的设置,可以保证陶瓷靶材进行有序的间距输送,便于后续的除杂,有效的提高了除杂效率和使用效果,底板1顶部靠近中间处安装有两个侧板15,且两个侧板15为前后设置,第一传送带4右侧设有导料轨 10,且导料轨10的前壁和后壁靠近右侧处与两个侧板15相靠近的一侧靠近左侧处固定连接,两个侧板15之间固定连接有清洗轨13,且清洗轨13左侧与导料轨10的右侧固定连接,两个侧板15之间设有转动杆,两个侧板15相靠近的一侧分别安装有第六轴承,且转动杆的前后两端分别与两个第六轴承内圈固定连接,底板1顶部安装有第二驱动电机21,且第二驱动电机21与转动杆之间传动连接有皮带,转动杆外壁上固定连接有若干个均匀分布的螺旋叶片16,两个侧板15之间固定连接有两个横板,且两个横板为上下设置,两个横板相靠近一侧靠近左侧处分别固定连接有刮板11,且两个横板相靠近一侧靠近右侧处分别固定连接有两个安装板,两个安装板相靠近的一侧分别设有毛刷12,通过第二驱动电机21、转动杆、螺旋叶片16、导料轨10、清洗轨13、刮板11和毛刷12 的相互配合,可以实现陶瓷靶材的除杂,保证其表面的杂质和灰尘进行能够彻底去除,使其除杂效果更佳,清洗轨13右侧固定连接有出料轨14,且出料轨 14的前壁和后壁靠近左侧处与两个侧板15相靠近的一侧靠近右侧处固定连接,出料轨14底部靠近右侧处设有第二传送带20,底板1顶部靠近右侧处安装有两组第二竖板18,且每组第二竖板18的数量为两个设置,位于同一组的两个第二竖板18相靠近的一侧靠近顶部处分别安装有第二轴承,且每组内的两个第二轴承内圈均固定连接有转轴,位于同一组的两个第二竖板18之间均设有第二转动辊19,且两个第二转动辊19的前后两端分别与每组内的两个转轴相靠近的一端固定连接,两个第二转动辊19的外壁与第二传送带20活动连接,位于左侧的第二转动辊19后侧的第二轴承上的转轴与位于右侧的第一转动辊3后侧的第一轴承上的转轴之间传动连接有皮带,通过第一驱动电机17、出料轨14、第二转动辊19和第二传送带20的相互配合,可以实现除杂后的陶瓷靶材的快速出料,提高了出料效率,从而可以达到除杂效率高和使用效果佳的特点,其中第一驱动电机17和第二驱动电机21分别通过外接电源线电性连接有控制开关。
工作原理:在本技术方案中,首先启动第一驱动电机17,通过第一驱动电机17带动两个第一转动辊3进行转动,而第一转动辊3则带动第一传送带4进行转动,从而实现陶瓷靶材的输送,当陶瓷靶材在输送过程中运动至圆盘6上的左侧弧形凹槽内,通过第一传送带4的带动,圆盘6随着陶瓷靶材进行转动,而缓料杆7可以减缓后方的陶瓷靶材的输送速度,当圆盘6转动四分之一圆时,后方的陶瓷靶材运动至前侧的弧形凹槽内,而左侧的弧形凹槽内的陶瓷靶材通过圆盘6的转动和第一传送带4的输送向右运动一段距离,从而使相邻的两个陶瓷靶材之间的间距变大,防止陶瓷靶材的输送过于密集,不利于后续的除杂,而U形板8上的滚筒9可以保证陶瓷靶材在弧形凹槽内随着圆盘6运动时不会发生偏移,保证了其能够有序稳定的输送,接着启动第二驱动电机21,通过第二驱动电机21带动螺旋叶片16进行转动,而螺旋叶片16通过转动拨动导料轨 10上的陶瓷靶材进入到清洗轨13,清洗轨13上方和下方的刮板11相靠近的一侧在陶瓷靶材的输送过程中与其顶部和底部相接触对其刮动除杂,而两个刮板11右侧的毛刷12对其顶部和底部进一步清理,使其除杂更加彻底,有效的提高了除杂效率,而除杂过的陶瓷靶材在螺旋叶片16的拨动下,通过出料轨14的辅助运动至第二传送带20,而第一驱动电机17同时带动第二转动辊19进行转动,而第二转动辊19带动第二传送带20进行转动,带动除杂后的陶瓷靶材进行快速出料,从而可以达到除杂效率高和使用效果佳的特点。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种陶瓷靶材生产加工用除杂装置,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)顶部靠近左侧处安装有两组第一竖板(2),且每组第一竖板(2)的数量为两个设置,位于同一组的两个所述第一竖板(2)相靠近的一侧靠近顶部处分别安装有第一轴承,且每组内的两个第一轴承内圈均固定连接有转轴,位于同一组的两个所述第一竖板(2)之间均设有第一转动辊(3),且两个第一转动辊(3)的前后两端分别与每组内的两个转轴相靠近的一端固定连接,位于右侧的所述第一转动辊(3)后侧的第一竖板(2)的后壁通过两个细杆固定连接有第一驱动电机(17),且第一驱动电机(17)的输出轴与后侧的转轴后端固定连接,两个所述第一转动辊(3)的外壁活动连接有第一传送带(4),所述底板(1)顶部靠近中间处安装有两个侧板(15),且两个侧板(15)为前后设置,所述第一传送带(4)右侧设有导料轨(10),且导料轨(10)的前壁和后壁靠近右侧处与两个侧板(15)相靠近的一侧靠近左侧处固定连接,两个所述侧板(15)之间固定连接有清洗轨(13),且清洗轨(13)左侧与导料轨(10)的右侧固定连接,所述清洗轨(13)右侧固定连接有出料轨(14),且出料轨(14)的前壁和后壁靠近左侧处与两个侧板(15)相靠近的一侧靠近右侧处固定连接,所述出料轨(14)底部靠近右侧处设有第二传送带(20),两个所述侧板(15)之间设有转动杆,两个所述侧板(15)相靠近的一侧分别安装有第六轴承,且转动杆的前后两端分别与两个第六轴承内圈固定连接,所述底板(1)顶部安装有第二驱动电机(21),且第二驱动电机(21)与转动杆之间传动连接有皮带,所述转动杆外壁上固定连接有若干个均匀分布的螺旋叶片(16),两个所述侧板(15)之间固定连接有两个横板,且两个横板为上下设置,两个所述横板相靠近一侧靠近左侧处分别固定连接有刮板(11),且两个横板相靠近一侧靠近右侧处分别固定连接有两个安装板,两个所述安装板相靠近的一侧分别设有毛刷(12)。
2.根据权利要求1所述的一种陶瓷靶材生产加工用除杂装置,其特征在于:所述底板(1)顶部靠近右侧处安装有两组第二竖板(18),且每组第二竖板(18)的数量为两个设置,位于同一组的两个所述第二竖板(18)相靠近的一侧靠近顶部处分别安装有第二轴承,且每组内的两个第二轴承内圈均固定连接有转轴,位于同一组的两个所述第二竖板(18)之间均设有第二转动辊(19),且两个第二转动辊(19)的前后两端分别与每组内的两个转轴相靠近的一端固定连接,两个所述第二转动辊(19)的外壁与第二传送带(20)活动连接,位于左侧的所述第二转动辊(19)后侧的第二轴承上的转轴与位于右侧的第一转动辊(3)后侧的第一轴承上的转轴之间传动连接有皮带。
3.根据权利要求1所述的一种陶瓷靶材生产加工用除杂装置,其特征在于:所述第一传送带(4)的后侧设有U形板(8),且U形板(8)底部与底板(1)顶部之间固定连接有两个直杆,所述U形板(8)内腔顶部和内腔底部均安装有若干个均匀分布的第三轴承,且若干个第三轴承内圈均固定连接有转轴,所述U形板(8)内设有若干个均匀分布的滚筒(9),且若干个滚筒(9)的顶端和底端分别与位于上方和下方的若干个转轴相靠近的一端固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种陶瓷靶材生产加工用除杂装置,其特征在于:所述第一传送带(4)的前侧设有L形板(5),且L形板(5)底部与底板(1)顶部固定连接,所述L形板(5)顶部安装有第四轴承,且第四轴承内圈固定连接有转轴,所述转轴顶端固定连接有圆盘(6),且圆盘(6)的前后左右四侧均开设有弧形凹槽。
5.根据权利要求4所述的一种陶瓷靶材生产加工用除杂装置,其特征在于:所述圆盘(6)顶部靠近左侧处安装有第五轴承,且第五轴承内圈固定连接有转轴,所述转轴顶端固定连接有缓料杆(7)。
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