CN212586694U - 防撞装置、工件台系统及光刻机 - Google Patents

Abstract

本实用新型的防撞装置、工件台系统及光刻机，其中，防撞装置中的防撞组件中设置了可伸缩的防撞杆，并使防撞杆能够牵制第一滑块和第二滑块。因此当防撞杆的两端至少其中之一被撞击时，防撞杆可牵动第一滑块朝向第二滑块运动和/或牵动第二滑块朝向第一滑块方向运动，并压缩与第一滑块和第二滑块连接的可伸缩的缓冲杆，缓冲杆被压缩后产生反方向的应力以抵消防撞杆被撞击时产生的撞击力，实现双向防撞功能。而本实用新型的防撞装置，其将双向缓冲功能集成在一个防撞装置内，因此提升了本实用新型的防撞装置、安装上述防撞装置的工件台及光刻机的集成度，提升了空间利用率。

Description

防撞装置、工件台系统及光刻机

技术领域

本实用新型涉及光刻技术领域，尤其是涉及一种防撞装置及包含该防撞装置的工件台系统及光刻机。

背景技术

光刻是半导体制造过程中一道非常重要的工序，它是将一系列掩模板上的图形通过曝光依次转移到基板相应层上的工艺过程，被认为是大规模集成电路制造中的核心步骤。半导体制造中一系列复杂而耗时的光刻工艺主要由相应的光刻机来完成。

光刻机包含多个工件台，在具体光刻时需要调整各个工件台的位置。不可避免的，光刻机的工件台在运行时可能发生多种情况的碰撞，为了保护光刻机内尤其是粗微动工件台的各精密部件不在碰撞中被损毁，设计可靠有效的防撞装置是必不可少的。目前，工件台的双向防撞功能是由两个独立的防撞装置来实现，而使用两个独立的防撞装置来实现双向防撞功能时，防撞装置通常安装在工件台运动路线两端的位置上，此时工件台即会被两个独立的防撞装置限制在单一的路线上进行运动工作，因此导致了工件台运动路线存在单一性的问题。

为解决上述运动路线单一性的问题，发明人将上述两个防撞装置安装在工件台上以实现双向防撞，但将两个防撞装置安装在工件台的两端上实现双向防撞功能时，则存在结构不紧凑，占用空间过大的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种防撞装置、工件台系统及光刻机，以解决现有技术中防撞装置、使用上述防撞装置的工件台及光刻机结构不紧凑，占用空间过大的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种防撞装置，包括至少一个防撞组件，所述防撞组件包括：

安装框，所述安装框内具有安装槽；

第一滑块和第二滑块，所述第一滑块和所述第二滑块沿着预定方向设置在所述安装槽内，并且分别位于所述安装槽在所述预定方向上的两端；

缓冲杆，所述缓冲杆两端分别与所述第一滑块和所述第二滑块连接，且所述缓冲杆在所述预定方向上可伸缩设置；以及，

防撞杆，所述防撞杆沿所述预定方向可移动穿过所述安装框，并且所述防撞杆牵制所述第一滑块及所述第二滑块，以在外力撞击所述防撞杆的两端至少其中之一时，牵动所述第一滑块朝向所述第二滑块运动和/或牵动所述第二滑块朝向所述第一滑块方向运动，并使所述缓冲杆受挤压收缩。

可选的，所述安装框包括多个侧板，多个所述侧板围设形成所述安装槽。

可选的，所述防撞杆包括第一防撞杆，所述第一防撞杆包括第一子防撞杆和设置在所述第一子防撞杆上的推块，以及靠近所述第一滑块的所述侧板上设有第一通孔；

所述第一子防撞杆可移动穿过所述第一通孔及所述第一滑块，在所述第一子防撞杆被撞击时，所述第一子防撞杆带动所述推块移动，并使所述推块与所述第一滑块抵接，以推动所述第一滑块朝向所述第二滑块方向运动。

可选的，所述第一防撞杆还包括第一连接件，所述推块套设在所述第一子防撞杆上，所述第一连接件穿过所述推块和所述第一子防撞杆，以将所述推块固定在所述第一子防撞杆上。

可选的，所述防撞杆还包括第二防撞杆，所述第二防撞杆的一端与所述第一防撞杆可伸缩连接，所述第二防撞杆的另一端与所述第二滑块固定连接，并穿过所述第二滑块及可移动穿过靠近所述第二滑块的所述侧板，以在所述第二防撞杆被撞击时，推动所述第二滑块朝向所述第一滑块方向运动。

可选的，所述第二防撞杆还包括第二子防撞杆和第三子防撞杆，所述第二子防撞杆和所述第三子防撞杆可拆卸连接。

可选的，所述第二防撞杆还包括第二连接件，所述第二子防撞杆一端与所述第一防撞杆可伸缩连接，另一端与所述第二滑块连接且穿过所述第二滑块；所述第三子防撞杆一端伸入所述第二子防撞杆内，另一端朝向远离所述第二子防撞杆方向延伸；所述第二连接件穿过所述第二子防撞杆和所述第三子防撞杆时，固定所述第二子防撞杆和所述第三子防撞杆。

可选的，所述缓冲杆包括第一缓冲杆、第二缓冲杆及套设在所述第一缓冲杆上的弹性件，所述第一缓冲杆一端与所述第一滑块连接，另一端朝向所述第二缓冲杆方向延伸，所述第二缓冲杆一端可滑动伸入至所述第一缓冲杆中，另一端与所述第二滑块连接。

可选的，所述缓冲杆为两个，两个所述缓冲杆分别位于所述防撞杆两侧。

可选的，所述第一滑块具有第一通槽和第一开口，所述第一通槽和所述第一开口沿所述预定方向延伸；所述防撞杆可滑动穿过所述第一通槽，所述缓冲杆一端伸入所述第一开口以连接至所述第一滑块，另一端与所述第二滑块连接。

可选的，所述第二滑块具有中空腔和第二通槽，所述第二通槽沿所述预定方向延伸以贯穿所述中空腔，以及所述防撞杆穿过所述第二通槽并与所述第二滑块固定连接；并且，所述第二滑块靠近所述第一滑块的侧板上还具有第二开口，所述第二开口连通至所述中空腔，所述缓冲杆穿过所述第二开口以伸入至所述中空腔，并连接至所述中空腔远离所述第一滑块的侧板。

可选的，所述第一滑块和/或所述第二滑块上还设有距离传感器。

可选的，所述防撞装置还包括安装架，所述安装架安装在所述安装框上。

可选的，所述防撞组件为多个，多个所述防撞组件的所述防撞杆分别延伸在不同的方向。

为解决上述问题，本实用新型还提供一种工件台系统，包括工件台及如上所述防撞装置，所述防撞装置安装所述工件台内。

为解决上述问题，本实用新型还提供一种光刻机，包括如上所述的工件台系统。

本实用新型的防撞装置中的防撞组件中设置了可伸缩的防撞杆，并使防撞杆能够牵制第一滑块和第二滑块。因此当防撞杆的两端至少其中之一被撞击时，防撞杆可牵动第一滑块朝向第二滑块运动和/或牵动第二滑块朝向第一滑块方向运动，并压缩与第一滑块和第二滑块连接的可伸缩的缓冲杆，缓冲杆被压缩后产生反方向的应力以抵消防撞杆被撞击时产生的撞击力，实现双向防撞功能。由于本实用新型的防撞装置，其将双向缓冲功能集成在一个防撞装置内，因此提升了本实用新型的防撞装置、安装上述防撞装置的工件台及光刻机的集成度，提升了空间利用率。

附图说明

图1是本实用新型一实施例的防撞装置的结构示意图；

图2是本实用新型一实施例的防撞装置中的防撞杆的结构示意图；

图3是本实用新型一实施例的防撞装置中的第一滑块的结构示意图；

图4是本实用新型一实施例的防撞装置中的安装框的结构示意图；

图5是本实用新型一实施例的防撞装置中的第二滑块的结构示意图；

图6是本实用新型一实施例的防撞装置中的第一滑块、第二滑块及缓冲杆装配的的结构示意图；

图7是本实用新型另一实施例的防撞装置的结构示意图；

附图标记

1-安装框； 11-侧板；

2-第一滑块；

3-第二滑块；

4-缓冲杆； 41-第一缓冲杆；

42-第二缓冲杆； 43-弹性件；

5-防撞杆；

51-第一防撞杆； 511-第一子防撞杆；

512-推块； 513-第一连接件；

52-第二防撞杆； 521-第二子防撞杆；

522-第二子防撞杆； 5211-凸起；

5212-固定板；

523-第二连接件；

6-距离传感器；

7-安装架；

100-防撞组件； 101-安装槽；

111-第一通孔；

201-第一桶槽； 202-第一开口；

301-第二桶槽； 302-中空腔；

303-第二开口；

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的防撞装置、工件台系统及光刻机作进一步详细说明。根据下面说明，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。

图1是本实用新型一实施例的防撞装置的结构示意图；图2是本实用新型一实施例的防撞装置中的安装框的结构示意图；如图1和图2所示，本实施例的一种防撞装置，包括至少一个防撞组件100。其中，每个所述防撞组件100包括：安装框1、第一滑块2、第二滑块3、缓冲杆4及防撞杆5。

重点参考图2并结合图1所示，本实施例中，所述安装框1内具有安装槽101，以及所述第一滑块2和所述第二滑块3沿着预定方向Z设置在所述安装槽101内，并且所述第一滑块2和所述第二滑块3分别位于所述安装槽101在所述预定方向Z上的两端。所述缓冲杆4两端分别与所述第一滑块2和所述第二滑块3连接，且所述缓冲杆4在所述预定方向Z上可伸缩设置。

以及，所述防撞杆3沿所述预定方向Z可移动穿过所述安装框1，并且所述防撞杆5牵制所述第一滑块2及所述第二滑块3，从而在外力撞击所述防撞杆4靠近所述第一滑块2的一端时，所述防撞杆4牵动所述第一滑块2朝向所述第二滑块3运动，或者在外力撞击所述防撞杆4靠近所述第二滑块3的一端时，所述防撞杆4牵动所述第二滑块3朝向所述第一滑块2运动，又或者在外力同时撞击所述防撞杆4的两端时，所述防撞杆4牵动所述第一滑块2朝向所述第二滑块3方向运动，同时牵动所述第二滑块3朝向所述第一滑块2方向运动。进而使得所述缓冲杆5受挤压收缩，用于实现防撞保护。

本实施例中的防撞装置包括至少一个所述防撞组件100，其中在每个所述防撞组件100中设置有可伸缩的防撞杆5，并使所述防撞杆5能够牵制所述第一滑块2和所述第二滑块3，进而可利用所述第一滑块2和所述第二滑块3之间的缓冲杆4实现撞击力缓冲。具体的，当防撞杆5的两端至少其中之一被外力撞击时，所述防撞杆5能够牵动所述第一滑块2和所述第二滑块3至少其中之一朝向其中另一的方向运动。同时，由于所述第一滑块2和所述第二滑块3的相向运动使得与所述第一滑块2和所述第二滑块3连接的所述缓冲杆4被压缩，所述缓冲杆4被压缩时向所述第一滑块2和所述第二滑块3提供张力以减小所述防撞杆5被撞击时产生的撞击力，进而可通过一个防撞组件100实现双向防撞功能。如此一来，使得本实施例的防撞装置具有高的集成度，及较高的空间利用率。

继续参图2所示，本实施例的所述防撞组件100中的所述安装框1包括多个侧板11，多个所述侧板11围设形成所述安装槽101。具体的，在本实施例中，所述侧板11为长方体，所述侧板11围设形成的所述安装槽101为长方体槽。当然，在其他实施例中，所述侧板11也可以不为长方体，所述侧板11的形状在此不做具体限定，以实际需求为准。

继续参图1所示，本实施例中的所述预定方向Z为沿多个所述侧板11的其中之一的长度方向延伸的方向。具体的，所述第一滑块2和所述第二滑块3沿着所述预定方向Z排布即为：所述第一滑块2和所述第二滑块3沿多个所述侧板11中的其中之一的长度方向延伸的方向设置在所述安装槽11的两端。在其他实施例中，所述预定方向Z也不做具体限定，具体以实际情况为准。

进一步的方案中，在所述第一滑块2和/或所述第二滑块3上还可以设有距离传感器6。当所述防撞杆5被撞击而引起所述第一滑块2和所述第二滑块3运动时，则位于所述第一滑块2或位于所述第二滑块3上的距离传感器6即可感测到所述第一滑块2朝向所述第二滑块3的运动距离，或者，感测到所述第二滑块3朝向所述第一滑块2运动的距离。之后，根据所述运动距离计算所述防撞装置(或者，安装有所述防撞装置的工件台)的运动速度，进而可根据计算得到的所述运动速度调整所述防撞装置(或者，安装有所述防撞装置的工件台)的运动速度。

继续参考图1所示，所述防撞装置中的所述防撞组件100还包括安装架7，所述安装架7安装在所述安装框1上，以利用所述安装架7将所述安装框1安装在一运动台(所述运动台例如为光刻机中的工件台等)上。较佳的，所述安装架7位于所述防撞组件100的中间位置，此时，可防止所述防撞杆5的同心轴发生挠曲变形，进而影响防撞杆5受到冲击时向内收缩的顺滑性。

图3是本实用新型一实施例的防撞装置中的第一滑块的结构示意图，图4是本实用新型一实施例的防撞装置中的防撞杆的结构示意图。如图1～图4所示，在本实施例中，所述安装框1中靠近所述第一滑块2的所述侧板11上设有第一通孔111；所述第一滑块2具有第一通槽201，所述第一通槽201沿所述预定方向Z延伸；以及，所述防撞杆5包括第一防撞杆51，所述第一防撞杆51包括第一子防撞杆511和设置在所述第一子防撞杆511上的推块512。

其中，所述防撞杆5中的所述第一子防撞杆511穿过靠近所述第一滑块2的所述侧板11的所述第一通孔111及所述第一滑块2上的所述第一通槽201。在所述第一子防撞杆511被撞击时，所述第一子防撞杆511带动所述推块512移动，以带动所述推块512至少移动到所述第一通孔111后与所述第一滑块2抵接，当所述第一子防撞杆511继续移动时，所述第一子防撞杆511带动所述推块512推动所述第一滑块2朝向所述第二滑块3方向运动。

继续参图1并结合图4所示，所述第一防撞杆51还包括第一连接件513，所述推块512套设在所述第一子防撞杆511上，所述第一连接件513穿过所述推块512和所述第一子防撞杆511，以将所述推块512固定在所述第一子防撞杆511上。如此一来，所述推块512与所述第一子防撞杆511可拆卸连接，进而使得在所述推块512损坏时，将所述推块512从所述第一子防撞杆511上拆卸下来进行更换，或者在所述第一子防撞杆511损坏时，将所述第一子防撞杆511与所述推块512分离并更换所述第一子防撞杆511，所述推块512可继续套设在更换后的所述第一子防撞杆511上继续使用，进而降低生产成本。

此外，在本实施例中，所述推块511为环形，环形的所述推块511环绕所述第一子防撞杆511套设在所述第一子防撞杆511上。在其他实施例中，所述推块512还可以为长方体、半圆体等形状，所述推块512具体的形状在此不做具体限定。只需所述推块512能起到在所述第一子防撞杆511被外力撞击朝向所述第一滑块2方向运动时，所述推块512可与所述第一滑块2抵接并推动所述第一滑块2朝向所述第二滑块3方向运动即可。

另外，在本实施例中，所述推块511与所述第一子防撞杆511可拆卸连接。在其他实施例中，所述推块511还可以与所述第一子防撞杆511固定连接。比如直接将所述推块512固定设置在所述第一子防撞杆511上；此时，所述推块512与所述第一子防撞杆511连接更牢固，所述防撞杆5防撞击能力更强。

比如，可通过焊接工艺将所述推块512固定在所述第一子防撞杆511上；以及，还可通过一体成型工艺将所述推块512与所述第一子防撞杆511一体形成，如此使得所述推块512和所述第一子防撞杆511的制造工艺简单。

进一步的，所述第一子防撞杆511中至少远离所述第一滑块2的端部弹性设置，如此不仅降低所述第一子防撞杆511的磨损程度，同时在所述第一子防撞杆511远离所述第一滑块2的端部被撞击时，弹性设置的所述第一子防撞杆511可产生与撞击力相反方向的应力以缓冲所述撞击力。以及，将所述推块512弹性设置，所述推块512弹性设置时，可降低所述推块512的磨损程度。可选的，所述第一子防撞杆511中的弹性设置的部分以及推块512的材质为橡胶或弹性塑料。

继续参图1和图5所示，在本实施例中，所述防撞杆5还可以包括第二防撞杆52。其中，所述第二防撞杆52还包括第二子防撞杆521和第三子防撞杆522，所述第二子防撞杆521和所述第三子防撞杆522可拆卸连接。如此一来，在所述第二子防撞杆521和所述第三子防撞杆522二者其中之一损坏时，可对损坏的所述第二子防撞杆521和所述第三子防撞杆522二者其中之一进行更换，避免对所述第二防撞杆52整体进行更换，进而降低生产成本。以及，由于所述第二子防撞杆521和所述第三子防撞杆522可拆卸连接，因此，在将所述防撞装置安装在所述工件台内并使所述第三子防撞杆522从所述工件台伸出，替换所述第三子防撞杆522时可不用打开所述工件台，直接在所述工件台外从所述第二子防撞杆521中抽出所述第三子防撞杆522或将所述第子三防撞杆522插入所述第二子防撞杆521中即可完成对所述第三子防撞杆522的替换。

图4是本实用新型一实施例的防撞装置中的第二滑块的结构示意图；具体的，参图1～图2并结合图4～图5所示，在本实施例中，所述安装框1中靠近所述第二滑块3的所述侧板11上还设有第二通孔112；所述第二滑块3具有中空腔302以及第二通槽301，其中，所述中空腔302在沿垂直于所述预定方向Z的方向上延伸，所述第二通槽301在沿所述预定方向Z上延伸，且所述第二通槽301穿过所述中空腔302。

在本实施例中，所述第二防撞杆52中的所述第二子防撞杆521一端与所述第一防撞杆51可伸缩连接；另一端穿过所述第二滑块3的所述第二通槽301后与所述第二滑块3固定连接，并进一步的穿过靠近所述第二滑块3的所述侧板11上的所述第二通孔112后朝向所述第三子防撞杆522方向延伸。

以及，所述第三子防撞杆522一端伸入所述第二子防撞杆521内与所述第二子防撞杆可拆卸连接，另一端朝向远离所述第二子防撞杆521方向延伸。具体的，结合图1和图5所示，所述第二防撞杆52还包括第二连接件523，所述第二连接件523穿过所述第二子防撞杆521和所述第三子防撞杆522时，固定所述第二子防撞杆521和所述第三子防撞杆522。

进一步的，具体的，如图5所示，在所述第二子防撞杆521上还设有凸环5211，其中所述凸环5211环设在所述第二子防撞杆521上，并与所述第二子防撞杆521固定连接。所述第二连接件523穿过所述凸环5211、所述第二子防撞杆521以及所述第三子防撞杆522以使所述第二子防撞杆521和所述第三子防撞杆522固定连接。在所述第二子防撞杆521上有凸环5211可增强所述第二子防撞杆521被所述第二连接件523穿过的区域的强度。以减小由于所述第二子防撞杆521被所述第二连接件523穿过的区域因强度降低，而在后续所述第三子防撞杆522被撞击时导致的该区域受力而使得该区域断裂可能性。

进一步的，所述第三子防撞杆522中至少远离所述第二滑块3的端部弹性设置，如此不仅降低所述第三子防撞杆522的磨损程度，同时在所述第三子防撞杆522远离所述第二滑块3的端部被撞击时，弹性设置的所述第三子防撞杆522产生与撞击力相反方向的应力以缓冲所述撞击力。

继续参图5所示，本实施例中的所述第二子防撞板521还包括固定板5212，所述固定板5212用于将所述固定板5212固定在所述第二滑块3上以使所述第二滑块3和所述第二子防撞板521相互固定。

图6是本实用新型一实施例的防撞装置中的第一滑块、第二滑块及缓冲杆装配的的结构示意图。请参图1并结合图2～图3及图6所示，所述第一滑块2还具有第一开口202，所述第一开口202在所述预定方向Z的方向上延伸。在本实施例中，所述第一滑块2靠近所述第二滑块3的侧板内凹形成所述第一开口202。以及在形成所述中空腔302的所述第二滑块2靠近所述第一滑块2的侧板上具有第二开口303，所述第二开口303沿所述预定方向Z延伸。其中，所述缓冲杆4一端伸入所述第一开口202以连接至所述第一滑块2；所述缓冲杆4的另一端与所述第二滑块3连接。具体的，所述缓冲杆4的另一端伸入所述第二开口303后与形成所述中空腔302的所述第二滑块3远离所述第一滑块1的侧板连接。

进一步的，如图所示，在本实施例中，所述缓冲杆4包括第一缓冲杆41、第二缓冲杆43及套设在所述第一缓冲杆41上的弹性件42，所述第一缓冲杆41一端与所述第一滑块2连接；以及所述第一缓冲杆41的另一端朝向所述第二缓冲杆43方向延伸。所述第二缓冲杆43一端可滑动伸入至所述第一缓冲杆41中；所述第二缓冲杆43的另一端与所述第二滑块2连接。

在本实施例中，由于所述第二缓冲杆43一端可滑动伸入至所述第一缓冲杆41中，因此，当所述第一滑块2朝向所述第二滑块3方向运动时，可推动所述第一缓冲杆41朝向所述第二缓冲杆43运动。以及，当所述第二滑块3朝向所述第一滑块2方向运动时，可推动所述第二缓冲杆43朝向所述第一缓冲杆41方向运动。如此一来，所述第二缓冲杆43更多部分伸入所述第一缓冲杆41中，所述第一滑块2和所述第二滑块3之间的所述缓冲杆4的长度变短。而在所述第一滑块朝2和所述第二滑块3其中至少之一朝向其中另一运动时，位于所述第一缓冲杆41上的弹性件42被挤压。此时，所述弹性件3产生朝向所述第一滑块2或朝向所述第二滑块3，或者同时产生朝向所述第一滑块2和所述第二滑块3的张力以减小防撞杆5被撞击时产生的撞击力。进一步的，在本实施例中，所述弹性件42为弹簧，所述弹簧套设在所述第一缓冲件41上。

在本实施例中，所述缓冲件4分体设置，在其他实施例中，所述缓冲件4还可以一体设置，只需将所述弹性件4可伸缩设置即可。例如，所述弹性件4整体设置为弹性体，比如所述弹性件4整体可以为橡胶或弹簧。当所述缓冲件4一体设置时，结构及制作过程简单。

继续参图1及图6所示，在本实施例中，每个所述防撞组件100中的所述缓冲杆4为两个，两个所述缓冲杆4分别位于所述防撞杆5两侧。

图7是本实用新型另一实施例的防撞装置的结构示意图；如图7所示，所述防撞组件100为两个，所述两个防撞组件100中的防撞杆5分别延伸在不同的方向，两个防撞组件100可进行四向防撞。较佳的，所述两个防撞组件100互相垂直设置。在其他实施例中，所述防撞装置还可以包括多个防撞组件100，所述多个防撞组件100的所述防撞杆分别延伸在不同的方向，可实现多向防撞。

进一步的，本实施例还公开了一种工件台系统，所述工件台系统包括工件台及如上述所述的防撞装置，其中，所述防撞装置安装在所述工件台内。

以及，本实施例还公开了一种光刻机，所述光刻机还包括上所述的工件台系统。

需要说明的是，本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可，此外，各个实施例之间不同的部分也可互相组合使用，本实用新型对此不作限定。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (15)

1.一种防撞装置，其特征在于，包括至少一个防撞组件，所述防撞组件包括：

安装框，所述安装框内具有安装槽；

第一滑块和第二滑块，所述第一滑块和所述第二滑块沿着预定方向设置在所述安装槽内，并且分别位于所述安装槽在所述预定方向上的两端；

缓冲杆，所述缓冲杆两端分别与所述第一滑块和所述第二滑块连接，且所述缓冲杆在所述预定方向上可伸缩设置；以及，

防撞杆，所述防撞杆沿所述预定方向可移动穿过所述安装框，并且所述防撞杆牵制所述第一滑块及所述第二滑块，以在外力撞击所述防撞杆的两端至少其中之一时，牵动所述第一滑块朝向所述第二滑块运动和/或牵动所述第二滑块朝向所述第一滑块方向运动，并使所述缓冲杆受挤压收缩。

2.如权利要求1所述的防撞装置，其特征在于，所述安装框包括多个侧板，多个所述侧板围设形成所述安装槽。

3.如权利要求2所述的防撞装置，其特征在于，所述防撞杆包括第一防撞杆，所述第一防撞杆包括第一子防撞杆和设置在所述第一子防撞杆上的推块，以及靠近所述第一滑块的所述侧板上设有第一通孔；

所述第一子防撞杆可移动穿过所述第一通孔及所述第一滑块，在所述第一子防撞杆被撞击时，所述第一子防撞杆带动所述推块移动，并使所述推块与所述第一滑块抵接，以推动所述第一滑块朝向所述第二滑块方向运动。

4.如权利要求3所述的防撞装置，其特征在于，所述第一防撞杆还包括第一连接件，所述推块套设在所述第一子防撞杆上，所述第一连接件穿过所述推块和所述第一子防撞杆，以将所述推块固定在所述第一子防撞杆上。

5.如权利要求3所述的防撞装置，其特征在于，所述防撞杆还包括第二防撞杆，所述第二防撞杆的一端与所述第一防撞杆可伸缩连接，所述第二防撞杆的另一端与所述第二滑块固定连接，并穿过所述第二滑块及可移动穿过靠近所述第二滑块的所述侧板，以在所述第二防撞杆被撞击时，推动所述第二滑块朝向所述第一滑块方向运动。

6.如权利要求5所述的防撞装置，其特征在于，所述第二防撞杆还包括第二子防撞杆和第三子防撞杆，所述第二子防撞杆和所述第三子防撞杆可拆卸连接。

7.如权利要求6所述的防撞装置，其特征在于，所述第二防撞杆还包括第二连接件，所述第二子防撞杆一端与所述第一防撞杆可伸缩连接，另一端与所述第二滑块连接且穿过所述第二滑块；所述第三子防撞杆一端伸入所述第二子防撞杆内，另一端朝向远离所述第二子防撞杆方向延伸；所述第二连接件穿过所述第二子防撞杆和所述第三子防撞杆时，固定所述第二子防撞杆和所述第三子防撞杆。

8.如权利要求1所述的防撞装置，其特征在于，所述缓冲杆包括第一缓冲杆、第二缓冲杆及套设在所述第一缓冲杆上的弹性件，所述第一缓冲杆一端与所述第一滑块连接，另一端朝向所述第二缓冲杆方向延伸，所述第二缓冲杆一端可滑动伸入至所述第一缓冲杆中，另一端与所述第二滑块连接。

9.如权利要求1所述的防撞装置，其特征在于，所述缓冲杆为两个，两个所述缓冲杆分别位于所述防撞杆两侧。

10.如权利要求1所述的防撞装置，其特征在于，所述第一滑块具有第一通槽和第一开口，所述第一通槽和所述第一开口沿所述预定方向延伸；所述防撞杆可滑动穿过所述第一通槽，所述缓冲杆一端伸入所述第一开口以连接至所述第一滑块，另一端与所述第二滑块连接。

11.如权利要求1所述的防撞装置，其特征在于，所述第二滑块具有中空腔和第二通槽，所述第二通槽沿所述预定方向延伸以贯穿所述中空腔，以及所述防撞杆穿过所述第二通槽并与所述第二滑块固定连接；并且，所述第二滑块靠近所述第一滑块的侧板上还具有第二开口，所述第二开口连通至所述中空腔，所述缓冲杆穿过所述第二开口以伸入至所述中空腔，并连接至所述中空腔远离所述第一滑块的侧板。

12.如权利要求1所述的防撞装置，其特征在于，所述第一滑块和/或所述第二滑块上还设有距离传感器。

13.如权利要求1所述的一种防撞装置，其特征在于，所述防撞组件为多个，多个所述防撞组件的所述防撞杆分别延伸在不同的方向。

14.一种工件台系统，其特征在于，包括工件台及权利要求1～13任一项所述的防撞装置，所述防撞装置安装在所述工件台上。

15.一种光刻机，其特征在于，包括如权利要求14所述的工件台系统。

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