CN212542383U - 一种晶圆切割用柔性存料载具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了．一种晶圆切割用柔性存料载具，包括装置箱体、卡槽和稳定杆，所述的装置箱体内部安装有第一箱体、第二箱体和第三箱体，箱体通过连接绳连接，减少装置在被搬运时，减少颠簸，装置箱体左右两侧安装有把手，且装置箱体内部固定有稳定杆，稳定杆一侧安装有接头，稳定杆底面安装有卡槽，卡槽和稳定杆相互结合作用于晶盘，以固定晶盘和保护晶盘且装置箱体外部底面固定有楔形结构，楔形结构侧面连接有弹簧，弹簧底面安装有底板，在放下装置时减少颠簸，该晶圆切割用柔性存料载具，在放置晶盘处设有柔性材料的卡槽和稳定杆接头，且底面安装有减震结构，在放置和搬运过程中减少对晶盘的损耗，以起到保护晶盘的作用。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆储存设备科技技术领域，具体为一种晶圆切割用柔性存料载具。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆盒来搬运和储存晶圆,大部分晶圆盒结构复杂，且极易造成晶圆损坏。
实用新型内容
本实用新型解决的技术问题在于克服背景技术中提到的缺陷，提供一种晶圆切割用柔性存料载具。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆切割用柔性存料载具，包括装置箱体、卡槽和稳定杆，所述的装置箱体内部左侧安装有第一箱体，第一箱体左侧外部安装有左把手，第一箱体右侧连接有连接绳，连接绳右侧连接有第二箱体，第二箱体右侧安装有第三箱体，第三箱体外部右侧连接有右把手，且装置箱体内部固定有稳定杆，稳定杆一侧安装有接头，稳定杆底面安装有卡槽，且装置箱体外部底面固定有楔形结构，楔形结构侧面连接有弹簧，弹簧底面安装有底板。
优选的，所述第二箱体为三个，通过连接绳与相互连接，且第二箱体与左侧的第一箱体通过连接绳连接，第二箱体通过连接绳与第三箱体连接，连接绳为弹性涤纶绳，且位于箱体之间的连接绳为上下两个。
优选的，所述卡槽为柔性弹力塑胶材料，且卡槽顶部为弧形结构。
优选的，所述稳定杆四个为一组，左右平行对立，稳定杆对立面安装有接头，接头为柔性弹力塑胶材料,接头呈弧形。
优选的，所述楔形结构安装在第一箱体、第二箱体和第三箱体底面，且楔形结构四个为一组，分别安装在第一箱体、第二箱体和第三箱体底面四角处，楔形结构通过弹簧与底板连接。
优选的，所述弹簧五个为一组，分别安装在第一箱体、第二箱体和第三箱体底面四角和中心处，弹簧上端固定在第一箱体、第二箱体和第三箱体底面，弹簧下端固定在底板顶面，且底板的数量为五个。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该一种晶圆切割用柔性存料载具，结构设置合理，底面的圆弧形卡槽和接头为柔性塑胶材料，当放入晶盘后，底面的卡槽包裹住晶盘一部分，同时起到固定作用，稳定杆上的接头可稳定晶盘，设置不同箱体通过连接绳连接，使得在搬运过程减少因运动所造成的损伤，从而保护晶盘。
附图说明
图1为本实用新型结构侧视透视示意图；
图2为本实用新型结构俯视示意图；
图3为本实用新型结构零件示意图；
图4为本实用新型结构零件示意图。
图中标号：1、装置箱体，101、第一箱体，102、第二箱体，103、第三箱体，2、卡槽，3、稳定杆，301、接头，4、左把手，5、底板，6、弹簧，7、楔形结构，8、连接绳，9、右把手。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆切割用柔性存料载具，包括装置箱体1、卡槽2和稳定杆3，所述的装置箱体1内部左侧安装有第一箱体101，第一箱体101左侧外部安装有左把手4，第一箱体101右侧连接有连接绳8，连接绳8右侧连接有第二箱体102，第二箱体102右侧安装有第三箱体103，第三箱体103外部右侧连接有右把手9，所述第二箱体102为三个，通过连接绳8与相互连接，且第二箱体102与左侧的第一箱体101通过连接绳8连接，第二箱体102通过连接绳8与第三箱体103连接，连接绳8为弹性涤纶绳，且位于箱体之间的连接绳8为上下两个，在使用该载体运输晶盘时，此结构可减少颠簸给晶盘带来的损伤，且装置箱体1内部固定有稳定杆3，稳定杆3一侧安装有接头301，稳定杆3四个为一组，左右平行对立，稳定杆3对立面安装有接头301，接头301为柔性弹力塑胶材料；接头301呈弧形，用来稳定晶盘，接头为接触位置，采用柔性塑胶材料保护晶盘，稳定杆3底面安装有卡槽2，卡槽2为柔性弹力塑胶材料，且卡槽2顶部为弧形结构，此结构可使得在放入晶盘后，卡槽2会包裹住晶盘底面，从而保护晶盘的同时也起到固定作用，且装置箱体1外部底面固定有楔形结构7，楔形结构7侧面连接有弹簧6，弹簧6底面安装有底板5，楔形结构7安装在第一箱体101、第二箱体102和第三箱体103底面，且楔形结构7四个为一组，分别安装在第一箱体101、第二箱体102和第三箱体103底面四角处，楔形结构7通过弹簧6与底板5连接，弹簧6五个为一组，分别安装在第一箱体101、第二箱体102和第三箱体103底面四角和中心处，弹簧6上端固定在第一箱体101、第二箱体102和第三箱体103底面，弹簧6下端固定在底板5顶面，且底板5的数量为五个，装置箱体1底部的此结构可在放置过程中减少震动，以起到保护晶盘的作用。
工作原理：在使用该晶圆切割用柔性存料载具时，装置箱体1内部的第一箱体101、第二箱体102和第三箱体103放入晶盘，其内部的卡槽2受到晶盘重力作用产生变形，从而扣住晶盘，而晶盘两侧的稳定杆3上的接头301与晶盘侧面接触并使得晶盘稳定的树立起来，当搬运装置箱体时，抬起装置箱体1两侧的左把手4和右把手9将装置箱体1抬起，通过连接绳8连接的三个箱体被抬起，因为通过连接绳8连接，所以受重力影响，三个箱体上端相互作用，使得颠簸更小，在放下箱体时，底面的楔形结构7与弹簧6缓冲箱体，使得箱体在放下时颠簸更小，保证了晶盘在运输过程中不易损坏，这就是该晶圆切割用柔性存料载具的使用过程。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种晶圆切割用柔性存料载具，包括装置箱体（1）、卡槽（2）和稳定杆（3），其特征在于：所述的装置箱体（1）内部左侧安装有第一箱体（101），第一箱体（101）左侧外部安装有左把手（4），第一箱体（101）右侧连接有连接绳（8），连接绳（8）右侧连接有第二箱体（102），第二箱体（102）右侧安装有第三箱体（103），第三箱体（103）外部右侧连接有右把手（9），且装置箱体（1）内部固定有稳定杆（3），稳定杆（3）一侧安装有接头（301），稳定杆（3）底面安装有卡槽（2），且装置箱体（1）外部底面固定有楔形结构（7），楔形结构（7）侧面连接有弹簧（6），弹簧（6）底面安装有底板（5）。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用柔性存料载具，其特征在于：所述第二箱体（102）为三个，通过连接绳（8）与相互连接，且第二箱体（102）与左侧的第一箱体（101）通过连接绳（8）连接，第二箱体（102）通过连接绳（8）与第三箱体（103）连接，连接绳（8）为弹性涤纶绳，且位于箱体之间的连接绳（8）为上下两个。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用柔性存料载具，其特征在于：所述卡槽（2）为柔性弹力塑胶材料，且卡槽（2）顶部为弧形结构。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用柔性存料载具，其特征在于：所述稳定杆（3）四个为一组，左右平行对立，稳定杆（3）对立面安装有接头（301），接头（301）为柔性弹力塑胶材料；接头（301）呈弧形。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用柔性存料载具，其特征在于：所述楔形结构（7）安装在第一箱体（101）、第二箱体（102）和第三箱体（103）底面，且楔形结构（7）四个为一组，分别安装在第一箱体（101）、第二箱体（102）和第三箱体（103）底面四角处，楔形结构（7）通过弹簧（6）与底板（5）连接。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用柔性存料载具，其特征在于：所述弹簧（6）五个为一组，分别安装在第一箱体（101）、第二箱体（102）和第三箱体（103）底面四角和中心处，弹簧（6）上端固定在第一箱体（101）、第二箱体（102）和第三箱体（103）底面，弹簧（6）下端固定在底板（5）顶面，且底板（5）的数量为五个。
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