CN212537874U - 一种用于高纯钌靶制备的升温装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于高纯钌靶制备的升温装置，包括具有箱门的箱体，所述箱体内通过加热箱固定安装有制备罐，所述制备罐上螺纹安装有罐盖，所述箱体上安装有抽气机构，所述制备罐上固定安装有隔板，所述加热箱内通过焚烧机固定安装有导热轴，且导热轴与焚烧机的出热口相固定，所述导热轴上固定安装有多个放置机构，所述隔板与最下层的放置机构之间固定连接有多个导热杆，所述制备罐内通过两个电动伸缩杆固定安装有两个点火杆，所述焚烧机与制备罐之间连通有排气管。优点在于：既可以对高纯钌靶制作时提供较高的温度，能够进行多次加热升温，且可以将燃烧时产生的废气进行有效的处理，可有效的节约能源的消耗，具有较高的实用价值。

Description

一种用于高纯钌靶制备的升温装置

技术领域

本实用新型涉及高纯钌靶制备的技术领域，尤其涉及一种用于高纯钌靶制备的升温装置。

背景技术

高纯钌靶是电子信息技术产业中不可或缺的关键材料，在制备时通常需要将高纯钌靶放置在升温装置中进行高温加热，从而获得纯度较高的晶体；

现有的升温装置在进行加热升温时会产生较多的含碳废气，这些废气一般直接排放，未对废气中的可燃物质进行有效的利用，且上述装置的加热效果不够理想，无法进行分层次的升温，需要较长时间才能达到所需要的纯度，因此亟需设计一种用于高纯钌靶制备的升温装置来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的问题，而提出的一种用于高纯钌靶制备的升温装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种用于高纯钌靶制备的升温装置，包括具有箱门的箱体，所述箱体内通过加热箱固定安装有制备罐，所述制备罐上螺纹安装有罐盖，所述箱体上安装有抽气机构，所述制备罐上固定安装有隔板，所述加热箱内通过焚烧机固定安装有导热轴，且导热轴与焚烧机的出热口相固定，且焚烧机与箱体之间连通有进料管，所述导热轴上固定安装有多个放置机构，所述隔板与最下层的放置机构之间固定连接有多个导热杆，所述制备罐内通过两个电动伸缩杆固定安装有两个点火杆，所述焚烧机与制备罐之间连通有排气管，所述制备罐上固定安装有温度传感器。

在上述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置中，所述抽气机构包括固定安装在箱体上的抽风机，所述抽风机上连通有一根出风管，且出风管的开口位于箱体的外部，所述抽风机与制备罐之间连通有抽气管与除尘管，且除尘管上固定安装有电阀门一。

在上述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置中，所述放置机构包括固定安装在导热轴上的底板，所述底板上固定安装有制备块与两个加热棒。

在上述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置中，所述制备罐的外部固定安装有海绵套。

在上述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置中，所述进料管上固定安装有电阀门二。

在上述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置中，所述两个电动伸缩杆的外部均套设有防尘罩。

与现有的技术相比，本实用新型优点在于：

1：通过设置隔板与排气管，排气管能够将焚烧机工作时产生的废气排放至制备罐内，并使用隔板隔开，在制备罐内的尾气经过点火杆的加热点火作用燃烧，从而可使制备罐内的温度更高，从而更利于高纯钌靶的制备。

2：通过设置抽风机，抽风机能够将制备罐加工区内的空气抽除，从而使制备罐内形成真空状态，可利于高纯钌靶的制备，且抽风机能够将加热区内燃烧后的剩余尾气进行抽除，从而便于下次的制备。

3：通过设置放置机构，放置机构中的制备块用于高纯钌靶的制备，其内的底板具有良好的导热性，能够将导热轴内的温度有效的传导至制备块内，从而可为高纯钌靶的制备的提供较高的温度。

综上所述，本实用新型既可以对高纯钌靶制作时提供较高的温度，能够进行多次加热升温，且可以将燃烧时产生的废气进行有效的处理，可有效的节约能源的消耗，具有较高的实用价值。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种用于高纯钌靶制备的升温装置的结构示意图；

图2为图1中导热轴与其上结构的俯视图；

图3为制备罐与其内部分结构的立体示意图。

图中：1箱体、2加热箱、3焚烧机、4制备罐、5进料管、6抽风机、7出风管、8除尘管、9排气管、10电动伸缩杆、11导热轴、12隔板、13导热杆、14底板、15加热棒、16温度传感器、17海绵套、18控制器、19制备块、20点火杆、21罐盖。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参照图1-3，一种用于高纯钌靶制备的升温装置，包括具有箱门的箱体1，箱体1内通过加热箱2固定安装有制备罐4，制备罐4上螺纹安装有罐盖21，箱体1上安装有抽气机构，制备罐4上固定安装有隔板12，加热箱2内通过焚烧机3固定安装有导热轴11，且导热轴11与焚烧机3的出热口相固定，且焚烧机3与箱体1之间连通有进料管5；

上述值得注意的有以下几点：

1、罐盖21与制备罐4为螺纹连接，连接较为稳定，且二者相连接的部分安装有密封圈，能够起到较好的密封效果。

2、制备罐4的外部固定安装有海绵套17，可起到较好的保温效果，可防止制备罐4内的温度外流。

3、隔板12将制备罐4分为加工区与加热区，可起到阻隔的作用，可防止加热区内的尾气进入到加工区内，且隔板12具有良好的导热性，能够将加热区内的温度较好的传导至加工区内。

4、抽气机构包括固定安装在箱体1上的抽风机6，抽风机6上连通有一根出风管7，且出风管7的开口位于箱体1的外部，抽风机6与制备罐4之间连通有抽气管与除尘管8，且除尘管8上固定安装有电阀门一，抽风机6能够将制备罐4加工区内的空气抽除，从而使制备罐4内形成真空状态，可利于高纯钌靶的制备，且抽风机6能够将加热区内燃烧后的剩余尾气进行抽除，从而便于下次的制备。

5、导热轴11具有良好的导热性，能够将焚烧机3工作时产生的热量传导至加工区内，从而便于高纯钌靶的制备。

6、抽风机6的型号优选为JF-D580型抽风机。

导热轴11上固定安装有多个放置机构，隔板12与最下层的放置机构之间固定连接有多个导热杆13，制备罐4内通过两个电动伸缩杆10固定安装有两个点火杆20，焚烧机3与制备罐4之间连通有排气管9，制备罐4上固定安装有温度传感器16；

上述值得注意的有以下几点：

1、放置机构包括固定安装在导热轴11上的底板14，底板14上固定安装有制备块19与两个加热棒15，制备块19用于高纯钌靶的制备，底板14具有良好的导热性，能够将导热轴11内的温度有效的传导至制备块19内，从而可为高纯钌靶的制备的提供较高的温度。

2、导热杆13具有良好的导热性，可以将加热区内产生的温度传导至底板14上，从而可进行二次加温。

3、点火杆20在电动伸缩杆10的推动下与导热轴11相接触，从而可产生火焰，从而将尾气中的易燃物质点燃，进行燃烧导热。

4、箱体1内固定安装有控制器18，且控制器18与抽风机6、焚烧机3、电动伸缩杆10、加热棒15、温度传感器16之间均为电连接，可使用控制器18控制上述器件的运行状态。

5、进料管5上固定安装有电阀门二，可在不使用时将电阀门二关闭，可防止外界的气体进入到焚烧机3内而影响其正常工作。

6、两个电动伸缩杆10的外部均套设有防尘罩，用于保护电动伸缩杆10，防止尾气进入到电动伸缩杆10内而影响其正常工作。

7、控制器18为PLC控制器，电动伸缩杆10的型号优选为JINGE-1601型电动伸缩杆，温度传感器16的型号优选为JCJ175A型温度传感器。

本实用新型中，操作人员可打开箱门与罐盖21，将原材放置在制备块19上，并关闭罐盖21与箱门，启动抽风机6，将制备罐4内的空气抽除，即可开启焚烧机3，对原材进行加热，加热一段时间内，可开启电动伸缩杆10，使点火杆20与导热轴11接触点火，从而使加热区内尾气燃烧，对原材进行二次加热，并使用温度传感器16进行实时温度监控，且可开启加热棒15，对原材进行三次加热，从而使加热升温效果更好，在制备完成后可开启除尘管8内的电阀门一，使用抽风机6将加热区内剩余的尾气抽除。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种用于高纯钌靶制备的升温装置，包括具有箱门的箱体（1），其特征在于，所述箱体（1）内通过加热箱（2）固定安装有制备罐（4），所述制备罐（4）上螺纹安装有罐盖（21），所述箱体（1）上安装有抽气机构，所述制备罐（4）上固定安装有隔板（12），所述加热箱（2）内通过焚烧机（3）固定安装有导热轴（11），且导热轴（11）与焚烧机（3）的出热口相固定，且焚烧机（3）与箱体（1）之间连通有进料管（5），所述导热轴（11）上固定安装有多个放置机构，所述隔板（12）与最下层的放置机构之间固定连接有多个导热杆（13），所述制备罐（4）内通过两个电动伸缩杆（10）固定安装有两个点火杆（20），所述焚烧机（3）与制备罐（4）之间连通有排气管（9），所述制备罐（4）上固定安装有温度传感器（16）。

2.根据权利要求1所述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置，其特征在于，所述抽气机构包括固定安装在箱体（1）上的抽风机（6），所述抽风机（6）上连通有一根出风管（7），且出风管（7）的开口位于箱体（1）的外部，所述抽风机（6）与制备罐（4）之间连通有抽气管与除尘管（8），且除尘管（8）上固定安装有电阀门一。

3.根据权利要求1所述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置，其特征在于，所述放置机构包括固定安装在导热轴（11）上的底板（14），所述底板（14）上固定安装有制备块（19）与两个加热棒（15）。

4.根据权利要求2所述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置，其特征在于，所述制备罐（4）的外部固定安装有海绵套（17）。

5.根据权利要求1所述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置，其特征在于，所述进料管（5）上固定安装有一个电阀门二。

6.根据权利要求1所述的一种用于高纯钌靶制备的升温装置，其特征在于，所述两个电动伸缩杆（10）的外部均套设有防尘罩。

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