CN212512412U - 一种快速升温碳化硅烧结炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及烧结炉技术领域,且公开了一种快速升温碳化硅烧结炉,包括炉体,所述炉体的外部固定安装有支撑架,所述支撑架的内部固定安装有数量为两个的支撑梁,所述炉体的右侧固定安装有抽风管,所述抽风管的右侧固定安装有真空泵,所述炉体的底部固定安装有位于支撑架内部的加热器。该快速升温碳化硅烧结炉,螺纹套上设置位于限位滑槽内部的限位滑块,便于在螺纹套运动的同时对其保证运动稳定的作用,对螺纹套的运动起到限位的效果,而被两个螺纹套带动压缩板向炉体的内底部移动,以此实现减少空间大小的作用,进而当加热器在对炉体加热时,不会因为其内部空间较大造成热空气传递效果差并影响炉体内部加热效果的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及烧结炉技术领域,具体为一种快速升温碳化硅烧结炉。
背景技术
烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备,烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分和完成铝背场及栅线烧结。
现有的烧结炉应用已经十分广泛了,具有结构简单使用方便的优点,针对现有的烧结炉,其加热机构加热速度快,升温速率快,但是现有的内部空间较大,进而热空气传递到整个烧结炉的内部需要时间,进而需要降低了发热效率,从而降低了烧结炉的温度提升速度,难以满足社会的需求,故而提出了一种快速升温碳化硅烧结炉来解决上述中的问题。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种快速升温碳化硅烧结炉,具备提升升温速度的优点,解决了现有的烧结炉,其加热机构加热速度快,升温速率快,但是现有的内部空间较大,进而热空气传递到整个烧结炉的内部需要时间,进而需要降低了发热效率,从而降低了烧结炉的温度提升速度的问题。
(二)技术方案
为实现上述提升升温速度的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种快速升温碳化硅烧结炉,包括炉体,所述炉体的外部固定安装有支撑架,所述支撑架的内部固定安装有数量为两个的支撑梁,所述炉体的右侧固定安装有抽风管,所述抽风管的右侧固定安装有真空泵,所述炉体的底部固定安装有位于支撑架内部的加热器,所述炉体的顶部固定安装有温测机构,所述温测机构的外部固定安装有位于炉体顶部的支撑顶板,所述炉体的顶部左右两侧均固定安装有位于支撑顶板底部的支撑座,所述支撑顶板的顶部左右两侧均固定安装有电机,所述电机的输出轴处固定安装有贯穿支撑顶板、支撑座和炉体的顶部并延伸至炉体内部的丝杠,所述丝杠的外部螺纹连接有位于炉体内部的螺纹套,所述炉体的内部左右两侧均开设有限位滑槽,所述螺纹套的一侧固定安装有位于限位滑槽内部的限位滑块,两个所述螺纹套的相对面均与压缩板固定连接。
优选的,所述支撑架套接在炉体的外部,且炉体的外部设置有位于支撑架顶部的耳。
优选的,所述真空泵通过抽风管与炉体连接为一体,所述加热器的顶部设置有插接至炉体内部的加热管。
优选的,所述温测机构的前侧设置有温度表,所述支撑顶板套接在温测机构的外部,所述电机的底部设置有与支撑顶板连接的锁紧螺栓。
优选的,所述支撑顶板、支撑座的内部均开设有位于丝杠外部的限位孔,且丝杆与炉体的连接关系为转动连接。
优选的,所述螺纹套通过限位滑块在限位滑槽的内部运动实现与炉体的滑动连接,所述压缩板的前后两侧分别与炉体内前壁和内后壁相贴合。
(三)有益效果
与现有技术相比,本实用新型提供了一种快速升温碳化硅烧结炉,具备以下有益效果:
该快速升温碳化硅烧结炉,通过支撑顶板上设置的电机,便于工作者将其启动后运转,进而使电机运动后带动丝杠在炉体的内部转动,通过螺纹套与丝杠为螺纹连接,进而在丝杠运动的同时带动螺纹套运动,通过两个螺纹套借压缩板连接为一体,进而两个螺纹套运动的同时不会跟随丝杠转动,而螺纹套上设置位于限位滑槽内部的限位滑块,便于在螺纹套运动的同时对其保证运动稳定的作用,对螺纹套的运动起到限位的效果,而被两个螺纹套带动压缩板向炉体的内底部移动,以此实现减少空间大小的作用,进而当加热器在对炉体加热时,不会因为其内部空间较大造成热空气传递效果差并影响炉体内部加热效果的问题。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为本实用新型剖视结构示意图。
图中:1炉体、2支撑架、3支撑梁、4抽风管、5抽风管、6加热器、7温测机构、8支撑顶板、9支撑座、10电机、11丝杠、12螺纹套、13限位滑槽、14限位滑块、15压缩板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-2,一种快速升温碳化硅烧结炉,包括炉体1,炉体1的外部固定安装有支撑架2,支撑架2套接在炉体1的外部,且炉体1的外部设置有位于支撑架2顶部的耳座支撑架2的内部固定安装有数量为两个的支撑梁3,炉体1的右侧固定安装有抽风管4,抽风管4的右侧固定安装有真空泵5,真空泵5通过抽风管4与炉体1连接为一体,炉体1的底部固定安装有位于支撑架2内部的加热器6,加热器6的顶部设置有插接至炉体1内部的加热管,炉体1的顶部固定安装有温测机构7,温测机构7的前侧设置有温度表,温测机构7的外部固定安装有位于炉体1顶部的支撑顶板8,支撑顶板8套接在温测机构7的外部,炉体1的顶部左右两侧均固定安装有位于支撑顶板8底部的支撑座9,支撑顶板8的顶部左右两侧均固定安装有电机10,电机10的底部设置有与支撑顶板8连接的锁紧螺栓,电机10的输出轴处固定安装有贯穿支撑顶板8、支撑座9和炉体1的顶部并延伸至炉体1内部的丝杠11,支撑顶板8、支撑座9的内部均开设有位于丝杠11外部的限位孔,且丝杆11与炉体1的连接关系为转动连接,丝杠11的外部螺纹连接有位于炉体1内部的螺纹套12,炉体1的内部左右两侧均开设有限位滑槽13,螺纹套12的一侧固定安装有位于限位滑槽13内部的限位滑块14,螺纹套12通过限位滑块14在限位滑槽13的内部运动实现与炉体1的滑动连接,两个螺纹套12的相对面均与压缩板15固定连接,压缩板15的前后两侧分别与炉体1内前壁和内后壁相贴合。
综上所述,该快速升温碳化硅烧结炉,通过支撑顶板8上设置的电机10,便于工作者将其启动后运转,进而使电机10运动后带动丝杠11在炉体1的内部转动,通过螺纹套12与丝杠11为螺纹连接,进而在丝杠11运动的同时带动螺纹套12运动,通过两个螺纹套12借压缩板15连接为一体,进而两个螺纹套12运动的同时不会跟随丝杠11转动,而螺纹套12上设置位于限位滑槽13内部的限位滑块14,便于在螺纹套12运动的同时对其保证运动稳定的作用,对螺纹套12的运动起到限位的效果,而被两个螺纹套12带动压缩板15向炉体1的内底部移动,以此实现减少空间大小的作用,进而当加热器6在对炉体1加热时,不会因为其内部空间较大造成热空气传递效果差并影响炉体1内部加热效果的问题。
需要说明的是,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种快速升温碳化硅烧结炉,包括炉体(1),其特征在于:所述炉体(1)的外部固定安装有支撑架(2),所述支撑架(2)的内部固定安装有数量为两个的支撑梁(3),所述炉体(1)的右侧固定安装有抽风管(4),所述抽风管(4)的右侧固定安装有真空泵(5),所述炉体(1)的底部固定安装有位于支撑架(2)内部的加热器(6),所述炉体(1)的顶部固定安装有温测机构(7),所述温测机构(7)的外部固定安装有位于炉体(1)顶部的支撑顶板(8),所述炉体(1)的顶部左右两侧均固定安装有位于支撑顶板(8)底部的支撑座(9),所述支撑顶板(8)的顶部左右两侧均固定安装有电机(10),所述电机(10)的输出轴处固定安装有贯穿支撑顶板(8)、支撑座(9)和炉体(1)的顶部并延伸至炉体(1)内部的丝杠(11),所述丝杠(11)的外部螺纹连接有位于炉体(1)内部的螺纹套(12),所述炉体(1)的内部左右两侧均开设有限位滑槽(13),所述螺纹套(12)的一侧固定安装有位于限位滑槽(13)内部的限位滑块(14),两个所述螺纹套(12)的相对面均与压缩板(15)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种快速升温碳化硅烧结炉,其特征在于:所述支撑架(2)套接在炉体(1)的外部,且炉体(1)的外部设置有位于支撑架(2)顶部的耳座。
3.根据权利要求1所述的一种快速升温碳化硅烧结炉,其特征在于:所述真空泵(5)通过抽风管(4)与炉体(1)连接为一体,所述加热器(6)的顶部设置有插接至炉体(1)内部的加热管。
4.根据权利要求1所述的一种快速升温碳化硅烧结炉,其特征在于:所述温测机构(7)的前侧设置有温度表,所述支撑顶板(8)套接在温测机构(7)的外部,所述电机(10)的底部设置有与支撑顶板(8)连接的锁紧螺栓。
5.根据权利要求1所述的一种快速升温碳化硅烧结炉,其特征在于:所述支撑顶板(8)、支撑座(9)的内部均开设有位于丝杠(11)外部的限位孔,且丝杆(11)与炉体(1)的连接关系为转动连接。
6.根据权利要求1所述的一种快速升温碳化硅烧结炉,其特征在于:所述螺纹套(12)通过限位滑块(14)在限位滑槽(13)的内部运动实现与炉体(1)的滑动连接,所述压缩板(15)的前后两侧分别与炉体(1)内前壁和内后壁相贴合。
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