CN212429229U - 一种可分体应用的一体化分子泵 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种可分体应用的一体化分子泵，包括分子泵本体及用于安装分子泵的底座；所述分子泵本体顶部设有进气口法兰，一侧设有排气口法兰；所述分子泵本体与底座可拆卸连接；所述底座内置用于控制分子泵本体的控制单元；所述控制单元连接分子泵本体。本实用新型所述的一种可分体应用的一体化分子泵，打破了分体式分子泵和一体式分子泵的界限，使得一款分子泵既可以分体式应用也可以一体式应用，极大的提高了分子泵的使用适应性，可以不再被不同或是特殊的使用环境局限，能够灵活的应用到任何环境中。

Description

一种可分体应用的一体化分子泵

技术领域

本实用新型属于真空获得设备领域，尤其是涉及一种可分体应用的一体化分子泵。

背景技术

现有分子泵产品有分体式的和一体化两种形式，相互之间不能直接转化，不能同时适应客户现场的各种工况，分体式的是电气控制部分和机械部分可以根据需求分开安装在不同的位置，但是整体占用空间较多；一体化的是电气控制部分和机械部分集成到一起，使得分子泵更加紧凑，但是有些特殊环境比如有辐射等会对电子器件造成损坏或是干扰的应用不方便。客户设计生产线时需要根据现有分子泵严格设计，否则将影响分子泵的使用；另外客户技术更新，对设备进行技术改造时也会相应的调整分子泵的安装，目前的两种形式都会使调整方案变得复杂；也有一部分客户需要在不同的设备上使用同一台泵，目前的两种形式也会导致某些设备不方便安装。这些都给客户使用时造成了一些麻烦。本实用新型专利结合现有的两种形式，从结构上重新设计，使得分子泵的电气控制部分和机械部分既可以分开使用也可以集成使用，大大提高了使用的便捷性。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型旨在克服上述现有技术中存在的缺陷，提出一种可分体应用的一体化分子泵。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种可分体应用的一体化分子泵，包括分子泵本体及用于安装分子泵的底座；所述分子泵本体顶部设有进气口法兰，一侧设有排气口法兰；

所述分子泵本体与底座可拆卸连接；所述底座内置用于控制分子泵本体的控制单元；所述控制单元连接分子泵本体。

进一步的，所述分子泵本体远离排气口法兰的一侧设有第一航空插头，底座上设有与第一航空插头对接的第二航空插头；所述控制单元通过第二航空插头和第一航空插头与分子泵本体连接。

进一步的，所述分子泵本体底部设有连接底盖，连接底盖顶部与分子泵本体固定连接；

所述底座顶部设有平行定位块，平行定位块横截面为T型；所述连接底盖底部设有与平行定位块对应的定位凹槽。

进一步的，所述连接底盖的宽度大于分子泵本体底部的外径；所述连接底盖顶部与定位凹槽对应的位置设有第一螺钉孔，平行凸块顶部对应设有第二螺钉孔；所述第一螺钉孔和第二螺钉孔内对应设有用于固定连接底盖和底座的固定螺栓。

进一步的，所述底座还包括用于连接第一航空插头和第二航空插头的控制电缆。

进一步的，所述底座一侧还设有显示面板和通信接口，显示面板和通信接口连接控制单元。

相对于现有技术，本实用新型具有以下优势：

该技术方案打破了分体式分子泵和一体式分子泵的界限，使得一款分子泵既可以分体式应用也可以一体式应用，极大的提高了分子泵的使用适应性，可以不再被不同或是特殊的使用环境局限，能够灵活的应用到任何环境中。该技术方案可以极大的提高客户的安装设计效率，实现一泵多用。简便又可靠的安装对接方式也便于客户正确的对接分子泵电气控制部分和机械部分。另外本方案也可以同时对市场上现有的泵有效，可以略做调整就可以兼容市场现有的分子泵，对市场现有分子泵的后期维护和升级提供了简便可行的方案。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例所述的分子泵爆炸图示意图；

图2为本实用新型实施例所述的分子泵一体化使用状态示意图；

图3为本实用新型实施例所述的分子泵分体应用状态示意图。

附图标记说明：

1、分子泵本体；2、进气口法兰；3、排气口法兰；4、第一航空插头；5、连接底盖；6、定位凹槽；7、固定螺栓；8、第二航空插头；9、底座；10、显示面板；11、平行定位块；12、通信接口。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

如图1所示，一种可分体应用的一体化分子泵，包括分子泵本体1及用于安装分子泵的底座9；所述分子泵本体1顶部设有进气口法兰2，一侧设有排气口法兰3；

所述分子泵本体1与底座9可拆卸连接；所述底座9内置用于控制分子泵本体1的控制单元；所述控制单元连接分子泵本体1。所述控制单元为分子泵本体1本身的电气控制部分，为现有技术，不在本专利的保护范围内，本专利主要保护可分体应用的一体化分子泵结构。

如图1-3所示，本方案主要有电气控制部分即底座9、机械部分即分子泵本体1和控制电缆3部分组成，其中控制电缆为选配件。电气控制部分和机械部分可组合成一体式分子泵；电气控制部分、机械部分和控制电缆可组合成分体式分子泵。电气控制部分配有显示面板10和通信接口12，一体或是分体时都可以通过面板控制或通信接口12控制机械部分，也可以读取机械部分的运行信息。

所述分子泵本体1远离排气口法兰3的一侧设有第一航空插头4，底座9上设有与第一航空插头4对接的第二航空插头8；所述控制单元通过第二航空插头8和第一航空插头4与分子泵本体1连接。

所述分子泵本体1底部设有连接底盖5，连接底盖5顶部与分子泵本体1固定连接；

所述底座9顶部设有平行定位块11，平行定位块11横截面为T型；所述连接底盖5底部设有与平行定位块11对应的定位凹槽6。

所述连接底盖5的宽度大于分子泵本体1底部的外径；所述连接底盖5顶部与定位凹槽6对应的位置设有第一螺钉孔，平行凸块顶部对应设有第二螺钉孔；所述第一螺钉孔和第二螺钉孔内对应设有用于固定连接底盖5和底座9的固定螺栓7。

另一实施例中，分子泵本体1底部设有与平行定位块11对应的导轨槽；分子泵外侧与导轨槽对应的位置设有限位孔，限位孔贯通至分子泵本体1另一侧；所述平行定位块11上设有与限位孔对应的固定孔；限位孔和固定孔内对应设有限位销；所述分子泵本体1与底座9通过限位销安装。

所述底座9还包括用于连接第一航空插头4和第二航空插头8的控制电缆。

所述底座9一侧还设有显示面板10和通信接口12，显示面板10和通信接口12连接控制单元。

由于电气控制部分独立出来作为一个大部件，里面包含的电路板可以根据空间小型化，同时独立化的控制器可以做到IP54以上的防护等级，可以独立通水冷却，使得控制部分的功率板可以进一步做小。电气控制部分只有航空插头一处可以对外连接通信，航空插头本身就具有IP54以上的防护等级。同理，机械部分也是一个相对独立的一个大部件，结构上也可以根据控制器的接口灵活微调，对外接口出了进气口和排气口外还有航空插头。

如图2和图3所示，当一体式组合时，通过电气控制部分即底座9上的平行凸块和机械部分即分子泵本体1连接底盖5上的定位凹槽6配合可以轻松安装好，然后通过固定螺栓7将两者固定就可以安全使用了。当分体式组合时，通过控制电缆两端的航空插头分别连接底座9和分子泵本体1，由于分子泵本体1的连接底盖5的是凹槽，所以不会影响分子泵本体1的安装，同时底座9部分虽然是凸块，但是凸块位置不是最大外形尺寸处，所以也不会影响安装。另外航空插头都选用了自动锁定功能，安装后都能安全使用。这样客户可根据需要任意组合安装分子泵。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种可分体应用的一体化分子泵，其特征在于：包括分子泵本体(1)及用于安装分子泵的底座(9)；所述分子泵本体(1)顶部设有进气口法兰(2)，一侧设有排气口法兰(3)；

所述分子泵本体(1)与底座(9)可拆卸连接；所述分子泵本体(1)的控制单元设置在底座(9)内；所述控制单元连接分子泵本体(1)。

2.根据权利要求1所述的一种可分体应用的一体化分子泵，其特征在于：所述分子泵本体(1)远离排气口法兰(3)的一侧设有第一航空插头(4)，底座(9)上设有与第一航空插头(4)对接的第二航空插头(8)；所述控制单元通过第二航空插头(8)和第一航空插头(4)与分子泵本体(1)连接。

3.根据权利要求2所述的一种可分体应用的一体化分子泵，其特征在于：所述分子泵本体(1)底部设有连接底盖(5)，连接底盖(5)顶部与分子泵本体(1)固定连接；

所述底座(9)顶部设有平行定位块(11)，平行定位块(11)横截面为T型；所述连接底盖(5)底部设有与平行定位块(11)对应的定位凹槽(6)。

4.根据权利要求3所述的一种可分体应用的一体化分子泵，其特征在于：所述连接底盖(5)的宽度大于分子泵本体(1)底部的外径；所述连接底盖(5)顶部与定位凹槽(6)对应的位置设有第一螺钉孔，平行凸块顶部对应设有第二螺钉孔；所述第一螺钉孔和第二螺钉孔内对应设有用于固定连接底盖(5)和底座(9)的固定螺栓(7)。

5.根据权利要求2所述的一种可分体应用的一体化分子泵，其特征在于：所述底座(9)还包括用于连接第一航空插头(4)和第二航空插头(8)的控制电缆。

6.根据权利要求1所述的一种可分体应用的一体化分子泵，其特征在于：所述底座(9)一侧还设有显示面板(10)和通信接口(12)，显示面板(10)和通信接口(12)连接控制单元。

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