CN212381419U - 分区加热的晶圆加热装置、多工位点胶机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种分区加热的晶圆加热装置、多工位点胶机，分区加热的晶圆加热装置包括：发热支撑台、加热管、加热盘、至少两个热电偶、温控器，发热支撑台内限定有加热腔；加热管伸入加热腔以进行加热；加热盘贴合于发热支撑台且位于发热支撑台的上方，加热盘的上表面形成为加热面，加热盘接收加热管的热量并由加热面传递给晶圆，加热盘上设有至少两个加热区；至少两个热电偶分别设在至少两个加热区以检测每个加热区的温度；温控器与加热管和热电偶相连，温控器根据热电偶检测的温度控制加热管加热。该分区加热的晶圆加热装置及晶圆加热方法具有使晶圆受热均匀，加热过程平稳的优点。

Description

分区加热的晶圆加热装置、多工位点胶机

技术领域

本实用新型属于点胶技术领域，更具体地，涉及一种分区加热的晶圆加热装置、具有该晶圆加热装置的多工位点胶机。

背景技术

随着科学技术的不断进步，市场对半导体需求的不断增加，晶圆是制造半导体芯片的基本材料，晶圆的点胶技术是先进电子制造业中至为重要的关键性术，其广泛应用于芯片封装和集成电路装备中，目的是为了减少产品在使用过程中因冷热变化、跌落、振动等因素导致元件的失效机率，从而延长产品的使用寿命。因此，点胶技术作为电子封装技术的关键和核心，其技术水平的提高直接关系到封装技术的优劣。点胶机作为一种新型的自动化设备主要是完成胶体以特定方式通过预先设定的路径点滴到相应位置的功能。

在晶圆的点胶过程中，晶圆温度需要达到预设温度，低于预设温度容易爆裂，因此晶圆加热装置对于点胶工艺有至关重要的影响。但是，目前的晶圆加热装置极易产生温度差，导致点胶效果差，产品成品率低等问题的出现。因此，对于晶圆加热装置的温度检测和控制需要得到进一步地完善，从而有效保证点胶结果。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型提出一种分区加热的晶圆加热装置，该分区加热的晶圆加热装置具有使晶圆受热均匀的优点。

本实用新型还提出一种多工位点胶机，该多工位点胶机具有使晶圆受热均匀，点胶效率更高，成品效果更好的优点。

根据本实用新型第一方面实施例的分区加热的晶圆加热装置，包括：发热支撑台，所述发热支撑台内限定有加热腔；加热管，所述加热管伸入所述加热腔以进行加热；加热盘，所述加热盘贴合于所述发热支撑台且位于发热支撑台的上方，所述加热盘的上表面形成为加热面，所述加热盘接收所述加热管的热量并由所述加热面传递给晶圆，所述加热盘上设有至少两个加热区；至少两个热电偶，至少两个所述热电偶分别设在至少两个所述加热区以检测每个所述加热区的温度；温控器，所述温控器与所述加热管和所述热电偶相连，所述温控器根据所述热电偶检测的温度控制所述加热管加热。

根据本实用新型实施例的分区加热的晶圆加热装置，通过将发热支撑台、加热管、加热盘、至少两个热电偶和温控器结合，可以实现对晶圆加热装置的分区控制，使得晶圆受热均匀，点胶效率更高，成品效果更好。

根据本实用新型的一个实施例，所述加热盘形成为圆形，所述加热盘沿其周向均匀分隔成三个所述加热区，每个所述加热区分别设有一个所述热电偶。

根据本实用新型的一个实施例，所述加热盘的中心还设有一个所述热电偶，所述热电偶用于检测所述加热盘中心的温度。

根据本实用新型的一个实施例，所述温控器在两个所述热电偶检测到的温度差值大于预设值时发出报警信息。

根据本实用新型的一个实施例，所述温控器在两个所述热电偶检测到的温度差值大于预设值时控制所述加热管持续加热预定时间，在预定时间后，两个所述热电偶的温度差值仍大于所述预设值，则发出报警信息。

根据本实用新型的一个实施例，所述预设值为3℃，所述预定时间为5min。

根据本实用新型的第二方面实施例的多工位点胶机，包括上述任一实施例所述的分区加热的晶圆加热装置。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型实施例的分区加热的晶圆加热装置的结构示意图；

图2是根据本实用新型实施例的分区加热的晶圆加热装置的加热管的结构示意图；

图3是根据本实用新型实施例的分区加热的晶圆加热装置的晶圆加热方法的流程图。

附图标记：

分区加热的晶圆加热装置210；

发热支撑台250；

加热管252；加热盘257；热电偶258。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考附图具体描述根据本实用新型实施例的分区加热的晶圆加热装置210。

如图1至图3所示，根据本实用新型实施例的分区加热的晶圆加热装置210，包括：发热支撑台250、加热管252、加热盘257、至少两个热电偶258和温控器。

具体而言，发热支撑台250内限定有加热腔，加热管252伸入加热腔以进行加热，加热盘257贴合于发热支撑台且位于发热支撑台的上方，加热盘257的上表面形成为加热面，加热盘257接收加热管252的热量并由加热面传递给晶圆，加热盘257上设有至少两个加热区，至少两个热电偶258分别设在至少两个加热区以检测每个加热区的温度，温控器与加热管252和热电偶258相连，温控器根据热电偶258检测的温度控制加热管252加热。

换言之，根据本实用新型实施例的分区加热的晶圆加热装置210，主要由发热支撑台250、加热管252、加热盘257、至少两个热电偶258和温控器组成。其中，在发热支撑台250的内部设有加热腔，加热腔内设有用于给晶圆提供热量的加热管252，加热管252可弯曲成型。在加热腔上方设有加热盘257，加热盘257的上表面为加热面，加热面可以将加热管252提供的热量传递给晶圆，使晶圆升温。在加热盘257上至少可以划分出两个加热区，至少两个热电偶258分别设在至少两个加热区以检测每个加热区的温度。分区加热的晶圆加热装置210还设有温控器，温控器安装于机架上且能够与加热管252和热电偶258相连，热电偶258检测得到的温度信息可以反馈给温控器，从而温控器可以根据反馈情况对加热管252的加热状态进行控制。

由此，根据本实用新型实施例的分区加热的晶圆加热装置210，通过将发热支撑台250、加热管252、加热盘257、至少两个热电偶258和温控器结合，可以实现对晶圆加热装置210的分区控制，实现对于晶圆的温度的分区控制，使得晶圆受热均匀，点胶效率更高，成品效果更好。

根据本实用新型的一个实施例，加热盘257形成为圆形，加热盘257沿其周向均匀分隔成三个加热区，每个加热区分别设有一个热电偶258。也就是说，为配合晶圆形状，可将加热盘257设计为圆形，并且将加热盘257等分成三个扇形加热区，每个加热区都有反馈其温度的热电偶258，三个热电偶258可设置为分别单独工作，互不影响，从而可以实现温区单独控制。

在本实用新型的一些具体实施方式中，加热盘257的中心还设有一个热电偶258，热电偶258用于检测加热盘257中心的温度。通过在加热盘257的中心设置热电偶258，可以检测加热盘257中心的温度，通过热电偶258能够将加热盘257的中心温度反馈给温控器。

可选地，温控器在两个热电偶258检测到的温度差值大于预设值时发出报警信息。通过温控器读取上述三个加热区的温度数据以及中心的温度数据，当四组数据最大值与最小值相差大于预设值时，温控器会发出报警信息，及时提醒工作人员注意，防止对晶圆造成损伤。

优选地，温控器在两个热电偶258检测到的温度差值大于预设值时控制加热管252持续加热预定时间，在预定时间后，两个热电偶258的温度差值仍大于预设值，则发出报警信息。也就是说，当温控器检测到的温度差值大于预设值时，会在预定时间内控制加热管252对晶圆进行升温直至温度差小于预设值才会停止发出警报。若超出预定时间，晶圆未达到预设温度，温度差仍大于预设值，温控器则会提醒工作人员，进行检查或更换加热管252。

根据本实用新型的一个实施例，预设值为3℃，预定时间为5min。也就是说，三个加热区以及中心的热电偶258反馈的温度数值的最大温度差若超过3℃，则温控器会发出报警信息。此时，加热管252会开始加热使温度差小于3℃，如果加热5min后，最大温度差仍超过3℃，则温控器会发出报警，提醒工作人员更换加热管252。

根据本实用新型实施例的多工位点胶机具有上述任一实施例所述的分区加热的晶圆加热装置210，由于根据本实用新型实施例的具有上述技术效果，因此，根据本实用新型实施例的多工位点胶机也具有相应的技术效果，使得晶圆受热均匀，点胶效率更高，成品效果更好。

根据本发实用新型实施例的多工位点胶机的其他结构和操作对于本领域技术人员而言都是可以理解并且容易实现的，因此不再详细描述。

如图3所示，根据本实用新型实施例的晶圆加热方法，包括以下步骤：S1、将晶圆置于晶圆加热装置210上进行加热，晶圆加热装置210上设有至少两个加热区；S2、加热过程中分别检测每个加热区的温度，并判断其中任意两个加热区的温差是否大于预设值，若大于，则执行步骤S3，若不大于，则继续加热；S3、发出第一报警信息，同时继续对晶圆进行加热；S4、加热预定时间后，判断其中任意两个加热区的温差是否仍然大于预设值，若大于，则发出第二报警信息，停止加热，若不大于，则继续加热。通过上述加热方法可以实现对晶圆进行加热，并且加热均匀，加热过程缓慢，不会造成晶圆因升温不均而爆裂。

根据本实用新型的一个实施例，加热区为三个，每个加热区分别设有用于检测温度的热电偶258。将加热盘257等分成三个扇形加热区，每个加热区都有反馈其温度的热电偶258，三个热电偶258分别工作，互不影响。

在本实用新型的一些具体实施方式中，预设值为3℃，预定时间为5min。三个加热区以及中心的热电偶258反馈的温度数值的最大温度差若超过3℃，则温控器会发出报警信息。此时，加热管252会开始加热使温度差小于3℃，如果加热5min后，最大温度差仍超过3℃，则温控器会发出报警，提醒工作人员更换加热管252。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种分区加热的晶圆加热装置，其特征在于，包括：

发热支撑台，所述发热支撑台内限定有加热腔；

加热管，所述加热管伸入所述加热腔以进行加热；

加热盘，所述加热盘贴合于所述发热支撑台且位于发热支撑台的上方，所述加热盘的上表面形成为加热面，所述加热盘接收所述加热管的热量并由所述加热面传递给晶圆，所述加热盘上设有至少两个加热区；

至少两个热电偶，至少两个所述热电偶分别设在至少两个所述加热区以检测每个所述加热区的温度；

温控器，所述温控器与所述加热管和所述热电偶相连，所述温控器根据所述热电偶检测的温度控制所述加热管加热。

2.根据权利要求1所述的分区加热的晶圆加热装置，其特征在于，所述加热盘形成为圆形，所述加热盘沿其周向均匀分隔成三个所述加热区，每个所述加热区分别设有一个所述热电偶。

3.根据权利要求2所述的分区加热的晶圆加热装置，其特征在于，所述加热盘的中心还设有一个所述热电偶，所述热电偶用于检测所述加热盘中心的温度。

4.根据权利要求1所述的分区加热的晶圆加热装置，其特征在于，所述温控器在两个所述热电偶检测到的温度差值大于预设值时发出报警信息。

5.根据权利要求4所述的分区加热的晶圆加热装置，其特征在于，所述温控器在两个所述热电偶检测到的温度差值大于预设值时控制所述加热管持续加热预定时间，在预定时间后，两个所述热电偶的温度差值仍大于所述预设值，则发出报警信息。

6.根据权利要求5所述的分区加热的晶圆加热装置，其特征在于，所述预设值为3℃，所述预定时间为5min。

7.一种多工位点胶机，其特征在于，包括权利要求1-6中任一项所述的分区加热的晶圆加热装置。

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