CN212257708U - 轴芯短路装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供的一种轴芯短路装置，涉及半导体设备技术领域，以在一定程度上解决现有的短路保护装置无法匹配不同直径轴芯的技术问题。本实用新型提供的轴芯短路装置,包括第一短路机构、第二短路机构以及导线；第一短路机构的一端与第二短路机构的一端通过导线相导通；第一短路机构与第二短路机构均包括壳体、顶撑件、多个弧形件以及弹性件；多个弧形件沿壳体的周向，间隔设置于壳体内，且围设成环形的定位空间，定位空间用于固定轴芯；至少一个弧形件的外壁连接有弹性件，弹性件远离弧形件的一端与壳体相连接；顶撑件能够进入定位空间内，并推动连接有弹性件的弧形件相对其他多个弧形件沿定位空间的径向运动，以改变定位空间的径向尺寸。

Description

轴芯短路装置

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其是涉及一种轴芯短路装置。

背景技术

在半导体设备非工作状态下，需要将轴芯进行短路保护，目前的轴芯短路装置，一种尺寸的轴芯需要匹配相应的轴芯套筒。而一旦轴芯尺寸发生变化，则需要再次设计制造与轴芯尺寸相对应的短路保护装置，从而导致了现有的短路保护装置的使用率较低，且制造成本较高。

因此，急需提供一种轴芯短路装置以在一定程度上解决现有技术中存在的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种轴芯短路装置，以在一定程度上解决现有的短路保护装置无法匹配不同直径轴芯的技术问题。

本实用新型提供的一种轴芯短路装置，包括第一短路机构、第二短路机构以及导线；所述第一短路机构的一端与所述第二短路机构的一端通过所述导线相导通；所述第一短路机构与所述第二短路机构均包括壳体、顶撑件、多个弧形件以及弹性件；多个所述弧形件沿所述壳体的周向，间隔设置于所述壳体内，且围设成环形的定位空间，所述定位空间用于固定轴芯；至少一个所述弧形件的外壁连接有所述弹性件，所述弹性件远离所述弧形件的一端与所述壳体相连接；所述顶撑件能够进入所述定位空间内，并推动连接有所述弹性件的弧形件相对其他多个所述弧形件沿所述定位空间的径向运动，以改变所述定位空间的径向尺寸。

其中，每个所述弧形件上连接有至少一个所述弹性件。

具体地，所述弧形件上的所述弹性件为多个，且沿第一方向间隔设置。

进一步地，所述弹性件为弹簧。

更进一步地，多个所述弹性件沿所述弧形件的周向设置，且位于同一水平方向上的所述弹性件在自由状态下的长度与所述弧形件的外壁面和所述壳体的内壁面之间的距离相匹配。

其中，所述第一短路机构和第二短路机构还包括连接杆，所述连接杆的一端与所述顶撑件相连接，另一端凸出于所述壳体设置；所述壳体呈筒状，所述顶撑件为球形。

具体地，所述连接杆为螺杆，所述壳体上开设有螺孔，所述连接杆穿过所述螺孔与所述顶撑件相连接；所述连接杆能够在所述第一方向上相对所述壳体移动，以带动所述顶撑件向远离或接近定位环套的方向移动。

其中，本实用新型提供的轴芯短路装置，还包括卷线器；所述卷线器设置于所述第一短路机构的连接杆远离所述壳体的一端，用于回收或释放所述导线；所述导线缠绕于所述卷线器，且所述导线的一端凸出于所述卷线器设置，并与所述第二短路机构的所述连接杆相连接。

具体地，所述卷线器、所述连接杆、所述顶撑件以及所述弧形件均由导电材料形成。

进一步地，所述壳体由绝缘材料形成，所述连接杆以及所述卷线器的外壁上均涂有绝缘涂层。

相对于现有技术，本实用新型提供的轴芯短路装置具有以下优势：

本实用新型提供的轴芯短路装置，包括第一短路机构、第二短路机构以及导线；第一短路机构的一端与第二短路机构的一端通过导线相导通；第一短路机构与第二短路机构均包括壳体、顶撑件、多个弧形件以及弹性件；多个弧形件沿壳体的周向，间隔设置于壳体内，且围设成环形的定位空间，定位空间用于固定轴芯；至少一个弧形件的外壁连接有弹性件，弹性件远离弧形件的一端与壳体相连接；顶撑件能够进入定位空间内，并推动连接有弹性件的弧形件相对其他多个弧形件沿定位空间的径向运动，以改变定位空间的径向尺寸。

由此分析可知，通过沿壳体的周向设置于壳体内的多个弧形件所形成的定位空间，能够对轴芯进行固定。并且由于至少一个弧形件的外壁连接有弹性件，且弹性件远离弧形件的一端与壳体相连接，因此，通过弹性件能够使多个弧形件所形成的环形定位空间始终处于收拢状态。由于本申请中设有能够在推动连接有弹性件的弧形件相对其他多个弧形件沿定位空间的径向运动，因此，当顶撑件滑动时，能够压缩弹性件，从而使定位空间的直径变大，进而匹配不同直径的轴芯。

需要短路保护时，操作人员首先通过使顶撑件向伸入的方向移动，从而通过顶撑件将弧形件所形成的定位空间撑开，之后将轴芯插入定位空间内，通过使顶撑件向远离定位空间的方向移动，并使轴芯进入定位空间内的一端向接近顶撑件的方向移动。

随着顶撑件的移动，被压缩的弹性件逐渐回复，从而使定位空间的径向尺寸逐渐变小，进而抱紧插入定位空间内的轴芯，完成轴芯与第一短路机构和第二短路机构之间的安装连接。

由于第一短路机构和第二短路机构之间通过导线相导通，因此，当轴芯插入第一短路机构和第二短路机构时，两个轴芯之间相导通，从而使轴芯能够处于短路状态。

通过本申请提供的轴芯短路装置，能够适配不同直径尺寸的轴芯，从而在一定程度上解决了不同直径的轴芯之间无法短路防护的技术问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的轴芯短路装置整体结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的轴芯短路装置中定位环套的结构示意图。

图中：1-第一短路机构；2-第二短路机构；3-壳体；4-连接杆；5-定位环套；501-弧形件；6-顶撑件；7-弹性件；8-卷线器；9-导线；

S1-第一方向。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请实施例的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本申请实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“连通”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如在此所使用的，术语“和/或”包括所列出的相关项中的任何一项和任何两项或更多项的任何组合。

为了易于描述，在这里可使用诸如“在……之上”、“上部”、“在……之下”和“下部”的空间关系术语，以描述如附图所示的一个元件与另一元件的关系。这样的空间关系术语意图除了包含在附图中所描绘的方位之外，还包含装置在使用或操作中的不同方位。

在此使用的术语仅用于描述各种示例，并非用于限制本公开。除非上下文另外清楚地指明，否则单数的形式也意图包括复数的形式。术语“包括”、“包含”和“具有”列举存在的所陈述的特征、数量、操作、构件、元件和/或它们的组合，但不排除存在或添加一个或更多个其他特征、数量、操作、构件、元件和/或它们的组合。

由于制造技术和/或公差，可出现附图中所示的形状的变化。因此，这里所描述的示例不限于附图中所示的特定形状，而是包括在制造期间出现的形状上的改变。

这里所描述的示例的特征可按照在理解本申请的公开内容之后将是显而易见的各种方式进行组合。此外，尽管这里所描述的示例具有各种各样的构造，但是如在理解本申请的公开内容之后将显而易见的，其他构造是可能。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本申请要求的保护范围之内。

图1为本实用新型实施例提供的轴芯短路装置的整体结构示意图。

如图1所示，本实用新型提供一种轴芯短路装置，包括第一短路机构1、第二短路机构2以及导线9；第一短路机构1的一端与第二短路机构2的一端通过导线9相导通；第一短路机构1与第二短路机构2均包括壳体3、顶撑件6、多个弧形件501以及弹性件7；多个弧形件501沿壳体3的周向，间隔设置于壳体3内，且围设成环形的定位空间，定位空间用于固定轴芯；至少一个弧形件501的外壁连接有弹性件7，弹性件7远离弧形件501的一端与壳体3相连接；顶撑件6能够推动连接有弹性件7的弧形件501相对其他多个弧形件501沿定位空间的径向运动，以改变定位空间的径向尺寸。

本申请中多个弧形件501组成定位环套，壳体3的一端沿第一方向S1形成有安装凹槽，定位环套5设置于安装凹槽内。

相对于现有技术，本实用新型提供的轴芯短路装置具有以下优势：

本实用新型提供的轴芯短路装置，定位环套5通过弹性件7与壳体3的内壁相连接，且通过弹性件7能够使定位环套5所形成的环形定位空间始终处于收拢状态。由于本申请中设有能够在定位空间内沿第一方向S1滑动的顶撑件6，且顶撑件6的直径大于定位空间的直径，因此，当顶撑件6滑动时，能够压缩弹性件7，从而使定位空间的直径变大，进而匹配不同直径的轴芯。

需要短路保护时，操作人员首先通过连接杆4带动顶撑件6向伸入定位环套5的方向移动，从而通过顶撑件6将定位环套5撑开，之后将轴芯插入定位环套5所形成的定位空间内，通过连接杆4带动顶撑件6向远离定位环套5的方向移动，并使轴芯进入定位空间内的一端向接近顶撑件6的方向移动。

随着顶撑件6的移动，被压缩的弹性件7逐渐回复，从而使定位环套5逐渐收拢，进而抱紧插入定位环套5内的轴芯，完成轴芯与第一短路机构1和第二短路机构2之间的安装连接。

由于第一短路机构1和第二短路机构2之间通过导线9相导通，因此，当轴芯插入第一短路机构1和第二短路机构2时，两个轴芯之间相导通，从而使轴芯能够处于短路状态。

通过本申请提供的轴芯短路装置，能够适配不同直径尺寸的轴芯，从而在一定程度上解决了不同直径的轴芯之间无法短路防护的技术问题。

由于大部分轴芯的横截面为圆形，因此，本申请通过设置定位环套5，且形成有环形的定位空间，能够使定位环套5对轴芯的抱紧效果更好。并且，本申请中的定位环套5可以由柔性的导电材料形成，因此，能够进一步地与轴芯的外壁相贴合，从而提高抱紧效果。

本申请中的顶撑件6的直径大于弹簧处于自由状态下定位环套5的内径，从而当顶撑件6进入定位环套5时，能够扩大定位环套5所形成的定位空间。

此处需要补充说明的是，由于半导体设备中的轴芯与半导体芯片相连接，当半导体设备在非工作状态时，若不将轴芯之间短路，则静电易将半导体芯片损坏。因此，半导体设备在非工作状态下，需要将轴芯之间进行短路保护。因此，本申请提供的轴芯短路装置用于半导体设备的非工作状态下，对轴芯进行短路。

本申请图1示出的第一短路机构1内轴芯的直径与第二短路机构2内轴芯的直径不同仅表示第一短路机构1和第二短路机构2可以适配不同直径的轴芯，并不代表两个需要短路保护的轴芯的直径不同。

图2为本实用新型实施例提供的轴芯短路装置中定位环套5的结构示意图。

其中，如图1结合图2所示，定位环套5包括多个弧形件501，多个弧形件501之间等间距设置，且多个弧形件501上连接有至少一个弹性件7。

通过多个等间距设置的弧形件501能够组成环形的定位空间，以对轴芯进行抱紧定位，并且，由于多个弧形件501为间隔设置，因此，当顶撑件6进入定位空间时，能够使多个弧形件501之间向互相远离的方向移动，从而能够快速地得到扩张，使轴芯插入定位空间内。

本申请中的弧形件501的形状及尺寸均相同，弧形件501上连接的至少一个弹性件7位于弧形件501的中心位置，从而使弹性件7对弧形件501的各处作用力均等。

此处需要补充说明的是，本申请图2中示出的弧形件501的数量为四个仅为其中一种能够实现定位环套5快速扩张的方式，本申请中具有两个以上数量的弧形件501均可。

具体地，如图1结合图2所示，弧形件501上的弹性件7为多个，且沿第一方向S1间隔设置。

多个弹性件7沿弧形件501的周向设置，且位于同一水平方向上的弹性件7的长度与弧形件501的外壁面和壳体3的内壁面之间的距离相匹配。

优选地，本申请中的弹性件7的数量为多个，沿弧形件501的第一方向S1以及周向设置，且每个弧形件501上的弹性件7的位置均相同，从而使每个弧形件501对轴芯施加的压力均相同。

更进一步地，如图1结合图2所示，弹性件7为弹簧，顶撑件6为球形。

弹性件7为弹簧一方面能够快速地使定位环套5进行扩张或收拢，另一方面也能够在一定程度上降低制造成本。

由于顶撑件6需要在定位环套5内沿第一方向S1滑动，因此，将顶撑件6设置为球形能够在一定程度上降低与定位环套5之间的接触面积，从而降低摩擦力。

进一步地，如图1结合图2所示，连接杆4为螺杆，壳体3上开设有螺孔，连接杆4穿过螺孔与顶撑件6相连接；连接杆4能够在第一方向S1上相对壳体3移动，以带动顶撑件6向远离或接近定位环套5的方向移动。

将连接杆4设置为螺杆一方面能够使连接杆4与壳体3能够稳定的连接，另一方面，通过旋拧连接杆4能够快速地带动顶撑件6向伸入或伸出定位环套5的方向移动。

此处需要补充说明的是，本申请中连接杆4与顶撑件6可以通过焊接的方式相连接，从而在一定程度上保证了连接强度。

其中，如图1结合图2所示，本实用新型提供的轴芯短路装置，还包括卷线器8；卷线器8设置于第一短路机构1的连接杆4远离壳体3的一端，用于回收或释放导线9；导线9缠绕于卷线器8内，且导线9的一端凸出于卷线器8设置，并与第二短路机构2的连接杆4相连接。

由于不同半导体设备的轴芯之间的距离不同，因此，本申请通过在第一短路机构1的连接杆4上设置卷线器8，能够对导线9进行释放或回收，一方面能够满足连接不同距离的轴芯的目的，另一方面，也能够使导线9得到回收和保护，避免导线9过长与其他结构相接触，影响整体装置的使用效果。

此处需要补充说明的是，本申请中的卷线器8设置在第一短路机构1上仅为其中一种实施方式，也可将卷线器8设置在第二短路机构2上，凸出于卷线器8的导线9与第一短路机构1的连接杆4相连接。

具体地，如图1结合图2所示，卷线器8、连接杆4、顶撑件6以及定位环套5均由导电材料形成。

由于本申请中需要将两个轴芯相导通以进行短路保护，而本申请中的定位环套5与轴芯相接触，顶撑件6与定位环套5相接触，且与连接杆4相连接，连接杆4与卷线器8相连接，因此，使卷线器8、连接杆4、顶撑件6以及定位环套5均由导电材料形成，通过导线9能够将插入第一短路机构1内的轴芯与插入第二短路机构2内的轴芯相导通，从而实现轴芯之间的短路保护。

优选地，本申请中的壳体3由绝缘材料形成，连接杆4以及卷线器8的外壁上均涂有绝缘涂层。

壳体3由绝缘材料形成，且连接杆4以及卷线器8的外壁上涂有绝缘涂层能够在一定程度上避免外部静电通过壳体3、连接杆4以及卷线器8传递至定位环套5上，从而能够在一定程度上提高整体装置的短路保护效果。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种轴芯短路装置，其特征在于，包括第一短路机构、第二短路机构以及导线；

所述第一短路机构的一端与所述第二短路机构的一端通过所述导线相导通；

所述第一短路机构与所述第二短路机构均包括壳体、顶撑件、多个弧形件以及弹性件；

多个所述弧形件沿所述壳体的周向，间隔设置于所述壳体内，且围设成环形的定位空间，所述定位空间用于固定轴芯；

至少一个所述弧形件的外壁连接有所述弹性件，所述弹性件远离所述弧形件的一端与所述壳体相连接；

所述顶撑件能够进入所述定位空间内，并推动连接有所述弹性件的弧形件相对其他多个所述弧形件沿所述定位空间的径向运动，以改变所述定位空间的径向尺寸。

2.根据权利要求1所述的轴芯短路装置，其特征在于，每个所述弧形件上连接有至少一个所述弹性件。

3.根据权利要求2所述的轴芯短路装置，其特征在于，所述弧形件上的所述弹性件为多个，且沿第一方向间隔设置。

4.根据权利要求3所述的轴芯短路装置，其特征在于，所述弹性件为弹簧。

5.根据权利要求4所述的轴芯短路装置，其特征在于，多个所述弹性件沿所述弧形件的周向设置，且位于同一水平方向上的所述弹性件在自由状态下的长度与所述弧形件的外壁面和所述壳体的内壁面之间的距离相匹配。

6.根据权利要求3-5中任一项所述的轴芯短路装置，其特征在于，所述第一短路机构和第二短路机构还包括连接杆，所述连接杆的一端与所述顶撑件相连接，另一端凸出于所述壳体设置；

所述壳体呈筒状，所述顶撑件为球形。

7.根据权利要求6所述的轴芯短路装置，其特征在于，所述连接杆为螺杆，所述壳体上开设有螺孔，所述连接杆穿过所述螺孔与所述顶撑件相连接；

所述连接杆能够在所述第一方向上相对所述壳体移动，以带动所述顶撑件向远离或接近定位环套的方向移动。

8.根据权利要求7所述的轴芯短路装置，其特征在于，还包括卷线器；

所述卷线器设置于所述第一短路机构的连接杆远离所述壳体的一端，用于回收或释放所述导线；

所述导线缠绕于所述卷线器，且所述导线的一端凸出于所述卷线器设置，并与所述第二短路机构的所述连接杆相连接。

9.根据权利要求8所述的轴芯短路装置，其特征在于，所述卷线器、所述连接杆、所述顶撑件以及所述弧形件均由导电材料形成。

10.根据权利要求9所述的轴芯短路装置，其特征在于，所述壳体由绝缘材料形成，所述连接杆以及所述卷线器的外壁上均涂有绝缘涂层。

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