CN212230396U - 一种易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件，它包括：固定架；板卡，所述板卡可拆卸地设置在所述固定架上，所述板卡上开设有第一孔；输入信号源，所述输入信号源连接在所述固定架上，所述输入信号源对应于所述第一孔设置；快门，所述快门对应于所述第一孔而设置。通过输入信号源可输入光、温度等信号，输入信号源将光或温度穿过第一孔而到达板卡另一侧的待测试晶圆上，通过快门可以控制第一孔打开或关闭，从而对输入信号进行控制，另外由于将板卡可拆卸地设置在固定架上，从而方便于更换板卡，这样可针对不同的晶圆更换不同的板卡，适用性更强。

Description

一种易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆测试装置，具体涉及一种易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件。

背景技术

晶圆测试，是通过对完成半导体工艺的晶圆进行测试，目的是在划片封装前把有问题的祼片挑出来，以减少封装和芯片成品测试成本，同时统计出晶圆上的管芯合格率、不合格管芯的确切位置和各类形式的合格率等，能直接反应晶圆制造良率、检验晶圆制造能力。每年晶圆测试产值有几百亿之多，而传感器由于种类多，稳定性差异大，在被需要测试晶圆中占比较大，预计红外和温度传感晶圆占整体测试产值的1%左右，且每年占比都在增长中，现有市场和市场前景都是巨大的。

通常的晶圆测试，探针测试法是最普遍、最常用的一个测试方法，通过多根探针接触管芯的测试点，电源供电给探针，再通过其它探针测量电学输出信号，适用于大多数电压供电管芯的测量，测量后通过配置的打点器，可以同时对标注的坏点进行打点。

虽然每种不同结构的管芯，都有不同的探针结构，但只是探针的根数、位置、针尖和距离不同而已，板卡的结构上没有大的变化，而对于一些特殊传感器，输入信号不是通过探针供给的，如红外传感器、温度传感器等，我们一般需要通过外加光源或温度源来测试管芯，现有探针卡结构就存在着输入信号不可控、不稳定，信号无法协同动作，无法坏点标注，无法完成快速点测等测试问题。

一份在先公开的专利文献“CN110600391A”公开“一种晶圆测试探针板卡组件”，能实现对红外传感器、温度传感器的检测。其板卡一般不可更换。本实用新型是在此基础上的改进。

实用新型内容

本实用新型目的是要提供一种易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件，能实现更换板卡。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

本实用新型提供了一种易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件，它包括：

固定架；

板卡，所述板卡可拆卸地设置在所述固定架上，所述板卡上开设有第一孔；

输入信号源，所述输入信号源连接在所述固定架上，所述输入信号源对应于所述第一孔设置；

快门，所述快门对应于所述第一孔而设置。

优选地，所述固定架上开设有插槽，所述板卡插置在所述插槽中。

优选地，所述快门与所述板卡之间的距离为可调节设置。

进一步地，所述快门与所述板卡之间的距离最小为零。

优选地，所述输入信号源连接在多轴臂上，所述多轴臂连接在所述固定架上。

优选地，所述固定架包括顶板和连接在所述顶板两侧的侧板，两侧的所述侧板相向设置，所述侧板相向一侧开设有插槽，所述板卡插置在所述插槽中。

进一步地，所述顶板上设置有导向件，所述快门连接在一个快门支架上，所述快门支架滑移设置在所述导向件上。

更进一步地，所述导向件上设置有弹性件，所述弹性件对所述快门支架具有背向所述板卡的作用力。

再进一步地，所述顶板上螺纹连接有顶栓，所述顶栓的一端抵紧在所述快门支架上。

优选地，它包括多个所述板卡，所述板卡以择一方式连接在所述固定架上。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型的易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件，通过输入信号源可输入光、温度等信号，输入信号源将光或温度穿过第一孔而到达板卡另一侧的待测试晶圆上，通过快门可以控制第一孔打开或关闭，从而对输入信号进行控制，另外由于将板卡可拆卸地设置在固定架上，从而方便于更换板卡，这样可针对不同的晶圆更换不同的板卡，适用性更强。

附图说明

后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：

图1是根据本实用新型优选实施例的易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件的立体示意图；

图2是图1的爆炸图；

图3是图1的俯视图；

图4是图1的正视图；

其中，附图标记说明如下：

1、固定架；

2、板卡；

3、输入信号源；

4、快门；

5、第一孔；

6、第二孔；

7、插槽；

8、多轴臂；

9、顶板；

10、侧板；

11、导向件；

12、快门支架；

13、弹性件；

14、顶栓。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

如图1所示，易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件包括固定架1、板卡2（板卡2为一块电路板）、输入信号源3以及快门4。板卡2、输入信号源3以及快门4均连接在固定架1上。本例用于对板卡2下方的晶圆（图中未放置晶圆）进行测试。

如图1和图2所示，固定架1包括一个顶板9和两个侧板10，侧板10连接在顶板9两侧，两侧的侧板相向设置，且侧板10相向一侧开设有插槽7。本例中，如图2，开设有插槽7的部分与侧板10其它部分为相分离的设置，从而方便于预先制作具有开槽部分的板条。

如图1和图2，板卡2插置在插槽7中，从而使得板卡2可拆卸地设置。

板卡2上连接有探针（图中未示出），探针与晶圆上的管芯接触，以接收反馈信号。

本例通过插入和抽出的方式将板卡2安装或拆下，能实现轻松地更换板卡2，从而可针对不同的测试晶圆更换不同的板卡，可预先准备多个（或多种）板卡，使板卡2以择一方式连接在固定架1上。这种插入的方式是可拆卸连接的一种类型，其它实施方式中，还可以将板卡2以其它方式可拆卸地连接在固定架1上，比如螺栓连接、弹性夹持等。

本例中，插槽7设置在侧板10上，侧板10连接在顶板9两侧，从而构成固定架1，但是固定架1还可以有其它的形状，只要在固定架1上开设插槽以供板卡插入或抽出，便可以实现更换板卡。

如图1和图2所示，顶板9下表面在两侧侧板10之间固定连接有四个导向件11，导向件11通过螺栓固定在顶板9上，导向件11上端具有螺孔，螺栓从顶板9上方向下螺纹连接在螺孔中。导向件11上滑移设置有快门支架12。快门支架12用于安装快门4。导向件11上还套设有弹性件13，本例的弹性件13为弹簧。导向件11的形状与螺栓相似，导向件11下端部分直径突然增大以限制弹性件13下脱。弹性件13上端抵紧在快门支架12上。从而给快门支架12向上的作用力。顶板9上还螺纹连接有顶栓14，顶栓14的下端抵紧在快门支架12上。顶栓14设置有两个，从而可对快门支架12均匀用力。当旋转顶栓14使顶栓14向下移动时，顶栓14向下推动快门支架12，直至快门支架12抵紧在板卡2上，从而达到稳固板卡2的作用。当需要更换板卡2时，反向旋转顶栓14，利用弹性件13的作用力向上推动快门支架12与板卡2分离，从而方便于将板卡2从插槽7中抽出。

本例中，导向件11为导柱形式（类似螺栓），其它实施方式中，导向件11还可以是导轨，快门支架12上设置滑块，将滑块滑移设置在导轨上。现有中任何能实现导向的机构均可以用于快门支架12滑移的导向。

如图1和图2，输入信号源3连接在多轴臂8上，多轴臂8连接在固定架1上，具体是连接在顶板9上。通过多轴臂8可实现调节输入信号源3的位置，可调节、定位、旋转。从而实现对待检测晶圆较佳的信号输入。本例的输入信号源3为光源，对应测试的晶圆为红外传感器。输入信号源3对应于板卡2上的开孔即第一孔5而设置。

如图1和图3，板卡2上开设有第一孔5供光线穿过，光线穿过第一孔5后照射在板卡2下方的待检测晶圆上。快门支架12上开设有相应的孔供光线穿过。快门4对应于第一孔5设置，快门4中设置有挡板，通过挡板的移动而控制第一孔5打开或关闭。

板卡2上还开设有第二孔6，第二孔6供打点器（图中未示出）给晶圆打点，以标记不合格管芯。

综上所述，本例的工作原理为：

通过输入信号源3输入光信号，通过快门4控制光线向晶圆表面的管芯照射，光线依次穿过快门4、快门支架12中的开孔以及板卡2上的第一孔5照射到晶圆表面的管芯，晶圆的反馈信号通过与管芯接触的探针（图中未示出）反馈给板卡2（探针连接在板卡2上）。

本例产生的有益效果为：

由于板卡2插设在插槽7中，从而可更换板卡2，比如根据待检测晶圆的种类准备不同的板卡2。快门4连同快门支架12为可升降设置，可通过向下移动快门支架12将板卡2抵紧，以稳固板卡2。输入信号源3通过多轴臂8连接在固定架1上，实现输入信号源3的调节、定位、旋转。另外，整体采用集成式结构，将板卡2、输入信号源3以及快门4集成安装于固定架1上，更为紧凑。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件，其特征在于，它包括：

固定架（1）；

板卡（2），所述板卡（2）可拆卸地设置在所述固定架（1）上，所述板卡（2）上开设有第一孔（5）；

输入信号源（3），所述输入信号源（3）连接在所述固定架（1）上，所述输入信号源（3）对应于所述第一孔（5）设置；

快门（4），所述快门（4）对应于所述第一孔（5）而设置。

2.根据权利要求1所述的易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件，其特征在于：所述固定架（1）上开设有插槽（7），所述板卡（2）插置在所述插槽（7）中。

3.根据权利要求1所述的易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件，其特征在于：所述快门（4）与所述板卡（2）之间的距离为可调节设置。

4.根据权利要求3所述的易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件，其特征在于：所述快门（4）与所述板卡（2）之间的距离最小为零。

5.根据权利要求1所述的易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件，其特征在于：所述输入信号源（3）连接在多轴臂（8）上，所述多轴臂（8）连接在所述固定架（1）上。

6.根据权利要求1所述的易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件，其特征在于：所述固定架（1）包括顶板（9）和连接在所述顶板（9）两侧的侧板（10），两侧的所述侧板（10）相向设置，所述侧板（10）相向一侧开设有插槽（7），所述板卡（2）插置在所述插槽（7）中。

7.根据权利要求6所述的易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件，其特征在于：所述顶板（9）上设置有导向件（11），所述快门（4）连接在一个快门支架（12）上，所述快门支架（12）滑移设置在所述导向件（11）上。

8.根据权利要求7所述的易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件，其特征在于：所述导向件（11）上设置有弹性件（13），所述弹性件（13）对所述快门支架（12）具有背向所述板卡（2）的作用力。

9.根据权利要求8所述的易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件，其特征在于：所述顶板（9）上螺纹连接有顶栓（14），所述顶栓（14）的一端抵紧在所述快门支架（12）上。

10.根据权利要求1所述的易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件，其特征在于：它包括多个所述板卡（2）。

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