CN212220673U - 一种晶圆抬取装置及由其组成的晶圆分离装盒机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种晶圆抬取装置及由其组成的晶圆分离装盒机，晶圆抬取装置包括固定于垂直板上的驱动机构，垂直板上设有导轨Ⅰ、以及沿导轨Ⅰ上下滑动连接的滑板Ⅱ，驱动机构带动滑板Ⅱ沿导轨Ⅰ上下滑动，滑板Ⅱ一端设有转停装置以及与转停装置转动连接的吸盘。晶圆分离装盒机包括底柜、设置于底柜上的控制装置、以及与控制装置电性连接的：晶圆送料装置、横向位移装置、晶圆抬取装置、晶圆转运装置、晶圆摆放装置。本实用新型可以将叠加在一起的晶圆自动分离成单个晶圆进行摆放，自动化程度高，提高了生产效率。

Description

一种晶圆抬取装置及由其组成的晶圆分离装盒机

技术领域

本实用新型属于电子元件生产设备技术领域，具体涉及为一种晶圆抬取装置及由其组成的晶圆分离装盒机。

背景技术

圆晶是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为圆晶。圆晶是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了圆晶。

二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％。晶圆制造厂再将此多晶硅熔解，再于溶液内掺入一小粒的硅晶体晶种，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗小晶粒在融熔态的硅原料中逐渐生成，此过程称为“长晶”。硅晶棒再经过研磨，抛光，切片后，即成为集成电路工厂的基本原料——硅晶圆片，这就是“晶圆”。

简单的说,单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶圆。

晶圆经多次光罩处理，其中每一次的步骤包括感光剂途布、曝光、显影、腐蚀、渗透或蒸著等等，制成具有多层线路与元件的IC晶圆，再交由后段的测试、切割、封装厂，以制成实体的集成电路成品。

晶圆需要一片一片进行光罩处理，单晶硅棒切片后的晶圆是多个晶圆叠加在一起，因此在晶圆出厂或进行下一步工序前，需要将晶圆分离，单独包装。目前都是操作人员手工将叠加在一起的晶圆进行分离，这种情况严重降低生产效率，同时增加人工成本。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种晶圆抬取装置及由其组成的晶圆分离装盒机，本实用新型可以将叠加在一起的晶圆自动分离成单个晶圆进行摆放，自动化程度高，提高了生产效率。

本实用新型解决现有技术存在的问题所采用的技术方案是：

一种晶圆抬取装置，晶圆抬取装置包括固定于垂直板上的驱动机构，垂直板上设有导轨Ⅰ、以及沿导轨Ⅰ上下滑动连接的滑板Ⅱ，驱动机构带动滑板Ⅱ沿导轨Ⅰ上下滑动。

滑板Ⅱ一端设有转停装置以及与转停装置转动连接的吸盘。

优选的，晶圆抬取装置还包括末端封闭的中间杆、气道接头、限位块。

限位块固定于滑板Ⅱ上，中间杆穿过限位块，限位块使得中间杆只能旋转无法上下移动。

中间杆中间设有至少一个气道接头，气道接头位于限位块下方，中间杆下端连接有吸盘，气道接头与吸盘上的吸附头通过气管连接。

优选的，所述的转停装置包括电机Ⅱ、同步带Ⅰ、旋转齿轮，电机Ⅱ固定于滑板Ⅱ上，电机Ⅱ输出轴通过同步带Ⅰ带动旋转齿轮旋转，旋转齿轮套设于中间杆上，旋转齿轮与中间杆固定连接。

优选的，中间杆上端与外界气源的气管固定连接或通过旋转接头进行连接，中间杆内部的气道将外界气源与气道接头贯通连接。

优选的，所述的驱动机构包括驱动电机、驱动齿轮、末端齿轮、同步带Ⅱ以及连接架，同步带Ⅱ套设于驱动齿轮以及末端齿轮上，驱动电机驱动驱动齿轮旋转，连接架一端与同步带Ⅱ固定连接，连接架另一端与滑板Ⅱ固定连接。

一种晶圆分离装盒机，包括底柜、设置于底柜上的控制装置、以及与控制装置电性连接的：

晶圆送料装置：用以放置若干片叠放在一起的晶圆，晶圆送料装置用以向上方依次输送晶圆；

横向位移装置：固定于晶圆送料装置后方，用以带动晶圆抬取装置横向移动；

晶圆抬取装置：滑动设置于横向位移装置上，通过晶圆抬取装置上设置的吸盘将晶圆送料装置向上输送的晶圆吸附；

晶圆转运装置：设置于横向位移装置右侧，用以将晶圆抬取装置吸附的晶圆转运摆放到晶圆摆放装置上设置的摆放架上；

晶圆摆放装置：设置于晶圆转运装置前方，用以将晶圆逐个分隔摆放。

优选的，所述的底柜上方罩设有罩壳，罩壳将晶圆送料装置、横向位移装置、晶圆抬取装置、晶圆转运装置、晶圆摆放装置罩在内部，罩壳上设有可开合的观察窗，所述的控制装置固定于罩壳外部。

优选的，所述的晶圆送料装置包括支架、电机Ⅰ、丝杆Ⅰ、顶板、旋转气缸、支撑板、放置盒。

支架设置于底柜顶面下方，支架下方固定有电机Ⅰ，电机Ⅰ驱动丝杆Ⅰ旋转，丝杆Ⅰ上套设有螺纹连接的螺套Ⅰ，螺套Ⅰ与顶板固定连接。

旋转气缸固定于底柜顶面上，旋转气缸驱动支撑板旋转，支撑板上设有至少一个放置盒，放置盒下方设有开口，顶板可通过放置盒下方的开口穿设至放置盒内部。

优选的，还包括晶圆分离装置，晶圆分离装置设置于晶圆抬取装置与晶圆送料装置的顶板正上方的放置盒之间。

所述的晶圆分离装置包括相对于顶板正上方的放置盒中间线对称布置的两个支架Ⅰ、支架Ⅰ上方固定的伸缩气缸Ⅰ、伸缩气缸Ⅰ伸缩杆末端固定连接的毛刷。

支架Ⅰ底部与底柜固定连接，伸缩气缸Ⅰ水平布置，毛刷面向放置盒。

优选的，所述的晶圆分离装置还包括导向环，导向环内径与放置盒相同，导向环侧面与底柜固定连接，导向环面向毛刷的圆周面上开设有插入槽。

优选的，放置盒圆周面上设有开口，两个支架Ⅰ上设有一组对射传感器，对射传感器用以检测放置盒内部最高处的晶圆的有无。

优选的，所述的横向位移装置包括底架、垂直板，底架内部设有驱动机构以及导轨Ⅱ，导轨Ⅱ上滑动设有滑板Ⅰ，驱动机构上的连接架与滑板Ⅰ固定连接，驱动机构驱动滑板Ⅰ沿导轨Ⅱ沿水平方向滑动。

滑板Ⅰ前端与垂直板固定连接。

优选的，所述的晶圆转运装置包括单片晶圆临时停放装置以及单片晶圆临时停放装置后方的固定架。

所述的单片晶圆临时停放装置包括伸缩气缸Ⅱ以及通过伸缩气缸Ⅱ驱动可上下移动的放置槽，所述的伸缩气缸Ⅱ固定于底柜顶面，放置槽设置于伸缩气缸Ⅱ上方，放置槽上内凹有底部插槽，底部插槽开口朝向固定架，吸盘可移动至放置槽正上方。

固定架固定于底柜顶面上，固定架内部设有导轨Ⅲ以及驱动机构，导轨Ⅲ上滑动设有滑板Ⅲ，驱动机构驱动滑板Ⅲ沿导轨Ⅲ左右滑动，滑板Ⅲ上设有伸缩气缸Ⅲ，伸缩气缸Ⅲ控制与其连接的水平杆伸缩，水平杆末端设有托运架，托运架可通过底部插槽的开口插入到底部插槽内部。

优选的，托运架内部设有气道，托运架顶面设有若干个吸附孔。托运架侧面设有接气头，通过气道将吸附孔与接气头贯通连接。

优选的，所述的晶圆摆放装置包括垂直支撑架、电机Ⅲ、丝杆Ⅱ、摆放架。

垂直支撑架固定于底柜顶面下方，电机Ⅲ固定于垂直支撑架下方，电机Ⅲ带动丝杆Ⅱ旋转，丝杆Ⅱ上套设有螺纹连接的螺套Ⅱ，螺套Ⅱ与摆放架固定连接，摆放架上垂直布置有若干个晶圆摆放格，托运架将单片晶圆运送到晶圆摆放格内部。

一种晶圆分离装盒机的使用方法，包括以下步骤：

A、若干片晶圆摞列在放置盒内部，控制装置控制电机Ⅰ旋转带动控制顶板上移，顶板将其上方放置盒内部的晶圆向上推动，当最上层的晶圆遮挡住对射传感器的激光通道时，控制装置控制电机Ⅰ停止转动；

B、控制装置控制与滑板Ⅱ相连的驱动机构运转，使得滑板Ⅱ带动吸盘下移，并与放置盒内部最上方的晶圆接触，抽气机在吸盘下移或与晶圆接触后进行抽气，通过旋转接头、气道接头使吸盘产生吸力，将与其接触的晶圆吸附，之后吸盘上移；

C、吸盘上移过程中，控制装置控制电机Ⅱ带动中间杆旋转，旋转所产生的离心力将吸盘吸附的晶圆与其下方粘贴住的晶圆分离，确保吸盘每次只带走一片晶圆，电机Ⅱ做旋转或旋转-停止-旋转-停止往复运动；

D、与滑板Ⅱ相连的驱动机构驱动滑板Ⅱ一直上移到最高点或在上移过程中驱动电机做旋转-停止-旋转的动作，使驱动滑板Ⅱ产生震动，便于将吸盘吸附的晶圆与其下方粘贴住的晶圆分离；

E、吸盘移动到最上端后，控制装置控制与滑板Ⅰ相连的驱动机构运行，使得晶圆抬取装置沿导轨Ⅱ向单片晶圆临时停放装置移动，当吸盘移动到放置槽正上方时，晶圆抬取装置停止运动，吸盘下移，将吸盘吸附的晶圆放置在放置槽内部，旋转接头断气，吸盘吸力消除并上移，晶圆抬取装置回移到放置盒上方；

F、托运架插入到底部插槽内部，托运架顶面与放置槽内部晶圆底面接触，抽气机通过接气头抽气，使得晶圆吸附在托运架上，伸缩气缸Ⅱ控制放置槽下移，伸缩气缸Ⅲ控制水平杆回缩；

G、控制装置控制与滑板Ⅲ相连的驱动机构运行，使得托运架滑动到与摆放架相对的位置，伸缩气缸Ⅲ控制水平杆伸长，托运架将晶圆运送到摆放架晶圆摆放格内部，接气头处断气，控制装置控制电机Ⅲ驱动摆放架上移，托运架与晶圆分离，伸缩气缸Ⅲ控制水平杆回缩；

H、重复步骤A到G，直到一个放置盒内部的晶圆全部被转运至摆放架，然后控制装置控制旋转气缸驱动支撑板旋转，将另一个放置盒转动至吸盘正下方。

优选的，吸盘吸附晶圆上移过程中，由于晶圆与晶圆之间容易粘黏，可能同时抬起多片晶圆，控制装置控制伸缩气缸Ⅰ不断伸长-回缩，毛刷插入到吸盘抬起的几片晶圆之间的缝隙里，进而将叠放一起的晶圆进行分离。

与现有技术相比，本实用新型所具有的有益效果：

(1)人手工对晶圆进行抓取分离，提高了生产效率，降低了工人的劳动强度。

(2)由于相互接触的晶圆之间有一定粘性，当抬取一片晶圆时，会带动多片晶圆一同上移。因此晶圆抬取装置将晶圆吸起过程中，通过转停装置旋转产生离心力以及惯性，将多余的晶圆与晶圆抬取装置吸附的晶圆进行分离，保证每次晶圆抬取装置上移时只带走一片晶圆。

(3)晶圆分离装置的毛刷在晶圆抬取装置上移过程中会通过伸缩的动作插入到晶圆之间的缝隙中，优化晶圆分离效果。同时吸盘旋转，使得毛刷对晶圆各个区域的刮除力分布更加均匀，避免对晶圆造成破坏。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1为本实用新型一种带罩壳的晶圆分离装盒机外形图，

图2为本实用新型去除罩壳后的外形图，

图3为本实用新型晶圆送料装置第一示意图，

图4为本实用新型晶圆送料装置第二示意图，

图5为本实用新型晶圆抬取装置以及横向位移装置第一示意图，

图6为本实用新型A处局部放大图，

图7为本实用新型晶圆抬取装置以及横向位移装置第二示意图，

图8为本实用新型晶圆转运装置示意图，

图9为本实用新型托运架内部结构图，

图10为本实用新型晶圆摆放装置示意图。

图中：1-底柜、101-罩壳、102-观察窗、103-控制装置；

2-晶圆分离装置、201-支架Ⅰ、202-伸缩气缸Ⅰ、203-毛刷、204-对射传感器、205-导向环、2051-插入槽；

3-晶圆送料装置、301-支板、302-电机Ⅰ、303-丝杆Ⅰ、304-顶板、3041-螺套Ⅰ、 305-旋转气缸、306-支撑板、307-放置盒；

4-横向位移装置、401-底架、402-垂直板、4021-滑板Ⅰ、403-导轨Ⅰ、404-导轨Ⅱ；

5-晶圆抬取装置、501-中间杆、502-吸盘、503-气道接头、504-限位块、505-旋转接头、506-转停装置、5061-电机Ⅱ、5062-同步带Ⅰ、5063-旋转齿轮、507-滑板Ⅱ；

6-晶圆转运装置、601-单片晶圆临时停放装置、6011-伸缩气缸Ⅱ、6012-放置槽、6013-底部插槽、602-固定架、603-导轨Ⅲ、604-滑板Ⅲ、605-伸缩气缸Ⅲ、606-水平杆、607-托运架、6071-气道、6072-吸附孔、6073-接气头；

7-晶圆摆放装置、701-垂直支撑架、702-电机Ⅲ、703-丝杆Ⅱ、704-摆放架、7041-螺套Ⅱ；

8-驱动机构、801-驱动电机、802-驱动齿轮、803-末端齿轮、804-同步带Ⅱ、805-连接架。

具体实施方式

附图为该一种晶圆抬取装置及由其组成的晶圆分离装盒机的最佳实施例，下面结合附图对本实用新型进一步详细的说明。

实施例1：

由附图5以及附图6所示，一种晶圆抬取装置，晶圆抬取装置5包括末端封闭的中间杆501、吸盘502、气道接头503、限位块504、转停装置506、滑板Ⅱ507以及固定于垂直板402上的驱动机构8。垂直板402上设有导轨Ⅰ403，导轨Ⅰ403上下滑动连接有滑板Ⅱ507，驱动机构8带动滑板Ⅱ507沿导轨Ⅰ403上下滑动。

限位块504固定于滑板Ⅱ507上，中间杆501穿过限位块504。限位块504使中间杆501只能旋转无法上下移动，位于限位块504内部的中间杆501圆周面上套设有卡环，卡环与中间杆501固定连接，卡环限制中间杆501上下移动。中间杆501上位于卡环的上下两侧与限位块504之间各设有一个滚珠轴承。

中间杆501中间设有至少一个气道接头503，中间杆501内部气道与气道接头503贯通连接，气道接头503位于限位块504下方。中间杆501下端连接有吸盘502，气道接头503与吸盘502上的吸附头通过气管连接。

转停装置506包括电机Ⅱ5061、同步带Ⅰ5062、旋转齿轮5063。电机Ⅱ5061固定于滑板Ⅱ507上，电机Ⅱ5061输出轴通过同步带Ⅰ5062带动旋转齿轮5063旋转，旋转齿轮5063套设于中间杆501上，旋转齿轮5063与中间杆501固定连接，旋转齿轮5063 位于限位块504上方。

所述的驱动机构8包括驱动电机801、驱动齿轮802、末端齿轮803、同步带Ⅱ804 以及连接架805。同步带Ⅱ804套设于驱动齿轮802以及末端齿轮803上，驱动电机801 驱动驱动齿轮802旋转，连接架805一端与同步带Ⅱ804固定连接，连接架805另一端与滑板Ⅱ507固定连接。

驱动机构8也可以驱动电机801带动丝杆旋转，丝杆上套设有螺套，螺套与滑板Ⅱ507固定连接，通过驱动电机801正、反转控制板Ⅱ507向上或向下滑动。

驱动机构8还可以驱动电机801带动齿轮旋转，滑板Ⅱ507侧面固定有齿条，齿条与驱动电机801带动的齿轮啮合连接。

实施例2：

本实施例其它内容与实施例1相同，不同之处在于：

中间杆501上端与外界气源的气管固定连接或通过旋转接头505进行连接，中间杆501内部的气道将外界气源与气道接头503贯通连接。

实施例3：

由附图1以及附图2所示，一种晶圆分离装盒机，包括底柜1、设置于底柜1上的控制装置103、以及与控制装置103电性连接的：晶圆送料装置3、横向位移装置4、晶圆抬取装置5、晶圆转运装置6、晶圆摆放装置7。

晶圆送料装置3：用以放置若干片叠放在一起的晶圆，晶圆送料装置3用以向上方依次输送晶圆；

横向位移装置4：固定于晶圆送料装置3后方，用以带动晶圆抬取装置5横向移动；

晶圆抬取装置5：滑动设置于横向位移装置4上，通过晶圆抬取装置5上设置的吸盘502将晶圆送料装置3向上输送的晶圆吸附；

晶圆转运装置6：设置于横向位移装置4右侧，用以将晶圆抬取装置5吸附的晶圆转运摆放到晶圆摆放装置7上设置的摆放架704上；

晶圆摆放装置7：设置于晶圆转运装置6前方，用以将晶圆逐个分隔摆放。

由附图3以及附图4所示，所述的晶圆送料装置3包括支架301、电机Ⅰ302、丝杆Ⅰ303、顶板304、旋转气缸305、支撑板306、放置盒307。

支架301设置于底柜1顶面下方，支架301下方固定有电机Ⅰ302，电机Ⅰ302驱动丝杆Ⅰ303旋转，丝杆Ⅰ303上套设有螺纹连接的螺套Ⅰ3041，螺套Ⅰ3041与顶板304 固定连接。

旋转气缸305固定于底柜1顶面上，旋转气缸305驱动支撑板306旋转，支撑板 306上设有至少一个放置盒307，放置盒307下方设有开口，顶板304可通过放置盒307 下方的开口穿设至放置盒307内部。

由附图7所示，所述的横向位移装置4包括底架401、垂直板402。底架401内部设有驱动机构8以及导轨Ⅱ404，导轨Ⅱ404上滑动设有滑板Ⅰ4021，驱动机构8上的连接架805与滑板Ⅰ4021固定连接，驱动机构8驱动滑板Ⅰ4021沿导轨Ⅱ404沿水平方向滑动，滑板Ⅰ4021前端与垂直板402固定连接。

晶圆抬取装置5结构与实施例1或实施例2所述相同。

由附图8所示，所述的晶圆转运装置6包括单片晶圆临时停放装置601以及单片晶圆临时停放装置601后方的固定架602。

所述的单片晶圆临时停放装置601包括伸缩气缸Ⅱ6011以及通过伸缩气缸Ⅱ6011驱动可上下移动的放置槽6012。所述的伸缩气缸Ⅱ6011固定于底柜1顶面，放置槽6012 设置于伸缩气缸Ⅱ6011上方。放置槽6012上内凹有底部插槽6013，底部插槽6013开口朝向固定架602，吸盘502可移动至放置槽6012正上方。

固定架602固定于底柜1顶面上，固定架602内部设有导轨Ⅲ603以及驱动机构8，导轨Ⅲ603上滑动设有滑板Ⅲ604。驱动机构8的连接架805与滑板Ⅲ604固定连接，驱动机构8驱动滑板Ⅲ604沿导轨Ⅲ603左右滑动。滑板Ⅲ604上设有伸缩气缸Ⅲ605，伸缩气缸Ⅲ605控制与其连接的水平杆606伸缩，水平杆606末端设有托运架607，托运架607可通过底部插槽6013的开口插入到底部插槽6013内部。为了保证托运架607移动的过程中其上方的晶圆固定在托运架607上方不发生相对移动，由附图9所示，托运架607内部设有气道6071，托运架607顶面设有若干个吸附孔6072。托运架607侧面设有接气头6073，通过气道6071将吸附孔6072与接气头6073贯通连接。

由附图10所示，所述的晶圆摆放装置7包括垂直支撑架701、电机Ⅲ702、丝杆Ⅱ703、摆放架704。

垂直支撑架701固定于底柜1顶面下方，电机Ⅲ702固定于垂直支撑架701下方，电机Ⅲ702带动丝杆Ⅱ703旋转。丝杆Ⅱ703上套设有螺纹连接的螺套Ⅱ7041，螺套Ⅱ 7041与摆放架704固定连接。摆放架704上垂直布置有若干个晶圆摆放格，摆放格可从摆放架704上取下，摆放格上从上到下分隔有若干个单独的晶圆摆放空间，每个晶圆摆放空间内部可放置一片晶圆。托运架607将单片晶圆运送到晶圆摆放格内部单独的晶圆摆放空间中。

实施例4：

本实施例其他内容与实施例3相同，不同之处在于：一种晶圆分离装盒机还包括晶圆分离装置2。晶圆分离装置2设置于晶圆抬取装置5与晶圆送料装置3的顶板304正上方的放置盒307之间。

所述的晶圆分离装置2包括相对于顶板304正上方的放置盒307中间线对称布置的两个支架Ⅰ201、支架Ⅰ201上方固定的伸缩气缸Ⅰ202、伸缩气缸Ⅰ202伸缩杆末端固定连接的毛刷203。

支架Ⅰ201底部与底柜1固定连接，伸缩气缸Ⅰ202水平布置，毛刷203面向放置盒307。

所述的晶圆分离装置2还包括导向环205，导向环205内径与放置盒307相同，导向环205可避免转动分离吸盘502吸附晶圆下方粘黏的晶圆时，该晶圆中心位置出现偏离。导向环205侧面与底柜1固定连接，导向环205面向毛刷203的圆周面上开设有插入槽2051，毛刷203通过插入槽2051伸入到导向环205内部。

放置盒307圆周面上设有开口，两个支架Ⅰ201上设有一组对射传感器204，对射传感器204用以检测放置盒307内部最高处的晶圆的有无。对射传感器204又叫红外对射光电传感器或对射式光电传感器，为现有技术。

实施例5：

本实施例其他内容与实施例3或实施例4相同，不同之处在于：

所述的底柜1上方罩设有罩壳101，罩壳101将晶圆送料装置3、横向位移装置4、晶圆抬取装置5、晶圆转运装置6、晶圆摆放装置7罩在内部，罩壳101上设有可开合的观察窗102，所述的控制装置103固定于罩壳101外部。

一种晶圆分离装盒机的使用方法，包括以下步骤：

A、若干片晶圆摞列在放置盒307内部，控制装置103控制电机Ⅰ302旋转带动控制顶板304上移，顶板304将其上方放置盒307内部的晶圆向上推动，当最上层的晶圆遮挡住对射传感器204的激光通道时，控制装置103控制电机Ⅰ302停止转动；

B、控制装置103控制与滑板Ⅱ507相连的驱动机构8运转，使得滑板Ⅱ507带动吸盘502下移，并与放置盒307内部最上方的晶圆接触，抽气机在吸盘502下移或与晶圆接触后进行抽气，通过旋转接头505、气道接头503使吸盘502产生吸力，将与其接触的晶圆吸附，之后吸盘502上移；

C、吸盘502上移过程中，控制装置103控制电机Ⅱ5061带动中间杆501旋转，旋转所产生的离心力将吸盘502吸附的晶圆与其下方粘贴住的晶圆分离，确保吸盘502每次只带走一片晶圆，电机Ⅱ5061做旋转或旋转-停止-旋转-停止往复运动；

D、与滑板Ⅱ507相连的驱动机构8驱动滑板Ⅱ507一直上移到最高点或在上移过程中驱动电机801做旋转-停止-旋转的动作，使驱动滑板Ⅱ507产生震动，便于将吸盘502 吸附的晶圆与其下方粘贴住的晶圆分离；

E、吸盘502移动到最上端后，控制装置103控制与滑板Ⅰ4021相连的驱动机构8 运行，使得晶圆抬取装置5沿导轨Ⅱ404向单片晶圆临时停放装置601移动，当吸盘502 移动到放置槽6012正上方时，晶圆抬取装置5停止运动，吸盘502下移，将吸盘502 吸附的晶圆放置在放置槽6012内部，旋转接头505断气，吸盘502吸力消除并上移，晶圆抬取装置5回移到放置盒307上方；

F、托运架607插入到底部插槽6013内部，托运架607顶面与放置槽6012内部晶圆底面接触，抽气机通过接气头6073抽气，使得晶圆吸附在托运架607上，伸缩气缸Ⅱ605控制放置槽6012下移，伸缩气缸Ⅲ605控制水平杆606回缩；

G、控制装置103控制与滑板Ⅲ604相连的驱动机构8运行，使得托运架607滑动到与摆放架704相对的位置，伸缩气缸Ⅲ605控制水平杆606伸长，托运架607将晶圆运送到摆放架704晶圆摆放格内部，接气头6073处断气，控制装置103控制电机Ⅲ702 驱动摆放架704上移，托运架607与晶圆分离，伸缩气缸Ⅲ605控制水平杆606回缩；

H、重复步骤A到G，直到一个放置盒307内部的晶圆全部被转运至摆放架704，然后控制装置103控制旋转气缸305驱动支撑板306旋转，将另一个放置盒307转动至吸盘502正下方。

实施例6：

本实施例其他内容与实施例5相同，不同之处在于：吸盘502吸附晶圆上移过程中，由于晶圆与晶圆之间容易粘黏，可能同时抬起多片晶圆，控制装置103控制伸缩气缸Ⅰ 202不断伸长-回缩，毛刷203插入到吸盘502抬起的几片晶圆之间的缝隙里，进而将叠放一起的晶圆进行分离。

上面结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但是本实用新型并不限于上述实施方式，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。

Claims (15)

1.一种晶圆抬取装置，其特征在于：

晶圆抬取装置（5）包括固定于垂直板（402）上的驱动机构（8），垂直板（402）上设有导轨Ⅰ（403）、以及沿导轨Ⅰ（403）上下滑动连接的滑板Ⅱ（507），驱动机构（8）带动滑板Ⅱ（507）沿导轨Ⅰ（403）上下滑动，

滑板Ⅱ（507）一端设有转停装置（506）以及与转停装置（506）转动连接的吸盘（502）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆抬取装置，其特征在于：

晶圆抬取装置（5）还包括末端封闭的中间杆（501）、气道接头（503）、限位块（504），

限位块（504）固定于滑板Ⅱ（507）上，中间杆（501）穿过限位块（504），限位块（504）使得中间杆（501）只能旋转无法上下移动，

中间杆（501）中间设有至少一个气道接头（503），气道接头（503）位于限位块（504）下方，中间杆（501）下端连接有吸盘（502），气道接头（503）与吸盘（502）上的吸附头通过气管连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆抬取装置，其特征在于：

所述的转停装置（506）包括电机Ⅱ（5061）、同步带Ⅰ（5062）、旋转齿轮（5063），电机Ⅱ（5061）固定于滑板Ⅱ（507）上，电机Ⅱ（5061）输出轴通过同步带Ⅰ（5062）带动旋转齿轮（5063）旋转，旋转齿轮（5063）套设于中间杆（501）上，旋转齿轮（5063）与中间杆（501）固定连接。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆抬取装置，其特征在于：

中间杆（501）上端与外界气源的气管固定连接或通过旋转接头（505）进行连接，中间杆（501）内部的气道将外界气源与气道接头（503）贯通连接。

5.根据权利要求3或2所述的一种晶圆抬取装置，其特征在于：

所述的驱动机构（8）包括驱动电机（801）、驱动齿轮（802）、末端齿轮（803）、同步带Ⅱ（804）以及连接架（805），同步带Ⅱ（804）套设于驱动齿轮（802）以及末端齿轮（803）上，驱动电机（801）驱动驱动齿轮（802）旋转，连接架（805）一端与同步带Ⅱ（804）固定连接，连接架（805）另一端与滑板Ⅱ（507）固定连接。

6.一种晶圆分离装盒机，包括权利要求5所述的一种晶圆拾取装置，其特征在于：

包括底柜（1）、设置于底柜（1）上的控制装置（103）、以及与控制装置（103）电性连接的：

晶圆送料装置（3）：用以放置若干片叠放在一起的晶圆，晶圆送料装置（3）用以向上方依次输送晶圆；

横向位移装置（4）：固定于晶圆送料装置（3）后方，用以带动晶圆抬取装置（5）横向移动；

晶圆抬取装置（5）：滑动设置于横向位移装置（4）上，通过晶圆抬取装置（5）上设置的吸盘（502）将晶圆送料装置（3）向上输送的晶圆吸附；

晶圆转运装置（6）：设置于横向位移装置（4）右侧，用以将晶圆抬取装置（5）吸附的晶圆转运摆放到晶圆摆放装置（7）上设置的摆放架（704）上；

晶圆摆放装置（7）：设置于晶圆转运装置（6）前方，用以将晶圆逐个分隔摆放。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆分离装盒机，其特征在于：

所述的底柜（1）上方罩设有罩壳（101），罩壳（101）将晶圆送料装置（3）、横向位移装置（4）、晶圆抬取装置（5）、晶圆转运装置（6）、晶圆摆放装置（7）罩在内部，罩壳（101）上设有可开合的观察窗（102），所述的控制装置（103）固定于罩壳（101）外部。

8.根据权利要求6所述的一种晶圆分离装盒机，其特征在于：

所述的晶圆送料装置（3）包括支架（301）、电机Ⅰ（302）、丝杆Ⅰ（303）、顶板（304）、旋转气缸（305）、支撑板（306）、放置盒（307），

支架（301）设置于底柜（1）顶面下方，支架（301）下方固定有电机Ⅰ（302），电机Ⅰ（302）驱动丝杆Ⅰ（303）旋转，丝杆Ⅰ（303）上套设有螺纹连接的螺套Ⅰ（3041），螺套Ⅰ（3041）与顶板（304）固定连接，

旋转气缸（305）固定于底柜（1）顶面上，旋转气缸（305）驱动支撑板（306）旋转，支撑板（306）上设有至少一个放置盒（307），放置盒（307）下方设有开口，顶板（304）可通过放置盒（307）下方的开口穿设至放置盒（307）内部。

9.根据权利要求6所述的一种晶圆分离装盒机，其特征在于：

还包括晶圆分离装置（2），晶圆分离装置（2）设置于晶圆抬取装置（5）与晶圆送料装置（3）的顶板（304）正上方的放置盒（307）之间，

所述的晶圆分离装置（2）包括相对于顶板（304）正上方的放置盒（307）中间线对称布置的两个支架Ⅰ（201）、支架Ⅰ（201）上方固定的伸缩气缸Ⅰ（202）、伸缩气缸Ⅰ（202）伸缩杆末端固定连接的毛刷（203），

支架Ⅰ（201）底部与底柜（1）固定连接，伸缩气缸Ⅰ（202）水平布置，毛刷（203）面向放置盒（307）。

10.根据权利要求9所述的一种晶圆分离装盒机，其特征在于：

所述的晶圆分离装置（2）还包括导向环（205），导向环（205）内径与放置盒（307）相同，导向环（205）侧面与底柜（1）固定连接，导向环（205）面向毛刷（203）的圆周面上开设有插入槽（2051）。

11.根据权利要求9或10所述的一种晶圆分离装盒机，其特征在于：

放置盒（307）圆周面上设有开口，两个支架Ⅰ（201）上设有一组对射传感器（204），对射传感器（204）用以检测放置盒（307）内部最高处的晶圆的有无。

12.根据权利要求6所述的一种晶圆分离装盒机，其特征在于：

所述的横向位移装置（4）包括底架（401）、垂直板（402），底架（401）内部设有驱动机构（8）以及导轨Ⅱ（404），导轨Ⅱ（404）上滑动设有滑板Ⅰ（4021），驱动机构（8）上的连接架（805）与滑板Ⅰ（4021）固定连接，驱动机构（8）驱动滑板Ⅰ（4021）沿导轨Ⅱ（404）沿水平方向滑动，

滑板Ⅰ（4021）前端与垂直板（402）固定连接。

13.根据权利要求6所述的一种晶圆分离装盒机，其特征在于：

所述的晶圆转运装置（6）包括单片晶圆临时停放装置（601）以及单片晶圆临时停放装置（601）后方的固定架（602），

所述的单片晶圆临时停放装置（601）包括伸缩气缸Ⅱ（6011）以及通过伸缩气缸Ⅱ（6011）驱动可上下移动的放置槽（6012），所述的伸缩气缸Ⅱ（6011）固定于底柜（1）顶面，放置槽（6012）设置于伸缩气缸Ⅱ（6011）上方，放置槽（6012）上内凹有底部插槽（6013），底部插槽（6013）开口朝向固定架（602），吸盘（502）可移动至放置槽（6012）正上方，

固定架（602）固定于底柜（1）顶面上，固定架（602）内部设有导轨Ⅲ（603）以及驱动机构（8），导轨Ⅲ（603）上滑动设有滑板Ⅲ（604），驱动机构（8）驱动滑板Ⅲ（604）沿导轨Ⅲ（603）左右滑动，滑板Ⅲ（604）上设有伸缩气缸Ⅲ（605），伸缩气缸Ⅲ（605）控制与其连接的水平杆（606）伸缩，水平杆（606）末端设有托运架（607），托运架（607）可通过底部插槽（6013）的开口插入到底部插槽（6013）内部。

14.根据权利要求13所述的一种晶圆分离装盒机，其特征在于：

托运架（607）内部设有气道（6071），托运架（607）顶面设有若干个吸附孔（6072），托运架（607）侧面设有接气头（6073），通过气道（6071）将吸附孔（6072）与接气头（6073）贯通连接。

15.根据权利要求6所述的一种晶圆分离装盒机，其特征在于：

所述的晶圆摆放装置（7）包括垂直支撑架（701）、电机Ⅲ（702）、丝杆Ⅱ（703）、摆放架（704），

垂直支撑架（701）固定于底柜（1）顶面下方，电机Ⅲ（702）固定于垂直支撑架（701）下方，电机Ⅲ（702）带动丝杆Ⅱ（703）旋转，丝杆Ⅱ（703）上套设有螺纹连接的螺套Ⅱ（7041），螺套Ⅱ（7041）与摆放架（704）固定连接，摆放架（704）上垂直布置有若干个晶圆摆放格，托运架（607）将单片晶圆运送到晶圆摆放格内部。

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