CN212216447U - 组合式清洗设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型揭示了一种组合式清洗设备，包括由上至下按序依次设置的石英清洗槽、塑料支架以及兆声波振动板；所述塑料支架的顶部设置有一清洗槽承载空间，所述石英清洗槽与所述塑料支架二者固定连接且所述石英清洗槽的底部设置于所述清洗槽承载空间内，所述塑料支架的底部与所述兆声波振动板相触接。本实用新型通过将石英清洗槽与兆声波振动板相结合的方式，使得设备在具有水浴清洗功能的同时兼具了兆声波清晰的功能，在满足使用要求的同时提升了设备运行的稳定性、控制了设备的生产成本、减轻了加工企业的负担。

Description

组合式清洗设备

技术领域

本实用新型涉及一种清洗设备，具体而言，涉及一种兼具水浴清洗及兆声波清洗功能的组合式清洗设备，属于工业自动化技术领域。

背景技术

晶圆片又称硅晶片，是一种由硅锭加工而成的产品，在半导体、碳化硅、蓝宝石及太阳能光伏等多个行业中均有所应用。由于晶圆片特殊的结构，通过专门的处理工艺可以在晶圆片上刻蚀出数以百万计的晶体管，因此目前，晶圆片已经被广泛地应用于集成电路的加工制造中。

在晶圆片加工过程中，晶圆片清洗是必不可少的一道前序处理工艺，清洗的主要作用在于去除附着在晶圆片表面的原子、离子、分子、有机沾污或颗粒等杂质，获得洁净的表面，实现对晶圆片的抛光和定向腐蚀等。可以说，晶圆片的清洗效果将直接影响着最终成品的质量。

对于不同规格、不同标准的晶圆片而言，其清洁标准及清洗需要各不相同，因此针对这些晶圆片的清洗方式也需要适应性调整。在现阶段的清洗操作中，采用水浴清洗的方式即可完成对大部分晶圆片加工件的清洁，但对于一些清洁度要求较高的晶圆片加工件而言，还需要结合兆声波清洗来实现深层次的清洁。也正是基于上述工艺需求，目前各加工企业都对其所使用的清洗设备进行了相应的改装，将现有的石英清洗槽及兆声波清洗槽相结合、将石英清洗槽固定于兆声波清洗槽内，以满足组合使用的需要。具体的设置方式参考图1。

但是在实际的使用过程中，技术人员发现，这种简单组合式的设备结构设置存在着几个显著的缺陷：首先，将石英清洗槽固定于兆声波清洗槽内，需要先在原本的石英清洗槽外侧焊接连接法兰，再将石英清洗槽的外接管路一一装配完毕，最后将石英清洗槽装入兆声波清洗槽内；整个操作过程费时费力、安装难度及后续管路的维修难度较大、方案实现成本高。其次，由于兆声波清洗槽内位于外侧，因此其尺寸需要比石英清洗槽的尺寸更大，加之目前兆声波清洗槽的定制价格高昂；这样一来，无疑进一步增加了加工企业的设备成本。此外，设备装配完毕后，石英清洗槽始终泡在兆声波清洗槽内部、其整体所受的浮力较大，又由于石英清洗槽与兆声波清洗槽二者间刚性连接，在浮力的影响下很容易使石英清洗槽的外部受力不均、造成结构损坏。

综上所述，如何在现有技术的基础上提出一种全新的、与现有清洗设备相适配、可应用于化学清洗过程中的清洗机花篮驱动装置，针对现有技术中所存在的上述诸多不足进行相应地提升和改进，也就成为了本领域内技术人员亟待解决的问题。

发明内容

鉴于现有技术存在上述缺陷，本实用新型提出了一种兼具水浴清洗及兆声波清洗功能的组合式清洗设备，具体如下。

一种组合式清洗设备，包括由上至下按序依次设置的石英清洗槽、塑料支架以及兆声波振动板；所述塑料支架的顶部设置有一清洗槽承载空间，所述石英清洗槽与所述塑料支架二者固定连接且所述石英清洗槽的底部设置于所述清洗槽承载空间内，所述塑料支架的底部与所述兆声波振动板相触接。

优选地，所述塑料支架包括一块塑料隔板以及一圈塑料挡板，所述塑料隔板与所述塑料挡板间一体成型，所述塑料挡板设置于所述塑料隔板的上端面且二者共同围成所述清洗槽承载空间。

优选地，所述清洗槽承载空间的横截面尺寸大于所述石英清洗槽底部的横截面尺寸，所述承载空间内固定设置有多个沿垂直方向设置、用于辅助连接所述石英清洗槽的连接支板，每个所述连接支板上固定连接有多个沿水平方向设置、用于承托所述石英清洗槽的清洗槽垫块。

优选地，所述塑料挡板及所述连接支板的上端边缘位置均设置有多个连接孔位；在所述石英清洗槽与所述塑料支架二者的固定连接状态下，连接件穿过所述连接孔位固定连接于所述石英清洗槽的外周侧，所述石英清洗槽的下端面与所述清洗槽垫块的上端面相触接；所述连接件为塑料螺纹顶杆。

优选地，所述清洗槽承载空间内存放有清洗液，所述塑料挡板上开设有用于向所述清洗槽承载空间内注入清洗液的进液接口及用于排出所述清洗槽承载空间内清洗液的排液接口，所述进液接口与所述排液接口均外接有液流管路；在设备的使用状态下，所述清洗槽承载空间内的清洗液液面高于所述石英清洗槽的下端面。

优选地，所述石英清洗槽下端部的外周侧固定连接有一个排废连接口，所述塑料挡板上开设有与所述排废连接口相匹配的接口收纳槽；在所述石英清洗槽与所述塑料支架二者的固定连接状态下，所述排废连接口设置于所述接口收纳槽内。

优选地，所述塑料挡板上还连接有用于保证所述接口收纳槽位置处密封效果的密封连接组件，所述密封连接组件包括一块方形连接挡板以及一块圆形连接挡板，所述方形连接挡板借助塑料螺栓与所述塑料挡板的外周侧固定连接，所述方形连接挡板与所述圆形连接挡板二者借助塑料螺栓固定连接。

优选地，所述方形连接挡板与所述圆形连接挡板上均开设有用于连接所述排废连接口的接口通孔，所述方形连接挡板与所述圆形连接挡板二者均套设于所述排废连接口上。

优选地，所述方形连接挡板的内侧面上开设有多条密封条镶嵌槽，所述密封条镶嵌槽内嵌设有密封条；在所述方形连接挡板与所述塑料挡板的固定连接状态下，所述方形连接挡板的内侧与所述塑料挡板的外周侧触接，所述密封条紧贴于所述塑料挡板的外周侧。

优选地，所述圆形连接挡板的内侧面、所述圆形连接挡板上接口通孔的边缘位置处开设有一圈密封圈镶嵌槽，所述密封圈镶嵌槽内嵌设有密封圈；在所述方形连接挡板与所述圆形连接挡板的固定连接状态下，所述圆形连接挡板的内侧与所述方形连接挡板的外侧触接，所述密封圈紧套于所述排废连接口的外周侧。

与现有技术相比，本实用新型的优点主要体现在以下几个方面：

本实用新型的组合式清洗设备，通过将石英清洗槽与兆声波振动板相结合的方式，使得设备在具有水浴清洗功能的同时兼具了兆声波清晰的功能，在满足使用要求的同时提升了设备运行的稳定性、控制了设备的生产成本、减轻了加工企业的负担。

在本实用新型中，兆声波清洗功能的实现不借助于兆声波清洗槽、仅借助一块兆声波振动板来实现，最大限度上地降低了设备的生产成本。而且兆声波振动板直接设置于石英清洗槽的下方，使得操作者在装配过程中可以先完成设备组装再连接相应的管路，有效地降低了石英清洗槽的安装难度，不仅节约了整体的装配时间，也为后续的设备维护、管路维修提供了便利。

同时，在本实用新型中，在石英清洗槽下方、起支撑作用的塑料支架整体高度交底，清洗过程中存水不明显，作用于石英清洗槽槽体的浮力可忽略不计，从而直接改善了石英清洗槽的外部受力、延长了槽体的使用寿命。

此外，本实用新型的设备整体结构简单，其所使用的各部分零件也大多为技术较为成熟、市面上常见的机加工零部件，各生产企业可以通过对现有的石英清洗槽的简单改装来获取本实用新型的技术方案，不仅最大限度地满足了使用者的使用需要，而且进一步降低了设备整体的生产及维护成本、节约了企业的生产资源。

以下便结合实施例附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详述，以使本实用新型技术方案更易于理解、掌握。

附图说明

图1为现有技术中的清洗设备的结构示意图；

图2为本实用新型的整体结构示意图；

图3为本实用新型中石英清洗槽的结构示意图；

图4为本实用新型中塑料支架与兆声波振动板结合状态下的结构示意图；

其中：1、石英清洗槽；11、排废连接口；2、塑料支架；21、塑料隔板；22、塑料挡板；23、连接支板；24、清洗槽垫块；25、连接孔位；26、进液接口；27、排液接口；3、兆声波振动板；41、方形连接挡板；42、圆形连接挡板。

具体实施方式

本实用新型揭示了一种与现有清洗设备相适配、可应用于化学清洗过程中的清洗机花篮驱动装置，具体如下。

如图2~4所示，一种组合式清洗设备，包括由上至下按序依次设置的石英清洗槽1、塑料支架2以及兆声波振动板3。所述塑料支架2的顶部设置有一清洗槽承载空间，所述石英清洗槽1与所述塑料支架2二者固定连接且所述石英清洗槽1的底部设置于所述清洗槽承载空间内，所述塑料支架2的底部与所述兆声波振动板3相触接。

所述塑料支架2包括一块塑料隔板21以及一圈塑料挡板22，所述塑料隔板21与所述塑料挡板22间一体成型，所述塑料挡板22设置于所述塑料隔板21的上端面且二者共同围成所述清洗槽承载空间。

考虑到所述石英清洗槽1需要装配于所述清洗槽承载空间内，因此所述清洗槽承载空间的横截面尺寸大于所述石英清洗槽1底部的横截面尺寸，所述承载空间内固定设置有多个沿垂直方向设置、用于辅助连接所述石英清洗槽1的连接支板23，每个所述连接支板23上固定连接有多个沿水平方向设置、用于承托所述石英清洗槽1的清洗槽垫块24。

所述塑料挡板22及所述连接支板23的上端边缘位置均设置有多个连接孔位25。在所述石英清洗槽1与所述塑料支架2二者的固定连接状态下，连接件穿过所述连接孔位25固定连接于所述石英清洗槽1的外周侧，所述石英清洗槽1的下端面与所述清洗槽垫块24的上端面相触接。所述连接件为塑料螺纹顶杆，在固定连接状态下，所述塑料螺纹顶杆轻顶所述石英清洗槽1外周侧、相互制约限位，从而实现对所述石英清洗槽1的固定。

在设备的使用状态下，所述清洗槽承载空间内存放有清洗液，且所述清洗槽承载空间内的清洗液液面高于所述石英清洗槽1的下端面。这样的设置也是为了保证位于下方的兆声波振动板3所产生的兆声波能够被顺利地传导至所述石英清洗槽1内。

所述塑料挡板22上开设有用于向所述清洗槽承载空间内注入清洗液的进液接口26及用于排出所述清洗槽承载空间内清洗液的排液接口27，所述进液接口26与所述排液接口27均外接有液流管路。

所述石英清洗槽1下端部的外周侧固定连接有一个排废连接口11，所述塑料挡板22上开设有与所述排废连接口11相匹配的接口收纳槽。在所述石英清洗槽1与所述塑料支架2二者的固定连接状态下，所述排废连接口11设置于所述接口收纳槽内。

所述塑料挡板22上还连接有用于保证所述接口收纳槽位置处密封效果的密封连接组件，所述密封连接组件包括一块方形连接挡板41以及一块圆形连接挡板42，所述方形连接挡板41借助塑料螺栓与所述塑料挡板22的外周侧固定连接，所述方形连接挡板41与所述圆形连接挡板42二者借助塑料螺栓固定连接。

所述方形连接挡板41与所述圆形连接挡板42上均开设有用于连接所述排废连接口11的接口通孔，所述方形连接挡板41与所述圆形连接挡板42二者均套设于所述排废连接口11上。

所述方形连接挡板41的内侧面上开设有多条密封条镶嵌槽，所述密封条镶嵌槽内嵌设有密封条。在所述方形连接挡板41与所述塑料挡板22的固定连接状态下，所述方形连接挡板41的内侧与所述塑料挡板22的外周侧触接，所述密封条紧贴于所述塑料挡板22的外周侧。

所述圆形连接挡板42的内侧面、所述圆形连接挡板42上接口通孔的边缘位置处开设有一圈密封圈镶嵌槽，所述密封圈镶嵌槽内嵌设有密封圈。在所述方形连接挡板41与所述圆形连接挡板42的固定连接状态下，所述圆形连接挡板42的内侧与所述方形连接挡板41的外侧触接，所述密封圈紧套于所述排废连接口11的外周侧。

本实用新型的组合式清洗设备，通过将石英清洗槽与兆声波振动板相结合的方式，使得设备在具有水浴清洗功能的同时兼具了兆声波清晰的功能，在满足使用要求的同时提升了设备运行的稳定性、控制了设备的生产成本、减轻了加工企业的负担。

具体而言，在本实用新型中，兆声波清洗功能的实现不借助于兆声波清洗槽、仅借助一块兆声波振动板来实现，最大限度上地降低了设备的生产成本。而且兆声波振动板直接设置于石英清洗槽的下方，使得操作者在装配过程中可以先完成设备组装再连接相应的管路，有效地降低了石英清洗槽的安装难度，不仅节约了整体的装配时间，也为后续的设备维护、管路维修提供了便利。

同时，在本实用新型中，在石英清洗槽下方、起支撑作用的塑料支架整体高度交底，清洗过程中存水不明显，作用于石英清洗槽槽体的浮力可忽略不计，从而直接改善了石英清洗槽的外部受力、延长了槽体的使用寿命。

此外，本实用新型的设备整体结构简单，其所使用的各部分零件也大多为技术较为成熟、市面上常见的机加工零部件，各生产企业可以通过对现有的石英清洗槽的简单改装来获取本实用新型的技术方案，不仅最大限度地满足了使用者的使用需要，而且进一步降低了设备整体的生产及维护成本、节约了企业的生产资源。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神和基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (10)

1.一种组合式清洗设备，其特征在于：包括由上至下按序依次设置的石英清洗槽（1）、塑料支架（2）以及兆声波振动板（3）；所述塑料支架（2）的顶部设置有一清洗槽承载空间，所述石英清洗槽（1）与所述塑料支架（2）二者固定连接且所述石英清洗槽（1）的底部设置于所述清洗槽承载空间内，所述塑料支架（2）的底部与所述兆声波振动板（3）相触接。

2.根据权利要求1所述的组合式清洗设备，其特征在于：所述塑料支架（2）包括一块塑料隔板（21）以及一圈塑料挡板（22），所述塑料隔板（21）与所述塑料挡板（22）间一体成型，所述塑料挡板（22）设置于所述塑料隔板（21）的上端面且二者共同围成所述清洗槽承载空间。

3.根据权利要求2所述的组合式清洗设备，其特征在于：所述清洗槽承载空间的横截面尺寸大于所述石英清洗槽（1）底部的横截面尺寸，所述承载空间内固定设置有多个沿垂直方向设置、用于辅助连接所述石英清洗槽（1）的连接支板（23），每个所述连接支板（23）上固定连接有多个沿水平方向设置、用于承托所述石英清洗槽（1）的清洗槽垫块（24）。

4.根据权利要求3所述的组合式清洗设备，其特征在于：所述塑料挡板（22）及所述连接支板（23）的上端边缘位置均设置有多个连接孔位（25）；在所述石英清洗槽（1）与所述塑料支架（2）二者的固定连接状态下，连接件穿过所述连接孔位（25）固定连接于所述石英清洗槽（1）的外周侧，所述石英清洗槽（1）的下端面与所述清洗槽垫块（24）的上端面相触接；所述连接件为塑料螺纹顶杆。

5.根据权利要求3所述的组合式清洗设备，其特征在于：所述清洗槽承载空间内存放有清洗液，所述塑料挡板（22）上开设有用于向所述清洗槽承载空间内注入清洗液的进液接口（26）及用于排出所述清洗槽承载空间内清洗液的排液接口（27），所述进液接口（26）与所述排液接口（27）均外接有液流管路；在设备的使用状态下，所述清洗槽承载空间内的清洗液液面高于所述石英清洗槽（1）的下端面。

6.根据权利要求3所述的组合式清洗设备，其特征在于：所述石英清洗槽（1）下端部的外周侧固定连接有一个排废连接口（11），所述塑料挡板（22）上开设有与所述排废连接口（11）相匹配的接口收纳槽；在所述石英清洗槽（1）与所述塑料支架（2）二者的固定连接状态下，所述排废连接口（11）设置于所述接口收纳槽内。

7.根据权利要求6所述的组合式清洗设备，其特征在于：所述塑料挡板（22）上还连接有用于保证所述接口收纳槽位置处密封效果的密封连接组件，所述密封连接组件包括一块方形连接挡板（41）以及一块圆形连接挡板（42），所述方形连接挡板（41）借助塑料螺栓与所述塑料挡板（22）的外周侧固定连接，所述方形连接挡板（41）与所述圆形连接挡板（42）二者借助塑料螺栓固定连接。

8.根据权利要求7所述的组合式清洗设备，其特征在于：所述方形连接挡板（41）与所述圆形连接挡板（42）上均开设有用于连接所述排废连接口（11）的接口通孔，所述方形连接挡板（41）与所述圆形连接挡板（42）二者均套设于所述排废连接口（11）上。

9.根据权利要求8所述的组合式清洗设备，其特征在于：所述方形连接挡板（41）的内侧面上开设有多条密封条镶嵌槽，所述密封条镶嵌槽内嵌设有密封条；在所述方形连接挡板（41）与所述塑料挡板（22）的固定连接状态下，所述方形连接挡板（41）的内侧与所述塑料挡板（22）的外周侧触接，所述密封条紧贴于所述塑料挡板（22）的外周侧。

10.根据权利要求8所述的组合式清洗设备，其特征在于：所述圆形连接挡板（42）的内侧面、所述圆形连接挡板（42）上接口通孔的边缘位置处开设有一圈密封圈镶嵌槽，所述密封圈镶嵌槽内嵌设有密封圈；在所述方形连接挡板（41）与所述圆形连接挡板（42）的固定连接状态下，所述圆形连接挡板（42）的内侧与所述方形连接挡板（41）的外侧触接，所述密封圈紧套于所述排废连接口（11）的外周侧。

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