CN204842350U - 一种备件清洗装置 - Google Patents
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Abstract
一种备件清洗装置，用于气相沉积设备中石英备件的清洗，包括：清洗槽、备件置放治具、气泡产生装置；其中，所述清洗槽用于盛放清洗液体及所述备件置放治具；所述备件置放治具包含有上、下支架，所述下支架活动连接于治具底面，于水平方向调节所述治具容纳备件的宽度；所述上支架活动连接于治具本体中部位置，于垂直方向调节所述治具容纳备件的高度，用以置放不同体积及形状的备件；所述气泡产生装置包括气泡发生器、气体流通管路。本实用新型可减少备件清洗过程中备件的损坏，以及降低对清洗装置使用的浪费。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体生产辅助用具技术领域，主要涉及一种备件清洗装置。
背景技术
半导体外延制程工艺中经常大量使用石英材质的备件，而因为石英材质不耐高温，无法采用高温烤炉来去除外延生长后沉积在备件表面的外延层；同时，采用喷砂机来处理石英备件表面时，会出现石英表面粗糙度、平整度的参数无法达标，造成料件报废。
现有技术中，备件清洗大多是将备件置于清洗槽中利用有机溶液、强酸、强碱等溶液依次对备件进行处理，且需要使用超声波对备件进行高强度的震荡，不仅工序繁琐复杂，且强酸、强碱、超声波会腐蚀石英表面或使备件破损，且清洗槽体积较大，即使仅清洗少量备件，也需将清洗槽配置的震荡装置完全打开，造成生产成本增加，不适合大规模生产需求。
发明内容
为了克服以上不足，本实用新型旨在提供一种备件清洗装置，有效应用于备件清洗制程，避免去除备件表面沉积的外延层时损坏备件。
本实用新型采取的技术方案为：一种备件清洗装置，用于气相沉积设备中石英备件的清洗，包括：备件置放治具、位于所述备件置放治具底部的气泡产生装置、盛放清洗液体及所述备件置放治具的清洗槽；其中，所述备件置放治具包含有上、下支架，所述下支架活动连接于治具底面，于水平方向调节所述治具容纳备件的宽度；所述上支架活动连接于治具本体中部位置，于垂直方向调节所述治具容纳备件的高度，用以置放不同体积及形状的备件；所述气泡产生装置包括气泡发生器以及与所述气泡发生器连接的气体流通管路。
优选的，所述上、下支架均具有复数个卡槽，用以容纳及固定备件，避免所述备件在清洗时因清洗液的流动而晃动导致碰撞。
优选的，所述上、下支架与治具连接处均为沟槽结构，所述水平与垂直方向调节分别沿所述沟槽移动。
优选的，所述气泡发生器的气体出口端置有直径大于或等于气体流通管路的球体，用以避免所述气泡发生器工作过程因倒吸而污染所述气体流通管路。
优选的，所述气泡产生装置为压缩空气鼓泡装置或惰性气体鼓泡装置。
优选的，所述气泡发生器的气体出口端连接有气泡溢出装置，所述气泡溢出装置具有复数个气泡溢出孔，用于增加气泡产生数量。
优选的，所述气体流通管路附着并固定于备件置放治具的边缘，一端连接于气泡发生装置，另一端连接于气体供应源。
优选的，所述气体流通管路还包括压力流量调节阀，用于调节进入气泡发生器的气体流量及压力，进而调节气泡的体积及数量。
本实用新型至少具有以下有益效果：（1）利用备件置放治具中的上、下支架调节治具内部体积，利于置放不同体积及形状的待清洗备件；同时，将每一备件置放治具配备一个气泡发生器，增加近距离气泡作用效果，同时仅使用装有备件的治具所对应的气泡发生器，避免浪费。（2）相对于超声波震荡，利用鼓泡装置，可以在不影响清洗效果的前提下，减小对备件的耗损及破坏；且在鼓泡装置中设置防倒吸装置，避免鼓泡装置在工作过程中倒吸污染气体流通管路。
附图说明
图1为本实用新型实施例1之备件清洗装置示意图。
图2为本实用新型实施例1之备件置放治具与气泡产生装置组合的正视图。
图3为本实用新型实施例1之备件置放治具与气泡产生装置组合的侧视图。
图4为本实用新型实施例1之气泡发生器示意图。
附图中各元件标号说明如下：
1.气体入口；2.压力流量调节阀；3.气体流通管路；4.备件；5.备件置放治具；6.上支架；61.上支架卡槽；7.下支架；71.下支架卡槽；8.气泡发生器；9.上支架固定螺丝；10.下支架固定螺丝；11.气泡溢出孔；12.球体；13.垂直调节沟槽；14.水平调节沟槽；15.清洗槽；16.弹簧；17.气体出口端；18.气泡溢出装置。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施案例对本实用新型作进一步的详细描述，有关本实用新型的相关技术内容，特点和功效，将可以清楚的呈现。
本实用新型装置主要用于湿法清洗，参看附图1，正常作业时，备件置放治具5置于清洗槽15内，浸没于清洗液中，根据实际需求对一个或多个备件置放治具5内的备件4同时进行清洗。参看附图2和3，备件4存放于备件置放治具5内，备件置放治具5为非封闭的框架结构，使清洗液与备件4充分接触；同时，为固定备件4及调节备件置放治具5容纳备件4的高度及宽度，备件置放治具5包含有上支架6和下支架7，且上支架6和下支架7分别通过固定螺丝9和10活动连接于备件置放治具5的中间位置及底部区域，连接处为包括垂直调节沟槽13和水平调节沟槽14的沟槽结构；沿垂直调节沟槽13在垂直方向调节上支架6可容纳备件4的高度，沿水平调节沟槽14在水平方向调节下支架7容纳备件4的宽度，进而调节备件置放治具5的内部体积，以利于置放不同体积及形状的备件4。而为防止备件4在清洗过程中因清洗液体流动而晃动导致碰撞，故在上、下支架6和7接触备件4的侧壁设置卡槽结构的上支架卡槽61和下支架卡槽71，使备件4的中部和底部卡固于上支架卡槽61和下支架卡槽71中，避免备件4在清洗过程中因液体流动造成的备件4之间相互接触磕碰，减小清洗过程中备件4的损坏率。
当存放有备件4的备件置放治具5置于清洗槽15并浸没于清洗液时，气泡产生装置产生气泡，通过气泡的作用，加速备件4表面沉积物的溶解，加快清洗速率。气泡产生装置为压缩空气鼓泡装置或惰性气体鼓泡装置，此处优选压缩空气鼓泡装置，气泡产生装置包括气泡发生器8和气体流通管路3，气体流通管路3附着并固定于备件置放治具5的边缘，一端连接于气泡发生器8，另一端连接于气体供应源（图中未示出）；气体由气体流通管路3的气体入口1进入，经过压力流量调节阀2，调节进入气体流通管路3的气体流量及压力，进而控制进入气泡发生器8的气体流量及压力，从而调节气泡的数量及体积。参看附图4，到达气泡发生器8的气流从气体出口端17处推开球体12，气体进入气泡溢出装置18，并从气泡溢出孔11溢出至清洗液中，从而产生气泡；而当气体停止供应时，因为弹簧16的弹力，使球体12堵住气体出口端17，使清洗溶液无法逆流至气体流通管路3，从而达到防止倒吸污染气体流通管路3的作用，所述球体12直径大于或等于气体流通管路的直径。清洗过程中，清洗槽15内加入碱性溶液、双氧水、纯水混合而成的清洗液并浸没备件4，而气泡发生器8产生的气泡通过浮力作用不断运动，使得临近备件4表面的混合清洗液与远离备件4的混合清洗液之间浓度趋于均匀，加速备件4表面沉积物的溶解，增加清洗速率，而为了加快备件4表面沉积物的溶解，清洗槽15内部还设置有具有加热功能的结构（图中未示出），可更进一步加快清洗速率。
本实用新型清洗装置中，备件置放治具5采用铁氟龙等耐酸耐碱的材料制备而成，每一备件置放治具5均配置有气泡产生装置，清洗备件4时只需启动该备件置放治具5对应的气泡产生装置即可，相较于现有技术中于清洗槽设置大流量气泡产生装置，减小了资源浪费；且本实用新型备件置放治具5设置有可活动调节的上支架6和下支架7，灵活调节备件置放治具5的内部体积，方便置放不同形状体积的备件4，提高备件置放治具5的利用率。
应当理解的是，上述具体实施方案为本实用新型的优选实施例，本实用新型的范围不限于该实例，凡依照本实用新型所做的任何变更，皆属本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种备件清洗装置，其特征在于，用于气相沉积设备中石英备件的清洗，包括：备件置放治具、位于所述备件置放治具底部的气泡产生装置，以及盛放清洗液体和所述备件置放治具的清洗槽；其中，所述备件置放治具为非封闭框架结构，包含有上、下支架，所述下支架活动连接于治具底面，于水平方向调节所述治具容纳备件的宽度；所述上支架活动连接于治具中部位置，于垂直方向调节所述治具容纳备件的高度，用以置放不同体积及形状的备件，其中，所述气泡产生装置包括气泡发生器及与所述气泡发生器连接的气体流通管路。
2.根据权利要求1所述的一种备件清洗装置，其特征在于：所述上、下支架均具有复数个卡槽，用以容纳及固定备件，避免所述备件在清洗时因清洗液的流动而晃动导致碰撞。
3.根据权利要求1所述的一种备件清洗装置，其特征在于：所述上、下支架与所述备件置放治具连接处均为沟槽结构，所述水平与垂直方向调节分别沿所述沟槽移动。
4.根据权利要求1所述的一种备件清洗装置，其特征在于：所述气泡发生器的气体出口端置有直径大于或等于气体流通管路的球体，用以避免所述气泡发生器工作过程因倒吸而污染气体流通管路。
5.根据权利要求1所述的一种备件清洗装置，其特征在于：所述气泡产生装置为压缩空气鼓泡装置或惰性气体鼓泡装置。
6.根据权利要求1所述的一种备件清洗装置，其特征在于：所述气泡发生器的气体出口端连接有气泡溢出装置，所述气泡溢出装置具有复数个气泡溢出孔，用于增加气泡产生数量。
7.根据权利要求1所述的一种备件清洗装置，其特征在于：所述气体流通管路附着并固定于所述备件置放治具的边缘，一端连接于气泡发生装置，另一端连接于气体供应源。
8.根据权利要求1所述的一种备件清洗装置，其特征在于：所述气体流通管路还包括压力流量调节阀，用于调节进入气泡发生器的气体流量及压力，进而调节气泡的体积及数量。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN109047216A (zh) * | 2018-07-16 | 2018-12-21 | 芜湖康奇制药有限公司 | 一种维生素b6注射液用的敞口安瓿瓶清洗装置 |
| CN109465222A (zh) * | 2018-09-21 | 2019-03-15 | 扬州青歌商贸有限公司 | 一种用于电风扇扇叶的清洗装置及其操作方法 |
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