CN212182282U - 一种晶圆与蓝宝石的快速分离装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆与蓝宝石的快速分离装置，包括工作台，工作台上通过水平移动模组设置下吸盘组件，下吸盘组件在水平移动模组的驱动下能进行水平方向的移动及精准定位，下吸盘组件包括下吸盘，下吸盘的表面设置有真空吸附槽及晶圆精确定位机构，通过真空接口并利用吸附槽进行吸附，且工作台上还设置有基板分离组件，基板分离组件包括上吸盘，且下吸盘组件在水平移动模组的作用下，下吸盘能移动至上吸盘的下方并精准定位，且下吸盘上还设置有换热管及精密温度传感器。通过微电脑控制吸盘到达胶水熔点使胶水融化后，上吸盘和下吸盘分别吸取晶圆和蓝宝石并保持一定的间隙水平移动分离的方式，大大降低了晶圆的不良率。
Description
技术领域
本实用新型涉及蓝宝石分离设备领域，尤其涉及一种晶圆与蓝宝石的快速分离装置。
背景技术
由于晶圆片很薄很脆而且容易碎裂，所以在加工前会将晶圆片通过UV胶粘贴在蓝宝石基板上，然后开始加工，加工完成并检测合格之后，需要将晶圆与蓝宝石分离。而现有的蓝宝石和晶圆的分离是通过加热让胶完全融化失去粘性后，通过真空垂直吸取的方式垂直分离，这种分离方式导致晶圆片变形或碎裂的风险高，生产过程中晶圆报废率比较高、生产效率低下，损失严重。
因此本实用新型发明人，针对上述技术问题，旨在发明一种晶圆与蓝宝石的快速分离装置。
实用新型内容
为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种晶圆与蓝宝石的快速分离装置。
为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种晶圆与蓝宝石的快速分离装置，包括工作台，所述工作台上通过水平移动模组设置有下吸盘组件，所述下吸盘组件在水平移动模组的驱动下能进行水平方向的移动，所述下吸盘组件包括下吸盘，且所述下吸盘内部设置有换热管，且所述下吸盘内还设置有真空腔室，且所述下吸盘的侧面设置有有真空接口，所述下吸盘的表面设置有吸附槽，且通过所述真空接口使所述真空腔室抽真空，并利用所述吸附槽进行吸附，且所述工作台上部还设置有基板分离组件，所述基板分离组件包括上吸盘，所述上吸盘也设置有真空腔体，同时所述上吸盘还连接有上下移动模组，并能通过所述上下移动模组驱动上吸盘进行上下移动。
优选地，所述下吸盘上还设置有温度传感器。通过微电脑精确控制吸盘表面的温度，可以保证对晶圆加热的温度，上吸盘表面设置有温度传感器，可以实时测定蓝宝石表面的温度。
优选地，所述基板分离组件还包括拉压力传感器，所述拉压力传感器与上吸盘连接，并能测量所述上吸盘的拉压力。即保证晶圆与蓝宝石分离时的均匀的拉力，从而大大降低因拉力过大或不均匀导致的晶圆变形，而且上下移动模组包括伺服电机、精密丝杆、螺母、滑轨、滑块、光栅尺组成，能够保证分离时上下移动的位置精度。
优选地，所述上吸盘的吸附槽朝下设置，所述下吸盘的吸附槽朝上设置。
优选地，所述水平移动模组包括伺服电机、水平滑轨和滑块，所述水平滑轨设置在工作台上，所述滑块滑动设置在水平滑轨上，且所述伺服电机连接滑块，并能驱动所述滑块沿水平滑轨方向移动。
优选地，所述水平移动模组上还设置有蓝宝石托架，且所述蓝宝石托架与水平移动模组的滑块连接，且能在所述滑块滑动的同时带动所述蓝宝石托架进行移动。水平移动模组也包括伺服电机连接滚珠丝杆，滚珠丝杆上套设螺母，螺母连接滑块，滑块设置在滑轨上，并利用光栅尺确保水平移动的定位精度，而且蓝宝石托架与下吸盘组件是同步驱动的，保证了上吸盘吸附蓝宝石后，及时的放置在蓝宝石托架上。
而且水平移动模组和上下移动模组均是紧密控制的，上下移动模组的移动范围在2um，保证能取出蓝宝石，又能防止蓝宝石的破损。
本实用新型一种晶圆与蓝宝石的快速分离装置的有益效果是，通过加热使胶水融化后，上吸盘和下吸盘之间分别吸取晶圆和蓝宝石并保持一定的间隙水平移动分离的方式，大大降低了垂直拉取导致的晶圆片变形和碎裂的风险。
附图说明
图1为晶圆与蓝宝石的快速分离装置的结构示意图。
图2为下吸盘的结构示意图。
图中：
1-工作台，2-水平移动模组，3-下吸盘组件，4-基板分离组件，5-蓝宝石托架，
21-伺服电机，22-水平滑轨，23-滑块，
31-下吸盘，32-换热管，33-温度传感器，311-真空接口，312-吸附槽，
41-上吸盘，42-上下移动模组，43-连接块，44-拉压力传感器。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
参见附图1-2所示，本实施例中的一种晶圆与蓝宝石的快速分离装置，包括工作台1，工作台1上通过水平移动模组2设置有下吸盘组件3，下吸盘组件3在水平移动模组2的驱动下能进行水平方向的移动，下吸盘组件3包括下吸盘31，且下吸盘31内部设置有换热管32，且下吸盘31内还设置有真空腔室，且下吸盘31的侧面设置有有真空接口311，下吸盘31的表面设置有吸附槽312，且通过真空接口311使真空腔室抽真空，并利用吸附槽312进行吸附，且工作台1上部还设置有基板分离组件4，基板分离组件4包括上吸盘41，上吸盘41也设置有真空腔体，同时上吸盘41还连接有上下移动模组42，并能通过上下移动模组42驱动上吸盘41进行上下移动。
下吸盘31上还设置有温度传感器33。通过微电脑精确控制吸盘表面的温度，可以保证对晶圆加热的温度，上吸盘41表面设置有温度传感器33，可以实时测定蓝宝石表面的温度。
基板分离组件4还包括拉压力传感器44，拉压力传感器44与上吸盘41连接，并能测量上吸盘41的拉压力。即保证晶圆与蓝宝石分离时的均匀的拉力，从而大大降低因拉力过大或不均匀导致的晶圆变形，而且上下移动模组42包括伺服电机21、精密丝杆、螺母、滑轨、滑块23、光栅尺组成，能够保证分离时上下移动的位置精度。
上吸盘41的吸附槽312朝下设置，下吸盘31的吸附槽312朝上设置。而且上吸盘41与上下移动模组42之间通过连接块43进行连接。
水平移动模组2包括伺服电机21、水平滑轨22和滑块23，水平滑轨22设置在工作台1上，滑块23滑动设置在水平滑轨22上，且伺服电机21连接滑块23，并能驱动滑块23沿水平滑轨22方向移动。
水平移动模组2上还设置有蓝宝石托架5，且蓝宝石托架5与水平移动模组2的滑块23连接，且能在滑块23滑动的同时带动蓝宝石托架5进行移动。水平移动模组2也包括伺服电机21连接滚珠丝杆，滚珠丝杆上套设螺母，螺母连接滑块23，滑块23设置在滑轨上，并利用光栅尺确保水平移动的定位精度，而且蓝宝石托架5与下吸盘组件3是同步驱动的，保证了上吸盘41吸附蓝宝石后，及时的放置在蓝宝石托架5上。
一种晶圆与蓝宝石的快速分离装置的有益效果是，通过加热使胶水融化后，上吸盘41和下吸盘31之间分别吸取晶圆和蓝宝石并保持一定的间隙水平移动分离的方式，大大降低了垂直拉取导致的晶圆片变形和碎裂的风险，方便了后续晶圆和蓝宝石的再利用。
本装置工作方式：先将粘结有蓝宝石的晶圆，晶圆面向下放置在下吸盘31上的定位槽内，抽真空吸附。然后精确平移至上吸盘41下方，上吸盘41下移与蓝宝石接触(拉压力传感器44的反馈值与压力设定值相同)。此时下吸盘31的换热管32开始加热，达到设定温度时保持恒温控制，当上吸盘41的温度传感器33检测到设定温度时(胶的融化温度)，上吸盘41开始上移至拉力设定值后，下吸盘31相对上吸盘41开始按照设定速度水平移动，从而达到晶圆与蓝宝石的快速分离。
本装置的使用方法为：
人员将产品放置在下吸盘31→抽真空吸住产品→水平移动至上吸盘41下方→上吸盘41下移至产品位置→上吸盘41抽真空→加热至设定温度→上吸盘41上移设定值→水平移动模组2，水平向前缓慢移动至完全分离→上吸盘41移至蓝宝石托架5上方→下移破真空将蓝宝石放置托架上→快速移动至原始位置→人工下料。
以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
Claims (6)
1.一种晶圆与蓝宝石的快速分离装置，其特征在于：包括工作台，所述工作台上通过水平移动模组设置有下吸盘组件，所述下吸盘组件在水平移动模组的驱动下能进行水平方向的移动，所述下吸盘组件包括下吸盘，且所述下吸盘内部设置有换热管，且所述下吸盘内还设置有真空腔室，且所述下吸盘的侧面设置有有真空接口，所述下吸盘的表面设置有吸附槽，且通过所述真空接口使所述真空腔室抽真空，并利用所述吸附槽进行吸附，且所述工作台上部还设置有基板分离组件，所述基板分离组件包括上吸盘，所述上吸盘也设置有真空腔体，同时所述上吸盘还连接有上下移动模组，并能通过所述上下移动模组驱动上吸盘进行上下移动。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆与蓝宝石的快速分离装置，其特征在于：所述下吸盘上还设置有温度传感器。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆与蓝宝石的快速分离装置，其特征在于：所述基板分离组件还包括拉压力传感器，所述拉压力传感器与上吸盘连接，并能测量所述上吸盘的拉压力。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆与蓝宝石的快速分离装置，其特征在于：所述上吸盘的吸附槽朝下设置，所述下吸盘的吸附槽朝上设置。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆与蓝宝石的快速分离装置，其特征在于：所述水平移动模组包括伺服电机、水平滑轨和滑块，所述水平滑轨设置在工作台上，所述滑块滑动设置在水平滑轨上，且所述伺服电机连接滑块，并能驱动所述滑块沿水平滑轨方向移动。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆与蓝宝石的快速分离装置，其特征在于：所述水平移动模组上还设置有蓝宝石托架，且所述蓝宝石托架与水平移动模组的滑块连接，且能在所述滑块滑动的同时带动所述蓝宝石托架进行移动。
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| CN202021397487.9U CN212182282U (zh) | 2020-07-15 | 2020-07-15 | 一种晶圆与蓝宝石的快速分离装置 |
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| CN202021397487.9U CN212182282U (zh) | 2020-07-15 | 2020-07-15 | 一种晶圆与蓝宝石的快速分离装置 |
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| CN202021397487.9U Active CN212182282U (zh) | 2020-07-15 | 2020-07-15 | 一种晶圆与蓝宝石的快速分离装置 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115036225A (zh) * | 2022-08-11 | 2022-09-09 | 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所) | 一种蓝宝石晶圆键合的超高温真空键合设备 |
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2020
- 2020-07-15 CN CN202021397487.9U patent/CN212182282U/zh active Active
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| CN115036225A (zh) * | 2022-08-11 | 2022-09-09 | 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所) | 一种蓝宝石晶圆键合的超高温真空键合设备 |
| CN115036225B (zh) * | 2022-08-11 | 2022-11-15 | 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所) | 一种蓝宝石晶圆键合的超高温真空键合设备 |
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