CN212152436U - 一种化学气相沉积设备晶圆举起箍组件 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种化学气相沉积设备晶圆举起箍组件，其包括升降环和带动升降环位移的升降件，升降环远离升降件的一侧推动有装载环，装载环远离升降环的一侧可拆卸连接有多个提升销；多个提升销远离装载环的一端贯穿有位置固定的加热器，加热器限定提升销的路径；提升销的端部贯穿装载环并与装载环螺纹连接，装载环与升降环之间设置有阻止提升销端部与装载环接触的让位部。本申请具有延缓螺丝松动时间的效果。

Description

一种化学气相沉积设备晶圆举起箍组件

技术领域

本申请涉及半导体设备的领域，尤其是涉及一种化学气相沉积设备晶圆举起箍组件。

背景技术

化学气相沉积（CVD）技术是用来制备高纯、高性能固体薄膜的主要技术。在典型的CVD工艺过程中，把一种或多种蒸汽源原子或分子引入腔室中，在外部能量作用下发生化学反应并在衬底表面形成需要的薄膜。由于CVD技术具有成膜范围广、重现性好等优点，被广泛用于多种不同形态的成膜。

关于半导体等离子增强化学气相沉积设备加热器盖板提升销升降组件的改造。一种半导体设备的铝制加热器盖板的陶瓷提升销升降组件，参考图1，提升销升降组件和提升销的螺纹底部接触，升降过程中导致螺纹松动。螺纹松动会导致提升销运行时偏移从而导致晶圆片的位移，严重导致晶圆片破损。

针对上述中的相关技术，发明人认为提升销的底部是螺纹结构，螺纹固定于提升销装载圆环，会有一部分螺纹突出于圆环底部，由于升降组件和突出的螺纹接触，加速提升销的螺纹松动，当提升销松动，会造成晶片在反应腔内位置改变，严重会导致晶圆片破损。

实用新型内容

为了延缓螺丝松动时间，本申请提供一种化学气相沉积设备晶圆举起箍组件。

本申请提供的一种化学气相沉积设备晶圆举起箍组件采用如下的技术方案：

一种化学气相沉积设备晶圆举起箍组件，包括升降环和带动所述升降环位移的升降件，所述升降环远离所述升降件的一侧推动有装载环，所述装载环远离所述升降环的一侧可拆卸连接有多个提升销；多个所述提升销远离所述装载环的一端贯穿有位置固定的加热器，所述加热器限定所述提升销的路径；所述提升销的端部贯穿所述装载环并与所述装载环螺纹连接，所述装载环与所述升降环之间设置有阻止所述提升销端部与所述装载环接触的让位部。

通过采用上述技术方案，由于提升销和装载环是螺纹连接，让位部使得升降环不直接与装载环上的提升销进行接触，减少了因震动让提升销与装载环之间螺纹发生松动的情况，使得螺纹不容易松脱，降低圆晶因此在加热器上歪斜而加工失败的概率。

可选的，所述让位部为开设在所述升降环上的多个凹槽，所述凹槽的位置对应所述提升销的端部，且用于容纳所述提升销凸出于所述装载环表面的部位。

通过采用上述技术方案，在驱动件驱动升降环进行升降的过程中，让位部可以使得提升销避开升降环的主体部位，凸出于装载环表面的提升销端部位于凹槽中，减少了因震动让提升销与装载环之间螺纹发生松动的情况，延缓螺丝松动时间。

可选的，所述凹槽向一侧延伸至贯穿所述升降环的内缘形成槽缺口。

通过采用上述技术方案，让升降环能适用于不同型号与尺寸的提升销，也能方便拆卸，让提升销的端部从槽缺口离开让位部。

可选的，所述让位部包括固定连接在所述装载环上的支撑件，所述支撑件开设有对准所述提升销端部的通孔，所述通孔容纳所述提升销的端部。

通过采用上述技术方案，支撑件被压接在升降环与装载环之间，凸出于装载环表面的提升销端部位于通孔中，减少了因震动让提升销与装载环之间螺纹发生松动的情况，延缓螺丝松动时间。

可选的，所述支撑件与所述升降环螺纹连接，旋动所述支撑件后，所述支撑件在所述升降环上升高或者下降。

通过采用上述技术方案，旋拧支撑件，可调节支撑件在升降环上的高度位置，从而适用于提升销露出于装载环表面不同长度的端部。

可选的，所述让位部包括支撑件，所述支撑件与所述装载环螺纹连接，旋动所述支撑件后，所述支撑件在所述装载环上升高或者下降。

通过采用上述技术方案，旋拧支撑件，可调节支撑件在装载环上的高度位置，从而适用于提升销露出于装载环表面不同长度的端部。

可选的，所述让位部包括支撑件，所述支撑件与所述提升销螺纹连接，所述提升销、所述支撑件以及所述装载环位置固定后，所述支撑件以及所述装载环并紧。

通过采用上述技术方案，支撑件保护了提升销的端部，又能与装载环并紧，提升紧固力，延缓螺丝松动时间。

可选的，所述支撑件的侧面贯穿开设有插孔，所述插孔内螺纹连接有抵紧于提升销侧壁的插销。

通过采用上述技术方案，插销利于固定支撑件与提升销之间的相对位置，延缓螺丝松动时间。

可选的，所述升降件包括驱动件和丝杆传动件，所述驱动件驱动所述丝杆传动件动作，所述丝杆传动件具有滑动件，所述滑动件与所述升降环固定连接。

通过采用上述技术方案，驱动件驱动丝杆传动件动作让升降环实现升降。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.由于提升销和装载环是螺纹连接，采用凹槽或开设通孔的支撑件作为让位部，保护了提升销露出于装载环的端部，使得升降环不直接与装载环上的提升销进行接触，减少了因震动让提升销与装载环之间螺纹发生松动的情况，使得螺纹不容易松脱，降低圆晶因此在加热器上歪斜而加工失败的概率。

附图说明

图1是现有技术中升降环的整体结构示意图；

图2是升降环开设凹槽的整体结构示意图；

图3是凹槽设有槽缺口的整体结构示意图；

图4是让位部设为支撑件的结构示意图；

图5是支撑件与装载环以及提升销螺纹连接的结构示意图；

图6是支撑件与升降环螺纹连接的结构示意图。

附图标记：1、升降环；2、驱动件；3、丝杆传动件；4、滑动件；5、装载环；6、提升销；7、让位部；8、插销。

具体实施方式

以下结合附图2-6对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种化学气相沉积设备晶圆举起箍组件，参照图1与图4，包括圆弧形的升降环1，升降环1的弧度大于180°。升降环1的下方设置有带动升降环1在竖直方向上位移的升降件，升降件包括驱动件2和丝杆传动件3。驱动件2设置为马达或者伺服电机，自带有驱动控制器。马达驱动丝杆传动件3动作，丝杆传动件3上设有滑动件4，滑动件4在丝杆传动件3上沿竖直方向滑动。滑动件4与升降环1通过螺栓固定安装。从而使得马达通过丝杆传动件3动作带动升降环1实现升降。

升降环1远离升降件的一侧推动有装载环5，装载环5呈圆环形且为水平设置，压接在升降环1上。装载环5远离升降环1的一侧可拆卸连接有多个竖直设置的提升销6，本实施例中提升销6设为三个，且均匀分布在装载环5上。升降环1的上方设有平板状的加热器，加热器水平放置，加热器贯穿开设有与提升销6对应的孔，孔的开口方向为竖直。多个提升销6远离装载环5的一端通过孔并贯穿加热器，加热器为平板状加热器限定提升销6的路径。提升销6的上端顶接圆晶，提升销6的下端与装载环5螺纹连接。

为了延缓螺纹连接处的松动，提升实用寿命。装载环5与升降环1之间设置有阻止提升销6端部与装载环5接触的让位部7。让位部7为开设在升降环1上的多个圆形凹槽，凹槽的位置对应提升销6的端部，凹槽设为圆形以与提升销6端部的形状适配，当升降环1与装载环5接触后，凹槽容纳提升销6凸出于装载环5表面的部位。驱动件2驱动丝杆传动件3动作，使得丝杆传动件3带动升降环1进行升降，让位部7的端部会进入凹槽内，使得提升销6避开升降环1的主体部位，不与升降环1接触，减少了因震动让提升销6与装载环5之间螺纹发生松动的情况，延缓螺丝松动时间。

如图3所示，凹槽向升降环1的圆心处延伸并贯穿升降环1的内缘，凹槽延伸的部位形成扩口状的槽缺口。在拆装设备时，槽缺口提供了一条额外的供提升销6端部经过的通道。同时也能让升降环1能适用于不同姿态、不同位置、不同型号与尺寸的提升销6。

在其它一些实施情况下，如图5所示，让位部7包括焊接固定或者螺纹连接在装载环5下端的支撑件，支撑件呈圆柱状，其轴心线为竖直设置。若支撑件与升降环1螺纹连接，则旋动支撑件后，支撑件在升降环1上的高度发生变化，变得升高或者下降。调节支撑件在升降环1上的高度位置，在提升销6露出于装载环5表面的端部长度不同时，可以相适应性。支撑件的中间开设有通孔，通孔对准提升销6端部以用于容纳提升销6的端部。当升降环1顶起装载环5之后，支撑件被压接在升降环1与装载环5之间，此时，凸出于装载环5表面的提升销6端部位于通孔中，减少了因震动让提升销6与装载环5之间螺纹发生松动的情况，延缓螺丝松动时间。

在其它一些实施情况下，让位部7包括支撑件，支撑件可与装载环5螺纹连接，若支撑件与装载环5螺纹连接，则旋动支撑件后，支撑件在装载环5上的高度发生变化，变得升高或者下降。调节支撑件在装载环5上的高度位置，在提升销6露出于装载环5表面的端部长度不同时，可以相适应性。

在其它一些实施情况下，让位部7包括支撑件，如图6所示，支撑件与提升销6螺纹连接，支撑件的侧面贯穿开设有插孔，插孔内螺纹连接有抵紧于提升销6侧壁的插销8。提升销6、支撑件以及装载环5位置固定后，旋紧插销8，插销8后利于固定支撑件与提升销6之间的相对位置，延缓螺丝松动时间。支撑件以及装载环5并紧后，能保护提升销6的端部，又能与装载环5并紧，提升紧固力，延缓螺丝松动时间。

本申请实施例一种化学气相沉积设备晶圆举起箍组件的实施原理为：让位部7使得升降环1不直接与装载环5上的提升销6进行接触，减少了因震动让提升销6与装载环5之间螺纹发生松动的情况，使得螺纹不容易松脱，降低圆晶因此在加热器上歪斜而加工失败的概率。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种化学气相沉积设备晶圆举起箍组件，包括升降环（1）和带动所述升降环（1）位移的升降件，其特征在于：所述升降环（1）远离所述升降件的一侧推动有装载环（5），所述装载环（5）远离所述升降环（1）的一侧可拆卸连接有多个提升销（6）；多个所述提升销（6）远离所述装载环（5）的一端贯穿有位置固定的加热器，所述加热器限定所述提升销（6）的路径；所述提升销（6）的端部贯穿所述装载环（5）并与所述装载环（5）螺纹连接，所述装载环（5）与所述升降环（1）之间设置有阻止所述提升销（6）端部与所述装载环（5）接触的让位部（7）。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备晶圆举起箍组件，其特征在于：所述让位部（7）为开设在所述升降环（1）上的多个凹槽，所述凹槽的位置对应所述提升销（6）的端部，且用于容纳所述提升销（6）凸出于所述装载环（5）表面的部位。

3.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积设备晶圆举起箍组件，其特征在于：所述凹槽向一侧延伸至贯穿所述升降环（1）的内缘形成槽缺口。

4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备晶圆举起箍组件，其特征在于：所述让位部（7）包括固定连接在所述装载环（5）上的支撑件，所述支撑件开设有对准所述提升销（6）端部的通孔，所述通孔容纳所述提升销（6）的端部。

5.根据权利要求4所述的一种化学气相沉积设备晶圆举起箍组件，其特征在于：所述支撑件与所述升降环（1）螺纹连接，旋动所述支撑件后，所述支撑件在所述升降环（1）上升高或者下降。

6.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备晶圆举起箍组件，其特征在于：所述让位部（7）包括支撑件，所述支撑件与所述装载环（5）螺纹连接，旋动所述支撑件后，所述支撑件在所述装载环（5）上升高或者下降。

7.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备晶圆举起箍组件，其特征在于：所述让位部（7）包括支撑件，所述支撑件与所述提升销（6）螺纹连接，所述提升销（6）、所述支撑件以及所述装载环（5）位置固定后，所述支撑件以及所述装载环（5）并紧。

8.根据权利要求7所述的一种化学气相沉积设备晶圆举起箍组件，其特征在于：所述支撑件的侧面贯穿开设有插孔，所述插孔内螺纹连接有抵紧于提升销（6）侧壁的插销（8）。

9.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备晶圆举起箍组件，其特征在于：所述升降件包括驱动件（2）和丝杆传动件（3），所述驱动件（2）驱动所述丝杆传动件（3）动作，所述丝杆传动件（3）具有滑动件（4），所述滑动件（4）与所述升降环（1）固定连接。

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