CN212096988U - 一种用于硅片切割的润滑冷却装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种用于硅片切割的润滑冷却装置，属于晶硅加工设备领域，和切片机相配合，包括冷却装置和树脂板，所述冷却装置和树脂板配合使用，所述冷却装置包括依次连接的喷头、连接管和阀门，所述树脂板内设置有供冷却液通过的冷却液通道，所述喷头与冷却液通道相连通，用于为硅片切割进行辅助冷却和润滑，具有结构简单，便于与现有切片机对接，适用范围广，从内部切割区域直接进行冷却润滑，有效降低金刚线切割加切的发生，提高生产效率及切割良率，具有广阔的市场前景。
Description
技术领域
本实用新型属于晶硅加工设备领域，具体地说涉及一种用于硅片切割的润滑冷却装置。
背景技术
目前光伏行业粘棒时候多以实心树脂板为主，镂空树脂板已逐渐开始使用，但是无论哪种树脂板，由于粘胶面、树脂板与硅棒材质的差异，金刚线的冷却液带入能力会比切硅棒时候变差，特别是在切割区域温度升高时，树脂板的切屑容易粘滞不易排出，导致金刚线切割力减弱，为此当正常工艺切割结束后，硅棒并未完全切透，需要继续切割，而发生加切。加切后，不仅造成金刚线耗线增加，生产效率降低，也及容易发生断线等异常。因此，怎样能够有效的在硅片切割过程为切割降温，减少加切的发生是我们需要解决的问题。
实用新型内容
针对现有技术的种种不足，现提出一种结构简单且能够有效的为硅切片进行辅助冷却和润滑的装置。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种用于硅片切割的润滑冷却装置，和切片机相配合，包括冷却装置和树脂板，所述冷却装置和树脂板配合使用，所述冷却装置包括依次连接的喷头、连接管和阀门，所述树脂板内设置有供冷却液通过的冷却液通道，所述喷头与冷却液通道相连通，用于为硅片切割进行辅助冷却和润滑。
进一步，所述树脂板沿着晶硅宽度的一端设置有多个冷却液入口，且树脂板的另一端设置有冷却液出口，冷却液入口和冷却液出口通过冷却液通道相连通。
进一步，所述喷头的内部设置有容纳冷却液的空间，喷头的内部包括位于上部的进液部和下部的出液部，且进液部和出液部相互连通并成一体结构，所述出液部设置有与冷却液入口相配合的喷嘴，所述进液部设置有进液口与连接管相连通，所述进液口设置于喷嘴的上方。
进一步，所述冷却液入口的纵截面成矩形设置，且喷嘴的纵截面成凹形设置。
进一步，所述阀门与安装板固连，用于和切片机固定。
进一步，所述连接管的一端与进液口连接，其另一端与阀门的一端相连结。
进一步，所述阀门采用两通电磁阀。
本实用新型的有益效果是：
结构简单，包括冷却装置和树脂板，树脂板上设置有供冷却液通过的冷却液通道，在金刚线未切穿树脂板时，相比以往树脂板，能够有效的吸收切割产生的热量，为切割区域降温，在金刚线切穿冷却液通道时，冷却液通道内的冷却液流出，有效的为切割区进行降温润滑，有效减少金刚线切割加切的发生，提高产品质量。
附图说明
图1是本实用新型的装配图；
图2是本实用新型的整体结构示意图。
附图中：1-冷却装置、2-树脂板、201-冷却液入口、202-冷却液出口、3-喷头、301-进液口、302-喷嘴、4-连接管、5-阀门、6-直角弯头、7-宝塔接头、8-安装板、9-直通接头。
具体实施方式
为了使本领域的人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合本实用新型的附图，对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的描述，基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的其它类同实施例，都应当属于本申请保护的范围。此外，以下实施例中提到的方向用词，例如“上”“下”“左”“右”等仅是参考附图的方向，因此，使用的方向用词是用来说明而非限制本发明创造。
下面结合附图和较佳的实施例对本实用新型作进一步说明。
如图1-2所示，一种用于硅片切割的润滑冷却装置，与切片机相配合使用，其包括冷却装置1和树脂板2，所述冷却装置1和树脂板2相配合使用。
所述树脂板2沿着晶硅的宽度方向的两端分别设置有多个冷却液入口201和冷却液出口202，且树脂板2内设置有供冷却液通过的冷却液通道，冷却液入口201和冷却液出口202之间通过冷却液通道相连通。
所述冷却装置1包括依次连接的喷头3、连接管4和阀门5，所述喷头3的内部设置有容纳冷却液的空间，喷头3的内部包括位于上部的进液部和下部的出液部，所述进液部和出液部相连通并成一体结构，所述进液部的侧壁上开设有供冷却液进入的进液口301，所述出液部包括喷嘴302，且喷嘴302位于进液口301的下方并与进液口301位于不同侧，喷嘴302与冷却液入口201相配合，用于将冷却液由冷却液入口201输入进树脂板2中，且喷嘴302的数量与冷却液入口201的数量相同。本实施例中，所述进液部的纵截面成梯形设置，所述出液部的纵截面成矩形设置，所述出液部与树脂板2沿晶硅宽度方向的纵截面相配合，所述喷嘴302与冷却液入口201均设置为9组，在其他实施例中，喷嘴302和冷却液入口201还可以设置为其他数量。
在本实施例中，所述冷却液入口201和冷却液出口202的纵截面均成矩形设置，所述喷嘴302成长条状设置，且其纵截面成凹形设置，所述喷嘴302插入冷却液入口201内，且两者密封配合，即可将喷头3内的冷却液输入进树脂板2中。所述进液口301与连接管4的一端相连通，连接管4的另一端通过直角弯头6与阀门5相连通，所述连接管4采用弹簧软管，连接管4与进液口301和直角弯头6之间均通过宝塔接头7相连接，直角弯头6和阀门5之间通过直通接头9相连接。阀门5的两端通过管箍与安装板8相固定。所述安装板8的纵截面成L形，阀门5固设于L形的一条直角边上，L形的另一直角边与切片机的内壁相固定。本实施例中，所述阀门5采用两通电磁阀。
在使用时，将喷嘴302与冷却液入口201相连接，打开阀门5，冷却液进入到树脂板2中，在当金刚线未切透树脂板2的冷却液通道时，冷却液可以从树脂板2内部对切割起到冷却的作用，当金刚线逐渐由树脂板2的两侧到中部切透冷却液通道时，冷却液可以直接作用于金刚线表面，增加润滑、排屑、冷却的作用，提高金刚线的切割力，有效减少加切的发生，提高生产效率。
以上已将本实用新型做一详细说明，以上所述，仅为本实用新型之较佳实施例而已，当不能限定本实用新型实施范围，即凡依本申请范围所作均等变化与修饰，皆应仍属本实用新型涵盖范围内。
Claims (7)
1.一种用于硅片切割的润滑冷却装置，和切片机相配合，其特征在于，包括冷却装置和树脂板，所述冷却装置和树脂板配合使用，所述冷却装置包括依次连接的喷头、连接管和阀门，所述树脂板内设置有供冷却液通过的冷却液通道，所述喷头与冷却液通道相连通，用于为硅片切割进行辅助冷却和润滑。
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片切割的润滑冷却装置，其特征在于，所述树脂板沿着晶硅宽度的一端设置有多个冷却液入口，且树脂板的另一端设置有冷却液出口，冷却液入口和冷却液出口通过冷却液通道相连通。
3.根据权利要求2所述的一种用于硅片切割的润滑冷却装置，其特征在于，所述喷头的内部设置有容纳冷却液的空间，喷头的内部包括位于上部的进液部和下部的出液部，且进液部和出液部相互连通并成一体结构，所述出液部设置有与冷却液入口相配合的喷嘴，所述进液部设置有进液口与连接管相连通，所述进液口设置于喷嘴的上方。
4.根据权利要求3所述的一种用于硅片切割的润滑冷却装置，其特征在于，所述冷却液入口的纵截面成矩形设置，且喷嘴的纵截面成凹形设置。
5.根据权利要求4所述的一种用于硅片切割的润滑冷却装置，其特征在于，所述阀门与安装板固连，用于和切片机固定。
6.根据权利要求5所述的一种用于硅片切割的润滑冷却装置，其特征在于，所述连接管的一端与进液口连接，其另一端与阀门的一端相连结。
7.根据权利要求1-6任一所述的一种用于硅片切割的润滑冷却装置，其特征在于，所述阀门采用两通电磁阀。
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