CN212005161U - 一种高纯硅烷灌装设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高纯硅烷灌装设备，包括基座、集气箱、底座、壳体、罐体、固定机构、连接机构和除杂机构，所述集气箱可固定安装在基座的顶端左侧，所述底座可固定安装在基座的顶端中心位置，所述壳体可固定安装在基座的顶端右侧，所述罐体可放置在底座的顶端，所述固定机构装配在底座的一侧，所述连接机构装配在壳体与罐体的一侧，所述除杂机构装配在集气箱与罐体的一侧。该高纯硅烷灌装设备，不仅具有报警功能，可在气体发生泄漏时第一时间告知工作人员，大大提高了整体灌装的安全性，而且还可以将罐体内腔残留的气体排出，避免残留气体与灌入的硅烷相融合，影响罐体内腔硅烷的纯净度，实用性强，满足现有市场上的使用需求。

Description

一种高纯硅烷灌装设备

技术领域

本实用新型涉及气体灌装技术领域，具体为一种高纯硅烷灌装设备。

背景技术

硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷、乙硅烷和一些更高级的硅氢化合物，应用最多的是甲硅烷，一般把甲硅烷简称做硅烷。

目前，现有的灌装装置结构简单、功能单一，其不具有报警功能，导致灌装连接处的位置如发生泄漏，工作人员无法第一时间得知，安全性低，并且，在进行灌装时，罐体内或多或少的残留一些气体，残留的气体会直接影响到罐体内硅烷的纯净度，给工作人员带来了许多不必要的麻烦，因此，基于以上缺点，现推出一种高纯硅烷灌装设备对此来进行改善。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高纯硅烷灌装设备，可以解决上述背景技术中提出现有的灌装装置不具有报警功能，无法第一时间得知灌装是否存有泄漏，以及罐体内残留的气体会影响硅烷纯净度的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高纯硅烷灌装设备，包括

基座；

集气箱，可固定安装在所述基座的顶端左侧；

底座，可固定安装在所述基座的顶端中心位置；

壳体，可固定安装在所述基座的顶端右侧；

罐体，可放置在所述底座的顶端；

还包括固定机构、连接机构和除杂机构，所述固定机构装配在所述底座的一侧，所述连接机构装配在所述壳体与所述罐体的一侧，所述除杂机构装配在所述集气箱与所述罐体的一侧。

优选的，所述固定机构包括转杆，所述转杆通过轴承安装在所述底座的内腔，所述轴承的内环与所述底座的内腔过盈配合，且轴承的外环与转杆的前后两端固定连接，所述转杆的外壁前后两侧均螺纹连接有连接板，所述连接板的顶端延伸出所述底座上表面开设的滑轨，所述连接板的内侧上下两端均安装有夹板，所述转杆的外壁中心位置过盈配合有第一锥形齿轮，所述底座的内腔右侧螺钉连接有电机，所述电机的左侧输出端通过联轴器锁紧有与第一锥形齿轮相啮合的第二锥形齿轮。

优选的，所述第一锥形齿轮与第二锥形齿轮之间相匹配且位置相对应。

优选的，所述连接机构包括电动推杆，所述电动推杆的底端螺钉连接在所述壳体的内腔底端，所述电动推杆的顶端安装有支撑板，所述支撑板的左侧延伸出所述壳体左端面开设的滑轨且安装有连接座，所述连接座的底端安装有连接管，所述连接管的底端设置有第一连接头，所述第一连接头的底端圆周安装有第一密封圈，所述罐体的进气管外壁圆周安装有第二密封圈，所述连接管的外壁螺纹连接有套筒，所述套筒的内壁螺纹连接在第一连接头与所述罐体的进气管外壁上，所述套筒的内腔圆周开设有通孔，所述套筒的顶端螺钉连接有硅烷报警器，所述连接座的顶端安装有进气软管的一端，且进气软管的另一端连接在外接进气装置上固定。

优选的，所述进气软管、连接座、连接管和第一连接头的内腔呈相通设置。

优选的，所述通孔的位置与第一连接头和所述罐体的进气管连接处相对应。

优选的，所述除杂机构包括连接软管，所述连接软管的一端安装在所述集气箱的顶端，所述连接软管的另一端安装有第二连接头，所述第二连接头螺纹连接在所述罐体顶端设置出气管的外壁上，所述第二连接头的顶端安装有气流计量器，所述罐体顶端设置出气管的外壁和连接软管的外壁分别安装有第一电磁阀和第二电磁阀。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该高纯硅烷灌装设备，通过转杆、连接板、夹板、第一锥形齿轮、电机和第二锥形齿轮之间的配合，从而可以将罐体夹紧固定在底座的顶端，即夹板的内侧，通过电动推杆、支撑板和连接座之间的配合，从而可以将第一连接头插入进罐体进气管的内腔进行连接，通过第一密封圈和第二密封圈可以增加连接处的密封性，通过套筒可以将相互连接的第一连接头与罐体的进气管相连接锁紧，通过通孔和硅烷报警器之间的配合，从而可以在第一连接头与罐体的进气管相连接处发生泄漏时进行报警处理，通过进气软管、连接座、连接管和第一连接头可经过罐体的进气管向罐体的内腔进行灌装处理，通过连接软管、第二连接头、气流计量器、第一电磁阀和第二电磁阀之间的配合，从而可以在罐体进行进气的同时将其内腔残留的气体排入进集气箱的内腔进行收集，该装置不仅具有报警功能，可在气体发生泄漏时第一时间告知工作人员，大大提高了整体灌装的安全性，而且还可以将罐体内腔残留的气体排出，避免残留气体与灌入的硅烷相融合，影响罐体内腔硅烷的纯净度，实用性强，满足现有市场上的使用需求。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型的固定机构右侧俯视图；

图3为本实用新型的A处放大结构示意图；

图4为本实用新型的电动推杆结构示意图；

图5为本实用新型的连接机构结构示意图。

图中：1、基座，2、集气箱，3、底座，4、壳体，5、罐体，6、固定机构，61、转杆，62、连接板，63、夹板，64、第一锥形齿轮，65、电机，66、第二锥形齿轮，7、连接机构，71、电动推杆，72、支撑板，73、连接座，74、连接管，75、第一连接头，76、第一密封圈，77、第二密封圈，78、套筒，79、通孔，710、硅烷报警器，711、进气软管，8、除杂机构，81、连接软管，82、第二连接头，83、气流计量器，84、第一电磁阀，85、第二电磁阀。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种高纯硅烷灌装设备，包括基座1、集气箱2、底座3、壳体4、罐体5、固定机构6、连接机构7和除杂机构8，集气箱2可固定安装在基座1的顶端左侧，底座3可固定安装在基座1的顶端中心位置，壳体4可固定安装在基座1的顶端右侧，罐体5可放置在底座3的顶端，罐体5的外壁和顶端分别设置有进气管和出气管，固定机构6装配在底座3的一侧，连接机构7装配在壳体4与罐体5的一侧，除杂机构8装配在集气箱2与罐体5的一侧。

作为优选方案，更进一步的，固定机构6包括转杆61，转杆61通过轴承安装在底座3的内腔，轴承的内环与底座3的内腔过盈配合，且轴承的外环与转杆61的前后两端固定连接，转杆61的外壁前后两侧均螺纹连接有连接板62，转杆61的外壁前后两侧设置的螺纹方向相反，连接板62的顶端延伸出底座3上表面开设的滑轨，连接板62的内侧上下两端均安装有夹板63，转杆61的外壁中心位置过盈配合有第一锥形齿轮64，底座3的内腔右侧螺钉连接有电机65，电机65的左侧输出端通过联轴器锁紧有与第一锥形齿轮64相啮合的第二锥形齿轮66，开启电机65，电机65会带动第二锥形齿轮66转动，当第二锥形齿轮66转动促使第一锥形齿轮64带动转杆61一起转动，转动的转杆61会促使连接板62带动夹板63一起向内侧或向外侧移动。

作为优选方案，更进一步的，第一锥形齿轮64与第二锥形齿轮66之间相匹配且位置相对应，从而明确了第一锥形齿轮64与第二锥形齿轮66之间的安装关系和位置关系。

作为优选方案，更进一步的，连接机构7包括电动推杆71，电动推杆71的底端螺钉连接在壳体4的内腔底端，电动推杆71的顶端安装有支撑板72，支撑板72的左侧延伸出壳体4左端面开设的滑轨且安装有连接座73，连接座73的底端安装有连接管74，连接管74的底端设置有第一连接头75，第一连接头75的底端圆周安装有第一密封圈76，罐体5的进气管外壁圆周安装有第二密封圈77，连接管74的外壁螺纹连接有套筒78，套筒78的内壁螺纹连接在第一连接头75与罐体5的进气管外壁上，开启电动推杆71，电动推杆71会带动支撑板72、连接座73、连接管74、第一连接头75、第一密封圈76和进气软管711的一端一起向上或向下移动，在确定第一连接头75与罐体5的进气管的位置相对准后，第一连接头75向下移动且插入进罐体5进气管的内腔，由于套筒78与第一连接头75和罐体5进气管的外壁之间为螺纹连接，因此当转动套筒78，促使其逐渐套接在第一连接头75与罐体5进气管的外壁上，完成第一连接头75与罐体5进气管之间的连接锁紧固定，套筒78的内腔圆周开设有通孔79，套筒78的顶端螺钉连接有硅烷报警器710，当第一连接头75与罐体5进气管连接处发生气体泄漏时，由于通孔79的位置与第一连接头75和罐体5的进气管连接处相对应，因此泄漏处的气体会顺势经过通孔79进入到套筒78的内腔，而安装在套筒78上的硅烷报警器710会即刻感知到硅烷气体，进而进行报警工作，连接座73的顶端安装有进气软管711的一端，且进气软管711的另一端连接在外接进气装置上固定。

作为优选方案，更进一步的，进气软管711、连接座73、连接管74和第一连接头75的内腔呈相通设置，从而保证硅烷气体的灌装通道的畅通。

作为优选方案，更进一步的，通孔79的位置与第一连接头75和罐体5的进气管连接处相对应，从而保证连接处发生泄漏时，泄漏的气体可经过通孔79进入到套筒78的内腔。

作为优选方案，更进一步的，除杂机构8包括连接软管81，连接软管81的一端安装在集气箱2的顶端，连接软管81的另一端安装有第二连接头82，第二连接头82螺纹连接在罐体5顶端设置出气管的外壁上，第二连接头82的顶端安装有气流计量器83，罐体5顶端设置出气管的外壁和连接软管81的外壁分别安装有第一电磁阀84和第二电磁阀85，通过第一电磁阀84和第二电磁阀85可控制气体的流通，由于硅烷气体从罐体5的内腔底端注入，因此，罐体5内腔的残留气体会因硅烷气体的增多而逐渐向上飘动且经过罐体5顶端安装的出气管、第二连接头82、气流计量器83和连接软管81的内腔，最终排入进集气箱2内，集气箱2会对残留气体进行收集。

本方案中所提到的电器元件均为现有技术，其型号仅为其中的一种，只要能满足本方案中所要达到的目的的电器元件均可以使用。

通过本领域人员，将本案中所有电气件与其适配的电源通过导线进行连接，并且应该根据实际情况，选择合适的控制器，以满足控制需求，具体连接以及控制顺序，应参考下述工作原理中，各电气件之间先后工作顺序完成电性连接，其详细连接手段，为本领域公知技术，下述主要介绍工作原理以及过程，不在对电气控制做说明，下述主要介绍工作原理以及过程，具体工作如下。

使用时，先将罐体5放置在底座3的顶端，开启电机65，电机65会带动第二锥形齿轮66转动，由于第二锥形齿轮66与第一锥形齿轮64之间相互咬合，因此当第二锥形齿轮66转动促使第一锥形齿轮64带动转杆61一起转动，转动的转杆61会促使连接板62带动夹板63一起向内侧或向外侧移动，当夹板63向内侧移动时，夹板63会将罐体5夹紧固定在底座3的顶端，从而完成罐体5的位置固定；开启电动推杆71，电动推杆71会带动支撑板72、连接座73、连接管74、第一连接头75、第一密封圈76和进气软管711的一端一起向上或向下移动，在确定第一连接头75与罐体5的进气管的位置相对准后，第一连接头75向下移动且插入进罐体5进气管的内腔，由于套筒78与第一连接头75和罐体5进气管的外壁之间为螺纹连接，因此当转动套筒78，促使其逐渐套接在第一连接头75与罐体5进气管的外壁上，完成第一连接头75与罐体5进气管之间的连接锁紧固定，此时第一密封圈76与第二密封圈77均会将连接处的空隙进行密封，保证连接的密封性，将第二连接头82转动拧紧在罐体5顶端设置出气管的外壁上完成连接固定，开启气流计量器83、第一电磁阀84和第二电磁阀85，最后由进气软管711向连接座73的内腔注入硅烷气体，气体会顺势经过连接座73、连接管74、第一连接头75和罐体5进气管的内腔最终灌装进罐体5的内腔，由于硅烷气体从罐体5的内腔底端注入，因此，罐体5内腔的残留气体会因硅烷气体的增多而逐渐向上飘动且经过罐体5顶端安装的出气管、第二连接头82、气流计量器83和连接软管81的内腔，最终排入进集气箱2内，集气箱2会对残留气体进行收集，从而完成残留气体的清除工作，当残留气体完全从罐体5的内腔排净时，关闭第一电磁阀84，即罐体5内腔已灌满硅烷气体；如第一连接头75与罐体5进气管连接处发生气体泄漏时，由于通孔79的位置与第一连接头75和罐体5的进气管连接处相对应，因此泄漏处的气体会顺势经过通孔79进入到套筒78的内腔，而安装在套筒78上的硅烷报警器710会即刻感知到硅烷气体，进而进行报警工作，第一时间告知工作人员气体发生泄漏，该装置不仅具有报警功能，而且还可以将罐体5内腔残留的气体排出，大大提高了灌装的安全性，以及罐体5内腔硅烷的纯净度，实用性强，适合推广。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中心位置”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶端”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作；同时除非另有明确的规定和限定，术语“卡接”、“插接”、“焊接”、“安装”、“设置”、“过盈配合”、“螺钉连接”、“销轴连接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种高纯硅烷灌装设备，其特征在于：包括

基座(1)；

集气箱(2)，可固定安装在所述基座(1)的顶端左侧；

底座(3)，可固定安装在所述基座(1)的顶端中心位置；

壳体(4)，可固定安装在所述基座(1)的顶端右侧；

罐体(5)，可放置在所述底座(3)的顶端；

还包括固定机构(6)、连接机构(7)和除杂机构(8)，所述固定机构(6)装配在所述底座(3)的一侧，所述连接机构(7)装配在所述壳体(4)与所述罐体(5)的一侧，所述除杂机构(8)装配在所述集气箱(2)与所述罐体(5)的一侧。

2.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷灌装设备，其特征在于：所述固定机构(6)包括转杆(61)，所述转杆(61)通过轴承安装在所述底座(3)的内腔，所述轴承的内环与所述底座(3)的内腔过盈配合，且轴承的外环与转杆(61)的前后两端固定连接，所述转杆(61)的外壁前后两侧均螺纹连接有连接板(62)，所述连接板(62)的顶端延伸出所述底座(3)上表面开设的滑轨，所述连接板(62)的内侧上下两端均安装有夹板(63)，所述转杆(61)的外壁中心位置过盈配合有第一锥形齿轮(64)，所述底座(3)的内腔右侧螺钉连接有电机(65)，所述电机(65)的左侧输出端通过联轴器锁紧有与第一锥形齿轮(64)相啮合的第二锥形齿轮(66)。

3.根据权利要求2所述的一种高纯硅烷灌装设备，其特征在于：所述第一锥形齿轮(64)与第二锥形齿轮(66)之间相匹配且位置相对应。

4.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷灌装设备，其特征在于：所述连接机构(7)包括电动推杆(71)，所述电动推杆(71)的底端螺钉连接在所述壳体(4)的内腔底端，所述电动推杆(71)的顶端安装有支撑板(72)，所述支撑板(72)的左侧延伸出所述壳体(4)左端面开设的滑轨且安装有连接座(73)，所述连接座(73)的底端安装有连接管(74)，所述连接管(74)的底端设置有第一连接头(75)，所述第一连接头(75)的底端圆周安装有第一密封圈(76)，所述罐体(5)的进气管外壁圆周安装有第二密封圈(77)，所述连接管(74)的外壁螺纹连接有套筒(78)，所述套筒(78)的内壁螺纹连接在第一连接头(75)与所述罐体(5)的进气管外壁上，所述套筒(78)的内腔圆周开设有通孔(79)，所述套筒(78)的顶端螺钉连接有硅烷报警器(710)，所述连接座(73)的顶端安装有进气软管(711)的一端，且进气软管(711)的另一端连接在外接进气装置上固定。

5.根据权利要求4所述的一种高纯硅烷灌装设备，其特征在于：所述进气软管(711)、连接座(73)、连接管(74)和第一连接头(75)的内腔呈相通设置。

6.根据权利要求4所述的一种高纯硅烷灌装设备，其特征在于：所述通孔(79)的位置与第一连接头(75)和所述罐体(5)的进气管连接处相对应。

7.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷灌装设备，其特征在于：所述除杂机构(8)包括连接软管(81)，所述连接软管(81)的一端安装在所述集气箱(2)的顶端，所述连接软管(81)的另一端安装有第二连接头(82)，所述第二连接头(82)螺纹连接在所述罐体(5)顶端设置出气管的外壁上，所述第二连接头(82)的顶端安装有气流计量器(83)，所述罐体(5)顶端设置出气管的外壁和连接软管(81)的外壁分别安装有第一电磁阀(84)和第二电磁阀(85)。

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