CN211991749U - 一种半导体用机械手测漏治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体用机械手测漏治具，包括外壳、防磨板、通气孔、橡胶圈和连接杆，所述外壳的顶端固定连接有连接杆，且连接杆的顶端固定连接有连接块，所述连接杆的底端活动连接有橡胶圈，所述连接杆的底端设置有通气孔，所述外壳的外侧固定连接有防磨板，所述外壳的底端固定连接有连接结构。本实用新型通过在连接杆的底端设置有通气孔，确保将治具和机械手本体平面完全接触，并保持密闭的状态，在连接杆处对接波纹管，连接到氦气测漏仪，打开氦气测漏仪进行测漏检查，根据氦气测漏仪显示测量的数值，判断该机械手的真空部件状况，以此来达成机械手测漏治具便于对机械手进行检测的目的。

Description

一种半导体用机械手测漏治具

技术领域

本实用新型涉及机械手配件技术领域，具体为一种半导体用机械手测漏治具。

背景技术

机械手在不间断运转过程中，随着机械手的磨损老化，容易产生各种故障，当机械手发生故障时，维修人员会对机械手拆解进行故障排除，Brooks MAG7机械手被拆解后，其它机械结构件处于裸露状态，维修人员容易对磨损或老化部件进行识别，其中真空部件属于精密且密封的结构，常规检查是通过肉眼方式，为了确保故障被排除，当遇到肉眼检查不出时，无论该真空结构件磨损与否，都进行新品部件更换。

在实现本实用新型的过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题没有得到解决：

(1)传统的机械手测漏治具难以对机械手进行检测，肉眼检查的准确性低，因人员的差异，容易产生误判、漏判；

(2)传统的机械手测漏治具难以和机械手进行连接，不能快速的和机械手进行连接；

(3)传统的机械手测漏治具强度不足，机械手测漏治具容易出现损坏，影响装置工作。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体用机械手测漏治具，以解决上述背景技术中提出机械手测漏治具难以对机械手进行检测、难以和机械手进行连接和强度不足的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体用机械手测漏治具，包括外壳、防磨板、通气孔、橡胶圈和连接杆，所述外壳的顶端固定连接有连接杆，且连接杆的顶端固定连接有连接块，所述连接杆的底端活动连接有橡胶圈，所述连接杆的底端设置有通气孔，所述外壳的外侧固定连接有防磨板，所述外壳的底端固定连接有连接结构，所述外壳的内部固定连接有密封层，所述外壳外壁的内部固定连接有加强结构。

优选的，所述连接结构的内部依次设置有法兰片、螺栓和固定螺丝，所述法兰片的顶端活动连接有固定螺丝，且固定螺丝延伸至法兰片的底端，所述固定螺丝的底端活动连接有螺栓。

优选的，所述固定螺丝的外侧壁上均匀设置有外螺纹，所述法兰片的内侧壁上均匀设置有与外螺纹相互配合的内螺纹，所述固定螺丝与法兰片为螺纹连接。

优选的，所述橡胶圈的底端固定连接有卡块，所述外壳的顶端设置有和卡块相对应的卡槽，所述橡胶圈和外壳构成卡合结构。

优选的，所述加强结构的内部依次设置有加强层、第一加强筋和第二加强筋，所述加强层的内部固定连接有第一加强筋，且第一加强筋在加强层的内部呈等间距排列。

优选的，所述加强层的内部固定连接有第二加强筋，且第二加强筋在加强层的内部呈等间距排列。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该半导体用机械手测漏治具不仅实现了机械手测漏治具便于对机械手进行检测的目的，实现了机械手测漏治具便于和机械手进行连接的目的，而且实现了加强机械手测漏治具结构强度的目的；

(1)通过在连接杆的底端设置有通气孔，确保将治具和机械手本体平面完全接触，并保持密闭的状态，在连接杆处对接波纹管，连接到氦气测漏仪，打开氦气测漏仪进行测漏检查，根据氦气测漏仪显示测量的数值，判断该机械手的真空部件状况，以此来达成机械手测漏治具便于对机械手进行检测的目的；

(2)通过在外壳的到底固定连接有法兰片，法兰片和机械手接触后，法兰片底端的固定螺丝可以拧入机械手的内部，和机械手进行连接，同时固定螺丝安装时可以与原机械手的螺丝孔位共用，不用额外开孔，以此来达成机械手测漏治具便于和机械手进行连接的目的；

(3)通过在加强层的内部设置有多个等间距排列的第一加强筋和第二加强筋，第一加强筋和第二加强筋相互交错，第一加强筋和第二加强筋可以加强外壳的结构强度，防止外壳出现损坏，以此来达成加强机械手测漏治具结构强度的目的。

附图说明

图1为本实用新型的正视结构示意图；

图2为本实用新型的正视剖面结构示意图；

图3为本实用新型的俯视结构示意图；

图4为本实用新型的三维放大结构示意图。

图中：1、外壳；2、防磨板；3、连接结构；301、法兰片；302、螺栓；303、固定螺丝；4、通气孔；5、橡胶圈；6、连接杆；7、连接块；8、加强结构；801、加强层；802、第一加强筋；803、第二加强筋；9、密封层。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种半导体用机械手测漏治具，包括外壳1、防磨板2、通气孔4、橡胶圈5和连接杆6，外壳1的顶端固定连接有连接杆6，且连接杆6的顶端固定连接有连接块7，连接杆6的底端活动连接有橡胶圈5，橡胶圈5的底端固定连接有卡块，外壳1的顶端设置有和卡块相对应的卡槽，橡胶圈5和外壳1构成卡合结构；

连接杆6的底端设置有通气孔4，外壳1的外侧固定连接有防磨板2，外壳1的底端固定连接有连接结构3，连接结构3的内部依次设置有法兰片301、螺栓302和固定螺丝303，法兰片301的顶端活动连接有固定螺丝303，且固定螺丝303延伸至法兰片301的底端，固定螺丝303的外侧壁上均匀设置有外螺纹，法兰片301的内侧壁上均匀设置有与外螺纹相互配合的内螺纹，固定螺丝303与法兰片301为螺纹连接，固定螺丝303的底端活动连接有螺栓302；

具体的，如图1和图2所示，使用该结构时，首先法兰片301和机械手接触后，法兰片301底端的固定螺丝303可以拧入机械手的内部，和机械手进行连接，同时固定螺丝303安装时可以与原机械手的螺丝孔位共用，不用额外开孔；

外壳1的内部固定连接有密封层9，外壳1外壁的内部固定连接有加强结构8，加强结构8的内部依次设置有加强层801、第一加强筋802和第二加强筋803，加强层801的内部固定连接有第一加强筋802，且第一加强筋802在加强层801的内部呈等间距排列，加强层801的内部固定连接有第二加强筋803，且第二加强筋803在加强层801的内部呈等间距排列；

具体的，如图2所示，使用该结构时，首先第一加强筋802和第二加强筋803相互交错，第一加强筋802和第二加强筋803可以加强外壳1的结构强度，防止外壳1出现损坏。

工作原理：本实用新型在使用时，首先，通过在连接杆6的底端设置有通气孔4，确保将治具和机械手本体平面完全接触，并保持密闭的状态，在连接杆6处对接波纹管，连接到氦气测漏仪，打开氦气测漏仪进行测漏检查，根据氦气测漏仪显示测量的数值，判断该机械手的真空部件状况，以此来达成机械手测漏治具便于对机械手进行检测的目的。

之后，通过在外壳1的到底固定连接有法兰片301，法兰片301和机械手接触后，法兰片301底端的固定螺丝303可以拧入机械手的内部，和机械手进行连接，同时固定螺丝303安装时可以与原机械手的螺丝孔位共用，不用额外开孔，以此来达成机械手测漏治具便于和机械手进行连接的目的。

最后，通过在加强层801的内部设置有多个等间距排列的第一加强筋802和第二加强筋803，第一加强筋802和第二加强筋803相互交错，第一加强筋802和第二加强筋803可以加强外壳1的结构强度，防止外壳1出现损坏，以此来达成加强机械手测漏治具结构强度的目的。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种半导体用机械手测漏治具，包括外壳(1)、防磨板(2)、通气孔(4)、橡胶圈(5)和连接杆(6)，其特征在于：所述外壳(1)的顶端固定连接有连接杆(6)，且连接杆(6)的顶端固定连接有连接块(7)，所述连接杆(6)的底端活动连接有橡胶圈(5)，所述连接杆(6)的底端设置有通气孔(4)，所述外壳(1)的外侧固定连接有防磨板(2)，所述外壳(1)的底端固定连接有连接结构(3)，所述外壳(1)的内部固定连接有密封层(9)，所述外壳(1)外壁的内部固定连接有加强结构(8)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体用机械手测漏治具，其特征在于：所述连接结构(3)的内部依次设置有法兰片(301)、螺栓(302)和固定螺丝(303)，所述法兰片(301)的顶端活动连接有固定螺丝(303)，且固定螺丝(303)延伸至法兰片(301)的底端，所述固定螺丝(303)的底端活动连接有螺栓(302)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体用机械手测漏治具，其特征在于：所述固定螺丝(303)的外侧壁上均匀设置有外螺纹，所述法兰片(301)的内侧壁上均匀设置有与外螺纹相互配合的内螺纹，所述固定螺丝(303)与法兰片(301)为螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体用机械手测漏治具，其特征在于：所述橡胶圈(5)的底端固定连接有卡块，所述外壳(1)的顶端设置有和卡块相对应的卡槽，所述橡胶圈(5)和外壳(1)构成卡合结构。

5.根据权利要求1所述的一种半导体用机械手测漏治具，其特征在于：所述加强结构(8)的内部依次设置有加强层(801)、第一加强筋(802)和第二加强筋(803)，所述加强层(801)的内部固定连接有第一加强筋(802),且第一加强筋(802)在加强层(801)的内部呈等间距排列。

6.根据权利要求5所述的一种半导体用机械手测漏治具，其特征在于：所述加强层(801)的内部固定连接有第二加强筋(803)，且第二加强筋(803)在加强层(801)的内部呈等间距排列。

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